JP2002270542A - ダイのピックアップ方法及びピックアップ装置 - Google Patents

ダイのピックアップ方法及びピックアップ装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】ダイに余分な力を加えることなく、かつ容易に
接着テープからダイを剥離させることができる。 【解決手段】ピックアップするダイ１Ａに対応した接着
テープ２部分を支持するテープ剥離ステージ５と、ダイ
１Ａの周辺の接着テープ２部分を真空吸着する吸着穴６
ｂが形成された吸着ステージ６とを備え、吸着ノズル３
がダイ１Ａを真空吸着した状態で、テープ剥離ステージ
５を上昇１１させ、次にテープ剥離ステージ５をダイ１
Ａより離れる方向に水平移動１２させることにより、ダ
イ１Ａと接着テープ２間に空気層１３を形成してダイ１
Ａを接着テープ２より剥離させ、ダイ１Ａをピックアッ
プする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、接着テープに貼り
付けられたダイを吸着ノズルで前記接着テープから剥離
してピックアップするダイのピックアップ方法及びピッ
クアップ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】接着テープに貼り付けられたダイの分離
方法として、突き上げ針による方法が一般的に行われて
いる。しかし、この方法は、ダイの厚みが約１００μｍ
以下と薄い場合には、ダイが破損するという問題があっ
た。そこで、突き上げ針を用いないでダイを接着テープ
より分離させる方法が、例えば特公平７−３２１９０号
公報（以下、公知例１という）、特開２０００−１９５
８７７号公報（以下、公知例２という）として提案され
ている。
【０００３】公知例１は、吸着ノズルのダイを吸引する
ための吸着穴が開口する吸着面をダイの上面より大きく
形成し、かつ、前記吸着面に該吸着面の周縁をダイ側に
該ダイの厚さ以上に突出させた剥離用側壁部を形成させ
ている。これによって、前記吸着面と剥離用側壁部とで
ダイよりも容積が大きくかつダイ側が開口しているペレ
ット収納空間を形成している。
【０００４】そこで、ダイをピックアップする時には、
吸着ノズルを下降させて接着テープに貼り付けられたピ
ックアップすべきダイを前記ペレット収納空間内に入れ
る。次に吸着ノズルと接着テープとを該接着テープに平
行な方向に相対的に移動させ、前記剥離用側壁部でダイ
の側面を押圧してダイを接着テープ上で移動させること
によって粘着力を弱め、前記吸着面にダイを吸着してい
る。
【０００５】公知例２は、吸着ステージにダイの寸法に
対応した複数の真空吸引用の溝を形成している。そこ
で、ダイをピックアップする時には、前記溝を通して接
着テープを真空吸着することにより、接着テープが前記
溝の中に引き込まれて変形し、接着テープが剥がれて分
離したダイを吸着ノズルでピックアップする。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】公知例１は、吸着ノズ
ルの剥離用側壁部でダイの側面を押圧するので、この押
圧によってダイにダメージを与える恐れがある。またダ
イの厚さが薄い場合には、ダイを確実に押圧できなく、
ダイの上面に乗り上がって傷を付ける恐れがある。
【０００７】公知例２は、公知例１のようにダイに不要
の力を加えないので、公知例１のような問題は生じな
い。しかし、この方法は、接着テープを真下に吸引して
変形させている。ところで、一般に、接着されたダイと
接着テープを分離させる場合、接着面に垂直な方向に力
を加えて分離させると、非常に大きな力を要することは
経験則の通りである。そこで、例えばダイの厚みが５０
μｍ以下と極薄厚の場合には、接着力が強いと、吸着ス
テージの吸引力によって接着テープと共にダイが変形及
び破損する恐れがある。接着力を弱くすると、ピックア
ップ位置への接着テープの供給等の移動により、ダイが
位置ずれする恐れがある。
【０００８】本発明の課題は、ダイに余分な力を加える
ことなく、かつ容易に接着テープからダイを剥離させる
ことができるダイのピックアップ方法及びピックアップ
装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の本発明の第１の方法は、接着テープに貼り付けられた
ダイを吸着ノズルで前記接着テープから剥離してピック
アップするダイのピックアップ方法において、ピックア
ップするダイに対応した接着テープ部分を支持するテー
プ剥離ステージと、ピックアップするダイの周辺の接着
テープ部分を真空吸着する吸着穴が形成された吸着ステ
ージとを備え、前記吸着ノズルがピックアップするダイ
を真空吸着した状態で、前記テープ剥離ステージを上昇
又は前記吸着ステージを下降させ、次に前記テープ剥離
ステージをピックアップされるダイより離れる方向に水
平移動させることにより、ダイと接着テープ間に空気層
を形成してダイを接着テープより剥離させ、ダイをピッ
クアップすることを特徴とする。
【００１０】上記課題を解決するための本発明の第１の
装置は、接着テープに貼り付けられたダイを吸着ノズル
で前記接着テープから剥離してピックアップするダイの
ピックアップ装置において、ピックアップするダイに対
応した接着テープ部分を支持するテープ剥離ステージ
と、ピックアップするダイの周辺の接着テープ部分を真
空吸着する吸着穴が形成された吸着ステージと、前記テ
ープ剥離ステージを上昇又は前記吸着ステージを下降さ
せる上下駆動手段と、前記テープ剥離ステージをピック
アップされるダイより離れる方向に水平移動させる水平
駆動手段とを備えたことを特徴とする。
【００１１】上記課題を解決するための本発明の第２の
方法及び装置は、上記第１の方法及び装置において、前
記吸着ステージの吸着穴は、ピックアップされるダイの
３辺に対応して形成されていることを特徴とする。
【００１２】上記課題を解決するための本発明の第３の
方法及び装置は、上記第１の方法及び装置において、前
記テープ剥離ステージの水平移動は、テープ剥離ステー
ジの端部が次にピックアップされるダイの内側まで移動
することを特徴とする。
【００１３】上記課題を解決するための本発明の第４の
方法及び装置は、上記第１の方法及び装置において、前
記接着テープは、少なくとも基材と熱収縮性接着剤と紫
外線硬化性接着剤とからなり、ピックアップ前に予め紫
外線等を照射して紫外線硬化性接着剤の接着力を弱めて
あることを特徴とする。
【００１４】上記課題を解決するための本発明の第５の
方法及び装置は、上記第１の方法及び装置において、前
記接着テープは、少なくとも基材と熱収縮性接着剤と紫
外線硬化性接着剤とからなり、ピックアップするダイに
対応する熱収縮性接着剤を熱収縮させると共に紫外線硬
化性接着剤のダイとの接着面積を小さくする加熱処理が
行われたものであることを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】本発明の一実施の形態を図１及び
図２により説明する。ダイ１Ａ、１Ｂ・・・が貼り付け
られた接着テープ２の外周は、図示しないウェーハリン
グに固定されている。ウェーハリングは、平面方向のＸ
Ｙ軸方向に駆動される図示しないウェーハ支持枠に固定
される。ダイ１Ａ、１Ｂ・・・は、吸着穴３ａが形成さ
れた吸着ノズル３によって真空吸着されてピックアップ
される。以上は周知の技術である。
【００１６】本実施の形態は、ピックアップするダイ１
Ａに対応した接着テープ２の部分を支持するテープ剥離
ステージ５と、ピックアップするダイ１Ａの周辺の接着
テープ２部分を真空吸着して保持する吸着ステージ６と
からなっている。
【００１７】吸着ステージ６には、テープ剥離ステージ
５を配設するための溝６ａが形成されている。また吸着
ステージ６には、テープ剥離ステージ５の３方を囲うよ
うに吸着穴６ｂ、６ｃ、６ｄが形成されている。即ち、
吸着ステージ６は、ピックアップするダイ１Ａの３辺に
対応した接着テープ２部分を吸着穴６ｂ、６ｃ、６ｄに
よって真空吸着されるようになっている。吸着穴６ｂ、
６ｃ、６ｄは吸着穴６ｅに連通し、吸着穴６ｅは図示し
ない真空源に接続されている。
【００１８】テープ剥離ステージ５は、図示しない水平
駆動手段により吸着ステージ６の溝６ａに沿って水平移
動１２又は反対方向に水平移動させられ、また図示しな
い上下駆動手段によって上昇１１又は反対方向に上下移
動させられる。
【００１９】次に作用について説明する。図１（ａ）に
おいて、吸着ノズル３はピックアップ位置の上方に位置
した状態にある。またテープ剥離ステージ５は、吸着ス
テージ６の溝６ａ内に配設された状態にある。この状態
で、図示しないウェーハリングに固定された接着テープ
２は図示しないＸＹ軸駆動手段でＸＹ軸方向に移動させ
られ、ピックアップするダイ１Ａがピックアップ位置に
位置決めされる。
【００２０】次に図１（ｂ）に示すように、吸着ステー
ジ６の吸着穴６ｂ、６ｃ、６ｄによって、ピックアップ
されるダイ１Ａの周辺の接着テープ２部分が真空吸着さ
れる。また同時に吸着ノズル３が下降１０し、ダイ１Ａ
を吸着ノズル３の吸着穴３ａによって真空吸着する。
【００２１】次に図２（ａ）に示すように、テープ剥離
ステージ５が図示しない上下駆動手段で数ｍｍ上昇１１
させられ、ダイ１Ａは吸着ノズル３と一体となって上昇
する。これにより、ダイ１Ａの周辺の接着テープ２の部
分が前記上昇１１の分伸びる。
【００２２】続いてテープ剥離ステージ５が、図２
（ｂ）の状態を経て図２（ｃ）に示すように、図示しな
い水平駆動手段で水平移動１２させられる。テープ剥離
ステージ５を水平移動１２すると、図２（ｂ）に示すよ
うに溝６ａが拡大し、ダイ１Ａと接着テープ２の間に空
気層１３が形成される。
【００２３】更に、図２（ｃ）に示すように、テープ剥
離ステージ５を次にピックアップするダイ１Ｂの下方ま
で水平移動１２させると、ダイ１Ａは、接着テープ２よ
り完全に剥離される。これにより、ダイ１Ａは、吸着ノ
ズル３に真空吸着されてピックアップされる。ダイ１Ａ
を真空吸着した吸着ノズル３は、図示しない移送手段に
より上昇１５及びＸＹ軸方向に移動させられ、次工程、
例えばダイボンディング、ダイ詰め等の工程を行う。
【００２４】ダイ１Ａがピックアップされると、テープ
剥離ステージ５は、矢印１１及び矢印１２と反対方向に
移動して図１に示す初期状態となる。また接着テープ２
が固定された図示しないウェーハリングがＸＹ軸方向に
移動させられ、次にピックアップされるダイ１Ｂが吸着
ステージ６の上方のピックアップ位置に位置決めされ
る。そして、以後、前記した工程を行う。
【００２５】このように、テープ剥離ステージ５を上昇
１１させてピックアップするダイ１Ａの周辺の接着テー
プ２を引伸し、テープ剥離ステージ５を水平移動１２さ
せてダイ１Ａと接着テープ２間に空気層１３を形成して
ダイ１Ａを剥離させる。即ち、ダイ１Ａには余分な力を
加えないので、ダイ１Ａに損傷を与えない。また従来の
ように接着テープ２を下方に吸引して剥離させるのでは
なく、ダイ１Ａと接着テープ２間に空気層１３を形成し
て剥離させるので、容易に接着テープ２からダイ１Ａを
剥離させることができる。
【００２６】また図２（ｃ）に示すように、テープ剥離
ステージ５を次にピックアップするダイ１Ｂの下方まで
水平移動１２させると、ダイ１Ｂの周辺に空気層１４が
形成されるので、次にピックアップされるダイ１Ｂの剥
離はより容易となる。
【００２７】なお、上記実施の形態においては、図１
（ｂ）の状態より図２（ａ）の状態にするのに、テープ
剥離ステージ５を上昇１１させたが、吸着ステージ６を
下降させるようにしてもよい。
【００２８】なお、本実施の形態においては、接着テー
プ２の材質は特に限定されるものではない。しかし、接
着テープ２としては、図３に示すような、ポリエチレン
フィルムよりなる基材２０と、この基材２０上に設けら
れた熱収縮性接着剤２１と、熱収縮性接着剤２１上に設
けられた紫外線硬化性接着剤２２とで構成されるものを
使用するとダイ１の剥離が容易となり、より効果的であ
る。
【００２９】図３（ａ）に示すように、接着テープ２の
紫外線硬化性接着剤２２上にウェーハ２３が固定されて
いる。そして、図３（ｂ）に示すように、紫外線硬化性
接着剤２２上に貼り付けられたウェーハ２３をダイシン
グしてダイシング溝２４を形成し、個々に分離されたダ
イ１群が水平方向のＸＹ軸方向に整列して形成されてい
る。なお、接着テープ２の構成として、例えば特許第３
０７３２３９号公報が挙げられる。
【００３０】そこで、図３（ｃ）に示すように、ダイ１
のピックアップ前に予め紫外線等を照射して紫外線硬化
性接着剤２２の接着力を弱め、かつピックアップするダ
イ１に対応する熱収縮性接着剤２１を熱収縮させると共
に紫外線硬化性接着剤２２のダイ１との接着面積を小さ
くする加熱処理を行っておくと、一層ダイ１の剥離は容
易となる。
【００３１】また本発明においては、予めピックアップ
前にダイ１に対応する熱収縮性接着剤２１は熱収縮させ
ずに、即ち紫外線硬化性接着剤２２のダイとの接着面積
は変えずに、紫外線硬化性接着剤２２の接着力のみを弱
める紫外線の照射処理のみ行っておくか、又はピックア
ップするダイに対応する熱収縮性接着剤２１を熱収縮さ
せることにより、紫外線硬化性接着剤２２のダイ１との
接着面積を小さくする加熱処理のみを行っておく場合で
も効果がある。即ち、上記照射処理及び加熱処理は、単
独で行っても、併用しても、或いは処理の加減を行って
も良いことは言うまでもない。
【００３２】
【発明の効果】本発明は、ピックアップするダイに対応
した接着テープ部分を支持するテープ剥離ステージと、
ピックアップするダイの周辺の接着テープ部分を真空吸
着する吸着穴が形成された吸着ステージとを備え、前記
吸着ノズルがピックアップするダイを真空吸着した状態
で、前記テープ剥離ステージを上昇又は前記吸着ステー
ジを下降させ、次に前記テープ剥離ステージをピックア
ップされるダイより離れる方向に水平移動させることに
より、ダイと接着テープ間に空気層を形成してダイを接
着テープより剥離させ、ダイをピックアップするので、
ダイに余分な力を加えることなく、かつ容易に接着テー
プからダイを剥離させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のピックアップ装置の一実施の形態の要
部を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図である。
【図２】ダイのピックアップ動作を示す説明図である。
【図３】（ａ）はウェーハの状態を示す正面説明図、
（ｂ）はダイシングした状態の正面説明図、（ｃ）は熱
収縮性接着剤が熱収縮した状態を示す説明図である。
【符号の説明】
１Ａ、１Ｂ、１Ｃ・・・ ダイ ２ 接着テープ ３ 吸着ノズル ５ テープ剥離ステージ ６ 吸着ステージ ６ａ 溝 ６ｂ、６ｃ、６ｄ、６ｅ 吸着穴 １０ 下降 １１ 上昇 １２ 水平移動 １３、１４ 空気層 １５ 上昇 ２０ 基材 ２１ 熱収縮性接着剤 ２２ 紫外線硬化性接着剤 ２３ ウェーハ ２４ ダイシング溝

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 接着テープに貼り付けられたダイを吸着
    ノズルで前記接着テープから剥離してピックアップする
    ダイのピックアップ方法において、ピックアップするダ
    イに対応した接着テープ部分を支持するテープ剥離ステ
    ージと、ピックアップするダイの周辺の接着テープ部分
    を真空吸着する吸着穴が形成された吸着ステージとを備
    え、前記吸着ノズルがピックアップするダイを真空吸着
    した状態で、前記テープ剥離ステージを上昇又は前記吸
    着ステージを下降させ、次に前記テープ剥離ステージを
    ピックアップされるダイより離れる方向に水平移動させ
    ることにより、ダイと接着テープ間に空気層を形成して
    ダイを接着テープより剥離させ、ダイをピックアップす
    ることを特徴とするピックアップ方法。
  2. 【請求項２】 接着テープに貼り付けられたダイを吸着
    ノズルで前記接着テープから剥離してピックアップする
    ダイのピックアップ装置において、ピックアップするダ
    イに対応した接着テープ部分を支持するテープ剥離ステ
    ージと、ピックアップするダイの周辺の接着テープ部分
    を真空吸着する吸着穴が形成された吸着ステージと、前
    記テープ剥離ステージを上昇又は前記吸着ステージを下
    降させる上下駆動手段と、前記テープ剥離ステージをピ
    ックアップされるダイより離れる方向に水平移動させる
    水平駆動手段とを備えたことを特徴とするピックアップ
    装置。
  3. 【請求項３】 前記吸着ステージの吸着穴は、ピックア
    ップされるダイの３辺に対応して形成されていることを
    特徴とする請求項１又は２記載のダイのピックアップ方
    法及びピックアップ装置。
  4. 【請求項４】 前記テープ剥離ステージの水平移動は、
    テープ剥離ステージの端部が次にピックアップされるダ
    イの内側まで移動することを特徴とする請求項１又は２
    記載のダイのピックアップ方法及びピックアップ装置。
  5. 【請求項５】 前記接着テープは、少なくとも基材と熱
    収縮性接着剤と紫外線硬化性接着剤とからなり、ピック
    アップ前に予め紫外線等を照射して紫外線硬化性接着剤
    の接着力を弱めてあることを特徴とする請求項１又は２
    記載のダイのピックアップ方法及びピックアップ装置。
  6. 【請求項６】 前記接着テープは、少なくとも基材と熱
    収縮性接着剤と紫外線硬化性接着剤とからなり、ピック
    アップするダイに対応する熱収縮性接着剤を熱収縮させ
    ると共に紫外線硬化性接着剤のダイとの接着面積を小さ
    くする加熱処理が行われたものであることを特徴とする
    請求項１又は２記載のダイのピックアップ方法及びピッ
    クアップ装置。
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