JPH1041695A - チップ部品装着装置 - Google Patents
チップ部品装着装置Info
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- JPH1041695A JPH1041695A JP8194269A JP19426996A JPH1041695A JP H1041695 A JPH1041695 A JP H1041695A JP 8194269 A JP8194269 A JP 8194269A JP 19426996 A JP19426996 A JP 19426996A JP H1041695 A JPH1041695 A JP H1041695A
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- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 チップ部品装着サイクルの所要時間を短縮で
き、高速実装による高生産性が可能なチップ部品装着装
置を提供することを目的とする。 【解決手段】 粘着シート８、ダイシングパレット７、
ニードル６、ステージ１６などでなり、チップ部品９を
供給取出すチップ取出部１と、チップ部品９の吸着と上
下および回転動作を独立して行う吸着ノズル４を複数個
持つ移動自在な吸着ヘッド部２と、チップ部品９を装着
位置に装着するため装着対象体のリードフレーム１１、
粘着シート１２を設置し移動可能なテーブル部３からな
る構成とする。
き、高速実装による高生産性が可能なチップ部品装着装
置を提供することを目的とする。 【解決手段】 粘着シート８、ダイシングパレット７、
ニードル６、ステージ１６などでなり、チップ部品９を
供給取出すチップ取出部１と、チップ部品９の吸着と上
下および回転動作を独立して行う吸着ノズル４を複数個
持つ移動自在な吸着ヘッド部２と、チップ部品９を装着
位置に装着するため装着対象体のリードフレーム１１、
粘着シート１２を設置し移動可能なテーブル部３からな
る構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種電子機器に使用
される薄板角状などのチップ部品をテープ、リードフレ
ームおよび基板上へ装着する場合に使用されるチップ部
品装着装置に関するものである。
される薄板角状などのチップ部品をテープ、リードフレ
ームおよび基板上へ装着する場合に使用されるチップ部
品装着装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、薄板角状などのチップ部品例えば
半導体チップのダイボンディングなどに見られるよう
に、ダイシングパレットなどに格子状に整列されたチッ
プ部品の取出し、位置決め、装着の各動作は、チップ部
品１個単位で行われてきた。
半導体チップのダイボンディングなどに見られるよう
に、ダイシングパレットなどに格子状に整列されたチッ
プ部品の取出し、位置決め、装着の各動作は、チップ部
品１個単位で行われてきた。
【０００３】すなわちダイシングパレットなどからチッ
プ部品を１個取出して１本の吸着ノズルに吸着させ、位
置決めを行い、１個装着して再び最初の工程動作で別の
チップ部品を取出すというサイクルにてダイボンディン
グなどを行っていた。
プ部品を１個取出して１本の吸着ノズルに吸着させ、位
置決めを行い、１個装着して再び最初の工程動作で別の
チップ部品を取出すというサイクルにてダイボンディン
グなどを行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来のチップ部品装着装置ではチップ部品を１個ずつ扱う
ため、装着サイクルの所要時間の大幅短縮が困難であ
り、生産性向上が図れないという課題を有している。
来のチップ部品装着装置ではチップ部品を１個ずつ扱う
ため、装着サイクルの所要時間の大幅短縮が困難であ
り、生産性向上が図れないという課題を有している。
【０００５】本発明は前記課題を解決しようとするもの
であり、装着サイクルの所要時間を大幅に短縮し、生産
性向上が図れるチップ部品装着装置を提供することを目
的とする。
であり、装着サイクルの所要時間を大幅に短縮し、生産
性向上が図れるチップ部品装着装置を提供することを目
的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に本発明によるチップ部品装着装置は、チップ部品を供
給取出すチップ取出部と、チップ部品を位置決めするチ
ップ位置決め部と、チップ部品を装着するテーブル部
と、チップ部品の吸着と上下および回転動作を独立して
行う吸着ノズルを複数配置し移動自在な装着吸着ヘッド
部による構成としたものである。
に本発明によるチップ部品装着装置は、チップ部品を供
給取出すチップ取出部と、チップ部品を位置決めするチ
ップ位置決め部と、チップ部品を装着するテーブル部
と、チップ部品の吸着と上下および回転動作を独立して
行う吸着ノズルを複数配置し移動自在な装着吸着ヘッド
部による構成としたものである。
【０００７】本発明によりチップ部品の取出部から装着
するテーブル部までの搬送を複数個同時に行うことがで
き、１個当たりの搬送時間が短縮されることになり装着
サイクルの所要時間の短縮が可能となる。
するテーブル部までの搬送を複数個同時に行うことがで
き、１個当たりの搬送時間が短縮されることになり装着
サイクルの所要時間の短縮が可能となる。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、整列された薄板角状のチップ部品を載置し前後左右
に移動自在で個別に取出し可能なチップ取出部と、チッ
プ部品の吸着と上下および回転動作を独立して行う吸着
ノズルを複数配置した移動自在な吸着ヘッド部と、チッ
プ部品を所定位置に装着する装着対象体を搭載し移動可
能なテーブル部から構成され、個別に取出したチップ部
品を吸着ノズルに順次吸着し、所定個数同時にチップ取
出部からテーブル部に搬送し、チップ部品を装着対象体
の所定位置に装着するチップ部品装着装置としたもので
あり、チップ部品の取出しからテーブル部までの搬送を
複数個同時にできるという作用を有する。
は、整列された薄板角状のチップ部品を載置し前後左右
に移動自在で個別に取出し可能なチップ取出部と、チッ
プ部品の吸着と上下および回転動作を独立して行う吸着
ノズルを複数配置した移動自在な吸着ヘッド部と、チッ
プ部品を所定位置に装着する装着対象体を搭載し移動可
能なテーブル部から構成され、個別に取出したチップ部
品を吸着ノズルに順次吸着し、所定個数同時にチップ取
出部からテーブル部に搬送し、チップ部品を装着対象体
の所定位置に装着するチップ部品装着装置としたもので
あり、チップ部品の取出しからテーブル部までの搬送を
複数個同時にできるという作用を有する。
【０００９】請求項２に記載の発明は、整列された薄板
角状のチップ部品を載置し前後左右に移動自在で個別に
取出し可能なチップ取出部と、チップ部品を所定位置に
装着する装着対象体を搭載し移動可能なテーブル部と、
チップ取出部とテーブル部の間に設けたチップ部品を複
数個同時に位置決めするチップ位置決め部と、チップ部
品の吸着と上下および回転動作を独立して行う吸着ノズ
ルを複数配置し、チップ取出部から個別に取出したチッ
プ部品を吸着ノズルに順次吸着し、所定個数同時にチッ
プ位置決め部に搬送し載置する供給吸着ヘッド部、およ
びチップ位置決め部で位置決めされた複数のチップ部品
を同時に吸着しテーブル部に搬送して装着対象体の所定
位置に装着する装着吸着ヘッド部でなるチップ部品装着
装置としたものであり、チップ部品の取出しからテーブ
ル部までの搬送と、同位置決めを複数個同時にできると
いう作用を有する。
角状のチップ部品を載置し前後左右に移動自在で個別に
取出し可能なチップ取出部と、チップ部品を所定位置に
装着する装着対象体を搭載し移動可能なテーブル部と、
チップ取出部とテーブル部の間に設けたチップ部品を複
数個同時に位置決めするチップ位置決め部と、チップ部
品の吸着と上下および回転動作を独立して行う吸着ノズ
ルを複数配置し、チップ取出部から個別に取出したチッ
プ部品を吸着ノズルに順次吸着し、所定個数同時にチッ
プ位置決め部に搬送し載置する供給吸着ヘッド部、およ
びチップ位置決め部で位置決めされた複数のチップ部品
を同時に吸着しテーブル部に搬送して装着対象体の所定
位置に装着する装着吸着ヘッド部でなるチップ部品装着
装置としたものであり、チップ部品の取出しからテーブ
ル部までの搬送と、同位置決めを複数個同時にできると
いう作用を有する。
【００１０】請求項３に記載の発明は、供給吸着ヘッド
部と装着吸着ヘッド部とを交互にかつ同時に駆動するこ
とを特徴とした請求項２に記載のチップ部品装着装置と
したものであり、チップ取出し部からチップ位置決め部
までの搬送を担当する供給吸着ヘッドと、チップ位置決
め部からテーブル部までの搬送および装着を担当する装
着吸着ヘッドとの作業が交互にかつ同時にできるという
作用を有する。
部と装着吸着ヘッド部とを交互にかつ同時に駆動するこ
とを特徴とした請求項２に記載のチップ部品装着装置と
したものであり、チップ取出し部からチップ位置決め部
までの搬送を担当する供給吸着ヘッドと、チップ位置決
め部からテーブル部までの搬送および装着を担当する装
着吸着ヘッドとの作業が交互にかつ同時にできるという
作用を有する。
【００１１】以下、本発明の実施の形態について、図面
を用いて説明する。 （実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態における
チップ部品装着装置の要部構成斜視図、図２は同チップ
取出部の要部正面および側面断面図、そして図３は同テ
ーブル部の要部正面図である。
を用いて説明する。 （実施の形態１）図１は、本発明の実施の形態における
チップ部品装着装置の要部構成斜視図、図２は同チップ
取出部の要部正面および側面断面図、そして図３は同テ
ーブル部の要部正面図である。
【００１２】図１〜図３において９は能動素子あるいは
受動素子の薄板角状などのチップ部品であり、ウェハ状
のチップ部品を個片に切断分離して複数個格子状などに
整列されている。
受動素子の薄板角状などのチップ部品であり、ウェハ状
のチップ部品を個片に切断分離して複数個格子状などに
整列されている。
【００１３】１はチップ取出部であり、チップ部品９を
突き上げて移動させる硬鋼材などでなるニードル６と、
ニードル６が上下に摺動挿通する孔６ａおよび金属材あ
るいはセラミック材などでなるニードルホルダー６ｂを
持ち、前後左右に移動可能で中央部に前記ニードルホル
ダー６ｂが配置される孔１６ａを設けた金属材あるいは
セラミック材などでなるステージ１６と、前記ステージ
１６の前記孔１６ａの上面に粘着シート８を貼付した上
面に前記チップ部品９を装着したダイシングパレット７
で構成されている。
突き上げて移動させる硬鋼材などでなるニードル６と、
ニードル６が上下に摺動挿通する孔６ａおよび金属材あ
るいはセラミック材などでなるニードルホルダー６ｂを
持ち、前後左右に移動可能で中央部に前記ニードルホル
ダー６ｂが配置される孔１６ａを設けた金属材あるいは
セラミック材などでなるステージ１６と、前記ステージ
１６の前記孔１６ａの上面に粘着シート８を貼付した上
面に前記チップ部品９を装着したダイシングパレット７
で構成されている。
【００１４】２は吸着ヘッド部であり、複数（本実施の
形態１および２では４本）の真空吸引方式などの吸着ノ
ズル４と、吸着ノズル４が上下に摺動する摺動軸受１７
と、定常位置設定を付勢するバネ１８と、吸引駆動を制
御する駆動先端部２０と、吸着ノズル４を上下に駆動す
る駆動レバー１９を設けた吸着ヘッド５から成り、吸着
ヘッド５は片面に固着したスライドプレート１３で構成
されている。
形態１および２では４本）の真空吸引方式などの吸着ノ
ズル４と、吸着ノズル４が上下に摺動する摺動軸受１７
と、定常位置設定を付勢するバネ１８と、吸引駆動を制
御する駆動先端部２０と、吸着ノズル４を上下に駆動す
る駆動レバー１９を設けた吸着ヘッド５から成り、吸着
ヘッド５は片面に固着したスライドプレート１３で構成
されている。
【００１５】３はテーブル部であり、組立あるいは装着
作業を行う装着テーブル１０と、装着テーブル１０の上
面に粘着シート１２を貼付しその上にチップ部品９を装
着する装着対象体としてのリードフレーム１１で構成さ
れている。
作業を行う装着テーブル１０と、装着テーブル１０の上
面に粘着シート１２を貼付しその上にチップ部品９を装
着する装着対象体としてのリードフレーム１１で構成さ
れている。
【００１６】１４は複数のスライダー１５を片面に取付
けたプレートであり、吸着ヘッド部２の吸着ヘッド５を
固着したスライドプレート１３がスライダー１５で左右
に自在に摺動し、吸着ヘッド部２の吸着ノズル４でチッ
プ部品９を吸着、搬送、そして装着する。
けたプレートであり、吸着ヘッド部２の吸着ヘッド５を
固着したスライドプレート１３がスライダー１５で左右
に自在に摺動し、吸着ヘッド部２の吸着ノズル４でチッ
プ部品９を吸着、搬送、そして装着する。
【００１７】次に動作について説明する。まず、ニード
ル６がニードルホルダー６ｂの孔６ａを摺動挿通して上
昇し（駆動機構は図示せず）所定の切断分離されたチッ
プ部品９を粘着シート８ごと突き上げ、対向したその上
方の吸着ノズル４がバネ１８と駆動レバー１９により降
下した状態で待機しており、突き上げるチップ部品９を
移動する途中でニードル６の先端と吸着ノズル４の先端
で粘着シート８を介してチップ部品９を挟持する。
ル６がニードルホルダー６ｂの孔６ａを摺動挿通して上
昇し（駆動機構は図示せず）所定の切断分離されたチッ
プ部品９を粘着シート８ごと突き上げ、対向したその上
方の吸着ノズル４がバネ１８と駆動レバー１９により降
下した状態で待機しており、突き上げるチップ部品９を
移動する途中でニードル６の先端と吸着ノズル４の先端
で粘着シート８を介してチップ部品９を挟持する。
【００１８】ニードル６はさらに上昇し、それに押圧さ
れて吸着ノズル４はバネ１８の付勢力に抗して押し上げ
られる。そしてニードル６の先端は粘着シート８を突き
破ってチップ部品９を粘着シート８から剥離して、吸着
ノズル４にチップ部品９を受け渡して真空吸着（吸着駆
動機構は図示せず）などにより吸着保持させ駆動レバー
１９により吸着ノズル４をその位置に保持するととも
に、ニードル６は降下して元に戻る。
れて吸着ノズル４はバネ１８の付勢力に抗して押し上げ
られる。そしてニードル６の先端は粘着シート８を突き
破ってチップ部品９を粘着シート８から剥離して、吸着
ノズル４にチップ部品９を受け渡して真空吸着（吸着駆
動機構は図示せず）などにより吸着保持させ駆動レバー
１９により吸着ノズル４をその位置に保持するととも
に、ニードル６は降下して元に戻る。
【００１９】その後ステージ１６すなわちダイシングパ
レット７の粘着シート８に装着されたチップ部品９およ
び吸着ヘッド５が移動して、新しい所定のチップ部品９
と吸着ノズル４の位置に設定される。
レット７の粘着シート８に装着されたチップ部品９およ
び吸着ヘッド５が移動して、新しい所定のチップ部品９
と吸着ノズル４の位置に設定される。
【００２０】以下、このサイクルを数回（本実施例では
４回）繰り返して、チップ取出部１に複数個格子状に整
列されたチップ部品９を個別（例えば１個ずつ順番）に
吸着ヘッド部２の吸着ノズル４への供給取出しすなわち
受け渡しを行う。吸着ヘッド部２はチップ部品９を装着
位置に装着させるために、スライドプレート１３がプレ
ート１４のスライダー１５を摺動してテーブル部３へ移
動する。
４回）繰り返して、チップ取出部１に複数個格子状に整
列されたチップ部品９を個別（例えば１個ずつ順番）に
吸着ヘッド部２の吸着ノズル４への供給取出しすなわち
受け渡しを行う。吸着ヘッド部２はチップ部品９を装着
位置に装着させるために、スライドプレート１３がプレ
ート１４のスライダー１５を摺動してテーブル部３へ移
動する。
【００２１】チップ部品９の装着は図３に示すように、
吸着ヘッド部２によってチップ取出部１から所定の複数
個同時に搬送されたチップ部品９を、複数の吸着ノズル
４の各々独立したバネ１８と駆動レバー１９による降下
装着動作により個別あるいは所定数同時にリードフレー
ム１１に貼付された粘着シート１２の上面所定個所に装
着する。
吸着ヘッド部２によってチップ取出部１から所定の複数
個同時に搬送されたチップ部品９を、複数の吸着ノズル
４の各々独立したバネ１８と駆動レバー１９による降下
装着動作により個別あるいは所定数同時にリードフレー
ム１１に貼付された粘着シート１２の上面所定個所に装
着する。
【００２２】装着終了後吸着ヘッド５は元のチップ取出
部１に戻り新規にチップ部品９を供給取出しすなわち受
け渡しを行うとともに、テーブル部３の装着テーブル１
０を所定位置に移動させた後、前記と同じ動作を行うこ
とにより、その新規のチップ部品９を所定の装着位置へ
順次装着するのである。
部１に戻り新規にチップ部品９を供給取出しすなわち受
け渡しを行うとともに、テーブル部３の装着テーブル１
０を所定位置に移動させた後、前記と同じ動作を行うこ
とにより、その新規のチップ部品９を所定の装着位置へ
順次装着するのである。
【００２３】（実施の形態２）図４は他の実施の形態に
おけるチップ部品装着装置の要部構成斜視図、図５は同
チップ位置決め部の要部斜視図である。
おけるチップ部品装着装置の要部構成斜視図、図５は同
チップ位置決め部の要部斜視図である。
【００２４】なお図４においては、基本的には図１にて
説明した装置に構成要素を追加したものであるので、同
一構成および部品には同一番号を付与し詳細な説明は省
略する。
説明した装置に構成要素を追加したものであるので、同
一構成および部品には同一番号を付与し詳細な説明は省
略する。
【００２５】図４、図５において、２１はチップ取出部
１とテーブル部３の間に設けたチップ位置決め部であ
り、位置決めステージ２２の上面に配設されて前後左右
に摺動自在で複数のチップ部品９を同時に移動、規制、
所定の位置決めをする位置決めプレート２３，２４によ
り構成されている。
１とテーブル部３の間に設けたチップ位置決め部であ
り、位置決めステージ２２の上面に配設されて前後左右
に摺動自在で複数のチップ部品９を同時に移動、規制、
所定の位置決めをする位置決めプレート２３，２４によ
り構成されている。
【００２６】２５は供給吸着ヘッド部であり、前記吸着
ヘッド部２と同じ構成でチップ取出部１の上部に対向し
プレート１４のスライダー１５を摺動して移動自在に設
置している。
ヘッド部２と同じ構成でチップ取出部１の上部に対向し
プレート１４のスライダー１５を摺動して移動自在に設
置している。
【００２７】２６は装着吸着ヘッド部であり前記吸着ヘ
ッド部２と同じ構成でテーブル部３の上部に対向しプレ
ート１４のスライダー１５を摺動して移動自在に設置し
ている。
ッド部２と同じ構成でテーブル部３の上部に対向しプレ
ート１４のスライダー１５を摺動して移動自在に設置し
ている。
【００２８】次に動作について説明する。前記実施の形
態１と同じ動作によりチップ取出部１のチップ部品９を
受け渡し吸着した供給吸着ヘッド部２５をチップ位置決
め部２１に移動させ、位置決めプレート２３と位置決め
プレート２４の間の位置決めステージ２２の上面所定位
置にチップ部品９を一括同時に載置する。
態１と同じ動作によりチップ取出部１のチップ部品９を
受け渡し吸着した供給吸着ヘッド部２５をチップ位置決
め部２１に移動させ、位置決めプレート２３と位置決め
プレート２４の間の位置決めステージ２２の上面所定位
置にチップ部品９を一括同時に載置する。
【００２９】その後、供給吸着ヘッド部２５を元の位置
に戻すとともに、位置決めプレート２３，２４を図５に
示す矢印方向に各々に移動させて、チップ部品９を複数
同時に所定の位置決めを行う。
に戻すとともに、位置決めプレート２３，２４を図５に
示す矢印方向に各々に移動させて、チップ部品９を複数
同時に所定の位置決めを行う。
【００３０】次に装着吸着ヘッド部２６を移動させて、
前記位置決め部２１の位置決めステージ２２上に位置決
めされたチップ部品９を一括同時に吸着してテーブル部
３に搬送した後、前記と同様にリードフレーム１１の所
定個所の装着位置にチップ部品９を一括同時に装着す
る。以上の各部の動作を同時にかつ最適なシーケンスを
設定して行うのである。
前記位置決め部２１の位置決めステージ２２上に位置決
めされたチップ部品９を一括同時に吸着してテーブル部
３に搬送した後、前記と同様にリードフレーム１１の所
定個所の装着位置にチップ部品９を一括同時に装着す
る。以上の各部の動作を同時にかつ最適なシーケンスを
設定して行うのである。
【００３１】図６は従来の方法との工程および装着所用
時間の比較を２個のチップ部品９を使用する例を示した
ものであり、同時に装着するチップ部品９の数を増加す
れば、チップ部品９の１個当たりの装着所用時間はさら
に短縮できるといえる。
時間の比較を２個のチップ部品９を使用する例を示した
ものであり、同時に装着するチップ部品９の数を増加す
れば、チップ部品９の１個当たりの装着所用時間はさら
に短縮できるといえる。
【００３２】図６において、供給吸着ヘッド部２５のタ
イムチャートで、載置とあるのは、位置決めステージ２
２上にチップ部品９を載置するための時間を示す。ま
た、図６より明らかなように、チップ部品９の数を４個
にすると、従来の方法ではチップ部品１個の装着サイク
ルの４倍の所要時間がかかるが、本発明の方法では、チ
ップ部品２個の装着サイクルの２倍ではなく、供給吸着
ヘッド部２５のチップ部品取出し時間があと２個分増え
るだけの時間増しの装着サイクルとなるため、大幅な時
間短縮が行えることになる。
イムチャートで、載置とあるのは、位置決めステージ２
２上にチップ部品９を載置するための時間を示す。ま
た、図６より明らかなように、チップ部品９の数を４個
にすると、従来の方法ではチップ部品１個の装着サイク
ルの４倍の所要時間がかかるが、本発明の方法では、チ
ップ部品２個の装着サイクルの２倍ではなく、供給吸着
ヘッド部２５のチップ部品取出し時間があと２個分増え
るだけの時間増しの装着サイクルとなるため、大幅な時
間短縮が行えることになる。
【００３３】なおチップ部品９の受け渡し、吸着、載
置、あるいは装着は、チップ部品９の種類や装着構成あ
るいは装着対象体などにより、最適となる個別（例えば
１個ずつ）あるいは所定の複数同時に行ってもよいこと
はいうまでもない。
置、あるいは装着は、チップ部品９の種類や装着構成あ
るいは装着対象体などにより、最適となる個別（例えば
１個ずつ）あるいは所定の複数同時に行ってもよいこと
はいうまでもない。
【００３４】またテーブル部３のリードフレーム１１が
１列の場合には、吸着ヘッド部２の吸着ノズル４が移動
自在のためリードフレーム１１の移送機構を設ける必要
がなく、また、装着テーブル１０に一軸方向移動自在の
Ｙテーブルを使用すれば、多列に配設されたリードフレ
ーム１１に対しても任意の所定位置にチップ部品９の装
着ができる。
１列の場合には、吸着ヘッド部２の吸着ノズル４が移動
自在のためリードフレーム１１の移送機構を設ける必要
がなく、また、装着テーブル１０に一軸方向移動自在の
Ｙテーブルを使用すれば、多列に配設されたリードフレ
ーム１１に対しても任意の所定位置にチップ部品９の装
着ができる。
【００３５】さらに装着対象体はリードフレーム１１に
限定されるものでなく、セラミックや樹脂材などでなる
基板状のものでも可能である。
限定されるものでなく、セラミックや樹脂材などでなる
基板状のものでも可能である。
【００３６】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、チップ部
品の供給動作と装着動作などのオーバーラップすなわち
同時動作が可能で、ウェハ状のチップ部品の個片への切
断分離作業も複数個同時に行ったものを使用できるので
チップ部品装着サイクルの所要時間を大幅に短縮できる
という有利な効果が得られる。
品の供給動作と装着動作などのオーバーラップすなわち
同時動作が可能で、ウェハ状のチップ部品の個片への切
断分離作業も複数個同時に行ったものを使用できるので
チップ部品装着サイクルの所要時間を大幅に短縮できる
という有利な効果が得られる。
【図１】本発明の実施の形態におけるチップ部品装着装
置の要部構成斜視図
置の要部構成斜視図
【図２】同チップ取出部の要部正面および側面断面図
【図３】同テーブル部の要部正面図
【図４】他の実施の形態におけるチップ部品装着装置の
要部構成斜視図
要部構成斜視図
【図５】同チップ位置決め部の要部斜視図
【図６】従来の方法との工程および装着所用時間の比較
例図
例図
１ チップ取出部 ２ 吸着ヘッド部 ３ テーブル部 ４ 吸着ノズル ５ 吸着ヘッド ６ ニードル ６ａ 孔 ６ｂ ニードルホルダー ７ ダイシングパレット ８ 粘着シート ９ チップ部品 １０ 装着テーブル １１ リードフレーム １２ 粘着シート １３ スライドプレート １４ プレート １５ スライダー １６ ステージ １６ａ 孔 １７ 摺動軸受 １８ バネ １９ 駆動レバー ２０ 駆動先端部 ２１ チップ位置決め部 ２２ 位置決めステージ ２３ 位置決めプレート ２４ 位置決めプレート ２５ 供給吸着ヘッド部 ２６ 装着吸着ヘッド部
Claims (3)
- 【請求項１】 整列された薄板角状のチップ部品を載置
し前後左右に移動自在で個別に取出し可能なチップ取出
部と、チップ部品の吸着と上下および回転動作を独立し
て行う吸着ノズルを複数配置し移動自在な吸着ヘッド部
と、チップ部品を所定位置に装着する装着対象体を搭載
し移動可能なテーブル部から構成され、個別に取出した
チップ部品を吸着ノズルに順次吸着し、所定個数同時に
チップ取出部からテーブル部に搬送し、チップ部品を装
着対象体の所定位置に装着するチップ部品装着装置。 - 【請求項２】 整列された薄板角状のチップ部品を載置
し前後左右に移動自在で個別に取出し可能なチップ取出
部と、チップ部品を所定位置に装着する装着対象体を搭
載し移動可能なテーブル部と、チップ取出部とテーブル
部の間に設けたチップ部品を複数個同時に位置決めする
チップ位置決め部と、チップ部品の吸着と上下および回
転動作を独立して行う吸着ノズルを複数配置し、チップ
取出部から個別に取出したチップ部品を吸着ノズルに順
次吸着し、所定個数同時にチップ位置決め部に搬送し載
置する供給吸着ヘッド部、およびチップ位置決め部で位
置決めされた複数のチップ部品を同時に吸着しテーブル
部に搬送して装着対象体の所定位置に装着する装着吸着
ヘッド部でなるチップ部品装着装置。 - 【請求項３】 供給吸着ヘッド部と装着吸着ヘッド部と
を交互にかつ同時に駆動することを特徴とする請求項２
に記載のチップ部品装着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8194269A JPH1041695A (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | チップ部品装着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8194269A JPH1041695A (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | チップ部品装着装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1041695A true JPH1041695A (ja) | 1998-02-13 |
Family
ID=16321820
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8194269A Pending JPH1041695A (ja) | 1996-07-24 | 1996-07-24 | チップ部品装着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1041695A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11145687A (ja) * | 1997-11-11 | 1999-05-28 | Sony Corp | 電子部品実装装置 |
| WO2000014773A1 (de) * | 1998-09-03 | 2000-03-16 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur handhabung einer mehrzahl von schaltungschips |
| JP2000091798A (ja) * | 1998-09-09 | 2000-03-31 | Nec Eng Ltd | 部品位置決め装置 |
| WO2004003978A1 (de) * | 2002-06-26 | 2004-01-08 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zum abholen von ic‘s von einem wafer |
| KR100921232B1 (ko) | 2001-08-08 | 2009-10-12 | 파나소닉 주식회사 | 전자부품 실장장치 및 방법 |
| JP2010011371A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-14 | Kyocera Kinseki Corp | 圧電振動素子実装装置 |
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| JP2019106418A (ja) * | 2017-12-11 | 2019-06-27 | 株式会社Ｆｕｊｉ | 電子部品装着装置 |
-
1996
- 1996-07-24 JP JP8194269A patent/JPH1041695A/ja active Pending
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| CN102378571B (zh) * | 2010-08-10 | 2016-08-31 | 韩华泰科株式会社 | 安装元件的设备和方法 |
| JP2012099560A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Kyocera Kinseki Corp | 素子部品搭載装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| A977 | Report on retrieval |
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