JPH0516974B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はチツプ実装装置に係り、詳しくは、複
数個のウエハーやトレイのチツプを基板に作業性
良くハイブリツト搭載するための装置に関する。

（従来の技術） IC、LSIなどの電子部品は、一般に、ウエハー
やトレイの半導体チツプ（以下単に「チツプ」と
いう）をリードフレームに搭載した後、このチツ
プを合成樹脂によりモールドし、次いでリードフ
レームを打抜きフオーミングして作られる。この
合成樹脂製モールド体は、チツプを保護するため
のものであるが、モールド体を形成すると電子部
品の寸法は相当大きくなり、基板に多数個高密度
で搭載できない問題点がある。このため、チツプ
をモールド体でモールドすることなく、ウエハー
やトレイのチツプをそのまま基板に搭載すること
が行われる。

ところで従来、一品種のチツプを基板に１個ず
つ搭載するモノリシツク搭載技術はほぼ確立され
ていたが、多品種のチツプを、基板に複数個搭載
するハイブリツト搭載技術は十分には確立されて
いない実情にあつた。

第４図は、多品種のチツプを基板に搭載する従
来のハイブリツト搭載技術を示すものである。図
中、１ａはチツプ供給装置であつて、XYテーブ
ル３上にブロツク６を装着し、このブロツク６に
複数個のウエハー保持用治具９が直線状に装着さ
れている。それぞれの治具９は、それぞれ品種の
異なるチツプが貼着されたウエハー２を保持して
いる。４はＸ方向モータ、５はＹ方向モータであ
る。

７は移載装置（ベーシツクマシン）であつて、
ヘツド８を備えている。ヘツド８は、矢印Ａ方向
に往復移動し、ウエハー２上のチツプをピツクア
ツプして基板（図外）に移送搭載する。

また第５図に示すチツプ供給装置１ｂは、治具
１２上にトレイ１１が載置されており、このトレ
イ１１内のチツプを基板（図外）に移送搭載す
る。

（発明が解決しようとする課題） 上記従来のチツプ供給装置１ａ，１ｂは、Ｘ方
向モータ４を駆動して、ブロツク６や治具１２を
横方向に直線的に往復移動させることにより、所
望品種のチツプを有するウエハー２やトレイ１１
を、ヘツド８のピツクアツプ位置へ移動させるよ
うになつている。ところがこのような手段では、
横方向の移動ストロークがきわめて長くなつて、
移動に要する時間が長くなり、それだけ作業能率
が低下するだけでなく、停止位置精度が悪くなつ
て、ヘツド８によるピツクアツプミスを多発しや
すくなり、更には横方向に長大な配設スペースを
必要とする等の問題点があつた。

またウエハー２とトレイ１１は、それぞれ別個
のチツプ供給装置１ａ，１ｂにセツトされるの
で、ウエハータイプのチツプとトレイタイプのチ
ツプを同時に基板に搭載できないものであつた。

そこで本発明は、上記従来装置の問題点を解消
し、コンパクトな構成により、ウエハーやトレイ
の多品種のチツプを基板に作業性良くハイブリツ
ト搭載できる手段を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段） 本発明においては、水平方向に移動可能なXY
テーブルと、上記XYテーブル上に設けられ、か
つ複数のチツプを収納したチツプ供給装置と、上
下移動及び水平移動可能であつて、上記チツプ供
給装置に収納されたチツプを吸引して所定の位置
に移載を行なうヘツドを有する移載装置と、識別
部材の有無を検出する検出器とを備え、上記チツ
プ供給装置は、ウエハタイプのチツプを保持する
保持用治具と、この保持用治具上のウエハからチ
ツプを取り出すエジエクターと、トレイタイプの
チツプを保持する保持用治具とを有し、上記両保
持用治具が単一列かつ円形状に配置され、上記円
の中心から延びる鉛直軸線の周りを回転自在に設
けられ、上記トレイタイプのチツプを保持する保
持用治具には識別部材が設けられ、上記検出器が
前記識別部材を検出した際には、上記エジエクタ
ーの作動を停止するように構成されている。

（作用） 本発明においては、単一列かつ円形状に配置さ
れ、上記円の中心から延びる鉛直軸線の周りを回
転自在に設けられた、ウエハタイプのチツプを保
持する保持用治具とトレイタイプのチツプを保持
する保持用治具とのうち、検出器がトレイタイプ
のチツプを保持する保持用治具の識別部材を検出
した際には、ジエクターのチツプ突き上げ動作を
行なわない。即ち、エジエクターは、ウエハタイ
プのチツプを移載装置がピツクアツプする際にの
み作動する。

（実施例） 次に、図面を参照しながら本発明の実施例を説
明する。

第３図はチツプ実装装置１２の全体斜視図であ
る。図中、２３は基板２２の搬送コンベヤであ
り、リフター（ローダ）１８に保持された第１の
ストツカ１９内の基板２２を、リフター（アンロ
ーダ）２１に保持された第２のストツカ１９へ向
かつて搬送する。１７はリフター１８側のストツ
カ１９の背後に設けられた押し出し装置であり、
ストツカ１９内の基板２２をコンベヤ２３上に押
し出す。またリフター２１側のストツカ１９の前
方には搬入装置２４が設けられている。この搬入
装置２４は、チツプ搭載が終了したコンベヤ２３
上の基板２２をストツカ１９内に搬入する。２５
は搬入用アイドレールである。

コンベヤ２３の途中には、基板ホルダー１６が
設けられている。この基板ホルダー１６は、チツ
プを基板２２の所定の座標位置に搭載するべく、
基板２２をXY方向に移動させる。

７は移載装置（以下ベーシツクマシンという）
であり、第１図に示すように、３つのヘツド８
ａ，８ｂ，８ｃを有している。図示するように、
３つのヘツド８ａ，８ｂ，８ｃは、コンベヤ２３
による基板２２の搬送方向（Ｘ方向）と直交する
Ｙ方向に直線上に並設されている。またベーシツ
クマシン７の下方には、エポキシユニツト２９、
上記基板ホルダー１６、位置決め装置２８、チツ
プ突き上げ装置（エジエクター）１５、チツプ供
給装置１がＹ方向に並設されている。

エポキシユニツト２９には、チツプを基板２２
に接着する接着剤が装備されている。位置決め装
置２８は、これに搭載されたチツプの位置ずれを
補正する。エジエクター１５は、ウエハー２上の
チツプを下方から突き上げる。

上記３つのヘツド８ａ，８ｂ，８ｃはベーシツ
クマシン７に駆動されて、Ｙ方向（矢印Ａ方向）
に往復移動する。このうち、接着剤塗布手段とし
ての第３のヘツド８ａは、エポキシユニツト２９
と基板ホルダー１６上の基板２２の間を往復移動
して、エポキシユニツト２９の接着剤を基板２２
のチツプが搭載される位置に予め塗布する。ま
た、第１のヘツド８ｃは、チツプ供給装置１のウ
エハー２と位置決め装置２８の間を往復移動し、
ウエハー２やトレイ１１のチツプ３０（第２図
イ，ロ参照）をピツクアツプして位置決め装置２
８に移送搭載する。このピツクアツプの際に、ヘ
ツド８ｃがチツプ３０をピツクアツプし易いよう
に、エジエクター１５はウエハー２上のチツプ３
０を下方から突き上げる。

また第２のヘツド８ｂは、位置決め装置２８と
基板２２の間を往復移動し、位置決め装置２８に
おいて位置ずれが補正されたチツプ３０をピツク
アツプし、上述したように基板２２にヘツド８ａ
により予め塗布された接着剤上に搭載する。

なお３つのヘツド８ａ，８ｂ，８ｃは必ずしも
一体的にＹ方向に往復移動させる必要はなく、要
は互いに連係して往復移動すればよいものである
が、本実施例のように同一のベーシツクマシン７
により、３個のヘツド８ａ，８ｂ，８ｃを一体的
にＹ方向に往復移動させた方が、装置の構成上
や、運転管理上有利である。

次にチツプ供給装置１の詳細な構造を説明す
る。第１図及び第３図において、３はXYテーブ
ルであり、このXYテーブル３上にはインデツク
ス装置（ピツチ回転装置）２６が設けられてい
る。２７はその駆動用モータである。４はXYテ
ーブル３のＸ方向モータ、５はＹ方向モータであ
る。インデツクス装置２６の周囲には、複数個
（本実施例では８個）の保持用治具９が放射状に
配設されている。治具９はウエハー２やトレイ１
１を保持しており、各々のウエハー２やトレイ１
１には、それぞれ品種の異なるチツプ３０が装備
されている。３はエジエクター１５に設けられた
検出器、３３はトレイタイプの治具９に設けられ
た遮光板（識別部材）である。トレイタイプの場
合は、チツプ３０の突き上げは不要であり、した
がつて検出器３４が遮光板３３を検出した場合に
は、エジエクター１５は作動しないようにしてい
る。

インデツクス装置２６が駆動すると、８個の治
具９はインデツクス装置２６を中心に矢印Ｄ方向
に水平回転し、所望品種のチツプ３０を有するウ
エハー２やトレイ１１を、第１のヘツド８ｃのピ
ツクアツプ位置、すなわちエジエクター１５の直
上で停止させる。すなわちこのインデツクス装置
２６は、所望品種のチツプ３０を有するウエハー
２やトレイ１１の選択を行う。

またXYテーブル３が駆動すると、この選択さ
れたウエハー２やトレイ１１はXY方向に移動
し、ウエハー２やトレイ１１のチツプ３０をヘツ
ド８ｃの直下のピツクアツプ位置に位置させる。

このチツプ実装装置は上記のような構成より成
り、次に全体の動作の説明を行う。

押し出し装置１７により、ストツカ１９からコ
ンベヤ２３上へ押し出された基板２２は、コンベ
ヤ２３により搬送されて、基板ホルダー１６上で
停止する。次いで基板２２が基板ホルダー１６上
に位置決めされた状態で、ベーシツクマシン７が
駆動し、３つのヘツド８ａ，８ｂ，８ｃは同時に
Ｙ方向に往復移動することにより、第３のヘツド
８ａはエポキシユニツト２９の接着剤を基板２２
上に塗布し、第１のヘツド８ｃはウエハー２やト
レイ１１のチツプ３０をピツクアツプして位置決
め装置２８に移送搭載し、第２のヘツド８ｂは位
置決め装置２８で位置ずれが補正されたチツプ３
０をピツクアツプして基板２２の接着剤上に搭載
する。

このような一連の連係動作が、一枚の基板２２
に対して複数回繰り返されることにより、基板２
２に複数品種のチツプ３０がハイブリツト搭載さ
れる。勿論この場合、基板ホルダー１６を駆動し
て基板２２をXY方向に移動させることにより、
基板２２の所定の座標位置に接着剤が塗布され、
またチツプ３０が搭載される。

上述のようにして、基板２２には複数品種のチ
ツプ３０がハイブリツト搭載されるが、チツプ３
０の品種の切り換えは、インデツクス装置２６を
駆動して、所望品種のチツプ３０を有するウエハ
ー２やトレイ１１を、第１のヘツド８ｃのピツク
アツプ位置に移動させることにより行われる。

基板２２に対するチツプ３０の搭載が終了した
ならば、この基板２２はコンベヤ２３に搬送され
てリフター２１のストツカ１９に回収される。そ
して次の基板２２がリフター１８のストツカ１９
から送り出されてきて、上記動作が繰り返され
る。

（発明の効果） 本発明によれば、ウエハタイプのチツプを保持
する保持用治具と、トレイタイプのチツプを保持
する保持用治具とが単一列かつ円形状に配置さ
れ、上記円の中心から延びる鉛直軸線の周りを回
転自在に設けられ、またトレイタイプのチツプを
保持する保持用治具には識別部材が設けられ、検
出器がトレイタイプのチツプを保持する保持用治
具の識別部材を検出した際には、エジエクターの
チツプ突き上げ動作を行なわないようにしたた
め、上記ウエハタイプのチツプを保持する保持用
治具と、トレイタイプのチツプを保持する保持用
治具との種類の相違の検出を容易に行え、かつ両
保持用治具の種類の装置の検出のための複雑な付
属構成を必要とせずに、互いに異なるタイプのチ
ツプを保持する保持用治具を同時にチツプ供給装
置に設けることが可能となり、また両保持用治具
が単一列かつ円形状に配置され、上記円の中心か
ら延びる鉛直軸線の周りを回転自在に設けられて
いるため、装置容積の大幅なコンパクト化を達成
することができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すものであつて、第１
図はチツプ実装装置の要部平面図、第２図は治具
の平面図、第３図はチツプ実装装置の全体斜視
図、第４図及び第５図は従来のチツプ供給装置の
要部平面図である。 １……チツプ供給装置、２……ウエハー、３…
…XYテーブル、８ａ……接着剤塗布手段、８ｂ
……第２のヘツド、８ｃ……第１のヘツド、９…
…保持用治具、１１……トレイ、１２……チツプ
実装装置、１６……基板ホルダー、１９……スト
ツカ、２２……基板、２３……コンベヤ、２６…
…インデツクス装置、２８……位置決め装置。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 水平方向に移動可能なXYテーブルと、 前記XYテーブル上に設けられ、かつ複数のチ
   ツプを収納したチツプ供給装置と、 上下移動及び水平移動可能であつて、前記チツ
   プ供給装置に収納されたチツプを吸引して所定の
   位置に移載を行なうヘツドを有する移載装置と、 識別部材の有無を検出する検出器とを備えるチ
   ツプ実装装置において、 前記チツプ供給装置は、ウエハタイプのチツプ
   を保持する保持用治具と、この保持用治具上のウ
   エハからチツプを取り出すエジエクターと、トレ
   イタイプのチツプを保持する保持用治具とを有
   し、前記両保持用治具が単一列かつ円形状に配置
   され、上記円の中心から延びる鉛直軸線の周りを
   回転自在に設けられ、 前記トレイタイプのチツプを保持する保持用治
   具には識別部材が設けられ、前記検出器が前記識
   別部材を検出した際には、前記エジエクターの作
   動を停止するようになつているチツプ実装装置。