CN106654065B - 一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法，其中所述剥离设备具有工作平台，所述工作平台包括：基板放置区，其用于放置所述柔性屏基板；基板夹持片，其设置在所述基板放置区的上下两侧的边缘处，用于将所述柔性屏基板固定在所述基板放置区内；以及平台旋转器，其设置在所述基板放置区的两侧，用于翻转所述基板放置区。本发明利用特殊设计的翻转平台结构，实现在激光剥离工序时在同一平台接著进行机械剥离，简化工序与基板转移工时，可以提升柔性显示屏的生产效率，降低制造成本。

Description

一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法

技术领域

本发明涉及柔性显示屏的制造领域，特别涉及一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法。

背景技术

随着柔性显示屏制造技术日趋发展成熟，已经可以利用精密涂布制程将耐高温柔性薄膜制作在玻璃载板上，并进行阵列(Array)与有机发光层(OLED)制程，最后于模组工程(Module)再以激光剥离(Laser lift off)与机械剥离两道制作工程将柔性屏取下。

然而，目前激光剥离和机械剥离需要在不同的工作平台上进行，因此需要转移柔性屏基板，造成工序复杂，具有生产效率低下，制造成本高等技术缺陷。

鉴于此，本发明的发明人提供一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法，该剥离设备能够实现使得柔性屏基板在一个工作平台上进行激光剥离和机械剥离，能够有效提升柔性显示屏的生产效率，降低制造成本。

发明内容

本发明的目的是提供一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法，该剥离设备能够实现使得柔性屏基板在一个工作平台上进行激光剥离和机械剥离，能够有效提升柔性显示屏的生产效率，降低制造成本。

为达上述目的，本发明提供一种用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述剥离设备具有工作平台，所述工作平台包括：

基板放置区，其用于放置所述柔性屏基板；

基板夹持片，其设置在所述基板放置区的上下两侧的边缘处，用于将所述柔性屏基板固定在所述基板放置区内或者将柔性屏基板释放；以及

平台旋转器，其设置在所述基板放置区的两侧，用于翻转所述基板放置区。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述基板夹持片的两端垂直向外延伸出铰接部，所述铰接部能够与所述基板放置区的边缘铰接，使得基板夹持片能够相对于所述基板放置区旋转。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述基板夹持片内设置有真空腔室，所述基板夹持片的表面设置有多个吸气孔，所述吸气孔与所述真空腔室连通，所述基板夹持片能够真空吸附所述柔性屏基板。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述基板夹持片在铰接部处设置有限位结构，当所述基板夹持片旋转至与放置在所述基板放置区内的柔性屏基板贴合时，所述限位结构能够使得基板夹持片保持住与柔性屏基板保持平行。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述基板夹持片对称地设置在所述基板放置区的上下两侧的边缘处。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，所述平台旋转器由电机控制。

所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其中，在所述工作平台的上方设置有激光源。

本发明还提供一种利用上述的用于柔性屏基板的剥离设备实施的柔性屏的制造方法，所述柔性屏基板包括：玻璃载板、柔性基板、阵列薄膜层、有机发光层以及薄膜封装层，所述柔性基板、阵列薄膜层和有机发光层依次涂覆在所述玻璃载板上，并且所述薄膜封装层包覆在所述阵列薄膜层和有机发光层的上表面和四周；其中，所述制造方法包括以下步骤：

步骤一：将基板放置区上侧的基板夹持片保持竖直状态，基板放置区下侧的基板夹持片保持水平状态，然后将柔性屏基板放置于工作平台上的基板放置区内，此时柔性屏基板的玻璃载板朝上放置并面向位于工作平台上方的激光源；

步骤二：利用激光源对柔性屏基板进行激光扫描；

步骤三：将基板放置区上侧的基板夹持片向下旋转；

步骤四：将基板放置区上侧的基板夹持片向下旋转至与柔性屏基板的玻璃载板一侧贴合，然后180度翻转工作平台；

步骤五：释放此时位于基板放置区上侧的基板夹持片，此时柔性屏基板的薄膜封装层面向激光源；

步骤六：进行机械剥离工程，将柔性屏与玻璃载板分离，从而得到柔性屏。

所述的柔性屏的制造方法，其中，所述激光源为准分子激光。

所述的柔性屏的制造方法，其中，所述激光源为固态激光。

本发明的有益效果是：其利用特殊设计的翻转平台结构，实现在激光剥离(Laserlift off)工序时在同一平台接著进行机械剥离，简化工序与基板转移工时，可以提升柔性显示屏的生产效率，降低制造成本。

附图说明

在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：

图1是柔性屏基板的结构示意图；

图2是根据本发明的用于柔性屏基板的剥离设备的工作平台的俯视图；

图3是根据本发明的用于柔性屏基板的剥离设备的工作平台的侧视图；

图4是根据本发明的用于柔性屏基板的剥离设备的夹持片的立体图；

图5a是根据本发明的柔性屏的制造方法的步骤一的示意图；

图5b是根据本发明的柔性屏的制造方法的步骤二的示意图；

图5c是根据本发明的柔性屏的制造方法的步骤三的示意图；

图5d是根据本发明的柔性屏的制造方法的步骤四的示意图；

图5e是根据本发明的柔性屏的制造方法的步骤五的示意图；

图5f是根据本发明的柔性屏的制造方法的步骤六的示意图。

在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明作进一步说明。

首先，本发明提供一种用于柔性屏基板的剥离设备，如图1所示，所述柔性屏基板200主要包括：玻璃载板201、柔性基板202、阵列薄膜层203、有机发光层(OLED)204以及薄膜封装层205。其中，所述柔性基板202、阵列薄膜层203和有机发光层204依次涂覆在所述玻璃载板201上，并且所述薄膜封装层205包覆在所述阵列薄膜层203和有机发光层204的上表面和四周。

再如图2和图3所示，所述用于柔性屏基板的剥离设备具有工作平台100，所述工作平台100主要包括：基板放置区101、基板夹持片102以及平台旋转器103，所述基板放置区101由图2和图3中的虚线框区域表示，柔性屏基板200即放置在所述基板放置区101中。

如图4所示，所述基板夹持片102大致呈长条形，所述基板夹持片102的本体内设置有真空腔室102a，所述基板夹持片102的本体表面设置有多个吸气孔102b，所述吸气孔102b与所述真空腔室102a连通，因此所述基板夹持片102依靠所述真空腔室102a和吸气孔102b而具有真空吸附功能。此外，所述基板夹持片102的本体的两端还垂直向外延伸出铰接部102c，所述铰接部102c能够与所述基板放置区101的边缘铰接，从而使得基板夹持片102能够相对于所述基板放置区101旋转。当所述基板夹持片102旋转至与放置在所述基板放置区101内的柔性屏基板200贴合时，所述基板夹持片102能够吸附住柔性屏基板200；当所述基板夹持片102旋转至与放置在所述基板放置区101内的柔性屏基板200垂直时，所述基板夹持片102释放柔性屏基板200。

需要说明的是，所述基板夹持片102对称地设置在基板放置区101的上下两侧的边缘处，因此基板放置区101的任意一侧的基板夹持片102均能够实现对柔性屏基板200的吸附或释放。

所述基板夹持片102在铰接部102c处还可以设置有限位结构(图中未示出)，当所述基板夹持片102旋转至与放置在所述基板放置区101内的柔性屏基板200贴合时，所述限位结构能够使得基板夹持片102保持住与柔性屏基板200保持平行，也就是说，除了基板夹持片102对柔性屏基板200的吸附力之外，还具有机械力对柔性屏基板200进行限位，这样一来，当工作平台100翻转180度之后，位于基板放置区101下方的基板夹持片102不致于因柔性屏基板200的重力作用而释放柔性屏基板200，造成柔性屏基板200的意外损毁。

所述平台旋转器103设置在所述基板放置区101的两侧，用于翻转所述基板放置区101。所述平台旋转器103可以由电机控制，从而能够精确地控制平台旋转器103旋转的角度。

所述工作平台100的上方设置有激光源(图中未示出)，所述激光源发出激光300，用于对对柔性屏基板200进行激光扫描。

本发明所提供的一种用于柔性屏基板的剥离设备的工作原理是：首先，将基板放置区101上侧的基板夹持片102保持竖直状态，基板放置区101下侧的基板夹持片102保持水平状态，然后将柔性屏基板200放置于工作平台100上的基板放置区101内，此时柔性屏基板200的玻璃载板201朝上放置，其面向激光源；利用激光源对柔性屏基板200进行激光扫描；将基板放置区101上侧的基板夹持片102向下旋转；将基板放置区101上侧的基板夹持片102向下旋转至与柔性屏基板200的上表面(玻璃载板201一侧)贴合，从而实现对柔性屏基板200的正反面固定夹持；而后180度翻转工作平台100；释放此时位于基板放置区101上侧的基板夹持片102，此时柔性屏基板200的薄膜封装层205面向激光源；进行机械剥离工程，将柔性屏(包括柔性基板202、阵列薄膜层203、有机发光层204以及薄膜封装层205)与玻璃载板201分离，从而得到柔性屏。

本发明还提供一种柔性屏的制造方法，其主要包括以下步骤：

步骤一：请见图5a，将基板放置区101上侧的基板夹持片102保持竖直状态，基板放置区101下侧的基板夹持片102保持水平状态，然后将柔性屏基板200放置于工作平台100上的基板放置区101内，此时柔性屏基板200的玻璃载板201朝上放置，其面向激光源；

步骤二：请见图5b，利用激光源对柔性屏基板200进行激光扫描，需要说明的是，所述激光源可以为准分子激光或固态激光；

步骤三：请见图5c，将基板放置区101上侧的基板夹持片102向下旋转；

步骤四：请见图5d，将基板放置区101上侧的基板夹持片102向下旋转至与柔性屏基板200的上表面(玻璃载板201一侧)贴合，从而实现对柔性屏基板200的正反面固定夹持；而后180度翻转工作平台100；

步骤五：请见图5e，释放此时位于基板放置区101上侧的基板夹持片102，此时柔性屏基板200的薄膜封装层205面向激光源；

步骤六：请见图5f，进行机械剥离工程，将柔性屏(包括柔性基板202、阵列薄膜层203、有机发光层204以及薄膜封装层205)与玻璃载板201分离，从而得到柔性屏。

综上所述，本发明的有益效果是：其利用特殊设计的翻转平台结构，实现在激光剥离(Laser lift off)工序时在同一平台接著进行机械剥离，简化工序与基板转移工时，可以提升柔性显示屏的生产效率，降低制造成本。

虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (10)

1.一种用于柔性屏基板的剥离设备，其特征在于，所述剥离设备具有工作平台，所述工作平台包括：

基板放置区，其用于放置所述柔性屏基板；

基板夹持片，其设置在所述基板放置区的上下两侧的边缘处，用于将所述柔性屏基板固定在所述基板放置区内或者将柔性屏基板释放；以及

平台旋转器，其设置在所述基板放置区的两侧，用于翻转所述基板放置区。

2.根据权利要求1所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其特征在于，所述基板夹持片的两端垂直向外延伸出铰接部，所述铰接部能够与所述基板放置区的边缘铰接，使得基板夹持片能够相对于所述基板放置区旋转。

3.根据权利要求2所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其特征在于，所述基板夹持片内设置有真空腔室，所述基板夹持片的表面设置有多个吸气孔，所述吸气孔与所述真空腔室连通，所述基板夹持片能够真空吸附所述柔性屏基板。

4.根据权利要求2所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其特征在于，所述基板夹持片在铰接部处设置有限位结构，当所述基板夹持片旋转至与放置在所述基板放置区内的柔性屏基板贴合时，所述限位结构能够使得基板夹持片保持住与柔性屏基板保持平行。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其特征在于，所述基板夹持片对称地设置在所述基板放置区的上下两侧的边缘处。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其特征在于，所述平台旋转器由电机控制。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的用于柔性屏基板的剥离设备，其特征在于，在所述工作平台的上方设置有激光源。

8.一种利用权利要求1至7中任一项所述的用于柔性屏基板的剥离设备实施的柔性屏的制造方法，所述柔性屏基板包括：玻璃载板、柔性基板、阵列薄膜层、有机发光层以及薄膜封装层，所述柔性基板、阵列薄膜层和有机发光层依次涂覆在所述玻璃载板上，并且所述薄膜封装层包覆在所述阵列薄膜层和有机发光层的上表面和四周；其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：

步骤一：将基板放置区上侧的基板夹持片保持竖直状态，基板放置区下侧的基板夹持片保持水平状态，然后将柔性屏基板放置于工作平台上的基板放置区内，此时柔性屏基板的玻璃载板朝上放置并面向位于工作平台上方的激光源；

步骤二：利用激光源对柔性屏基板进行激光扫描；

步骤三：将基板放置区上侧的基板夹持片向下旋转；

步骤四：将基板放置区上侧的基板夹持片向下旋转至与柔性屏基板的玻璃载板一侧贴合，然后180度翻转工作平台；

步骤五：释放此时位于基板放置区上侧的基板夹持片，此时柔性屏基板的薄膜封装层面向激光源；

步骤六：进行机械剥离工程，将柔性屏与玻璃载板分离，从而得到柔性屏。

9.根据权利要求8所述的柔性屏的制造方法，其特征在于，所述激光源为准分子激光。

10.根据权利要求8所述的柔性屏的制造方法，其特征在于，所述激光源为固态激光。