JP2015199162A - 非接触搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ベルヌーイチャック（非接触チャック）の数を増加させることなく、薄板状ワークの搬送を安定して行えるようにした非接触搬送装置を提供する。【解決手段】周縁部に非製品品質エリアを有し、非製品品質エリアの内側に製品品質エリアを有する薄板状ワークを、製品品質エリアに対して非接触状態で搬送する非接触搬送装置である。薄板状ワークを保持する保持手段と、保持手段を移動させることで薄板状ワークを搬送する搬送手段と、を備える。保持手段は、吸着力によって薄板状ワークの製品品質エリアを非接触で保持する非接触チャックと、薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の非製品品質エリアを保持する保持部と、を有する。【選択図】図１

Description

本発明は、非接触搬送装置に関する。

近年、例えば厚さが１ｍｍ以下の極薄のガラスや樹脂シートなどが、様々な製品に用いられている。このようなガラスや樹脂シートなどの薄板状ワークでは、異物の付着などによる汚染の防止が必要となっており、したがってこれを搬送する際には、特にその中央部に設けられた製品品質エリアについては非接触で搬送することが要求されている。

このように非接触で板状（薄板状）のワークを搬送する搬送装置として、保持ハンドを有し、この保持ハンドの全域にベルヌーイチャック（非接触チャック）を配置した非接触搬送装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００９−２８８６２号公報

ところで、前記特許文献１の非接触装置では、特にワークが大判化した場合、中央部が自重で大きく撓み、撓んだ部位が搬送路の周辺部などを擦ることで損傷してしまうおそれがあるため、ベルヌーイチャックの数を増やす必要がある。しかしながら、ベルヌーイチャックの数を増やすと、その調整が難しくなる。すなわち、ベルヌーイチャックはその吸着面を全て同一水平面に調整する必要があるが、このような調整は数が増加するに連れて難しくなる。
また、ベルヌーイチャックだけでワークを保持し、搬送した場合、搬送時の水平方向加速度によってワークの搬送位置が安定せず、ワークを予め決めた位置に搬送し配置するのが困難になる。

本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、ベルヌーイチャック（非接触チャック）の数を増加させることなく、薄板状ワークの搬送を安定して行えるようにした非接触搬送装置を提供することにある。

本発明の非接触搬送装置は、周縁部に非製品品質エリアを有し、該非製品品質エリアの内側に製品品質エリアを有する薄板状ワークを、前記製品品質エリアに対して非接触状態で搬送する非接触搬送装置であって、前記薄板状ワークを保持する保持手段と、前記保持手段を移動させることで前記薄板状ワークを搬送する搬送手段と、を備え、前記保持手段は、吸着力によって前記薄板状ワークの前記製品品質エリアを非接触で保持する非接触チャックと、前記薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の前記非製品品質エリアを保持する保持部と、を有することを特徴とする。

また、前記非接触搬送装置において、前記保持部は、吸盤型の吸着パッドからなることが好ましい。

また、前記非接触搬送装置においては、前記薄板状ワークが矩形状であり、前記搬送手段は前記薄板状ワークの長辺方向あるいは短辺方向に沿って搬送するように構成され、前記保持部は、前記薄板状ワークの搬送方向に延在する辺の周縁部を保持するように構成されていることが好ましい。

本発明の非接触搬送装置によれば、保持手段が、吸着力によって薄板状ワークの製品品質エリアを非接触で保持する非接触チャックと、薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の非製品品質エリアを保持する保持部と、を有しているので、保持部によって非製品品質エリアを直接保持することで薄板状ワークを容易に、かつ確実に保持することができるとともに、非接触チャックによって製品品質エリアを保持することで薄板状ワークの中央部の撓みを防止することができる。また、保持部によって薄板状ワークを直接保持することで搬送時の水平方向加速度に影響されることなく、薄板状ワークを安定して搬送することができ、したがって薄板状ワークを予め決めた位置に確実に配置することができる。よって、薄板状ワークの搬送を安定して行うことができる。

本発明の非接触搬送装置の一実施形態を示す平面図である。 本発明の非接触搬送装置の一実施形態を示す側面図である。 昇降機構部を除いた保持機構部の平面図である。 （ａ）は非接触チャックの縦断面図であり、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線矢視断面図である。 クランプ部材の側面図である。 本発明の非接触搬送装置の変形例を示す平面図である。 （ａ）〜（ｅ）はクランプ部材の動作説明図である。

以下、図面を参照して本発明の非接触搬送装置を詳しく説明する。なお、以下の図面においては、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。
図１は本発明の非接触搬送装置の一実施形態を示す平面図、図２は図１に示した非接触搬送装置の側面図であり、これらの図において符号１は非接触搬送装置である。

この非接触搬送装置１は、例えば厚さが１ｍｍ以下の極薄のガラスや樹脂シートなどからなる薄板状ワークＷ（図１中に二点鎖線で示す）を非接触状態で搬送する装置である。ただし、ここで言う「非接触」とは、薄板状ワークＷに対して完全に非接触という意味ではなく、薄板状ワークＷの製品品質エリアに対しては非接触である、という意味である。すなわち、通常、薄板状ワークＷはその周縁部に幅５ｍｍ〜１０ｍｍ程度の枠状の非製品品質エリアを有し、該非製品品質エリアに囲まれた内側に製品品質エリアを有している。したがって、最終的に製品に組み込まれる際には、薄板状ワークＷは周縁部の非製品品質エリアが切り落とされて製品品質エリアのみが製品に組み込まれる。このような製品品質エリアは、異物の付着などによる汚染があると良品として採用されないことから、このような汚染の防止が重要となり、したがって製品品質エリアを直接保持しない搬送装置が必要になっている。

本実施形態の非接触搬送装置１は、このように薄板状ワークＷの製品品質エリアを直接保持することなく、幅５ｍｍ〜１０ｍｍ程度の枠状の非製品品質エリアのみを保持部によって直接保持し、製品品質エリアについては非接触チャックによって非接触で保持して搬送する装置である。薄板状ワークＷは、本実施形態では厚さ１ｍｍ以下の矩形状のもので、特に大判のもの、例えば短辺が５００ｍｍ〜１５００ｍｍ程度、長辺が８００ｍｍ〜２０００ｍｍ程度のものである。ただし、このようなサイズより小さいものや大きいものも、本発明の非接触搬送装置１の搬送対象となる。

図１、図２に示すように非接触搬送装置１は、前記薄板状ワークＷを昇降可能に保持する保持機構部２（保持手段）と、保持機構部２を移動させることでこの保持機構部２に保持された薄板状ワークＷを所定方向に搬送する搬送機構部３（搬送手段）と、を備えて構成されている。

搬送機構部３は、保持機構部２を移動可能に懸架し、案内するガイドレール４と、サーボモータからなる駆動源５とを備えている。ガイドレール４は、その一方の側面に保持機構部２を移動可能に懸架するレール部４ａを有したもので、その一端側がコンベア等の移送装置Ｃ（図１参照）によって移送されてくる薄板状ワークＷの受け渡し位置の直上に配置され、他端側が薄板状ワークＷの搬送先の直上に配置されている。駆動源５には、その回転軸にベルト等の連結部材（図示せず）が連結されており、この連結部材は、ガイドレール４に懸架された前記保持機構部２に連結している。このような構成によって駆動源５は、駆動して回転軸を回転させることにより、保持機構部２をガイドレール４に沿って搬送するようになっている。

保持機構部２は、ガイドレール４の前記レール部４ａに移動可能に取り付けられた昇降機構部６と、図２に示すように昇降機構部６に昇降可能に懸架された保持基板７と、この保持基板７の下面側に取り付けられた一対の第１支持バー８ａ、第１支持バー８ａと、該第１支持バー８ａに取付部材９ａを介して取り付けられた複数の第２支持バー８ｂと、該第２支持バー８ｂに取付部材９ｂを介して取り付けられた吸着パッド１０（保持部）および非接触チャック１１と、を備えて構成されている。

昇降機構部６は、前記駆動源５の連結部材に連結されてガイドレール４のレール部４ａに沿って移動するように構成されたもので、複数のエアシリンダー（図示せず）を有し、これらの駆動によって保持基板７を所定のストロークで昇降させるようになっている。すなわち、下降した際に、前記吸着パッド１０や非接触チャック１１が薄板状ワークＷに対して予め設定された高さ位置となるように、昇降機構部６はその昇降のストロークが設定されている。

保持基板７は、昇降機構部６を除いた保持機構部２の平面図である図３に示すように矩形状の金属板であり、前記昇降機構部６のエアシリンダーに連結し、これの作動に伴って昇降するようになっている。なお、図１に示すようにこの保持基板７は、薄板状ワークＷの中心部の直上に位置するように配置されている。そして、後述するようにこの薄板状ワークＷを保持し上昇させて搬送する際には、保持基板７は薄板状ワークＷの中心部の直上に位置した状態を維持して、搬送機構部３に搬送されるようになっている。

一対の第１支持バー８ａ、第１支持バー８ａは、保持基板７の両端部、本実施形態ではその長辺側の側端部に固定されたもので、図１に示すように前記ガイドレール４の長さ方向に沿って配置されている。これら第１支持バー８ａ、第１支持バー８ａは、例えば鋼材など高強度の金属材によって形成されており、その長さが薄板状ワークＷの長辺の長さにほぼ等しい長さに形成されている。

第２支持バー８ｂは、図２に示すように取付部材９ａを介して第１支持バー８ａの下側に取り付けられたもので、図３に示すように矩形状の保持基板７に対してその長辺方向及び短辺方向にそれぞれ配置されている。すなわち、第２支持バー８ｂは格子状に組まれた状態で保持基板７の下方に配置され、これによって薄板状ワークＷのほぼ全域をカバーするように形成配置されている。これら第２支持バー８ｂも、例えば鋼材など高強度の金属材によって形成されている。

これら第２支持バー８ｂには、前述したように取付部材９ｂを介して吸着パッド１０が取り付けられ、さらに非接触チャック１１が取り付けられている。取付部材９ｂは、第２支持バー８ｂに螺子止め等によって固定された金具であり、その下端部に吸着パッド１０を保持固定している。

吸着パッド１０（保持部）は、本実施形態では図１、図３に示すように、薄板状ワークＷの相対向する長辺の周縁部（非製品品質エリア）に対応する位置にて、取付部材９ｂを介してそれぞれ第２支持バー８ｂに取り付けられている。すなわち、本実施形態では薄板状ワークＷの相対向する長辺に対応する位置に、それぞれ１個ずつ、合計２個の吸着パッド１０が相対向して取り付けられ、配置されている。薄板状ワークＷの長辺は、本実施形態では前記搬送機構部３のガイドレール４の長さ方向に沿って、すなわち搬送機構部３による搬送方向に沿って位置させられている。なお、吸着パッド１０の数やその配置は、図１、図３の例に限定されることなく、任意に設定することができる。例えば、薄板状ワークＷの四隅に対応する位置に、それぞれ１個ずつ、合計４個の吸着パッド１０を配置してもよい。

これら吸着パッド１０は、面で吸着する一般的な吸盤型のパッド、すなわちお椀型や皿型、さらにはベローズ式などのゴムや樹脂からなる各種タイプの吸盤からなっている。本実施形態では、この吸着パッド１０は吸着時における吸着面が長円形になっており、その短径が薄板状ワークＷの非製品品質エリアの幅に相当する５ｍｍ〜１０ｍｍ程度より短くなっている。これにより、吸着パッド１０は吸着時において薄板状ワークＷの非製品品質エリアを直接吸着保持し、製品品質エリアには接触しないようになっている。

なお、この吸着パッド１０は、例えばフレキシブルチューブ（図示せず）を介して真空ポンプ等の負圧発生手段（図示せず）に接続されている。これにより、吸着パッド１０は負圧発生手段によって吸盤内が低真空の負圧とされ、この負圧力によって吸盤の開口面全体で面吸着するようになっている。

非接触チャック１１は、吸着力によって非接触で保持するもので、このような非接触チャック１１としては、例えばベルヌーイ効果によって負圧を発現し、該負圧による吸着力によって薄板状ワークＷを非接触で保持するように構成されたベルヌーイチャックが挙げられる。本実施形態では、非接触チャック１１としてこのベルヌーイチャックが用いられる。この非接触チャック１１（ベルヌーイチャック）は、非接触チャック１１の縦断面図である図４（ａ）、および図４（ａ）のＡ−Ａ線矢視断面図である図４（ｂ）に示すように、有蓋円筒形状のチャック本体１２を有して構成されている。このチャック本体１２には、その内部に横断面円形状の噴出凹部１３が形成されており、さらに側壁には噴出凹部１３の内壁面に沿うように空気を導入する一対の導入孔１４が形成されている。

一対の導入孔１４には、フレキシブルチューブ（図示せず）を介して送気装置等の給気源（図示せず）が接続されており、この給気源から空気が給気され、図４（ｂ）に示すように各導入孔１４から空気が噴出凹部１３の内壁面に沿って同じ旋回方向に噴出されるようになっている。このようにして一対の導入孔１４から空気が噴出されると、この空気によって旋回流が形成される。

この旋回流は、図４（ａ）に示すようにチャック本体１２と薄板状ワークＷとの間のクリアランス（隙間）から大気中に放出される。その際、この旋回流によってチャック本体１２と薄板状ワークＷとの間にエアクッションが形成される。また、噴き出された旋回流がチャック本体１２の側周面側に向かうことにより、ベルヌーイ効果によって旋回流の内部、すなわちチャック本体１２の中心部に低真空域が形成される。これによってチャック本体１２は、低真空の負圧を発現し、該負圧によって吸着力（吸引力）を発揮することにより、エアクッションを介して薄板状ワークＷを非接触で吸着保持（吸引保持）する。

このような非接触チャック１１は、図１、図３に示すように特に薄板状ワークＷの中央部の製品品質エリアに対応する位置にて、それぞれ第２支持バー８ｂに直接、あるいは図示しない取付部材を介して取り付けられている。すなわち、本実施形態では薄板状ワークＷの中央部（製品品質エリア）に対応する位置に、縦横６個ずつ、合計３６個の非接触チャック１１が取り付けられ、配置されている。

ただし、非接触チャック１１の数は薄板状ワークＷの大きさに応じて適宜に設定され、配置される。その際、従来のベルヌーイチャック（非接触チャック１１）のみで薄板状ワークＷを非接触に吸着保持する場合、吸着不足によって薄板状ワークＷを落下しないように充分な数のベルヌーイチャックを配置する必要があるが、本実施形態では前述したように薄板状ワークＷの非製品品質エリアを吸着パッド１０で保持しているため、非接触チャック１１の配置数を比較的少ない数に抑えることができる。

次に、このような構成からなる非接触搬送装置１の動作について説明する。
まず、図１に示すように移送装置Ｃによって薄板状ワークＷが非接触搬送装置１の直下に移送されて来る。本実施形態では、移送装置Ｃの移送方向と非接触搬送装置１の搬送方向とは直交するように構成されている。なお、移送装置Ｃは薄板状ワークＷを浮上させて移送するもので、したがって薄板状ワークＷの下面に対しても、非接触で移送するようになっている。

このようにして薄板状ワークＷが非接触搬送装置１の直下に移送されて来ると、非接触搬送装置１は搬送機構部３によって保持機構部２を薄板状ワークＷの直上に移動させる。保持機構部２の移動およびその位置決めは、図示しない制御装置によるシーケンスによってサーボモータからなる駆動源５が駆動することで自動的になされる。これにより、保持機構部２は予め規定された位置に到達する。

また、保持機構部２を予め規定された位置に到達させる前に、あるいは到達させた後、吸着パッド１０に接続する負圧発生手段を作動させるとともに、非接触チャック１１に接続する給気源から空気の給気を行う。これにより、吸着パッド１０に吸着保持力を発揮させ、かつ、非接触チャック１１に吸引保持力（吸着保持力）を発揮させる。

このようにして保持機構部２が予め規定された位置に到達すると、図１に示すように吸着パッド１０が薄板状ワークＷの非製品品質エリアの直上に位置し、非接触チャック１１が薄板状ワークＷの製品品質エリアの直上に位置するようになる。そして、駆動源５の駆動が停止し、昇降機構部６によって保持機構部２が下降させられる。なお、昇降機構部６による保持機構部２の下降ストロークも、予め設定されている。

このようにして保持機構部２を下降させると、吸着パッド１０は薄板状ワークＷの非製品品質エリアに当接してこれを直接吸着保持する。また、非接触チャック１１は、薄板状ワークＷの製品品質エリアに近接してこれを非接触で吸引保持する。
そして、このようにして吸着パッド１０、非接触チャック１１で対応する箇所を吸着保持あるいは吸引保持したら、昇降機構部６によって保持機構部２を上昇させる。これにより、薄板状ワークＷを移送装置Ｃ上から上昇させる。

その際、薄板状ワークＷの中央部である製品品質エリアを複数の非接触チャック１１によって吸引保持しているので、薄板状ワークＷの中央部が自重で撓むのを防止することができる。また、非接触チャック１１による吸引保持力だけでは薄板状ワークＷを保持する力が充分でなくても、薄板状ワークＷの非製品品質エリアを吸着パッド１０によって吸着保持しているので、薄板状ワークＷを確実に持ち上げて保持することができ、したがってこれが落下するのを回避することができる。

次いで、搬送機構部３を駆動することにより、薄板状ワークＷをガイドレール４に沿って搬送する。また、目的位置まで搬送したら、昇降機構部６によって保持機構部２を下降させ、その後、吸着パッド１０に接続する負圧発生手段の作動を停止するとともに、非接触チャック１１に接続する給気源からの空気の給気を停止することで、これら吸着パッド１０、非接触チャック１１による薄板状ワークＷの保持を解除する。そして、その状態で昇降機構部６によって保持機構部２を上昇させることで、薄板状ワークＷの搬送を終了する。

本実施形態の非接触搬送装置１にあっては、保持機構部２が非接触チャック１１と吸着パッド１０とを有しているので、吸着パッド１０によって非製品品質エリアを直接保持することで薄板状ワークＷを容易に、かつ確実に保持することができるとともに、非接触チャック１１によって製品品質エリアを保持することで薄板状ワークＷの中央部の撓みを防止することができる。また、吸着パッド１０によって薄板状ワークＷを直接保持することで搬送時の水平方向加速度に影響されることなく、薄板状ワークＷを安定して搬送することができ、したがって薄板状ワークＷを予め決めた位置に確実に配置することができる。よって、非接触チャック１１（ベルヌーイチャック）の個数を増やすことなく、薄板状ワークＷの搬送を安定して行うことができる。

また、保持機構部２（保持手段）における保持部として吸着パッド１０を用いているので、簡易な構成で薄板状ワークＷの非製品品質エリアを確実に保持することができる。
また、吸着パッド１０が、薄板状ワークＷの搬送方向に延在する辺の周縁部を保持するように構成されているので、図１に示したように移送装置Ｃの移送方向と非接触搬送装置１の搬送方向とが直交する場合にも、移送装置Ｃで移送されてきた薄板状ワークＷの周縁部を容易に保持することができる。また、吸着パッド１０に接続するフレキシブルチューブなどがガイドレール４などに干渉するのを回避することができる。

なお、本発明は前記実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、前記実施形態では非接触チャック１１として、チャック本体１２内に旋回流を形成し、この旋回流によって負圧を発現し、吸着力を発揮するタイプのものを用いたが、例えば旋回流を形成するのに代えて放射流を形成し、この放射流によって負圧を発現し、吸着力を発揮するタイプのものなど、吸着力によって薄板状ワークの製品品質エリアを非接触で保持することが可能な種々のタイプのものを、本発明における非接触チャックとして使用することができる。

また、前記実施形態では薄板状ワークＷの非製品品質エリアを保持する保持部として吸着パッド１０を用いたが、このような吸着パッド１０に代えて、クランプ部材を用いてもよい。クランプ部材としては、例えば図５に示す構造のものが用いられる。

図５はクランプ部材２０の側面図であり、このクランプ部材２０は、下板２１と上板２２とを有し、これら下板２１と上板２２とをエアシリンダーによって接離可能に形成したものである。すなわち、クランプ部材２０は２種類のエアシリンダーを有しており、第１のエアシリンダーは下板２１を昇降動作させるように構成され、第２のエアシリンダーは下板２１を水平動作させるように構成されている。このような構成によって下板２１は、上板２２側に水平移動させられることで互いの先端部が平面視して重なるようになっており、さらに上板２２側に上昇させられることで、薄板状ワークＷの非製品品質エリアを把持するようになっている。なお、このようなクランプ部材２０は、非接触搬送装置の変形例を示す平面図である図６に示すように、一対の第１支持バー８ａ、第１支持バー８ａの端部に取付板１９を介して取り付けられる。

前記の下板２１、上板２２は、前記第１支持バー８ａと直交する方向に延在する細板材によって形成されている。これら下板２１、上板２２は、薄板状ワークＷの非製品品質エリアを把持する部位となるため、その長さ方向の全体で保持力を均一に発揮できるよう、強度の高い鋼材等の金属材で形成されている。また、本例では、図６に示すように薄板状ワークＷの短辺の長さを二等分する長さより少し短い長さに形成されている。これにより、隣り合うクランプ部材２０、クランプ部材２０間において、それぞれの下板２１、上板２２が互いに干渉しないようになっている。また、隣り合う一対のクランプ部材２０、クランプ部材２０により、薄板状ワークＷの短辺のほぼ全域を保持するようになっている。

また、これら下板２１、上板２２の内面、すなわち図５に示すように下板２１の上面と上板２２の下面には、薄板状ワークＷの非製品品質エリアを直接把持するそれぞれの先端部に、把持部材２３ａ（把持部材２３ｂ）が取り付けられている。把持部材２３ａ（把持部材２３ｂ）は、ゴムや軟質樹脂などの弾性が顕著な高分子材料であるエラストマーからなるもので、比較的大きな摩擦係数を有する。このようなエラストマーのうち、例えばフッ素ゴムが、耐薬品性や耐熱性などに優れるなど化学的に安定であり、汚染するおそれがないことなどから、把持部材２３ａ（把持部材２３ｂ）として好適に用いられる。

このような構成のクランプ部材２０を保持部として有した非接触装置でも、図１に示した非接触搬送装置１と同様にして薄板状ワークＷを非接触で搬送することができる。
すなわち、移送装置Ｃによって薄板状ワークＷが非接触搬送装置１の直下に移送されて来る。その際、本例でも移送装置Ｃの移送方向と非接触搬送装置の搬送方向とは直交するように構成されている。また、移送装置Ｃは、その幅が矩形状の薄板状ワークＷの長辺の長さより僅かに短く形成されている。したがって薄板状ワークＷは、その両方の短辺側が、ほぼ非製品品質エリアの幅に対応する長さ分、すなわち５ｍｍ〜１０ｍｍ程度、移送装置Ｃから外側にはみ出て移送されて来る。なお、移送装置Ｃは前述したように薄板状ワークＷを浮上させ、したがって薄板状ワークＷの下面に対して非接触で移送するようになっている。

このようにして薄板状ワークＷが非接触搬送装置１の直下に移送されて来ると、非接触搬送装置は搬送機構部３によって保持機構部２を薄板状ワークＷの直上に移動させる。保持機構部２の移動およびその位置決めは、図示しない制御装置によるシーケンスによってサーボモータからなる駆動源５が駆動することで自動的になされる。これにより、保持機構部２は予め規定された位置に到達する。

このようにして保持機構部２が予め規定された位置に到達すると、図１に示すようにクランプ部材２０が薄板状ワークＷの非製品品質エリアの直上に位置し、非接触チャック１１が薄板状ワークＷの製品品質エリアの直上に位置するようになる。そして、駆動源５の駆動が停止し、昇降機構部６によって保持機構部２が下降させられる。その際、クランプ部材２０は、図７（ａ）に示すようにその上板２２の把持部材２３ａが薄板状ワークＷの短辺側の周縁部、すなわち非製品品質エリアの直上に位置するように設定されている。また、下板２１は、前記した第２のエアシリンダーにより、上板２２に対して水平方向に離間した位置に移動させられている。したがって、下板２１は平面視して薄板状ワークＷの外方に位置させられている。

このようにしてクランプ部材２０が図７（ａ）に示した位置に到達し、昇降機構部６によって保持機構部２が下降させられると、続いて前記した第１のエアシリンダーにより、下板２１が上板２２より下側に下降する。これにより、図７（ｂ）に示すように上板２２は、その把持部材２３ａを薄板状ワークＷの、移送装置Ｃからはみ出た非製品品質エリアの上面に当接または近接させ、一方、下板２１は、薄板状ワークＷの外方でかつ下方に位置させられる。

このようにして保持機構部２を下降させたら、図７（ｃ）に示すように前記した第２のエアシリンダーによって下板２１を上板２２側に水平移動させ、その把持部材２３ｂを薄板状ワークＷの、移送装置Ｃからはみ出た非製品品質エリアの下面の直下に位置させる。これにより、下板２１の把持部材２３ｂは上板２２の把持部材２３ａと平面視して重なるようになる。

続いて、図７（ｄ）に示すように前記した第１のエアシリンダーによって下板２１を上板２２側に上昇させ、把持部材２３ｂを薄板状ワークＷの非製品品質エリアの下面に当接させる。そして、把持部材２３ｂによって薄板状ワークＷの非製品品質エリアを押圧することにより、上板２２の把持部材２３ａと下板２１の把持部材２３ｂとの間に薄板状ワークＷの非製品品質エリアを把持し、挟持する。一方、非接触チャック１１は、図１に示した非接触搬送装置１の場合と同様に作動し、薄板状ワークＷの製品品質エリアを非接触で吸引保持（吸着保持）する。

このようにしてクランプ部材２０の把持部材２３ａ、把持部材２３ｂ間に薄板状ワークＷの非製品品質エリアを挟持（把持）し、さらに非接触チャック１１で薄板状ワークＷの製品品質エリアを吸引保持したら、図７（ｅ）に示すように昇降機構部６によって保持機構部２を上昇させる。これにより、図７（ｅ）中に実線で示すように薄板状ワークＷを移送装置Ｃ上から上昇させる。

その際、クランプ部材２０によって非製品品質エリアを直接保持することにより、薄板状ワークＷを容易に、かつ確実に保持することができる。また、非接触チャック１１によって製品品質エリアを保持するので、薄板状ワークＷの中央部の撓みを防止することができる。また、クランプ部材２０によって薄板状ワークＷを直接保持することで搬送時の水平方向加速度に影響されることなく、薄板状ワークＷを安定して搬送することができ、したがって薄板状ワークＷを予め決めた位置に確実に配置することができる。
よって、本例の非接触搬送装置にあっても、非接触チャック１１（ベルヌーイチャック）の個数を増やすことなく、薄板状ワークＷの搬送を安定して行うことができる。

１…非接触搬送装置、２…保持機構部（保持手段）、３…搬送機構部（搬送手段）、
８ａ…第１支持バー、８ｂ…第２支持バー、１０…吸着パッド（保持部）、
１１…非接触チャック、２０…クランプ部材（保持部）、Ｃ…移送装置、
Ｗ…薄板状ワーク

Claims (3)

1. 周縁部に非製品品質エリアを有し、該非製品品質エリアの内側に製品品質エリアを有する薄板状ワークを、前記製品品質エリアに対して非接触状態で搬送する非接触搬送装置であって、
   前記薄板状ワークを保持する保持手段と、
   前記保持手段を移動させることで前記薄板状ワークを搬送する搬送手段と、を備え、
   前記保持手段は、吸着力によって前記薄板状ワークの前記製品品質エリアを非接触で保持する非接触チャックと、前記薄板状ワークの少なくとも相対向する周縁部の前記非製品品質エリアを保持する保持部と、を有することを特徴とする非接触搬送装置。
2. 前記保持部は、吸盤型の吸着パッドからなることを特徴とする請求項１記載の非接触搬送装置。
3. 前記薄板状ワークが矩形状であり、
   前記搬送手段は前記薄板状ワークの長辺方向あるいは短辺方向に沿って搬送するように構成され、
   前記保持部は、前記薄板状ワークの搬送方向に延在する辺の周縁部を保持するように構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の非接触搬送装置。
   

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