JPH10335270A - ペレットのピックアップ装置 - Google Patents
ペレットのピックアップ装置Info
- Publication number
- JPH10335270A JPH10335270A JP14366497A JP14366497A JPH10335270A JP H10335270 A JPH10335270 A JP H10335270A JP 14366497 A JP14366497 A JP 14366497A JP 14366497 A JP14366497 A JP 14366497A JP H10335270 A JPH10335270 A JP H10335270A
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- Japan
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- sheet
- pellet
- head
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- ultraviolet
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68318—Auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support
- H01L2221/68322—Auxiliary support including means facilitating the selective separation of some of a plurality of devices from the auxiliary support
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 シートに貼着されたペレットは、シートの裏
面側で昇降動する突き上げヘッドに押し上げられて、シ
ートから剥離するようにされている。しかし、突き上げ
ヘッドがペレットの裏面に接触するため、ペレットに形
成した回路が突き上げヘッドによって損傷することがあ
った。 【解決手段】 ペレット１は、紫外線硬化接着剤によっ
てシート４に貼着する。突き上げヘッド１５は、ペレッ
ト１を剥離させる部分のシート４の裏面に紫外線を照射
するものとする。
面側で昇降動する突き上げヘッドに押し上げられて、シ
ートから剥離するようにされている。しかし、突き上げ
ヘッドがペレットの裏面に接触するため、ペレットに形
成した回路が突き上げヘッドによって損傷することがあ
った。 【解決手段】 ペレット１は、紫外線硬化接着剤によっ
てシート４に貼着する。突き上げヘッド１５は、ペレッ
ト１を剥離させる部分のシート４の裏面に紫外線を照射
するものとする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、シートに貼着され
たペレットを、突き上げヘッドがシートの下側から押し
上げることにより、ペレットをシートから剥離させるペ
レットのピックアップ装置に関し、特に、シートに貼着
されたペレットが、損傷することなくシートから剥離す
ることができるようにしたペレットのピックアップ装置
に関する。
たペレットを、突き上げヘッドがシートの下側から押し
上げることにより、ペレットをシートから剥離させるペ
レットのピックアップ装置に関し、特に、シートに貼着
されたペレットが、損傷することなくシートから剥離す
ることができるようにしたペレットのピックアップ装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３は、従来のペレットのピックアップ
装置の斜視図、図４は、従来のピックアップ装置の要部
断面正面図である。
装置の斜視図、図４は、従来のピックアップ装置の要部
断面正面図である。
【０００３】半導体装置の製造工程において、図３及び
図４に示すようなペレットのピックアップ装置によっ
て、半導体ウェハを分割したペレット１がパッケージ工
程に送られる。この装置は、伸縮性のシート４を引き伸
ばした状態で保持するマウンターリング２や、そのシー
ト４の下側で昇降動してシート４を下側から押し上げる
突き上げヘッド５などから構成される。シート４の表面
には、粘着材が塗布され、半導体ウェハを分割した多数
のペレット１が貼着される。ペレット１はバンプを形成
した回路面側がシート４の表面に貼着される。
図４に示すようなペレットのピックアップ装置によっ
て、半導体ウェハを分割したペレット１がパッケージ工
程に送られる。この装置は、伸縮性のシート４を引き伸
ばした状態で保持するマウンターリング２や、そのシー
ト４の下側で昇降動してシート４を下側から押し上げる
突き上げヘッド５などから構成される。シート４の表面
には、粘着材が塗布され、半導体ウェハを分割した多数
のペレット１が貼着される。ペレット１はバンプを形成
した回路面側がシート４の表面に貼着される。
【０００４】突き上げヘッド５は、図４に示すように、
筒状の外筒５ａ内に空間をあけて突き上げニードル６を
内蔵し、昇降機構８によって外筒５ａと突き上げニード
ル６とが独立して昇降動するとともに、Ｘ−Ｙ移動機構
９によって水平方向に移動することができるようにされ
る。また、突き上げヘッド５は図４に示すように、外筒
５ａの内部を真空引きするための真空発生器１０が接続
され、シート４が突き上げヘッド５に吸着されるように
してある。このような突き上げヘッド５の上方には、ペ
レット１の吸着位置とマウントステージ（図示せず）と
の間を往復動するマウントヘッド１１が配置される。
筒状の外筒５ａ内に空間をあけて突き上げニードル６を
内蔵し、昇降機構８によって外筒５ａと突き上げニード
ル６とが独立して昇降動するとともに、Ｘ−Ｙ移動機構
９によって水平方向に移動することができるようにされ
る。また、突き上げヘッド５は図４に示すように、外筒
５ａの内部を真空引きするための真空発生器１０が接続
され、シート４が突き上げヘッド５に吸着されるように
してある。このような突き上げヘッド５の上方には、ペ
レット１の吸着位置とマウントステージ（図示せず）と
の間を往復動するマウントヘッド１１が配置される。
【０００５】ペレット１のピックアップ装置は以上のよ
うに構成し、つぎに動作について説明する。マウンター
リング２に保持されているシート４は引き伸ばされた状
態にあるため、シート４に貼着された多数のペレット１
の間隔は若干、離隔している。このペレット１の下側
に、突き上げヘッド５がシート４から離隔して位置し、
マウントヘッド１１は同じペレット１の上方にシート４
から離隔して待機している。
うに構成し、つぎに動作について説明する。マウンター
リング２に保持されているシート４は引き伸ばされた状
態にあるため、シート４に貼着された多数のペレット１
の間隔は若干、離隔している。このペレット１の下側
に、突き上げヘッド５がシート４から離隔して位置し、
マウントヘッド１１は同じペレット１の上方にシート４
から離隔して待機している。
【０００６】そして、突き上げヘッド５が昇降機構８に
よって上昇し、シート４が少し突き上がった位置で停止
する。その後、真空発生器１０によって突き上げヘッド
５の外筒５ａ内を真空引きし、突き上げヘッド５がシー
ト４を吸着すると同時に、突き上げニードル６を上昇さ
せる。すると、突き上げニードル６はシート４を突き破
り、ペレット１を押し上げる。ペレット１を貼着してい
るシート４は、突き上げヘッド５に吸着されているた
め、ペレット１はシート４から剥離して押し上げられ
る。
よって上昇し、シート４が少し突き上がった位置で停止
する。その後、真空発生器１０によって突き上げヘッド
５の外筒５ａ内を真空引きし、突き上げヘッド５がシー
ト４を吸着すると同時に、突き上げニードル６を上昇さ
せる。すると、突き上げニードル６はシート４を突き破
り、ペレット１を押し上げる。ペレット１を貼着してい
るシート４は、突き上げヘッド５に吸着されているた
め、ペレット１はシート４から剥離して押し上げられ
る。
【０００７】押し上げられたペレット１は、上方で待機
していたマウントヘッド１１に吸着される。このマウン
トヘッド１１はペレット１をマウントステージまで搬送
する。他方、突き上げヘッド５は、外筒５ａも突き上げ
ニードル６も下降した後、Ｘ−Ｙ移動機構９によって水
平方向に移動して、つぎのペレット１をシート４から剥
離させる位置で待機する。また、ペレット１を搬送した
マウントヘッド１１は、移動した突き上げヘッド５と対
向する位置まで戻る。そして、上記の動作が繰り返され
る。
していたマウントヘッド１１に吸着される。このマウン
トヘッド１１はペレット１をマウントステージまで搬送
する。他方、突き上げヘッド５は、外筒５ａも突き上げ
ニードル６も下降した後、Ｘ−Ｙ移動機構９によって水
平方向に移動して、つぎのペレット１をシート４から剥
離させる位置で待機する。また、ペレット１を搬送した
マウントヘッド１１は、移動した突き上げヘッド５と対
向する位置まで戻る。そして、上記の動作が繰り返され
る。
【０００８】なお、シートの粘着材が半導体チップに付
着したり、突き上げニードルが半導体チップを損傷させ
ないようにした半導体チップの剥離方法が特開平４−１
５８５４９号公報に開示されている。この半導体チップ
の剥離方法は、突き上げニードルの先端がシートに接す
る直前に、突き上げニードルが減速して移動するように
したことを特徴とするものである。
着したり、突き上げニードルが半導体チップを損傷させ
ないようにした半導体チップの剥離方法が特開平４−１
５８５４９号公報に開示されている。この半導体チップ
の剥離方法は、突き上げニードルの先端がシートに接す
る直前に、突き上げニードルが減速して移動するように
したことを特徴とするものである。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】シート４に貼着された
ペレット１は、特開平４−１５８５４９号公報に開示さ
れた半導体チップの剥離方法であっても、突き上げニー
ドル６の先端部がシート４を破ってペレット１の裏面を
押し上げることにより、シート４から剥離するようにさ
れている。しかし、ペレット１の裏面には回路が形成さ
れているため、突き上げニードル６の先端部がペレット
１の裏面を押し上げる際に、突き上げニードル６の先端
部がペレット１の回路面を破損させることもあった。し
たがって、従来のペレットのピックアップ装置にあって
は、製品の歩留まりが大幅に低下するといった不具合が
あった。
ペレット１は、特開平４−１５８５４９号公報に開示さ
れた半導体チップの剥離方法であっても、突き上げニー
ドル６の先端部がシート４を破ってペレット１の裏面を
押し上げることにより、シート４から剥離するようにさ
れている。しかし、ペレット１の裏面には回路が形成さ
れているため、突き上げニードル６の先端部がペレット
１の裏面を押し上げる際に、突き上げニードル６の先端
部がペレット１の回路面を破損させることもあった。し
たがって、従来のペレットのピックアップ装置にあって
は、製品の歩留まりが大幅に低下するといった不具合が
あった。
【００１０】そこで、本発明はシートに貼着されたペレ
ットが損傷させることなくシートから剥離することがで
きるようにしたペレットのピックアップ装置を提供する
ことを目的とする。
ットが損傷させることなくシートから剥離することがで
きるようにしたペレットのピックアップ装置を提供する
ことを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明のペレットのピッ
クアップ装置は、紫外線硬化接着剤によって、表面側に
ペレットを貼着するシートと、そのシートの裏面側で昇
降動し、シートの裏面に接合した時に紫外線を照射する
突き上げヘッドと、シート上のペレットを吸着する吸着
手段と、を有することを特徴とするものである。
クアップ装置は、紫外線硬化接着剤によって、表面側に
ペレットを貼着するシートと、そのシートの裏面側で昇
降動し、シートの裏面に接合した時に紫外線を照射する
突き上げヘッドと、シート上のペレットを吸着する吸着
手段と、を有することを特徴とするものである。
【００１２】本発明によれば、突き上げヘッドがペレッ
トを突き上げる時に、紫外線硬化接着剤を塗布したシー
トの裏面に紫外線を照射することにより、紫外線硬化接
着剤が硬化して、ペレットはシートから剥離する。すな
わち、ペレットは突き上げニードルに押し上げられるこ
となく、シートから剥離する。剥離したシート上のペレ
ットは吸着手段により吸着される。
トを突き上げる時に、紫外線硬化接着剤を塗布したシー
トの裏面に紫外線を照射することにより、紫外線硬化接
着剤が硬化して、ペレットはシートから剥離する。すな
わち、ペレットは突き上げニードルに押し上げられるこ
となく、シートから剥離する。剥離したシート上のペレ
ットは吸着手段により吸着される。
【００１３】突き上げヘッドは、真空吸着機能を有する
のが好ましい。
のが好ましい。
【００１４】突き上げヘッドは、筒状で内部に紫外線を
透過する光ファイバを具備したものであることが好まし
い。
透過する光ファイバを具備したものであることが好まし
い。
【００１５】突き上げヘッドは、例えば、筒状の外筒の
下部に紫外線発生手段に接続された光ファイバを備え、
外筒の上部の側壁に筒内を真空引きするための真空発生
手段が接続されてもよい。
下部に紫外線発生手段に接続された光ファイバを備え、
外筒の上部の側壁に筒内を真空引きするための真空発生
手段が接続されてもよい。
【００１６】シートは伸縮性を有し、リング状の部材に
より引き伸ばした状態で保持されてもよい。
より引き伸ばした状態で保持されてもよい。
【００１７】突き上げヘッドを昇降させる昇降手段と、
その昇降手段を水平方向に移動させる移動手段と、を有
するのが好ましい。
その昇降手段を水平方向に移動させる移動手段と、を有
するのが好ましい。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照しながら説明する。図１は、本発明に係るペレッ
トのピックアップ装置の斜視図、図２は、本発明に係る
ペレットのピックアップ装置の要部断面正面図である。
なお、従来と同一部分は同一符号を付して、その説明を
省略する。
を参照しながら説明する。図１は、本発明に係るペレッ
トのピックアップ装置の斜視図、図２は、本発明に係る
ペレットのピックアップ装置の要部断面正面図である。
なお、従来と同一部分は同一符号を付して、その説明を
省略する。
【００１９】本発明に係るペレットのピックアップ装置
は、マウンターリング２に保持される伸縮性のシート４
に紫外線硬化接着剤を塗布し、紫外線硬化接着剤によっ
てペレット１がシート４に貼着され、シート４の裏面側
で昇降動する突き上げヘッド１５がシート４の裏面に接
合した時に紫外線を照射するようにしたことを特徴とす
るものである。
は、マウンターリング２に保持される伸縮性のシート４
に紫外線硬化接着剤を塗布し、紫外線硬化接着剤によっ
てペレット１がシート４に貼着され、シート４の裏面側
で昇降動する突き上げヘッド１５がシート４の裏面に接
合した時に紫外線を照射するようにしたことを特徴とす
るものである。
【００２０】突き上げヘッド１５は、筒状の外筒１５ａ
内の下部に紫外線発生器１７を接続した光ファイバ１６
が内蔵され、外筒１５ａの上部の側壁に内部を真空引き
するための真空発生器１０が接続されるものである。紫
外線は、突き上げヘッド１５がシート４の裏面に当接し
たときのみ上部の真空吸着用の穴からシート４の裏面を
照射するようにする。
内の下部に紫外線発生器１７を接続した光ファイバ１６
が内蔵され、外筒１５ａの上部の側壁に内部を真空引き
するための真空発生器１０が接続されるものである。紫
外線は、突き上げヘッド１５がシート４の裏面に当接し
たときのみ上部の真空吸着用の穴からシート４の裏面を
照射するようにする。
【００２１】他の昇降機構８やＸ−Ｙ移動機構９、マウ
ントヘッド１１は従来と同様であり、つぎに動作につい
て説明する。
ントヘッド１１は従来と同様であり、つぎに動作につい
て説明する。
【００２２】本発明においては、多数のペレット１が紫
外線硬化接着剤によってシート４に貼着され、そのシー
ト４が引き伸ばされてマウンターリング２に保持される
ことにより、ペレット１間が離隔している。このペレッ
ト１の下側に、突き上げヘッド１５がシート４から離隔
して位置し、マウントヘッド１１は同じペレット１の上
方にシート４から離隔して待機している。
外線硬化接着剤によってシート４に貼着され、そのシー
ト４が引き伸ばされてマウンターリング２に保持される
ことにより、ペレット１間が離隔している。このペレッ
ト１の下側に、突き上げヘッド１５がシート４から離隔
して位置し、マウントヘッド１１は同じペレット１の上
方にシート４から離隔して待機している。
【００２３】そして、突き上げヘッド１５が昇降機構８
によってシート４を少し突き上げた位置まで上昇する
と、真空発生器１０によって、突き上げヘッド１５の外
筒１５ａ内を真空引きしてシート４を吸着する。同時
に、紫外線発生器１７によって光ファイバ１６の先端部
から紫外線が照射するようにする。紫外線は、突き上げ
ヘッド１５の外筒１５ａの先端部がシート４に接合した
状態で照射し、また外筒１５ａによって囲まれたシート
４の裏面のみ照射する。したがって、紫外線が剥離しよ
うとするペレット１を貼着しているシートの部分以外を
照射することはない。
によってシート４を少し突き上げた位置まで上昇する
と、真空発生器１０によって、突き上げヘッド１５の外
筒１５ａ内を真空引きしてシート４を吸着する。同時
に、紫外線発生器１７によって光ファイバ１６の先端部
から紫外線が照射するようにする。紫外線は、突き上げ
ヘッド１５の外筒１５ａの先端部がシート４に接合した
状態で照射し、また外筒１５ａによって囲まれたシート
４の裏面のみ照射する。したがって、紫外線が剥離しよ
うとするペレット１を貼着しているシートの部分以外を
照射することはない。
【００２４】紫外線が照射された部分のシート４に塗布
された紫外線硬化接着剤は硬化して、ペレット１の貼着
力が弱まる。そして、そのペレット１がマウントヘッド
１１に吸着されると、ペレット１がシート４から剥離す
る。マウントヘッド１１がペレット１をマウントステー
ジ（図示せず）まで搬送する。他方、突き上げヘッド１
５は昇降機構８によって下降した後、Ｘ−Ｙ移動機構９
によって、つぎのペレット１の下方に移動する。そし
て、マウントヘッド１１がこのペレット１の上方まで戻
り上記の動作を繰り返す。
された紫外線硬化接着剤は硬化して、ペレット１の貼着
力が弱まる。そして、そのペレット１がマウントヘッド
１１に吸着されると、ペレット１がシート４から剥離す
る。マウントヘッド１１がペレット１をマウントステー
ジ（図示せず）まで搬送する。他方、突き上げヘッド１
５は昇降機構８によって下降した後、Ｘ−Ｙ移動機構９
によって、つぎのペレット１の下方に移動する。そし
て、マウントヘッド１１がこのペレット１の上方まで戻
り上記の動作を繰り返す。
【００２５】本発明は、上記実施の形態に限定されるこ
とはなく、特許請求の範囲に記載された技術的事項の範
囲内において、種々の変更が可能である。例えば、突き
上げヘッド１５は、マウントヘッド１１がペレット１を
吸着できる程度に、紫外線硬化接着剤の貼着力を弱める
ことができるようにすることによって、真空吸着装置を
不要とすることができる。また、ペレット４は半導体ウ
ェハを分割したものに限定するものではない。
とはなく、特許請求の範囲に記載された技術的事項の範
囲内において、種々の変更が可能である。例えば、突き
上げヘッド１５は、マウントヘッド１１がペレット１を
吸着できる程度に、紫外線硬化接着剤の貼着力を弱める
ことができるようにすることによって、真空吸着装置を
不要とすることができる。また、ペレット４は半導体ウ
ェハを分割したものに限定するものではない。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、ペレットが紫外線硬化
接着剤によってシートに貼着され、紫外線を照射する突
き上げヘッドによって、紫外線硬化接着剤を硬化させ、
ペレットをシートから剥離するようにしたことにより、
突き上げヘッドがペレットの裏面を押し上げないように
することができる。このため、ペレットの裏面に回路な
どが形成されていても、回路が損傷することがなくな
り、製品の歩留まりを向上させることができる。
接着剤によってシートに貼着され、紫外線を照射する突
き上げヘッドによって、紫外線硬化接着剤を硬化させ、
ペレットをシートから剥離するようにしたことにより、
突き上げヘッドがペレットの裏面を押し上げないように
することができる。このため、ペレットの裏面に回路な
どが形成されていても、回路が損傷することがなくな
り、製品の歩留まりを向上させることができる。
【図１】本発明に係るペレットのピックアップ装置の斜
視図である。
視図である。
【図２】本発明に係るペレットのピックアップ装置の要
部断面正面図である。
部断面正面図である。
【図３】従来のペレットのピックアップ装置の斜視図で
ある。
ある。
【図４】従来のピックアップ装置の要部断面正面図であ
る。
る。
１：ペレット ２：マウンターリング ４：シート ８：昇降機構 ９：Ｘ−Ｙ移動機構 １０：真空発生器（真空発生手段） １１：マウントヘッド（吸着手段） １５：突き上げヘッド １５ａ：外筒 １６：光ファイバ １７：紫外線発生器（紫外線発生手段）
Claims (6)
- 【請求項１】紫外線硬化接着剤によって、表面側にペレ
ットを貼着するシートと、 そのシートの裏面側で昇降動し、シートの裏面に接合し
た時に紫外線を照射する突き上げヘッドと、 前記シート上のペレットを吸着する吸着手段と、 を有することを特徴とするペレットのピックアップ装
置。 - 【請求項２】前記突き上げヘッドは、真空吸着機能を有
することを特徴とする請求項１に記載のペレットのピッ
クアップ装置。 - 【請求項３】前記突き上げヘッドは、筒状で内部に紫外
線を透過する光ファイバを有することを特徴とする請求
項１又は２に記載のペレットのピックアップ装置。 - 【請求項４】前記突き上げヘッドは、筒状の外筒の下部
に紫外線発生手段に接続された光ファイバを備え、外筒
の上部の側壁に筒内を真空引きするための真空発生手段
が接続されることを特徴とする請求項１乃至３のいずれ
か１つの項に記載のペレットのピックアップ装置。 - 【請求項５】前記シートは伸縮性を有し、リング状の部
材により引き伸ばした状態で保持されることを特徴とす
る請求項１乃至４のいずれか１つの項に記載のペレット
のピックアップ装置。 - 【請求項６】突き上げヘッドを昇降させる昇降手段と、
その昇降手段を水平方向に移動させる移動手段と、を有
することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１つの
項に記載のペレットのピックアップ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14366497A JPH10335270A (ja) | 1997-06-02 | 1997-06-02 | ペレットのピックアップ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14366497A JPH10335270A (ja) | 1997-06-02 | 1997-06-02 | ペレットのピックアップ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10335270A true JPH10335270A (ja) | 1998-12-18 |
Family
ID=15344071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14366497A Pending JPH10335270A (ja) | 1997-06-02 | 1997-06-02 | ペレットのピックアップ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10335270A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001168064A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | ペレット押上部材及びペレットピックアップ装置 |
| JP2012156473A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-16 | Adwelds:Kk | 部品移載装置および部品移載方法 |
| JP2013247314A (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 突き上げ高さ計測システム |
| JP2014110261A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 粘着剤硬化装置および粘着剤硬化方法 |
-
1997
- 1997-06-02 JP JP14366497A patent/JPH10335270A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001168064A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | ペレット押上部材及びペレットピックアップ装置 |
| JP2012156473A (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-16 | Adwelds:Kk | 部品移載装置および部品移載方法 |
| JP2013247314A (ja) * | 2012-05-29 | 2013-12-09 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | 突き上げ高さ計測システム |
| JP2014110261A (ja) * | 2012-11-30 | 2014-06-12 | Dainippon Printing Co Ltd | 粘着剤硬化装置および粘着剤硬化方法 |
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