JPH0446693B2

JPH0446693B2 -

Info

Publication number: JPH0446693B2
Application number: JP60107487A
Authority: JP
Inventors: Wataru Hidese
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1985-05-20
Filing date: 1985-05-20
Publication date: 1992-07-30
Also published as: JPS61265220A

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本装置はチツプの位置ずれ補正装置に係り、詳
しくは、スライド自在な位置規正爪により、寸法
の異なる複数品種のチツプの位置ずれを補正する
ための装置に関する。

（従来の技術）ウエハーなどに装備されたチツプを基板に搭載
する場合、チツプのXYθ方向の位置ずれを予め
補正することが行なわれる。この位置ずれは、一
般に、ウエハー上のチツプを位置ずれ補正装置の
台板上に移載し、この台板上のチツプに、位置規
正爪を押し当てることにより、機械的に補正され
る。このような従来の位置ずれ補正手段として
は、第４図に示すものが知られており、次にその
詳細を説明する。

図中、１８は台板であり、その上面にはメツシ
ユ３５が貼設されている。このメツシユ３５上に
は、図外の移載ヘツドにより、ウエハー上のチツ
プ３が移載される。メツシユ３５の中心部４４の
下方には、吸引手段（図示せず）が形成されてお
り、位置ずれ補正中にチツプ３が不要にふらつか
ないように、チツプ３を軽く吸着する。

４３は位置規正爪であり、図示するようにカギ
形の縁部を有している。次にその動作を説明す
る。

図示するように、位置規正爪４３が側方に退避
した状態で、移載ヘツドにより、チツプ３はメツ
シユ３５上の側方位置４７に移載される。次に位
置規正爪４３は、図外のXYテーブルに駆動され
て、矢印Ｆ方向へスライドし、そのカギ形の縁部
が、チツプ３の直交する２辺に押し当ることによ
り、チツプ３のXYθ方向に位置ずれを補正する。
このようにして位置ずれが補正されたチツプ３
は、移載ヘツド（図外）によりピツクアツプさ
れ、基板に移送搭載される。

（発明が解決しようとする課題）チツプ３の縦、横、厚さの寸法は大小様々であ
り、１個の位置規正爪４３により、大小様々のす
べてのチツプ３の位置ずれを補正することは実際
上困難である。このため従来、様々な寸法の位置
規正爪４３を用意しておき、チツプの寸法に応じ
て、位置規正爪４３を交換していた。

しかしながらこのようにチツプの寸法に応じて
位置規正爪４３を交換すことは甚だ面倒であつ
た。また位置規正爪４３を交換すると、位置規正
爪４３毎に取り付け位置の誤差が生じてしまうと
いう問題点があつた。

そこで本発明は、上記従来手段の問題点を解消
できるチツプの位置ずれ補正装置を提供すること
を目的とする。

（課題を解決するための手段）このために本発明は、位置規正爪の長さ方向に
沿つて、寸法の異なる複数個のカギ形の縁部を形
成したものである。

（作用）上記構成によれば、チツプの寸法に応じて、カ
ギ型縁部を使い分けることにより、大小様々のチ
ツプの位置ずれを補正できることから、従来手段
のように、チツプの寸法に応じて位置規正爪を交
換する手間を解消できる。

（実施例）次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説
明する。

第２図はチツプ実装装置の全体斜視図である。
図中、２３は基板２１の搬送コンベヤであり、リ
フター（ローダ）３０に保持されたストツカ２８
内の基板２１を、リフター（アンローダ）２９に
保持されたストツカ２８へ向かつて搬送する。３
１はリフター３０側のストツカ２８の背後に設け
られた押出し装置であり、ストツカ２８内の基板
２１をコンベヤ２３上へ押し出す。またリフター
２９側のストツカ２８の前方には搬入装置３３が
設けられており、コンベヤ２３上の基板２１をガ
イドレール２４に沿つてストツカ２８内に回収す
る。

コンベヤ２３の途中には、基板ホルダー２２が
設けられている。この基板ホルダー２２は、チツ
プを基板２１の所定の座標位置に搭載するべく、
基板２１をXY方向に移動させる。

８は本体ブロツクであり、第１図に示すように
２個のヘツド８ａ，８ｂが設けられている。これ
らのヘツド８ａ，８ｂは、それぞれのノズル２０
ａ，２０ｂにチツプ３を吸着し、基板２１の搬送
方向Ｂ，Ｃ（Ｘ方向）と直交するＤ方向（Ｙ方向）
に往復移動する。

第２図において、２はチツプ供給装置であり、
次のように構成されている。４６はXYテーブル
であり、インデツクス装置６が設置されている。
このインデツクス装置６の周囲には、チツプ３が
貼着されたウエハーを保持する治具４が多数個取
り付けられている（第１図も併せて参照）。５は
取付けねじである。治具４の下方にはエジェクタ
ー７が配設されており、上記ノズル２０ａがウエ
ハー上のチツプ３をピツクアツプしやすいよう
に、チツプ３を下方から突き上げる。

第１図において、１はチツプ３の位置ずれ補正
装置であり、次にその詳細な構造を説明する。１
８は台板であり、その上面にはプレート状の位置
規正爪１７がスライド自在に設けられている。１
３はベースプレートであり、このベースプレート
１３上には、Ｘ方向モータ１０、Ｙ方向モータ１
１、ガイドレール１２が設けられており、またそ
の上部にはプレート１４が設けられている。これ
らの部品１０〜１４は、位置規正爪１７をXY方
向にスライドさせるXYテーブルを構成してい
る。

このプレート１４上にはブロツク１５が設置さ
れており、このブロツク１５に上記位置規正爪１
７は片持ち支持されている。１６は取付けねじで
ある。

第３図に示すように、位置規正爪１７には寸法
の異なる複数個のカギ形の縁部３９ａ，３９ｂ，
３９ｃがその長さ方向に沿つて同一平面内に形成
されており、寸法の異なるチツプ３ａ，３ｂ，３
ｃに対して使い分けるようになつている。

本装置は上記のような構成より成り、次に動作
の説明を行う。

第１図において、２つのヘツド８ａ，８ｂが一
体的に矢印Ｄ方向に移動することにより、一方の
ヘツド８ａは治具４上のチツプ３をピツクアツプ
して台板１８上に移送搭載し、また他方のヘツド
８ｂは台板１８上で位置ずれが補正されたチツプ
３を基板２１に移送搭載する。チツプ搭載が終了
した基板２１は、ガイドレール２４に沿つて矢印
Ｂ方向へ搬送され、ストツカ２８に回収される。
またインデツクス装置６が駆動して治具４を水平
回転させることにより、所定のチツプを有する治
具４を、ヘツド８ａのピツクアツプ位置に位置さ
せる。

台板１８上に移載されたチツプ３の位置ずれの
補正は、第４図を参照しながら説明した従来手段
と同様にして行われる。すなわちXYテーブル１
０〜１４を駆動して、位置規正爪１７をXY方向
にスライドさせ、そのカギ形の縁部３９，３９
ａ，３９ｂ，３９ｃを、チツプ３，３ａ，３ｂ，
３ｃの直交する２辺に押し付けることにより、チ
ツプ３の位置ずれは補正される。この場合、チツ
プ３の寸法に応じて、縁部３９ａ，３９ｂ，３９
ｃを使い分け、チツプ３の位置ずれを補正する。
殊に本手段によれば、縁部３９，３９ａ，３９
ｂ，３９ｃのチツプ３に対する押当動作だけでな
く、３つの縁部３９，３９ａ，３９ｂ，３９ｃの
うち、どの縁部３９を使用するかの縁部３９の選
択動作も、同一XYテーブル１０〜１４により行
える利点がある。

（発明の効果）以上説明したように本発明は、位置規正爪に寸
法の異なるカギ形の縁部を長さ方向に沿つて複数
個形成しているので、これらの縁部を使い分ける
ことにより、大小様々な寸法を有するチツプの位
置ずれを補正することができる。しかも縁部をチ
ツプに押し当てる押当動作だけでなく、複数個の
縁部のうち、どの縁部を使用するかの縁部の選択
動作も、同一のXYテーブルにより行えるので、
単に構成が簡単化できるだけでなく、上記押当動
作と選択動作を同時に連続動作として行うことも
可能となり、ひいては大小様々のチツプの位置ず
れを高速度でスムーズに行うことができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すものであつて、第１
図はチツプ実装装置の要部斜視図、第２図は同全
体斜視図、第３図位置規正爪の平面図、第４図は
従来の位置ずれ補正装置の要部斜視図である。１……位置ずれ補正装置、３……チツプ、１０
〜１４……XYテーブル、１７……位置規正爪、
１８……台板、３９ａ，３９ｂ，３９ｃ……縁
部。

Claims

【特許請求の範囲】

１チツプが搭載される台板と、この台板上にス
ライド自在に設けられたプレート状の位置規正爪
と、この位置規正爪をXY方向にスライドさせる
XYテーブルとを備え、上記位置規正爪の長さ方
向に沿つて、寸法の異なる複数個のカギ形の縁部
を形成したことを特徴とするチツプの位置ずれ補
正装置。