JP2006004956A - ダイピックアップ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吸着ステージ10内には、ピックアップ用のダイ突き上げ部材21よりダイ送り側にダイを突き上げるダイ剥離用のダイ突き上げ部材22が上下動可能に設けられ、ダイ突き上げ部材22が下降した状態で、ピックアップされるダイ1Aの送り方向側のダイ端部をダイ突き上げ部材22の上方に位置させた後、ダイ突き上げ部材22を上昇させてダイ1Aの送り方向側のダイ端部をウェーハシート2より剥がし、その後、ダイ突き上げ部材22は上昇したままダイ1Aをピックアップセンター5に送ってコレット4とダイ突き上げ部材21によりピックアップさせる。
【選択図】 図1
Description
前記吸着ステージ内には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側にダイを突き上げるダイ剥離用のダイ突き上げ部材が上下動可能に設けられ、このダイ剥離用のダイ突き上げ部材が下降した状態で、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材は上昇したままダイを送って、ダイを部分的或いは全面的に剥離させた後、ピックアップさせることを特徴とする。
前記吸着ステージ内には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側にダイを突き上げるダイ剥離用のダイ突き上げ部材が上下動可能に設けられ、このダイ剥離用のダイ突き上げ部材が下降した状態で、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を下降させた後にダイを送って、ダイを部分的或いは全面的に剥離させた後、ピックアップさせることを特徴とする。
前記吸着ステージの上面には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材が下降した状態でピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部をウェーハシートより剥がし、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材は上昇したままでダイを該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を乗り越えて移動させた後、前記ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とする。
前記吸着ステージの上面には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材が下降した状態でピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部をウェーハシートより剥がし、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材を下降させると共に、ダイの送り方向側のダイ端部を前記吸引穴の上方に位置させた後、前記ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とする。
前記吸着ステージの上面には、ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記吸引穴の上方に位置させた後、前記吸着ステージを真空吸引させて前記ダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とする。
2 ウェーハシート
3 吸着穴
4 コレット
5 ピックアップセンター
10 吸着ステージ
11、12、13、14、15、16 吸引穴
21、22、23、24、25、26 ダイ突き上げ部材
30 ホルダ
Claims (7)
- ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内に配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージ内には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側にダイを突き上げるダイ剥離用のダイ突き上げ部材が上下動可能に設けられ、このダイ剥離用のダイ突き上げ部材が下降した状態で、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材は上昇したままダイを送って、ダイを部分的或いは全面的に剥離させた後、ピックアップさせることを特徴とするダイピックアップ装置。 - ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内に配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージ内には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側にダイを突き上げるダイ剥離用のダイ突き上げ部材が上下動可能に設けられ、このダイ剥離用のダイ突き上げ部材が下降した状態で、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、前記ダイ剥離用のダイ突き上げ部材を下降させた後にダイを送って、ダイを部分的或いは全面的に剥離させた後、ピックアップさせることを特徴とするダイピックアップ装置。 - ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内のピックアップセンターに配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージの上面には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材が下降した状態でピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部をウェーハシートより剥がし、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材は上昇したままでダイを該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を乗り越えて移動させた後、前記ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とするダイピックアップ装置。 - ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内のピックアップセンターに配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージの上面には、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材が下降した状態でピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材の上方に位置させた後、該ピックアップ用のダイ突き上げ部材を上昇させてダイの送り方向側のダイ端部をウェーハシートより剥がし、前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材を下降させると共に、ダイの送り方向側のダイ端部を前記吸引穴の上方に位置させた後、前記ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とするダイピックアップ装置。 - ダイが貼り付けられたウェーハシートを吸着保持する吸着ステージと、この吸着ステージ内のピックアップセンターに配設され、ダイを突き上げるピックアップ用のダイ突き上げ部材と、このピックアップ用のダイ突き上げ部材で突き上げされたダイを吸着保持して搬送するコレットとを備えたダイピックアップ装置において、
前記吸着ステージの上面には、ピックアップ用のダイ突き上げ部材よりダイ送り側に吸引穴が形成され、ピックアップされるダイの送り方向側のダイ端部を前記吸引穴の上方に位置させた後、前記吸着ステージを真空吸引させて前記ダイの送り方向側のダイ端部を前記ウェーハシートより剥がし、その後、ダイをピックアップセンターに送ってピックアップさせることを特徴とするダイピックアップ装置。 - 前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材は、複数本よりなることを特徴とする請求項1乃至5いずれか記載のダイピックアップ装置。
- 前記ピックアップ用のダイ突き上げ部材は3本以上よりなり、中央のダイ突き上げ部材は、両側のダイ突き上げ部材より高く形成されていることを特徴とする請求項1乃至5いずれか記載のダイピックアップ装置。
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