CN202434489U - 真空环境基板翻转装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型是一种真空环境基板翻转装置，包含：底座前侧有能前后移动的夹放固定部，夹放固定部有导引环，导引环有斜面；夹放机构有上夹放件和下夹放件设置于夹放固定部内，上、下夹放件之间有弹性件，夹放机构同时有上夹爪和下夹爪，上、下夹放件分别与上、下夹爪连接，上、下夹放件各有导引面，导引面与导引环的斜面对应贴合并彼此相对滑移；移动驱动源置为底座后侧并有移动连接部连接夹放固定部，并驱动夹放固定部前后移动，进一步使导引环带动有导引面的夹放机构，使上、下夹放件与上、下夹爪做上下运动；旋转驱动源置为底座后侧，有旋转连接部连接夹放机构，其用以翻转该夹放机构；以及伸缩囊连接底座与夹放固定部包覆移动连接部。

Description

真空环境基板翻转装置

技术领域

本实用新型是关于一种于真空环境下的基板制程装置，尤其是关于一种可于真空环境内直接夹持与翻转基板的装置。

背景技术

半导体基板在真空腔体中完成单面制程作业后，需破真空再将基板取出至载具上，经人工或工具翻面后，再将翻至另一面的基板置入第二次真空腔体中进行第二面制程作业。然而基板于真空腔体中完成单面制程作业后的温度极高，故需降温后取出，再翻面然后重新置入真空腔体中，此时需重新加热及抽真空，如此将增加制程周期与增加抽真空的次数，以及无法使真空腔体内的真空参数保持一致性，而且将基板暴露于大气环境中，会使第二次的制程作业产生不良的反应，将使基板的特征产生不一致。

实用新型内容

本实用新型目的是提供一种能在真空环境下完成基板双面制程作业的真空环境基板翻转装置。

为达上述之目的，本实用新型提供基板夹持的真空环境基板翻转装置包含：一底座，其前侧具有可前后移动的一夹放固定部，该夹放固定部具有一导引环，该导引环具有斜面；一夹放机构，具有一上夹放件和一下夹放件设置于该夹放固定部内，该上、下夹放件之间有一弹性件，该夹放机构同时具有一上夹爪和一下夹爪，该上、下夹放件分别与该上、下夹爪连接，该上、下夹放件各具有一导引面，该导引面与该导引环的斜面对应贴合并彼此相对滑移；一移动驱动源，其置为该底座后侧，该移动驱动源具有一移动连接部连接该夹放固定部，并驱动该夹放固定部前后移动，进一步使该导引环带动具有导引面的该夹放机构，使该上、下夹放件与该上、下夹爪做上下运动；一旋转驱动源，其置为该底座后侧，具有一旋转连接部连接该夹放机构，其用以翻转该夹放机构；以及一伸缩囊，其连接该底座与该夹放固定部，并包覆该移动连接部。

其中，该上夹爪及该下夹爪的其中一者具有至少一凸块，而该上夹爪及该下夹爪的另一者具有对应容纳该至少一凸块的至少一凹槽，该至少一凸块的基板侧具有一凸块斜面，使基板可滑动平贴于该上下夹爪间，和导正基板至放置处。

其中，该上、下夹爪的基板侧的基板放置处各具有一软性构件，以夹附基板。

其中，该软性构件为橡胶或塑料的其中一者。

其中，该上、下夹放件与该上、下夹爪以螺丝、铆钉或拉钉的其中一者连接。

其中，该移动驱动源为汽缸或马达。

其中，该旋转驱动源为汽缸或马达。

其中，该旋转驱动源的轴封为磁流体轴封。

其中，该弹性件为弹簧。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供一种无须破真空即能在真空环境下完成基板双面制程作业的装置。半导体基板在真空腔体中完成单面制程作业后，将基板送入本实用新型的真空腔体中，经基板夹持翻转装置将基板翻至另一面，再将基板送入所欲制程的真空腔体中进行第二次真空环境下的制程作业，完成在真空环境下进行双面制程作业的需求。

附图说明

图1为本实用新型的部分剖面图。

图2为本实用新型的立体图。

图3为本实用新型的另一视角立体图。

图4为本实用新型的分解图。

图5为本实用新型的剖视图。

图6为图5的部分放大图。

图7为图6的作动状态示意图。

图8为本实用新型的夹爪立体图。

图9为图2的AA断面的剖视图。

图10为图9的作动状态示意图。

图11为本实用新型的使用状态示意图。

主要元件符号说明

10 真空腔室            20 上夹爪

11 基板                21 下夹爪

12 基板夹持翻转装置    22 导引面

13 基座                23 移动驱动源

14 夹放固定部          24 移动连接部

15 导引环              25 旋转驱动源

15’斜面               26 旋转连接部

16 夹放机构            27 伸缩囊

17 上夹放件            28 凸块

18 下夹放件            28’凸块斜面

19 弹性件              29 凹槽

30 软性构件

具体实施方式

以下在实施方式中详细叙述本实用新型的详细特征以及优点，其内容足以使任何熟悉相关技艺者了解本实用新型的技术内容并据以实施，且根据本说明书所揭露的内容、申请专利范围及图示，任何熟悉相关技艺者可轻易地理解本实用新型相关的目的及优点。

兹配合图式将本实用新型的实施方式详细说明如下。

图1为本实用新型的部分剖面图，基板夹持翻转装置12配置于真空腔体10中，其中基板夹持翻转装置12为夹持状态并翻转45度。

请参阅图2至图7，本实施例中的基板夹持翻转装置12包含：一底座13，其前侧具有可前后移动的一夹放固定部14，该夹放固定部14具有一导引环15，该导引环具有斜面15’；一夹放机构16，具有一上夹放件17和一下夹放件18设置于该夹放固定部14内，该上、下夹放件17、18之间有一弹性件19，其包含以弹簧、弹片、橡胶的其中一者构成，该夹放机构16同时具有一上夹爪20和一下夹爪21，该上、下夹放件17、18分别与该上、下夹爪20、21连接，其包含以螺丝、铆钉或拉钉的其中一者连接，该上、下夹放件17、18各具有一导引面22，该导引面22与该导引环15的斜面15’对应贴合并彼此相对滑移；一移动驱动源23，其包含以汽缸或马达的其中一者构成，其置为该底座13后侧，该移动驱动源23具有包覆于一伸缩囊27内的一移动连接部(未示)连接该夹放固定部14，并驱动该夹放固定部14前后移动，进一步使该导引环15带动具有导引面22的该夹放机构16，使该上、下夹放件17、18与该上、下夹爪20、21做上下运动；一旋转驱动源25，其包含以汽缸或马达的其中一者构成，其轴封为磁流体轴封，该旋转驱动源25置为该底座13后侧，具有一旋转连接部26连接该夹放机构16，其用以翻转该夹放机构16；以及该伸缩囊27，其连接该底座13与该夹放固定部14，并包覆该移动连接部以维持真空腔室内的真空环境。

请再参阅图7，其是该夹持机构16为释放状态的部分放大图，当该移动驱动源(未示)驱动通过该移动连接部(未示)使该夹放固定部14与该导引环15右移时，该导引环15驱使该上、下夹放件17、18沿着垂直方向做夹合运动，并对该弹性件19作功，储存释放时所需的能量。

请再参阅图6，其是该夹持机构16为夹持状态的部分放大图，当该移动驱动源(未示)驱动通过该移动连接部(未示)使该夹放固定部14与该导引环15左移时，该弹性件19(未示)释出所储存的能量驱使该上、下夹放件17、18沿着垂直方向做释放运动，即回复到图7所示的释放状态。

请参阅图8至图10，本实用新型的该上夹爪20及该下夹爪21的其中一者具有至少一凸块28，而该上夹爪20及该下夹爪21的另一者具有对应容纳该至少一凸块28的至少一凹槽29，该至少一凸块28的基板侧具有一凸块斜面28’，使基板11可滑动平贴于该上、下夹爪20、21间，和导正基板11至放置处，其中该上、下夹爪20、21的基板侧的基板放置处各具有一软性构件30，以夹附基板，该软性构件30是配合该上、下夹爪20、21形状为弧状或环状围绕，该软性构件30以橡胶或塑料的其中一者构成。

请参阅图11为基板夹持翻转装置12使用状态的示意图，仅显示置于真空腔体10外部的部分基板夹持翻转装置12。

以上所述，并非用来限定本实用新型专利实施的范围。即凡与本创作专利申请范围文义相符，或依本创作专利范围所做的均等变化与修饰，皆为本创作专利范围所涵盖。

Claims (9)

1.一种用于真空环境的基板夹持翻转装置，其特征在于，包含：

一底座，其前侧具有能前后移动的一夹放固定部，该夹放固定部具有一导引环，该导引环具有斜面；

一夹放机构，具有一上夹放件和一下夹放件设置于该夹放固定部内，该上、下夹放件之间有一弹性件，该夹放机构同时具有一上夹爪和一下夹爪，该上、下夹放件分别与该上、下夹爪连接，该上、下夹放件各具有一导引面，该导引面与该导引环的斜面对应贴合并彼此相对滑移；

一移动驱动源，其置为该底座后侧，该移动驱动源具有一移动连接部连接该夹放固定部，并驱动该夹放固定部前后移动，进一步使该导引环带动具有导引面的该夹放机构，使该上、下夹放件与该上、下夹爪做上下运动；

一旋转驱动源，其置为该底座后侧，具有一旋转连接部连接该夹放机构，其用以翻转该夹放机构；以及

一伸缩囊，其连接该底座与该夹放固定部，并包覆该移动连接部。

2.如权利要求1所述的基板夹持翻转装置，其特征在于，该上夹爪及该下夹爪的其中一者具有至少一凸块，而该上夹爪及该下夹爪的另一者具有对应容纳该至少一凸块的至少一凹槽，该至少一凸块的基板侧具有一凸块斜面，使基板能滑动平贴于该上下夹爪间，和导正基板至放置处。

3.如权利要求2所述的基板夹持翻转装置，其特征在于，该上、下夹爪的基板侧的基板放置处各具有一软性构件，以夹附基板。

4.如权利要求3所述的基板夹持翻转装置，其特征在于，该软性构件为橡胶或塑料的其中一者。

5.如权利要求1所述的基板夹持翻转装置，其特征在于，该上、下夹放件与该上、下夹爪以螺丝、铆钉或拉钉的其中一者连接。

6.如权利要求1所述的基板夹持翻转装置，其特征在于，该移动驱动源为汽缸或马达。

7.如权利要求1所述的基板夹持翻转装置，其特征在于，该旋转驱动源为汽缸或马达。

8.如权利要求1所述的基板夹持翻转装置，其特征在于，该旋转驱动源的轴封为磁流体轴封。

9.如权利要求1所述的基板夹持释放装置，其特征在于，该弹性件为弹簧。

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