JP2003128279A - 板状部材取り出しハンドおよび板状部材の取り出し方法 - Google Patents
板状部材取り出しハンドおよび板状部材の取り出し方法Info
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- JP2003128279A JP2003128279A JP2001332312A JP2001332312A JP2003128279A JP 2003128279 A JP2003128279 A JP 2003128279A JP 2001332312 A JP2001332312 A JP 2001332312A JP 2001332312 A JP2001332312 A JP 2001332312A JP 2003128279 A JP2003128279 A JP 2003128279A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 板状部材の取り出し時の衝撃が小さく、切り
離し時の負荷が小さく、板状部材の種類に関わらずスム
ーズな取り出しが行なえる板状部材取り出しハンドおよ
び板状部材の取り出し方法を提供する。 【解決手段】 このウェハ取り出しハンド１では、吸着
パッド３ａ,３ｂが、図示しない真空ポンプの駆動によ
る吸引によって、ウェハ１０の表面に吸着する。また、
ベルヌーイ吸着器４も気流を吹き出すことで、ウェハ１
０に吸着する。この吸着パッド３ａ,３ｂとベルヌーイ
吸着器４による吸着でもって、ハンド１はウェハ１０を
保持する。このハンド１は、図４(Ｃ)に示す引き上げ途
中段階においても、各シリンダ６ａ,６ｂ,７のピストン
１８,７ａの引き上げ量Ｄ１,Ｄ２を調整することで、ウ
ェハ１０に生じる応力を最小となるようにして、引き上
げ時のウェハ１０の割れを低減することができる。
離し時の負荷が小さく、板状部材の種類に関わらずスム
ーズな取り出しが行なえる板状部材取り出しハンドおよ
び板状部材の取り出し方法を提供する。 【解決手段】 このウェハ取り出しハンド１では、吸着
パッド３ａ,３ｂが、図示しない真空ポンプの駆動によ
る吸引によって、ウェハ１０の表面に吸着する。また、
ベルヌーイ吸着器４も気流を吹き出すことで、ウェハ１
０に吸着する。この吸着パッド３ａ,３ｂとベルヌーイ
吸着器４による吸着でもって、ハンド１はウェハ１０を
保持する。このハンド１は、図４(Ｃ)に示す引き上げ途
中段階においても、各シリンダ６ａ,６ｂ,７のピストン
１８,７ａの引き上げ量Ｄ１,Ｄ２を調整することで、ウ
ェハ１０に生じる応力を最小となるようにして、引き上
げ時のウェハ１０の割れを低減することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、太陽電池用半導
体ウェハ等に用いられる板状部材取り出しハンドおよび
板状部材の取り出し方法に関する。
体ウェハ等に用いられる板状部材取り出しハンドおよび
板状部材の取り出し方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】太陽電池のセル生産工場などの半導体工
場において、生産投入される半導体ウェハは数百枚単位
でスタック状に積み重ねられて納品され、この積み重ね
られたウェハは、ウェハ取り出し装置によってスタック
状の状態から枚葉で取り出して生産工程に投入されてい
る。以下図面にしたがって、従来のウェハ取り出し装置
について説明する。
場において、生産投入される半導体ウェハは数百枚単位
でスタック状に積み重ねられて納品され、この積み重ね
られたウェハは、ウェハ取り出し装置によってスタック
状の状態から枚葉で取り出して生産工程に投入されてい
る。以下図面にしたがって、従来のウェハ取り出し装置
について説明する。
【０００３】図９(Ａ)に、従来のウェハ取り出しハンド
１０１を上方から見た上面を示し、図９(Ｂ)に、取り出
しハンド１０１を図９(Ａ)の矢印Ｂ方向に見た様子を示
し、図９(Ｃ)に、取り出しハンド１０１を図９(Ａ)の矢
印Ａ方向に見た様子を示す。
１０１を上方から見た上面を示し、図９(Ｂ)に、取り出
しハンド１０１を図９(Ａ)の矢印Ｂ方向に見た様子を示
し、図９(Ｃ)に、取り出しハンド１０１を図９(Ａ)の矢
印Ａ方向に見た様子を示す。
【０００４】ウェハ取り出しハンド１０１は、その下面
の略中央に固定足１０８が取り付けられている。また、
ハンド１０１の下面の対角位置に吸着パッド１０３ａ,
１０３ｂが取り付けられている。この吸着パッド１０３
ａ,１０３ｂは真空ポンプ(図示せず)に繋がっている。
の略中央に固定足１０８が取り付けられている。また、
ハンド１０１の下面の対角位置に吸着パッド１０３ａ,
１０３ｂが取り付けられている。この吸着パッド１０３
ａ,１０３ｂは真空ポンプ(図示せず)に繋がっている。
【０００５】次に、図１０(Ａ)〜図１０(Ｄ)を順に参照
して、従来のウェハ取り出し方法を説明する。図１０
(Ａ)〜(Ｄ)は、図９(Ａ)のＢ方向に見た様子を示す図９
(Ｂ)に対応した図である。
して、従来のウェハ取り出し方法を説明する。図１０
(Ａ)〜(Ｄ)は、図９(Ａ)のＢ方向に見た様子を示す図９
(Ｂ)に対応した図である。
【０００６】まず、図１０(Ａ)に示すように、基台１１
２上に複数枚積層されたウェハ１１１,１１０の上方か
ら、ウェハ１１０上にウェハ取り出しハンド１０１を降
ろす。そして、このハンド１０１の固定足１０８と吸着
パッド１０３ａ,１０３ｂがウェハ１１０に接触した
ら、吸着パッド１０３ａ,１０３ｂで１枚目のウェハ１
１０を吸着し、ウェハ１１０を保持する。この吸着パッ
ド１０３ａ,１０３ｂは、吸着によって１枚目のウェハ
１１０を保持したまま収縮する。
２上に複数枚積層されたウェハ１１１,１１０の上方か
ら、ウェハ１１０上にウェハ取り出しハンド１０１を降
ろす。そして、このハンド１０１の固定足１０８と吸着
パッド１０３ａ,１０３ｂがウェハ１１０に接触した
ら、吸着パッド１０３ａ,１０３ｂで１枚目のウェハ１
１０を吸着し、ウェハ１１０を保持する。この吸着パッ
ド１０３ａ,１０３ｂは、吸着によって１枚目のウェハ
１１０を保持したまま収縮する。
【０００７】これにより、ウェハ１１０の対角位置端部
２箇所は、取り出しハンド１０１の吸着パッド１０３
ａ,１０３ｂの変位分だけ持ち上げられる。このとき、
取り出しハンド１０１の固定足１０８がウェハ１１０の
一部(略中央部)を押さえているので、１枚目のウェハ１
１０は、図１０(Ｂ)に示すように変形する。一方、２枚
目のウェハ１１１は変形しないので、１枚目のウェハ１
１０と分離される。
２箇所は、取り出しハンド１０１の吸着パッド１０３
ａ,１０３ｂの変位分だけ持ち上げられる。このとき、
取り出しハンド１０１の固定足１０８がウェハ１１０の
一部(略中央部)を押さえているので、１枚目のウェハ１
１０は、図１０(Ｂ)に示すように変形する。一方、２枚
目のウェハ１１１は変形しないので、１枚目のウェハ１
１０と分離される。
【０００８】次に、上記吸着が完了した後に、図１０
(Ｃ)に示すように、ハンド１０１を上昇させ、積層され
たウェハ１１１,１１０から１枚目のウェハ１０１のみ
を取り出す。その後、図１０(Ｄ)に示すように、ハンド
１０１を別の基台１１３上の切り離し位置に移動させた
後に、ハンド１０１の吸着パッド１０３ａ,１０３ｂに
よるウェハ１１０の吸着をオフにする。この吸着がオフ
にされたことによって、図１０(Ｄ)に示すように、吸着
パッド１０３ａ,１０３ｂからウェハ１１０が開放さ
れ、ハンド１０１からウェハ１１０が切り離される。
(Ｃ)に示すように、ハンド１０１を上昇させ、積層され
たウェハ１１１,１１０から１枚目のウェハ１０１のみ
を取り出す。その後、図１０(Ｄ)に示すように、ハンド
１０１を別の基台１１３上の切り離し位置に移動させた
後に、ハンド１０１の吸着パッド１０３ａ,１０３ｂに
よるウェハ１１０の吸着をオフにする。この吸着がオフ
にされたことによって、図１０(Ｄ)に示すように、吸着
パッド１０３ａ,１０３ｂからウェハ１１０が開放さ
れ、ハンド１０１からウェハ１１０が切り離される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
ウェハ取り出し方法において、ウェハ１１０の取り出し
時や切り離し時にウェハを破損させることがある。特
に、ウェハ１１０の強度が不足している場合などウェハ
１１０を反らすことによって、ウェハ内部にかかる応力
がウェハの許容できる範囲を超えた場合に、ウェハの破
損が発生することがあった。
ウェハ取り出し方法において、ウェハ１１０の取り出し
時や切り離し時にウェハを破損させることがある。特
に、ウェハ１１０の強度が不足している場合などウェハ
１１０を反らすことによって、ウェハ内部にかかる応力
がウェハの許容できる範囲を超えた場合に、ウェハの破
損が発生することがあった。
【００１０】図１１に、上記従来例のウェハ取り出し時
におけるウェハ１１０のフォンミーゼス応力分布を示
す。図１１において、曲線は等圧力線を示し、図示する
ように、ウェハ１１０の全面で応力分布が不均一であ
り、特に、ウェハ１１０の略中央部で最大応力が発生し
ている。このため、ウェハの略中央部に応力が集中し、
ウェハが破損し易くなっていた。
におけるウェハ１１０のフォンミーゼス応力分布を示
す。図１１において、曲線は等圧力線を示し、図示する
ように、ウェハ１１０の全面で応力分布が不均一であ
り、特に、ウェハ１１０の略中央部で最大応力が発生し
ている。このため、ウェハの略中央部に応力が集中し、
ウェハが破損し易くなっていた。
【００１１】そこで、この発明の目的は、板状部材の取
り出し時の衝撃が小さく、切り離し時の負荷が小さく、
板状部材の種類に関わらずスムーズな取り出しが行なえ
る板状部材取り出しハンドおよび板状部材の取り出し方
法を提供することにある。
り出し時の衝撃が小さく、切り離し時の負荷が小さく、
板状部材の種類に関わらずスムーズな取り出しが行なえ
る板状部材取り出しハンドおよび板状部材の取り出し方
法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明の板状部材取り出しハンドは、略四角形状
の板状部材の２箇所の対角位置端部を上方から押える押
え手段と、上記板状部材の残りの２箇所の対角位置端部
を上方から吸着する吸着パッドを有する第１の吸着手段
と、上記第１の吸着手段の位置を上下に調整する第１の
位置調整手段と、上記板状部材の中央部を上方から吸着
するベルヌーイ吸着器を有する第２の吸着手段と、上記
第２の吸着手段の位置を上下に調整する第２の位置調整
手段とを備えたことを特徴としている。
め、この発明の板状部材取り出しハンドは、略四角形状
の板状部材の２箇所の対角位置端部を上方から押える押
え手段と、上記板状部材の残りの２箇所の対角位置端部
を上方から吸着する吸着パッドを有する第１の吸着手段
と、上記第１の吸着手段の位置を上下に調整する第１の
位置調整手段と、上記板状部材の中央部を上方から吸着
するベルヌーイ吸着器を有する第２の吸着手段と、上記
第２の吸着手段の位置を上下に調整する第２の位置調整
手段とを備えたことを特徴としている。
【００１３】この発明の取り出しハンドでは、上記第
１,第２の位置調整手段によって、上記第１の吸着手段
の高さレベルと上記ベルヌーイ吸着器の高さレベルと
を、上記押え手段の高さレベルに合わせた状態で、第１
の吸着手段とベルヌーイ吸着器とでもって、板状部材を
変形させることなく、吸着できる。
１,第２の位置調整手段によって、上記第１の吸着手段
の高さレベルと上記ベルヌーイ吸着器の高さレベルと
を、上記押え手段の高さレベルに合わせた状態で、第１
の吸着手段とベルヌーイ吸着器とでもって、板状部材を
変形させることなく、吸着できる。
【００１４】また、上記第１の吸着手段の高さレベルお
よび上記ベルヌーイ吸着器の高さレベルを上記押え手段
の高さレベルよりも高くすることで、板状部材の２箇所
の対角位置端部を下層の板状部材から離間させ、かつ、
板状部材の中央部を下層の板状部材から離間させて、最
上層の板状部材をその下層の板状部材から分離できる。
よび上記ベルヌーイ吸着器の高さレベルを上記押え手段
の高さレベルよりも高くすることで、板状部材の２箇所
の対角位置端部を下層の板状部材から離間させ、かつ、
板状部材の中央部を下層の板状部材から離間させて、最
上層の板状部材をその下層の板状部材から分離できる。
【００１５】この分離において、上記第１の吸着手段の
高さレベルを上記ベルヌーイ吸着器の高さレベルよりも
所定寸法だけ高く調整することによって、板状部材の中
央部の高さレベルを、押え手段で押えられている対角位
置端部の高さレベルと第１吸着手段で吸着している対角
位置端部の高さレベルとの中間のレベルとすることがで
きる。これにより、板状部材の中央部への変形応力の集
中を抑制して、分離時の板状部材の破損を防ぐことがで
きる。
高さレベルを上記ベルヌーイ吸着器の高さレベルよりも
所定寸法だけ高く調整することによって、板状部材の中
央部の高さレベルを、押え手段で押えられている対角位
置端部の高さレベルと第１吸着手段で吸着している対角
位置端部の高さレベルとの中間のレベルとすることがで
きる。これにより、板状部材の中央部への変形応力の集
中を抑制して、分離時の板状部材の破損を防ぐことがで
きる。
【００１６】また、一実施形態の板状部材の取り出し方
法は、略四角形状の板状部材の２箇所の対角位置端部を
上方から押える押え工程と、吸着パッドを有する第１の
吸着手段で、上記板状部材の残りの２箇所の対角位置端
部を上方から吸着する第１の吸着工程と、上記第１の吸
着手段を昇降させて、上記板状部材を保持する第１の保
持工程と、ベルヌーイ吸着器を有する第２の吸着手段
で、上記板状部材の中央部を上方から吸着する第２の吸
着工程と、上記第２の吸着手段を昇降させて、上記板状
部材を保持する第２の保持工程と、上記第１の吸着手段
を上記板状部材から分離する第１の分離工程と、上記第
２の吸着手段を上記板状部材から分離する第２の分離工
程とを備えた。
法は、略四角形状の板状部材の２箇所の対角位置端部を
上方から押える押え工程と、吸着パッドを有する第１の
吸着手段で、上記板状部材の残りの２箇所の対角位置端
部を上方から吸着する第１の吸着工程と、上記第１の吸
着手段を昇降させて、上記板状部材を保持する第１の保
持工程と、ベルヌーイ吸着器を有する第２の吸着手段
で、上記板状部材の中央部を上方から吸着する第２の吸
着工程と、上記第２の吸着手段を昇降させて、上記板状
部材を保持する第２の保持工程と、上記第１の吸着手段
を上記板状部材から分離する第１の分離工程と、上記第
２の吸着手段を上記板状部材から分離する第２の分離工
程とを備えた。
【００１７】この実施形態の取り出し方法では、第１の
吸着工程と第１の保持工程によって、第１の吸着手段で
板状部材の２箇所の対角位置端部を上方から吸着し、上
記第１の吸着手段を昇降させて、上記板状部材を保持す
る。そして、第２の吸着工程と第２の保持工程によっ
て、ベルヌーイ吸着器を有する第２の吸着手段で上記板
状部材の中央部を上方から吸着し、上記第２の吸着手段
を昇降させて、上記板状部材を保持する。
吸着工程と第１の保持工程によって、第１の吸着手段で
板状部材の２箇所の対角位置端部を上方から吸着し、上
記第１の吸着手段を昇降させて、上記板状部材を保持す
る。そして、第２の吸着工程と第２の保持工程によっ
て、ベルヌーイ吸着器を有する第２の吸着手段で上記板
状部材の中央部を上方から吸着し、上記第２の吸着手段
を昇降させて、上記板状部材を保持する。
【００１８】このように、この実施形態によれば、板状
部材の２箇所の対角位置端部と中央部とを、２段階の吸
着工程と保持工程でもって段階的に保持すると共に、上
記２箇所の対角位置端部を保持する高さレベルと上記中
央部を保持する高さレベルとを別個に独立に設定可能と
なる。これにより、板状部材を吸着する際に板状部材に
加える衝撃と変形量を最小限に抑えつつ、所望の変形量
を板状部材に加えて、積層された複数の板状部材のうち
の最上層の板状部材を分離させることができる。
部材の２箇所の対角位置端部と中央部とを、２段階の吸
着工程と保持工程でもって段階的に保持すると共に、上
記２箇所の対角位置端部を保持する高さレベルと上記中
央部を保持する高さレベルとを別個に独立に設定可能と
なる。これにより、板状部材を吸着する際に板状部材に
加える衝撃と変形量を最小限に抑えつつ、所望の変形量
を板状部材に加えて、積層された複数の板状部材のうち
の最上層の板状部材を分離させることができる。
【００１９】また、一実施形態の板状部材の取り出し方
法は、上記板状部材を保持する際に、上記第２の吸着手
段が上記板状部材を保持する高さを、上記板状部材の２
箇所の対角位置端部を押えている高さと同じ高さとす
る。
法は、上記板状部材を保持する際に、上記第２の吸着手
段が上記板状部材を保持する高さを、上記板状部材の２
箇所の対角位置端部を押えている高さと同じ高さとす
る。
【００２０】この実施形態の板状部材の取り出し方法で
は、上記板状部材を保持する際に、上記第２の吸着手段
が上記板状部材を保持する高さを、上記板状部材の２箇
所の対角位置端部を押えている高さと同じ高さとする。
これにより、保持状態においては、板状部材の中央部と
板状部材の２箇所の対角位置端部の高さレベルを同レベ
ルにできるので、板状部材の変形量を最小限に抑えて、
板状部材の破損防止を図れる。
は、上記板状部材を保持する際に、上記第２の吸着手段
が上記板状部材を保持する高さを、上記板状部材の２箇
所の対角位置端部を押えている高さと同じ高さとする。
これにより、保持状態においては、板状部材の中央部と
板状部材の２箇所の対角位置端部の高さレベルを同レベ
ルにできるので、板状部材の変形量を最小限に抑えて、
板状部材の破損防止を図れる。
【００２１】また、一実施形態の板状部材の取り出し方
法は、上記板状部材の取り出しの際に、上記第２の吸着
手段が上記板状部材の中央部を基準面から引き上げてい
る高さを、取り出す板状部材の種類に関わらず一定とす
る。
法は、上記板状部材の取り出しの際に、上記第２の吸着
手段が上記板状部材の中央部を基準面から引き上げてい
る高さを、取り出す板状部材の種類に関わらず一定とす
る。
【００２２】この実施形態の板状部材の取り出し方法に
よれば、板状部材の種類に関わらず、取り出す板状部材
とその下層の板状部材との間に大きさ一定の空気流入路
を形成でき、安定した分離を行うことができる。
よれば、板状部材の種類に関わらず、取り出す板状部材
とその下層の板状部材との間に大きさ一定の空気流入路
を形成でき、安定した分離を行うことができる。
【００２３】また、一実施形態の板状部材の取り出し方
法は、上記板状部材の分離の際に、上記第１の吸着手段
が上記板状部材の対角２箇所を保持する高さを、もう一
方の２箇所の対角位置端部を押えている高さと同じ高さ
とする。
法は、上記板状部材の分離の際に、上記第１の吸着手段
が上記板状部材の対角２箇所を保持する高さを、もう一
方の２箇所の対角位置端部を押えている高さと同じ高さ
とする。
【００２４】この実施形態の板状部材の取り出し方法に
よれば、上記板状部材の分離の際に、上記第１の吸着手
段が上記板状部材の対角２箇所を保持する高さを、もう
一方の２箇所の対角位置端部を押えている高さと同じ高
さとするから、板状部材の変形が少ない状態で板状部材
を分離できる。したがって、この分離時に板状部材に加
わる衝撃を小さくすることができる。
よれば、上記板状部材の分離の際に、上記第１の吸着手
段が上記板状部材の対角２箇所を保持する高さを、もう
一方の２箇所の対角位置端部を押えている高さと同じ高
さとするから、板状部材の変形が少ない状態で板状部材
を分離できる。したがって、この分離時に板状部材に加
わる衝撃を小さくすることができる。
【００２５】また、一実施形態の板状部材の取り出し方
法は、上記板状部材の切り離しの際に、上記第２の吸着
手段が上記板状部材の中央部を保持する高さを、上記板
状部材の２箇所の対角位置端部を押えている高さと同じ
高さとする。
法は、上記板状部材の切り離しの際に、上記第２の吸着
手段が上記板状部材の中央部を保持する高さを、上記板
状部材の２箇所の対角位置端部を押えている高さと同じ
高さとする。
【００２６】この実施形態の板状部材の取り出し方法に
よれば、板状部材の変形が少ない状態で板状部材を分離
できる。したがって、この分離時に板状部材に加わる衝
撃を小さくすることができる。
よれば、板状部材の変形が少ない状態で板状部材を分離
できる。したがって、この分離時に板状部材に加わる衝
撃を小さくすることができる。
【００２７】
【発明の実施の形態】以下、この発明を、図示の実施形
態に基づいて詳細に説明する。
態に基づいて詳細に説明する。
【００２８】図１に、この発明の実施形態の板状部材取
り出しハンド１を上方から見た様子を示す。この取り出
しハンド１は、略四角形の枠板１ａの２箇所の対角位置
に、それぞれ、シリンダ６ａと６ｂが取り付けられてい
る。このシリンダ６ａと６ｂは、枠板１ａの上面から図
１において紙面に垂直方向に延びている。
り出しハンド１を上方から見た様子を示す。この取り出
しハンド１は、略四角形の枠板１ａの２箇所の対角位置
に、それぞれ、シリンダ６ａと６ｂが取り付けられてい
る。このシリンダ６ａと６ｂは、枠板１ａの上面から図
１において紙面に垂直方向に延びている。
【００２９】また、図１において矢印Ｂ方向に見た様子
を示す図２に示すように、この枠板１ａの略中央にも、
上記シリンダ６ａ,６ｂと同方向に延びているシリンダ
７が取り付けられている。さらに、上記２箇所の対角位
置の残りの２箇所の対角位置には、１対の固定足２ａ,
２ｂが固定されている。図１において矢印Ａ方向に見た
様子を示す図３に示すように、この固定足２ａ,２ｂ
は、上記枠板１ａの上面から下方に向かって略垂直に延
在していて、その先端に衝撃吸収素材で作製された緩衝
部２２,２２を有する。
を示す図２に示すように、この枠板１ａの略中央にも、
上記シリンダ６ａ,６ｂと同方向に延びているシリンダ
７が取り付けられている。さらに、上記２箇所の対角位
置の残りの２箇所の対角位置には、１対の固定足２ａ,
２ｂが固定されている。図１において矢印Ａ方向に見た
様子を示す図３に示すように、この固定足２ａ,２ｂ
は、上記枠板１ａの上面から下方に向かって略垂直に延
在していて、その先端に衝撃吸収素材で作製された緩衝
部２２,２２を有する。
【００３０】また、図２に示すように、上記１対のシリ
ンダ６ａ,６ｂは、枠板１ａの上面に固定され、そのピ
ストン１８は、中継板２０,２０に固定されている。そ
して、この中継板２０,２０には、先端に吸着パッド３
ａ,３ｂを有する吸着部２１,２１が取り付けられてい
る。この吸着部２１,２１は、図示しない真空ポンプに
連結されている。
ンダ６ａ,６ｂは、枠板１ａの上面に固定され、そのピ
ストン１８は、中継板２０,２０に固定されている。そ
して、この中継板２０,２０には、先端に吸着パッド３
ａ,３ｂを有する吸着部２１,２１が取り付けられてい
る。この吸着部２１,２１は、図示しない真空ポンプに
連結されている。
【００３１】また、図３および図２に示すように、上記
シリンダ７は、そのピストン７ａが中継板２３に固定さ
れ、この中継板２３には、下方に延在する２対の支持具
５が固定されている。この支持具５は、その先端部５ａ
が衝撃吸収素材で作製されている。
シリンダ７は、そのピストン７ａが中継板２３に固定さ
れ、この中継板２３には、下方に延在する２対の支持具
５が固定されている。この支持具５は、その先端部５ａ
が衝撃吸収素材で作製されている。
【００３２】さらに、この中継板２３の略中央には、ベ
ルヌーイ吸着器４が固定されていて、このベルヌーイ吸
着器４の下面４ａは、上記支持具５の先端部５ａの下端
よりも僅かに上方に位置している。このベルヌーイ吸着
器４はエアブローポンプ(図示せず)に繋がっている。
ルヌーイ吸着器４が固定されていて、このベルヌーイ吸
着器４の下面４ａは、上記支持具５の先端部５ａの下端
よりも僅かに上方に位置している。このベルヌーイ吸着
器４はエアブローポンプ(図示せず)に繋がっている。
【００３３】上記吸着パッド３ａ,３ｂを有する吸着部
２１,２１は、シリンダ６ａ,６ｂを駆動することによっ
て、枠板１ａに対して、上下方向の所定高さに昇降させ
ることができる。また、上記ベルヌーイ吸着器４は、シ
リンダ７を駆動することによって、上記支持具５と一緒
に、枠板１ａに対して上下方向の所定高さに昇降させる
ことができる。
２１,２１は、シリンダ６ａ,６ｂを駆動することによっ
て、枠板１ａに対して、上下方向の所定高さに昇降させ
ることができる。また、上記ベルヌーイ吸着器４は、シ
リンダ７を駆動することによって、上記支持具５と一緒
に、枠板１ａに対して上下方向の所定高さに昇降させる
ことができる。
【００３４】さらに、上記取り出しハンド１の枠板１ａ
は、図３に示す昇降機構２５によって、上下方向の所定
高さに昇降させることができるようになっている。
は、図３に示す昇降機構２５によって、上下方向の所定
高さに昇降させることができるようになっている。
【００３５】この実施形態では、支持具５の下端の衝撃
吸収素材からなる先端部５ａは、ベルヌーイ吸着器４よ
りも、０.５〜１.０ｍｍだけ下方に位置し、後述するウ
ェハ１０がベルヌーイ吸着器４に接触した衝撃による破
損を防止するようになっている。また、ベルヌーイ吸着
器４によって引き上げられたウェハ１０を、支持具５の
下端の先端部５ａに当接させて、その姿勢を安定させ、
ベルヌーイ吸着器４に対する距離を一定に保つことによ
って、最適な吸着状態を実現するようにしている。
吸収素材からなる先端部５ａは、ベルヌーイ吸着器４よ
りも、０.５〜１.０ｍｍだけ下方に位置し、後述するウ
ェハ１０がベルヌーイ吸着器４に接触した衝撃による破
損を防止するようになっている。また、ベルヌーイ吸着
器４によって引き上げられたウェハ１０を、支持具５の
下端の先端部５ａに当接させて、その姿勢を安定させ、
ベルヌーイ吸着器４に対する距離を一定に保つことによ
って、最適な吸着状態を実現するようにしている。
【００３６】次に、上記ベルヌーイ吸着器４の動作につ
いて説明する。図７に、ベルヌーイ吸着器４が、ウェハ
１０を吸着する動作を側方から見た様子を示す。また、
図８には、上記吸着動作を上方から下方に見た様子を示
す。図７,８に示すように、ベルヌーイ吸着器４から出
た気流１４は、ウェハ１０の上面に沿って放射状に流れ
て行く。その一方で、ウェハ１０の下面には気流が実質
的に無いので、ウェハ１０の上面と下面とで圧力差(負
圧)が生じる。その結果、ウェハ１０は、ベルヌーイ吸
着器４に向かって上方へと引き上げられることになる。
なお、この吸着は、負圧による吸着であるので、吸着パ
ッド３ａ,３ｂと比較して、より広範囲で均一な吸着と
なる。
いて説明する。図７に、ベルヌーイ吸着器４が、ウェハ
１０を吸着する動作を側方から見た様子を示す。また、
図８には、上記吸着動作を上方から下方に見た様子を示
す。図７,８に示すように、ベルヌーイ吸着器４から出
た気流１４は、ウェハ１０の上面に沿って放射状に流れ
て行く。その一方で、ウェハ１０の下面には気流が実質
的に無いので、ウェハ１０の上面と下面とで圧力差(負
圧)が生じる。その結果、ウェハ１０は、ベルヌーイ吸
着器４に向かって上方へと引き上げられることになる。
なお、この吸着は、負圧による吸着であるので、吸着パ
ッド３ａ,３ｂと比較して、より広範囲で均一な吸着と
なる。
【００３７】次に、図４(Ａ)〜図４(Ｄ)を順に参照し
て、この発明の板状部材の取り出し方法の実施の形態を
説明する。
て、この発明の板状部材の取り出し方法の実施の形態を
説明する。
【００３８】まず、図３に示す昇降機構２５を駆動し
て、図４(Ａ)に示すように、第１の基台１２の上に複数
枚積層して置かれたウェハの最上層のウェハ１０の上方
から、ウェハ取り出しハンド１の枠板１ａを下降させ
る。
て、図４(Ａ)に示すように、第１の基台１２の上に複数
枚積層して置かれたウェハの最上層のウェハ１０の上方
から、ウェハ取り出しハンド１の枠板１ａを下降させ
る。
【００３９】この下降時において、吸着パッド３ａ,３
ｂを枠板１ａに対して上下動作させるシリンダ６ａ,６
ｂのピストン１８は上昇させており、枠板１ａに対して
ベルヌーイ吸着器４を上下動作させるシリンダ７は下降
させている。このとき、図４(Ａ)に示すように、固定足
２ａ,２ｂおよび吸着パッド３ａ,３ｂの下端と支持具５
の下端は同じ高さになっている。
ｂを枠板１ａに対して上下動作させるシリンダ６ａ,６
ｂのピストン１８は上昇させており、枠板１ａに対して
ベルヌーイ吸着器４を上下動作させるシリンダ７は下降
させている。このとき、図４(Ａ)に示すように、固定足
２ａ,２ｂおよび吸着パッド３ａ,３ｂの下端と支持具５
の下端は同じ高さになっている。
【００４０】したがって、上記ハンド１の枠板１ａを下
降させることによって、吸着パッド３ａ,３ｂの下端と
固定足５の下端および固定足２ａ,２ｂは、１枚目のウ
ェハ１０に同時に接触する。
降させることによって、吸着パッド３ａ,３ｂの下端と
固定足５の下端および固定足２ａ,２ｂは、１枚目のウ
ェハ１０に同時に接触する。
【００４１】次に、図４(Ｂ)に示すように、シリンダ６
ａ,６ｂのピストン１８を下降させて、吸着パッド３ａ,
３ｂをウェハ１０に向かって下降させる。このとき、シ
リンダ７のピストン７ａも下降させた状態を維持してお
り、ベルヌーイ吸着器４は下降させた状態のままであ
る。
ａ,６ｂのピストン１８を下降させて、吸着パッド３ａ,
３ｂをウェハ１０に向かって下降させる。このとき、シ
リンダ７のピストン７ａも下降させた状態を維持してお
り、ベルヌーイ吸着器４は下降させた状態のままであ
る。
【００４２】そして、吸着パッド３ａ,３ｂは、図示し
ない真空ポンプの駆動による吸引によって、ウェハ１０
の表面に吸着する。また、ベルヌーイ吸着器４も上述し
たように、気流を吹き出すことで、ウェハ１０に吸着す
る。この吸着パッド３ａ,３ｂとベルヌーイ吸着器４に
よる吸着でもって、ハンド１はウェハ１０を保持する。
ない真空ポンプの駆動による吸引によって、ウェハ１０
の表面に吸着する。また、ベルヌーイ吸着器４も上述し
たように、気流を吹き出すことで、ウェハ１０に吸着す
る。この吸着パッド３ａ,３ｂとベルヌーイ吸着器４に
よる吸着でもって、ハンド１はウェハ１０を保持する。
【００４３】この保持工程においても、吸着パッド３
ａ,３ｂの下端と固定足５の下端を常に同じ高さに保
つ。これにより、ウェハ１０の保持時にウェハ１０の変
形は発生しない。したがって、ウェハ１０には応力がほ
とんどかからず、ウェハ１０の割れを防止できる。
ａ,３ｂの下端と固定足５の下端を常に同じ高さに保
つ。これにより、ウェハ１０の保持時にウェハ１０の変
形は発生しない。したがって、ウェハ１０には応力がほ
とんどかからず、ウェハ１０の割れを防止できる。
【００４４】このウェハ１０の保持完了後、取り出しハ
ンド１の枠板１ａを上記下降位置に維持したまま、図４
(Ｃ)に示すように、シリンダ６ａ,６ｂ,７のピストン１
８,７ａを上昇動作させて、吸着パッド３ａ,３ｂおよび
ベルヌーイ吸着器４を引き上げる。このとき、ハンド１
の枠板１ａに固定された１対の固定足２ａ,２ｂは、図
６に示す上記ウェハ１０の２箇所の対角位置端部１０
ａ,１０ｂを上方から下方に押して、この対角位置端部
１０ａ,１０ｂを上記基台１２に当接させている。また
ここで、図４(Ｃ)に示すように、上記シリンダ６ａ,６
ｂのピストン１８の上昇寸法Ｄ１は、上記シリンダ７の
ピストン７ａ,ｂの上昇寸法Ｄ２よりも大きくしてい
る。
ンド１の枠板１ａを上記下降位置に維持したまま、図４
(Ｃ)に示すように、シリンダ６ａ,６ｂ,７のピストン１
８,７ａを上昇動作させて、吸着パッド３ａ,３ｂおよび
ベルヌーイ吸着器４を引き上げる。このとき、ハンド１
の枠板１ａに固定された１対の固定足２ａ,２ｂは、図
６に示す上記ウェハ１０の２箇所の対角位置端部１０
ａ,１０ｂを上方から下方に押して、この対角位置端部
１０ａ,１０ｂを上記基台１２に当接させている。また
ここで、図４(Ｃ)に示すように、上記シリンダ６ａ,６
ｂのピストン１８の上昇寸法Ｄ１は、上記シリンダ７の
ピストン７ａ,ｂの上昇寸法Ｄ２よりも大きくしてい
る。
【００４５】この図４(Ｃ)に示す状態において、図６に
示すように、１枚目のウェハ１０の１対の対角位置端部
１０ｃ,１０ｄは、１対の対角位置端部１０ａ,１０ｂに
対して、ピストン１８の上昇寸法Ｄ１だけ変位してい
る。また、１枚目のウェハ１０の中央部１０ｅは、１対
の対角位置端部１０ａ,１０ｂに対して、ピストン７ａ
の上昇寸法Ｄ２だけ変位している。したがって、図６に
おいて、ウェハ１０の１対の対角位置端部１０ｃ,１０
ｄは、中央部１０ｅ対して、(Ｄ１−Ｄ２)だけ変位して
いる。
示すように、１枚目のウェハ１０の１対の対角位置端部
１０ｃ,１０ｄは、１対の対角位置端部１０ａ,１０ｂに
対して、ピストン１８の上昇寸法Ｄ１だけ変位してい
る。また、１枚目のウェハ１０の中央部１０ｅは、１対
の対角位置端部１０ａ,１０ｂに対して、ピストン７ａ
の上昇寸法Ｄ２だけ変位している。したがって、図６に
おいて、ウェハ１０の１対の対角位置端部１０ｃ,１０
ｄは、中央部１０ｅ対して、(Ｄ１−Ｄ２)だけ変位して
いる。
【００４６】図４(Ｃ)と図６に示すように、変形して中
央部１０ｅが引き上げられたウェハ１０は、ベルヌーイ
吸着器４の周囲４箇所に取り付けられ、先端が衝撃吸収
素材からなる支持具５の下面に、破損すること無く当接
する、これにより、ウェハ１０の中央部１０ｅは、ベル
ヌーイ吸着器４に対して、上記した所定の間隔(０.５〜
１.０ｍｍ)を隔てて、最適な吸着状態が維持される。
央部１０ｅが引き上げられたウェハ１０は、ベルヌーイ
吸着器４の周囲４箇所に取り付けられ、先端が衝撃吸収
素材からなる支持具５の下面に、破損すること無く当接
する、これにより、ウェハ１０の中央部１０ｅは、ベル
ヌーイ吸着器４に対して、上記した所定の間隔(０.５〜
１.０ｍｍ)を隔てて、最適な吸着状態が維持される。
【００４７】一方、ウェハ１０の下層の２枚目のウェハ
１１は十分な変形を行なうことができないので、１枚目
のウェハ１０の１対の対角位置端部１０ｃ,１０ｄ,中央
部１０ｅと２枚目のウェハ１１との間に空気流入路１４
が形成される。その結果、１枚目のウェハ１０を、２枚
目のウェハ１１から容易に分離できるようになる。
１１は十分な変形を行なうことができないので、１枚目
のウェハ１０の１対の対角位置端部１０ｃ,１０ｄ,中央
部１０ｅと２枚目のウェハ１１との間に空気流入路１４
が形成される。その結果、１枚目のウェハ１０を、２枚
目のウェハ１１から容易に分離できるようになる。
【００４８】この実施形態のように、この図４(Ｃ)に示
す引き上げ途中段階においても、各シリンダ６ａ,６ｂ,
７のピストン１８,７ａの引き上げ量Ｄ１,Ｄ２を調整す
ることで、ウェハ１０に生じる応力を最小となるように
して、引き上げ時のウェハ１０の割れを低減することが
できる。
す引き上げ途中段階においても、各シリンダ６ａ,６ｂ,
７のピストン１８,７ａの引き上げ量Ｄ１,Ｄ２を調整す
ることで、ウェハ１０に生じる応力を最小となるように
して、引き上げ時のウェハ１０の割れを低減することが
できる。
【００４９】さらに、図４(Ｃ)に示す引き上げ途中段階
において、ウェハ１０の中央部１０ｅを支持具５の下面
に当てて、中央部１０ｅの引き上げ量Ｄ１を一定にする
ことで、ウェハ１０の種類に関わらず、大きさ一定の空
気流入路１４を形成でき、安定したウェハ分離を行なう
ことができる。
において、ウェハ１０の中央部１０ｅを支持具５の下面
に当てて、中央部１０ｅの引き上げ量Ｄ１を一定にする
ことで、ウェハ１０の種類に関わらず、大きさ一定の空
気流入路１４を形成でき、安定したウェハ分離を行なう
ことができる。
【００５０】図４(Ｃ)に示す引き上げ途中段階におい
て、１枚目のウェハ１０と２枚目のウェハ１１との間
に、十分な大きさの空気流入路１４を形成した後に、図
４(Ｄ)に示すように、取り出しハンド１の枠板１ａを上
昇させることで、１枚目のウェハ１０のみを下層のウェ
ハ１１から分離し、取り出す。
て、１枚目のウェハ１０と２枚目のウェハ１１との間
に、十分な大きさの空気流入路１４を形成した後に、図
４(Ｄ)に示すように、取り出しハンド１の枠板１ａを上
昇させることで、１枚目のウェハ１０のみを下層のウェ
ハ１１から分離し、取り出す。
【００５１】この分離を行なった後に、シリンダ６ａ,
６ｂ,７のピストン１８,７ａを下降動作させて、固定足
２ａ,２ｂおよび吸着パッド３ａ,３ｂの下端と支持具５
の下端を同じ高さにする。その結果、図４(Ｄ)に示すよ
うに、ウェハ１０は平坦となり、上記変形が無くなるの
で、ウェハ１０には応力がほとんどかからなくなる。し
たがって、ウェハ１０の割れをさらに低減できる。
６ｂ,７のピストン１８,７ａを下降動作させて、固定足
２ａ,２ｂおよび吸着パッド３ａ,３ｂの下端と支持具５
の下端を同じ高さにする。その結果、図４(Ｄ)に示すよ
うに、ウェハ１０は平坦となり、上記変形が無くなるの
で、ウェハ１０には応力がほとんどかからなくなる。し
たがって、ウェハ１０の割れをさらに低減できる。
【００５２】次に、図５(Ａ),図５(Ｂ)を順に参照し
て、図４(Ｄ)に示すように分離したウェハ１０を、第２
の基台１３上に置く工程を説明する。
て、図４(Ｄ)に示すように分離したウェハ１０を、第２
の基台１３上に置く工程を説明する。
【００５３】図４(Ｄ)に示した状態から、ハンド１を第
２の基台１３の上方に移動させる。
２の基台１３の上方に移動させる。
【００５４】次に、シリンダ６ａ,６ｂ,７のピストン１
８,７ａを下降させて、吸着パッド３ａ,３ｂとベルヌー
イ吸着器４,先端が衝撃吸収素材からなる支持具５を同
じ高さにする。この状態を保ったまま、昇降機構２５を
駆動して、ハンド１の枠板１ａを下降させ、図５(Ａ)に
示すように、ウェハ１０を第２の台１３に十分に接近さ
せた後に、吸着パッド３ａ,３ｂの下端と支持具５の下
端を同じ高さに保ったまま、吸着パッド３ａ,３ｂとベ
ルヌーイ吸着器４からウェハ１０を切り離す。
８,７ａを下降させて、吸着パッド３ａ,３ｂとベルヌー
イ吸着器４,先端が衝撃吸収素材からなる支持具５を同
じ高さにする。この状態を保ったまま、昇降機構２５を
駆動して、ハンド１の枠板１ａを下降させ、図５(Ａ)に
示すように、ウェハ１０を第２の台１３に十分に接近さ
せた後に、吸着パッド３ａ,３ｂの下端と支持具５の下
端を同じ高さに保ったまま、吸着パッド３ａ,３ｂとベ
ルヌーイ吸着器４からウェハ１０を切り離す。
【００５５】この切り離し時において、吸着パッド３
ａ,３ｂの下端と支持具５の下端が同じ高さに保たれて
いるので、ウェハ１０の変形は発生しない。したがっ
て、ウェハ１０には応力がほとんどかからず、ウェハ１
０の割れを低減できる。
ａ,３ｂの下端と支持具５の下端が同じ高さに保たれて
いるので、ウェハ１０の変形は発生しない。したがっ
て、ウェハ１０には応力がほとんどかからず、ウェハ１
０の割れを低減できる。
【００５６】上記ウェハ１０の切り離しが完了した後、
図５(Ｂ)に示すように、吸着パッド３ａ,３ｂを上下動
させるシリンダ６ａ,６ｂのピストン１８を収縮させ、
上記昇降機構２５を駆動して、ハンド１の枠板１ａを上
昇させ、ハンド１の全体を上昇させることで、ウェハ１
０の取り出しを完了する。
図５(Ｂ)に示すように、吸着パッド３ａ,３ｂを上下動
させるシリンダ６ａ,６ｂのピストン１８を収縮させ、
上記昇降機構２５を駆動して、ハンド１の枠板１ａを上
昇させ、ハンド１の全体を上昇させることで、ウェハ１
０の取り出しを完了する。
【００５７】上記実施形態によれば、薄くスライス加工
された略四角形状のウェハ１１,１０が積み重ねられた
状態から、最上部の１枚のウェハ１０を無理な変形させ
ずに取出して、別の場所へ変形させない状態を維持した
まま移載し、所定の位置に置くことができる。また、こ
の動作に於いて、ウェハ１０の分離を目的とした変形や
ウェハ１０に取り出しハンド１が接触したときの衝撃，
吸着の入り切りによるウェハ１０の変形やその反動によ
る構造部品との接触による破損を防止できる。
された略四角形状のウェハ１１,１０が積み重ねられた
状態から、最上部の１枚のウェハ１０を無理な変形させ
ずに取出して、別の場所へ変形させない状態を維持した
まま移載し、所定の位置に置くことができる。また、こ
の動作に於いて、ウェハ１０の分離を目的とした変形や
ウェハ１０に取り出しハンド１が接触したときの衝撃，
吸着の入り切りによるウェハ１０の変形やその反動によ
る構造部品との接触による破損を防止できる。
【００５８】尚、上記実施形態では、板状部材の一例と
して、太陽電池用多結晶ウェハを採用したが、この発明
の取り出しハンドおよび取り出し方法は、ウェハに限ら
ず、積層される薄板状の部材の取り出しに適用できる。
して、太陽電池用多結晶ウェハを採用したが、この発明
の取り出しハンドおよび取り出し方法は、ウェハに限ら
ず、積層される薄板状の部材の取り出しに適用できる。
【００５９】
【発明の効果】以上より明らかなように、この発明の板
状部材取り出しハンドでは、第１,第２の位置調整手段
によって、第１の吸着手段の高さレベルとベルヌーイ吸
着器の高さレベルとを、押え手段の高さレベルに合わせ
た状態で、第１の吸着手段とベルヌーイ吸着器とでもっ
て、板状部材を変形させることなく、吸着できる。ま
た、第１の吸着手段の高さレベルおよびベルヌーイ吸着
器の高さレベルを押え手段の高さレベルよりも高くする
ことで、板状部材の２箇所の対角位置端部を下層の板状
部材から離間させ、かつ、板状部材の中央部を下層の板
状部材から離間させて、最上層の板状部材をその下層の
板状部材から分離できる。
状部材取り出しハンドでは、第１,第２の位置調整手段
によって、第１の吸着手段の高さレベルとベルヌーイ吸
着器の高さレベルとを、押え手段の高さレベルに合わせ
た状態で、第１の吸着手段とベルヌーイ吸着器とでもっ
て、板状部材を変形させることなく、吸着できる。ま
た、第１の吸着手段の高さレベルおよびベルヌーイ吸着
器の高さレベルを押え手段の高さレベルよりも高くする
ことで、板状部材の２箇所の対角位置端部を下層の板状
部材から離間させ、かつ、板状部材の中央部を下層の板
状部材から離間させて、最上層の板状部材をその下層の
板状部材から分離できる。
【００６０】また、この分離において、上記第１の吸着
手段の高さレベルを上記ベルヌーイ吸着器の高さレベル
よりも所定寸法だけ高く調整することによって、板状部
材の中央部の高さレベルを、押え手段で押えられている
対角位置端部の高さレベルと第１吸着手段で吸着してい
る対角位置端部の高さレベルとの中間のレベルとするこ
とができる。これにより、板状部材の中央部への変形応
力の集中を抑制して、分離時の板状部材の破損を防ぐこ
とができる。
手段の高さレベルを上記ベルヌーイ吸着器の高さレベル
よりも所定寸法だけ高く調整することによって、板状部
材の中央部の高さレベルを、押え手段で押えられている
対角位置端部の高さレベルと第１吸着手段で吸着してい
る対角位置端部の高さレベルとの中間のレベルとするこ
とができる。これにより、板状部材の中央部への変形応
力の集中を抑制して、分離時の板状部材の破損を防ぐこ
とができる。
【００６１】また、一実施形態の板状部材の取り出し方
法では、第１の吸着工程と第１の保持工程によって、第
１の吸着手段で板状部材の２箇所の対角位置端部を上方
から吸着し、第１の吸着手段を昇降させて、板状部材を
保持する。そして、第２の吸着工程と第２の保持工程に
よって、ベルヌーイ吸着器を有する第２の吸着手段で板
状部材の中央部を上方から吸着し、第２の吸着手段を昇
降させて、板状部材を保持する。このように、この実施
形態によれば、板状部材の２箇所の対角位置端部と中央
部とを、２段階の吸着工程と保持工程でもって段階的に
保持すると共に、２箇所の対角位置端部を保持する高さ
レベルと中央部を保持する高さレベルとを別個に独立に
設定可能となる。これにより、板状部材を吸着する際に
板状部材に加える衝撃と変形量を最小限に抑えつつ、所
望の変形量を板状部材に加えて、積層された複数の板状
部材のうちの最上層の板状部材を分離させることができ
る。
法では、第１の吸着工程と第１の保持工程によって、第
１の吸着手段で板状部材の２箇所の対角位置端部を上方
から吸着し、第１の吸着手段を昇降させて、板状部材を
保持する。そして、第２の吸着工程と第２の保持工程に
よって、ベルヌーイ吸着器を有する第２の吸着手段で板
状部材の中央部を上方から吸着し、第２の吸着手段を昇
降させて、板状部材を保持する。このように、この実施
形態によれば、板状部材の２箇所の対角位置端部と中央
部とを、２段階の吸着工程と保持工程でもって段階的に
保持すると共に、２箇所の対角位置端部を保持する高さ
レベルと中央部を保持する高さレベルとを別個に独立に
設定可能となる。これにより、板状部材を吸着する際に
板状部材に加える衝撃と変形量を最小限に抑えつつ、所
望の変形量を板状部材に加えて、積層された複数の板状
部材のうちの最上層の板状部材を分離させることができ
る。
【００６２】また、一実施形態の板状部材の取り出し方
法では、板状部材を保持する際に、第２の吸着手段が板
状部材を保持する高さを、板状部材の２箇所の対角位置
端部を押えている高さと同じ高さとする。これにより、
保持状態においては、板状部材の中央部と板状部材の２
箇所の対角位置端部の高さレベルを同レベルにできるの
で、板状部材の変形量を最小限に抑えて、板状部材の破
損防止を図れる。
法では、板状部材を保持する際に、第２の吸着手段が板
状部材を保持する高さを、板状部材の２箇所の対角位置
端部を押えている高さと同じ高さとする。これにより、
保持状態においては、板状部材の中央部と板状部材の２
箇所の対角位置端部の高さレベルを同レベルにできるの
で、板状部材の変形量を最小限に抑えて、板状部材の破
損防止を図れる。
【００６３】また、一実施形態の板状部材の取り出し方
法によれば、板状部材の種類に関わらず、取り出す板状
部材とその下層の板状部材との間に大きさ一定の空気流
入路を形成でき、安定した分離を行うことができる。
法によれば、板状部材の種類に関わらず、取り出す板状
部材とその下層の板状部材との間に大きさ一定の空気流
入路を形成でき、安定した分離を行うことができる。
【００６４】また、一実施形態の板状部材の取り出し方
法によれば、板状部材の分離の際に、第１の吸着手段が
板状部材の対角２箇所を保持する高さを、もう一方の２
箇所の対角位置端部を押えている高さと同じ高さとする
から、板状部材の変形が少ない状態で板状部材を分離で
きる。したがって、この分離時に板状部材に加わる衝撃
を小さくすることができる。
法によれば、板状部材の分離の際に、第１の吸着手段が
板状部材の対角２箇所を保持する高さを、もう一方の２
箇所の対角位置端部を押えている高さと同じ高さとする
から、板状部材の変形が少ない状態で板状部材を分離で
きる。したがって、この分離時に板状部材に加わる衝撃
を小さくすることができる。
【００６５】また、一実施形態の板状部材の取り出し方
法によれば、板状部材の変形が少ない状態で板状部材を
分離できる。したがって、この分離時に板状部材に加わ
る衝撃を小さくすることができる。
法によれば、板状部材の変形が少ない状態で板状部材を
分離できる。したがって、この分離時に板状部材に加わ
る衝撃を小さくすることができる。
【図１】 この発明の実施形態としての多結晶ウェハ取
り出しハンドの平面図である。
り出しハンドの平面図である。
【図２】 上記取り出しハンドの側面図である。
【図３】 上記取り出しハンドのもう１つの側面図であ
る。
る。
【図４】 図４(Ａ)〜図４(Ｄ)は上記取り出しハンドに
よる多結晶ウェハ取り出し方法を順に示す図である。
よる多結晶ウェハ取り出し方法を順に示す図である。
【図５】 図５(Ａ),図５(Ｂ)は上記取り出しハンドに
よる多結晶ウェハ切り離し工程を順に示す図である。
よる多結晶ウェハ切り離し工程を順に示す図である。
【図６】 図４(Ｃ)に対応する斜視図である。
【図７】 ベルヌーイ吸着器の動作を説明する模式側面
図である。
図である。
【図８】 ベルヌーイ吸着器の動作を説明する模式平面
図である。
図である。
【図９】 図９(Ａ)は従来のウェハ取り出しハンドの平
面図であり、図９(Ｂ)は上記取り出しハンドの側面図で
あり、図９(Ｃ)は上記取り出しハンドのもう１つの側面
図である。
面図であり、図９(Ｂ)は上記取り出しハンドの側面図で
あり、図９(Ｃ)は上記取り出しハンドのもう１つの側面
図である。
【図１０】 図１０(Ａ)〜図１０(Ｄ)は、上記従来の取
り出しハンドによるウェハ取り出し工程を順に示す図で
ある。
り出しハンドによるウェハ取り出し工程を順に示す図で
ある。
【図１１】 上記従来の多結晶ウェハ取り出し工程にお
いて、ウェハに発生する応力分布を示す等圧力線図であ
る。
いて、ウェハに発生する応力分布を示す等圧力線図であ
る。
１…板状部材取り出しハンド、１ａ…枠板、２ａ,２ｂ
…固定足、３ａ,３ｂ…吸着パッド、４…ベルヌーイ吸
着器、４ａ…下面、５…支持具、５ａ…先端部、６ａ,
６ｂ…シリンダ、７…シリンダ、１０…１枚目のウェ
ハ、１１…２枚目のウェハ、１２…第１の台、１３…第
２の台、１４…気流。
…固定足、３ａ,３ｂ…吸着パッド、４…ベルヌーイ吸
着器、４ａ…下面、５…支持具、５ａ…先端部、６ａ,
６ｂ…シリンダ、７…シリンダ、１０…１枚目のウェ
ハ、１１…２枚目のウェハ、１２…第１の台、１３…第
２の台、１４…気流。
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フロントページの続き
(72)発明者 岡田 英生
大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ
ャープ株式会社内
Ｆターム(参考） 3C007 AS14 DS02 FS01 FS04 FU00
HS14 NS13
3F343 FA13 FB19 FC01 FC17 GA01
GB01 GC04 GD04 JB02 JB07
KB05 LC08 LD07 MC13
5F031 CA02 CA04 FA01 FA02 FA07
FA11 GA24 GA25 GA28 GA41
PA20
Claims (6)
- 【請求項１】 略四角形状の板状部材の２箇所の対角位
置端部を上方から押える押え手段と、 上記板状部材の残りの２箇所の対角位置端部を上方から
吸着する吸着パッドを有する第１の吸着手段と、 上記第１の吸着手段の位置を上下に調整する第１の位置
調整手段と、 上記板状部材の中央部を上方から吸着するベルヌーイ吸
着器を有する第２の吸着手段と、 上記第２の吸着手段の位置を上下に調整する第２の位置
調整手段とを備えたことを特徴とする板状部材取り出し
ハンド。 - 【請求項２】 略四角形状の板状部材の２箇所の対角位
置端部を上方から押える押え工程と、 吸着パッドを有する第１の吸着手段で、上記板状部材の
残りの２箇所の対角位置端部を上方から吸着する第１の
吸着工程と、 上記第１の吸着手段を昇降させて、上記板状部材を保持
する第１の保持工程と、 ベルヌーイ吸着器を有する第２の吸着手段で、上記板状
部材の中央部を上方から吸着する第２の吸着工程と、 上記第２の吸着手段を昇降させて、上記板状部材を保持
する第２の保持工程と、 上記第１の吸着手段を上記板状部材から分離する第１の
分離工程と、 上記第２の吸着手段を上記板状部材から分離する第２の
分離工程とを備えたことを特徴とする板状部材の取り出
し方法。 - 【請求項３】 請求項２に記載の板状部材の取り出し方
法において、 上記板状部材を保持する際に、 上記第２の吸着手段が上記板状部材を保持する高さを、
上記板状部材の２箇所の対角位置端部を押えている高さ
と同じ高さとすることを特徴とする板状部材の取り出し
方法。 - 【請求項４】 請求項２に記載の板状部材の取り出し方
法において、 上記板状部材の取り出しの際に、 上記第２の吸着手段が上記板状部材の中央部を基準面か
ら引き上げている高さを、取り出す板状部材の種類に関
わらず一定とすることを特徴とする板状部材の取り出し
方法。 - 【請求項５】 請求項２に記載の板状部材の取り出し方
法において、 上記板状部材の分離の際に、 上記第１の吸着手段が上記板状部材の対角２箇所を保持
する高さを、もう一方の２箇所の対角位置端部を押えて
いる高さと同じ高さとすることを特徴とする板状部材の
取り出し方法。 - 【請求項６】 請求項２に記載の板状部材の取り出し方
法において、 上記板状部材の切り離しの際に、 上記第２の吸着手段が上記板状部材の中央部を保持する
高さを、上記板状部材の２箇所の対角位置端部を押えて
いる高さと同じ高さとすることを特徴とする板状部材の
取り出し方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001332312A JP2003128279A (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | 板状部材取り出しハンドおよび板状部材の取り出し方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001332312A JP2003128279A (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | 板状部材取り出しハンドおよび板状部材の取り出し方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003128279A true JP2003128279A (ja) | 2003-05-08 |
Family
ID=19147746
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001332312A Pending JP2003128279A (ja) | 2001-10-30 | 2001-10-30 | 板状部材取り出しハンドおよび板状部材の取り出し方法 |
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| Country | Link |
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| JP (1) | JP2003128279A (ja) |
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- 2001-10-30 JP JP2001332312A patent/JP2003128279A/ja active Pending
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