JP7137306B2 - 電子部品装着装置 - Google Patents
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Description
ところで、ダイを粘着シートから剥離する作業と、剥離したダイを基板まで搬送して基板に装着する作業とを一連に行うことができる装置がある。このような装置においては、剥離の際にダイへの負荷を低減しつつ、装着作業を効率化することに関して改善の余地があった。
図1に示すように、電子部品装着装置10は、本体部11、ダイ供給装置30、フラックス供給装置26、および操作装置180を備えている。以下の説明には、図1に示す方向を用いる。電子部品装着装置10の幅方向がX軸方向であり、X方向に直角な水平の方向をY軸方向である。電子部品装着装置10は、例えばプリント基板などの基板に対してダイを装着する作業を実施する。
有する。Y軸方向ガイドレール134,134は対をなし、X軸方向に所定間隔離間して
配置されている。X軸方向ガイドレール135は、Y軸方向ガイドレール134,134の上に架け渡されている。X軸方向ガイドレール135は、Y軸方向ガイドレール134,134に案内されて、不図示の電磁モータを駆動源として、Y軸方向の任意の位置に移動する。X軸方向ガイドレール135には、ピックアップヘッド105が取り付けられたスライダ138が取り付けられている。スライダ138およびピックアップヘッド105は、不図示の電磁モータを駆動源として、X軸方向ガイドレール135に案内されて、X軸方向の任意の位置に移動する。
給装置(不図示)から負圧が供給されることでダイ92を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持したダイ92を離脱する。以下の説明において、ピックアップヘッド105が、ダイ92を吸着保持することをピックアップと記載する場合がある。ノズル昇降装置は、ノズルホルダ162および吸着ノズル163を上下方向に昇降させる。反転装置は、ノズルホルダ162をXY平面方向に延びる回転軸(不図示)回りに上下方向に反転させる。
よびX軸方向に延びるX軸方向ガイドレール52などを有している。Y軸方向ガイドレール50,50は対をなし、X軸方向に所定間隔離間して配置されている。X軸方向ガイド
レール52は、Y軸方向ガイドレール50,50の上に架け渡されている。X軸方向ガイドレール52は、Y軸方向ガイドレール50,50に案内されてY軸方向の任意の位置に移動する。X軸方向ガイドレール52には、装着ヘッド24が取り付けられたスライダ54が取り付けられている。スライダ54および装着ヘッド24は、X軸方向ガイドレール52に案内されて、X軸方向の任意の位置に移動する。装着ヘッド24は、不図示のノズルホルダ、吸着ノズル、およびノズル昇降装置などを有する。ノズルホルダは、棒状であり、先端に吸着ノズルを保持する。吸着ノズルは、正負圧供給装置(不図示)により負圧を供給されてダイ92を吸着保持し、僅かな正圧が供給されることで保持したダイ92を離脱する。
基板はコンベア装置40,42により所定の位置まで搬送され、基板保持装置(不図示)により固定される。一方、ウエハ90は、ダイ供給装置30によりメインフレーム100上に固定される。ウエハ90の1つのダイ92がダイ突上装置103により上方へ突き上げられ、突き上げられたダイ92は、ピックアップヘッド105の吸着ノズル163により、吸着保持される。次に、ピックアップヘッド105が上下方向に反転され、装着ヘッド24は、ピックアップヘッド105からダイ92を受け取る。次に、装着ヘッド24はフラックストレイ74の上方に移動し、ダイ92のバンプ(不図示)にフラックスが塗
布される。次に、装着ヘッド24は、基板の装着位置まで移動し、吸着ノズルが下降され、基板にダイ92が装着される。
方向ガイドレール154,154、X移動テーブル156、およびダイ突上本体部157
などを有する。ベース151は、メインフレーム100に固定されている。Y軸方向ガイドレール152,152は対をなし、Y軸方向に所定間隔離間して配置されている。Y移
動テーブル153は、Y軸方向ガイドレール152,152に案内されて、不図示の電磁
モータを駆動源として、Y軸方向の任意の位置に移動する。Y移動テーブル153の上面には、X軸方向ガイドレール154,154が対をなし、Y軸方向に所定間隔離間して固
定されている。X移動テーブル156は、X軸方向ガイドレール154,154に案内さ
れて、不図示の電磁モータを駆動源として、X軸方向の任意の位置に移動する。上面157aを有する円筒状のダイ突上本体部157はX移動テーブル156に固定されている。
次に、図5を用いて、電子部品装着装置10の制御システムの構成について説明する。電子部品装着装置10は、上記した構成の他に、制御装置200を備える。制御装置200は、CPU201、RAM202、ROM203、記憶部204などを有する。CPU201はROM203および記憶部204に記憶されている各種のプログラムを実行することによって、電気的に接続されている各部を制御する。ここで各部とはダイ供給装置30、搬送装置20、装着ヘッド移動装置22、装着ヘッド24などである。詳しくは、CPU201は、各部に命令し、各部は命令に応じた動作が完了すると、完了した旨の信号をCPU201へ出力する。RAM202はCPU201が各種の処理を実行するための主記憶装置として用いられる。
れた数字は、突き上げられる順番を示している。
ダイシングシート93に貼着されたダイ92は、まず事前突き上げ作業において突き上げられることにより、ダイ92とダイシングシート93との接着面積が小さくされる。続いて、ピックアップ作業において突き上げられることにより、接着面積はさらに小さくされるため、ダイ92はダイシングシート93から容易に剥がされることができ、ピックアップヘッド105はダイ92をピックアップすることができる。このように、段階的に接着面積は減らされるため、各作業における突き上げ量h1,h2は、1回突き上げられて剥がされる場合よりも、少なくすることができる。突き上げ量h2は少ないため、ピックアップ作業における突き上げ時間は、1回突き上げられて剥がされる場合よりも、短くすることができる。また、段階的に接着面積が小さくされるため、ダイ92へのダメージを軽減することができる。さらに、2回目以降の事前突き上げ作業は移動作業およびピックアップの作業期間内に行われるので、ピックアップ作業の際にだけ突き上げられる場合よりも、装着作業全体のタクトタイムを短縮することができる。
例えば、上記では、事前突き上げ作業にて、1つのダイ92に対して5か所突き上げると説明したが、回数および位置を限定するものではない。また、事前突き上げ作業において、CPU201は、先行のピックアップ作業の対象とされたダイ92に隣接するダイ92を後行のピックアップ作業の対象となるダイ92として選択させ、選択されたダイ92に対して、先行のピックアップ作業にて既にピックアップされたダイ92の位置に近い側から遠い側に向かって順に突き上げさせる構成としても良い。既にピックアップされたダイ92の近傍は、ダイ突上装置103による突き上げなどにより、ダイシングシート93は既に引っ張られた状態とされており、他の部分よりもダイ92が剥がれやすい状態となっている。このため、ダイ突上装置103は、既にピックアップされたダイ92の近い側から遠い側に向かって突き上げることで、ダイ92をダイシングシート93から容易に剥がすことができる。
1か所を突き上げると説明したが、これに限定されない。事前突き上げ作業のように、1つのダイ92に対して位置が互いに異なる複数個所を突き上げる構成としても良い。この構成の場合には、上記のように、既にピックアップされたダイ92の近い側から遠い側に向かって突き上げる構成としても良い。
24 装着ヘッド
92 ダイ
93 ダイシングシート
103 ダイ突上装置
105 ピックアップヘッド
158 突き上げピン
201 CPU
Claims (5)
- 粘着シートに貼着された複数のダイの少なくとも1つを突き上げる突上部と、
前記突上部が突き上げたダイをピックアップし、基板の装着位置まで搬送して該基板に装着する装着部と、
制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記突上部がダイを突き上げ、前記突上部が突き上げたダイを前記装着部がピックアップする第1作業と、
前記装着部がピックアップしたダイを装着位置まで搬送して基板に装着する第2作業と、
前記第2作業の作業期間に、前記突上部が後行の前記第1作業の対象となるダイを事前突き上げして、前記ダイと粘着シートとの接着面積について少なくとも前記ダイの中央部分を残して減少させる第3作業と、を実行させ、
前記突上部は、1つのピンを有し、
前記制御部は、
前記第3作業にて、1つのダイに対して前記1つのピンにて複数個所を順々に突き上げさせる電子部品装着装置。 - 前記制御部は、
前記第3作業にて、
先行の前記第1作業の対象とされたダイに隣接するダイを後行の前記第1作業の対象となるダイとして選択させ、
選択されたダイに対して、先行の前記第1作業にて既にピックアップされたダイの位置に近い側から遠い側に向かって順に突き上げさせる請求項1に記載の電子部品装着装置。 - 前記制御部は、
前記第3作業にて、1つの前記ダイに対して当該ダイの少なくとも4隅を事前突上げさせる請求項1または2に記載の電子部品装着装置。 - 前記制御部は、
前記第1作業における突き上げ量と前記第3作業における突き上げ量とを個別に調整可能な請求項1から3の何れかに記載の電子部品装着装置。 - 前記制御部は、
前記第1作業における突き上げ量よりも前記第3作業における突き上げ量を多くする請求項4に記載の電子部品装着装置。
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