JP2010129949A - 部品供給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択する。例えば、小チップのウェハ部品21の場合は、マガジン保持部12内のマガジンから部品装着機用引き出し位置に引き出したウェハパレット22上のウェハ部品21を部品装着機25の装着ヘッドで直接ピックアップする。上記以外のサイズのウェハ部品21の場合は、マガジンからサブロボット用引き出し位置に引き出したウェハパレット22上のウェハ部品21をサブロボット15でピックアップし、当該ウェハ部品21をシャトル機構16のシャトルノズル26で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、部品装着機25の装着ヘッドでピックアップする。
【選択図】図1
Description
図1に示すように、本実施例の部品供給装置11は、マガジン保持部12(トレイタワー)、パレット引き出しテーブル13、パレット引き出し機構14、サブロボット15、シャトル機構16、反転ユニット17、突き上げユニット18(図2参照)、NGコンベア19、ノズルチェンジャー20等を備えた構成となっている。この部品供給装置11は、図3に示すように、部品装着機25のフィーダセット用スロットにパレット引き出しテーブル13を差し込んだ状態にセットされる。
小チップのウェハ部品21の場合は、サブロボット15→シャトルノズル26→部品装着機25の装着ヘッドへのウェハ部品21のつかみ替えが困難であるので、マガジン保持部12からウェハパレット22を部品装着機用引き出し位置に引き出して、当該ウェハパレット22上のウェハ部品21を部品装着機25の装着ヘッドで直接ピックアップする。
ウェハ部品21のつかみ替えが可能なサイズのウェハ部品21の場合は、実装時間を短縮することを目的として、マガジン保持部12内のマガジンからウェハパレット22をサブロボット用引き出し位置に引き出して、サブロボット15で当該ウェハパレット22上の複数のウェハ部品21をピックアップし、当該複数のウェハ部品21をシャトル機構16のシャトルノズル26で受け取って所定のピックアップ位置まで移送し、このピックアップ位置で、シャトル機構16のシャトルノズル26からウェハ部品21を部品装着機25の装着ヘッドでピックアップする。
トレイ部品の場合は、マガジン保持部12内のマガジンからトレイパレットを部品装着機用引き出し位置に引き出して、当該トレイパレット上のトレイ部品を部品装着機25の装着ヘッドで直接ピックアップする。
Claims (6)
- ウェハ部品を載せたウェハパレットと、トレイ部品を載せたトレイパレットとをマガジン内に多段に混載可能な部品供給装置において、
ウェハパレット、トレイパレットのいずれかのパレットを前記マガジンから引き出すパレット引き出し機構は、当該パレット上の部品を部品装着機の装着ヘッドでピックアップする位置(以下「部品装着機用引き出し位置」という)と、前記マガジンに近い引き出し位置(以下「サブロボット用引き出し位置」という)とのいずれの位置にもパレットを引き出し可能に構成され、
前記サブロボット用引き出し位置に引き出されたパレット上の部品をピックアップするサブロボットと、
前記サブロボットでピックアップされた部品を受け取って前記部品装着機の装着ヘッドでピックアップ可能な位置まで移送するシャトル機構と、
前記部品装着機に供給する部品の種類に応じてパレットの引き出し位置と部品のピックアップ方法を選択する選択手段と、
前記選択手段の選択結果に応じて前記パレット引き出し機構、前記サブロボット及び前記シャトル機構の動作を制御する制御手段と
を備えていることを特徴とする部品供給装置。 - 前記ウェハパレットは、ダイシングされた多数のウェハ部品を貼着した伸縮可能なダイシングシートを、円形の開口部を有するパレット本体にエキスパンドした状態で装着したものを使用することを特徴とする請求項1に記載の部品供給装置。
- 前記サブロボット用引き出し位置又は前記部品装着機用引き出し位置に引き出されたウェハパレット上のウェハ部品を前記サブロボット又は前記部品装着機の装着ヘッドでピックアップする際にピックアップしようとするウェハ部品をその下方から局所的に突き上げる突き上げユニットを備えていることを特徴とする請求項1又は2に記載の部品供給装置。
- 前記シャトル機構には、前記サブロボットから受け取るウェハ部品を必要に応じて上下反転させる反転ユニットを備えていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の部品供給装置。
- 前記マガジンを上下動可能に収納したマガジン保持部には、ウェハパレット上のウェハ部品を前記サブロボットでピックアップする状態を作業者側から確認するための窓部が設けられ、ウェハパレット上のウェハ部品を前記サブロボットでピックアップする状態を作業者が確認する際に前記マガジンを前記窓部よりも下方へ退避させる確認モードの運転を選択可能に構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか記載の部品供給装置。
- メンテナンス時に前記サブロボットから受け取る部品を吸着保持するための前記シャトル機構のシャトルノズルが前記マガジンの作業者側のメンテナンス位置まで移動するように構成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の部品供給装置。
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