JP5777202B2 - ダイピックアップ装置 - Google Patents
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Description
図1に示すように、本実施例のダイピックアップ装置11は、マガジン保持部12(トレイタワー)、パレット引き出しテーブル13、パレット引き出し機構14、サブロボット15、シャトル機構16、反転機構17、剥離ステージ18(図3〜図6参照)、NGコンベア19、ノズルチェンジャー20等を備えた構成となっている。このダイピックアップ装置11は、図2に示すように、部品実装機25のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル13を差し込んだ状態にセットされる。
小さいダイ21の場合は、サブロボット15→シャトルノズル26→部品実装機25の吸着ノズルへのダイ21のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部12からウエハパレット22を部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該ウエハパレット22のダイシングシート29上のダイ21を部品実装機25の吸着ノズルで直接ピックアップする。
ダイ21のつかみ替えが可能なサイズのダイ21の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部12内のマガジンからウエハパレット22をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット15の吸着ノズル30で当該ウエハパレット22のダイシングシート29上のダイ21をピックアップし、当該ダイ21をシャトル機構16のシャトルノズル26で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構16のシャトルノズル26からダイ21を部品実装機25の吸着ノズルでピックアップする。
トレイ部品の場合は、マガジン保持部12内のマガジンからトレイパレットを部品実装機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上のトレイ部品を部品実装機25の吸着ノズルで直接ピックアップする。
上記実施例1では、第2吸引孔42による予備的なシート剥離を1つのダイ21の貼着部分についてのみ行うようにしたが、図7及び図8に示す実施例2,3では、予備的なシート剥離を行う第2吸引孔42a,42bを、2つのダイ21の貼着部分に跨がるように形成し、該第2吸引孔42a,42bで2つのダイ21の貼着部分の一部をそれぞれ予備的にシート剥離する共に、ピックアップ順序が後の方がシート剥離面積が小さくなるように形成している。各実施例2,3においても、図7及び図8に示すように、第2吸引孔42a,42bの面積が第1吸引孔41の面積よりも狭くなるように形成されている。
Claims (5)
- ウエハを碁盤目状にダイシングして形成した多数のダイが貼着されたダイシングシート上のダイをピックアップする吸着ノズルと、前記吸着ノズルでピックアップするダイの貼着部分を前記ダイシングシートの下面側から吸引して該ダイの貼着部分をシート剥離する剥離ステージと、前記剥離ステージを駆動する剥離ステージ駆動手段とを備え、前記剥離ステージは、前記ダイシングシートを吸引するシート吸引孔を有し、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイを吸着保持しながら、該ダイの貼着部分の手前側から前記剥離ステージを該ダイの貼着部分の真下へスライドさせることで該ダイの貼着部分を前記シート吸引孔で徐々にシート剥離するダイピックアップ装置において、
前記シート吸引孔は、今回ピックアップするダイの貼着部分を該ダイがピックアップ可能となるようにシート剥離する第1吸引孔と、次にピックアップするダイの貼着部分の一部を予備的にシート剥離する第2吸引孔とからなり、前記第2吸引孔の面積が前記第1吸引孔の面積よりも狭くなるように形成され、
前記剥離ステージ駆動手段は、前記吸着ノズルで前記ダイシングシート上のダイをピックアップする毎に、前記剥離ステージを次にピックアップするダイの貼着部分の手前側へ移動させて該剥離ステージを該ダイの貼着部分の真下へスライドさせて前記第1吸引孔で該ダイの貼着部分を該ダイがピックアップ可能となるようにシート剥離すると共に、前記第2吸引孔で該ダイの次にピックアップするダイの貼着部分の一部を予備的にシート剥離することを特徴とするダイピックアップ装置。 - 前記剥離ステージ駆動手段は、前記剥離ステージをダイの貼着部分の手前側からスライドさせる際に、前回のシート剥離動作で予備的にシート剥離された部分については未剥離部分よりもスライド速度を速くすることを特徴とする請求項1に記載のダイピックアップ装置。
- 前記第2吸引孔は、複数のダイの貼着部分の一部をそれぞれ予備的にシート剥離する共に、ピックアップ順序が後の方がシート剥離面積が小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載のダイピックアップ装置。
- 前記第1吸引孔及び前記第2吸引孔には、それぞれスライド方向側の縁部に凸部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のダイピックアップ装置。
- 前記第1吸引孔及び前記第2吸引孔は、L字状に連なるように形成され、該第1吸引孔が該第2吸引孔よりもスライド方向に突出していることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のダイピックアップ装置。
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