JP6967411B2 - 半導体製造装置、半導体装置の製造方法およびコレット - Google Patents
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Description
本開示の課題はダイの撓みが少ない半導体製造装置を提供することにある。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
すなわち、半導体製造装置は、ダイが貼り付けられたダイシングテープを保持するウェハリングホルダを有するダイ供給部と、複数の突上げブロックを有する突上げユニットと、前記ダイシングテープからダイを吸着するコレット部と、を備える。前記コレット部は、コレットと、前記コレットを保持するコレットホルダと、を備える。前記コレットは弾性体で形成され、前記突上げブロックの前記ダイシングテープに接する箇所に対応する位置に吸引孔を有する。
(1)ダイ全体を保持するコレットの突上げブロックの凸部分に当たる部分に真空吸引孔を配置する。これにより、選択的に強く吸引され、ダイ変形(撓み)が防止される。ダイ変形は、ダイの厚さと突上げブロックの凸部分の吸着力によるため、それによりコレット側の吸着面積と突上げブロックの面積の調整を行う。または、
(2)突上げユニットの複数の突上げブロックの位置に合わせてコレットに真空吸引溝(吸引溝)を配置する。さらに、吸引溝を有するコレットは、各突上げブロックの凸部(ダイに接触する位置)に合わせて、さらに溝幅より大きい吸引孔を有する。各突上げブロックの位置に合わせた吸引部位全体が溝で構成されるので、ダイの吸着面積が増え、かつ各エリアも連結されるので、有効に吸着することができる。
このような構成によって、ボンディングヘッド41は、ステージ認識カメラ32の撮像データに基づいてピックアップ位置・姿勢を補正し、中間ステージ31からダイDをピックアップし、基板認識カメラ44の撮像データに基づいて基板にダイDをボンディングする。
このような構成によって、基板Sは、基板供給部6から搬送レーン52に沿ってボンディング位置まで移動し、ボンディング後、基板搬出部7まで移動して、基板搬出部7に基板Sを渡す。
以下、代表的な変形例について、幾つか例示する。以下の変形例の説明において、上述の実施例にて説明されているものと同様の構成および機能を有する部分に対しては、上述の実施例と同様の符号が用いられ得るものとする。そして、かかる部分の説明については、技術的に矛盾しない範囲内において、上述の実施例における説明が適宜援用され得るものとする。また、上述の実施例の一部、および、複数の変形例の全部または一部が、技術的に矛盾しない範囲内において、適宜、複合的に適用され得る。
変形例1は突上げブロック部131の構成は同様であるが、コレットの吸引孔の位置等が異なる例である。
実施例では、図11(D)に示すように、コレット25は、第一ブロック131a、第二ブロック131bおよび第三ブロック131cのすべての凸部に対応する位置に吸引孔を有しているが、図11(A)に示すように、変形例1−1のコレット25Aは、第一ブロック131aのすべての凸部に対応する位置に吸引孔を有しているが、第二ブロック131bの凸部に対応する位置には吸引孔は有さず、第三ブロック131cの一部の凸部に対応する位置に吸引孔を有する。第三ブロック131cの中央の2箇所の凸部に対応する位置には吸引孔を有しない。コレット25Aの吸引孔の数が実施例のコレット25よりも少ないので、実施例よりも製作が容易である。コレット25Aは、第一ブロック131aのすべての凸部に対応する位置に吸引孔を有しているので、実施例と同様の作用効果を奏する。
図11(B)に示すように、変形例1−2のコレット25Bは、第一ブロック131aのすべての凸部に対応する位置、第二ブロック131bのすべての凸部に対応する位置および第三ブロック131cの中央の2箇所を除くすべての凸部に対応する位置に吸引孔を有する。また、コレット25Bは、第一ブロック131aに対応する吸引孔H1a〜H1rを接続する吸引溝T1、第二ブロック131bに対応する吸引孔を接続する吸引溝T2および第三ブロック131cに対応する吸引孔を接続する吸引溝T3を有する。コレット25Bの各吸引孔の径は第一ブロック131a、第二ブロック131bおよび第三ブロック131cの各凸部の上面よりも小さく吸引溝T1〜T3の幅よりも大きい。コレット25Bの各吸引孔の径は例えば同じ大きさであり、吸引溝T1〜T3のそれぞれの幅は同じ大きさである。
図11(C)に示すように、変形例1−3のコレット25Cは、第一ブロック131aの四隅の凸部P1a、P1f、P1j、P1oに対応する位置に吸引孔H1a、H1f、H1j、H1oを有し、第二ブロック131bのすべての凸部に対応する位置に吸引孔H2a、H2b、H2c、H2d、H2e、H2f、H2g、H2h、H2i、H2j、H2k、H2lを有し、第三ブロック131cの中央の2箇所を除くすべての凸部に対応する位置に吸引孔を有する。また、コレット25Cは、第一ブロック131aに対応する吸引孔H1a、H1f、H1j、H1oを接続する吸引溝T1を有する。吸引孔H1a、H1f、H1j、H1oの径は吸引溝T1の幅よりも大きい。コレット25Cの各吸引孔の径は第一ブロック131a、第二ブロック131bおよび第三ブロック131cの各凸部の上面よりも小さく例えば同じ大きさである。
図14は変形例1−4に係るコレットを説明する図であり、図14(A)は変形例1−4に係るコレット部と突上げユニットの主要部との断面図であり、図14(B)は図14(B)の要部の拡大模式図である。
また、図14(C)に示すように、突上げブロック部131(第一ブロック131a)のブロックサイズはダイDのサイズ(ダイサイズ)より2×d1(例えば0.5mm程度)小さく構成し、コレット25Gのサイズはダイサイズより2×d2(例えば0.5mm程度)大きく構成して、コレット25Gの吸引孔251Gのうち最外周の吸引孔(H1a〜H1r)の一部を第一ブロック131a(突上げブロック部131)の外側にd3(例えば0.25mm程度)ずらして配置する。
実施例の突上げブロック部の上面には凹凸があり、凸部が間欠的に配置される(凸部が複数ある)間欠ブロックであるが、変形例2の突上げブロック部の上面は凸部が連続的に配置される(凸部が一つである)連続ブロックである。
図13(A)に示すように、変形例2−1のコレット25Dは、第一ブロック131Daの四隅に対応する位置に吸引孔H11〜H14、第二ブロック131Dbの四隅に対応する位置に吸引孔H21〜H24および第三ブロック131Dcの四隅に対応する位置に吸引孔H31〜H34を有する。また、コレット25Dは、第一ブロック131Daに対応する吸引孔H11〜H14を接続する吸引溝T1、第二ブロック131Dbに対応する吸引孔H21〜H24を接続する吸引溝T2および第三ブロック131Dcに対応する吸引孔H31〜H34を接続する吸引溝T3を有する。コレット25Dの各吸引孔の径は第一ブロック131a、第二ブロック131bおよび第三ブロック131cの上面の幅よりも小さく吸引溝T1〜T3の幅よりも大きい。コレット25Dの各吸引孔の径は例えば同じ大きさであり、吸引溝T1〜T3のそれぞれの幅は同じ大きさである。
図13(B)に示すように、変形例2−2のコレット25Eは、変形例2−1のコレット25Dに対して、さらに、吸引孔H11、H21、H31を接続する吸引溝T4と、吸引孔H12、H22、H32を接続する吸引溝T5と、吸引孔H13、H23、H33を接続する吸引溝T6と、吸引孔H14、H24、H34を接続する吸引溝T7と、を有する。吸引溝T4〜T7の幅は吸引溝T1〜T3の幅と同じである。
図13(C)に示すように、変形例2−3のコレット25Fは、第一ブロック131Daの四隅に対応する位置に吸引孔H11〜H14、第二ブロック131Dbの四隅に対応する位置に吸引孔H21〜H24および第三ブロック131Dcの四隅に対応する位置に吸引孔H31〜H34を有する。また、コレット25Dは、吸引孔H14、H11、H12、H13、H21、H22、H23、H34、H32、H33を平面視で螺旋状に接続する吸引溝T11を有する。コレット25Dの各吸引孔の径は第一ブロック131a、第二ブロック131bおよび第三ブロック131cの上面の幅よりも小さく吸引溝T11の幅よりも大きい。コレット25Dの各吸引孔の径は例えば同じ大きさである。
例えば、中間ステージとピックアップヘッドがなく、ダイ供給部のダイをボンディングヘッドで基板にボンディングするダイボンダにも適用可能である。
また、中間ステージとボンディングヘッドがなく、ダイ供給部からピックアップヘッドでピックアップしたダイをトレイ等に載置するダイソータに適用可能である。
11:ウェハ
13:突上げユニット
16:ダイシングテープ
2:ピックアップ部
21:ピックアップヘッド
22:コレット部
25:コレット
251:真空吸引孔
3:中間ステージ部
31:中間ステージ
4:ボンディング部
41:ボンディングヘッド
8:制御部
10:ダイボンダ
D:ダイ
S:基板
Claims (15)
- ダイが貼り付けられたダイシングテープを保持するウェハリングホルダを有するダイ供給部と、
複数の突上げブロックを有する突上げユニットと、
前記ダイシングテープからダイを吸着するコレット部と、
を備え、
前記コレット部は、
コレットと、
前記コレットを保持するコレットホルダと、
を備え、
前記複数の突上げブロックは、最も外側に位置する外周ブロックと、中央に位置する中央ブロックと、前記外周ブロックと前記中央ブロックとの間に位置する中間ブロックと、を有し、
前記外周ブロックは上面に複数の凸部を間欠的に有し、
前記コレットは弾性体で形成され、前記突上げブロックの前記ダイシングテープに接する箇所に対応する位置であって、前記外周ブロックに対応する位置に吸引孔を有し、
前記吸引孔は前記複数の凸部の前記ダイシングテープに接する箇所に対応するそれぞれの位置に配置される半導体製造装置。 - 請求項1の半導体製造装置において、
前記コレットは、さらに、前記中央ブロックおよび前記中間ブロックに対応する位置に吸引孔を有する半導体製造装置。 - 請求項1の半導体製造装置において、
前記コレットは、さらに、前記吸引孔に接続されている吸引溝を有する半導体製造装置。 - 請求項3の半導体製造装置において、
前記吸引孔の径は前記吸引溝の幅よりも大きい半導体製造装置。 - 請求項3の半導体製造装置において、
前記コレットは、さらに、前記中央ブロックおよび前記中間ブロックに対応する位置に吸引孔を有する半導体製造装置。 - 請求項1乃至5の何れか一つの半導体製造装置において、
さらに、前記コレットが装着されるピックアップヘッドを備える半導体製造装置。 - 請求項6の半導体製造装置において、さらに、
前記ピックアップヘッドでピックアップされるダイを載置する中間ステージと、
前記中間ステージに載置されるダイを基板または既にボンディングされているダイの上にボンディングするボンディングヘッドと、
を備える半導体製造装置。 - 請求項1乃至5の何れか一つの半導体製造装置において、
前記ダイはさらに前記ダイと前記ダイシングテープとの間にダイアタッチフィルムを備える半導体製造装置。 - (a)複数の突上げブロックを有する突上げユニットと、ダイシングテープからダイを吸着するコレット部と、を備え、前記コレット部は、コレットと、前記コレットを保持するコレットホルダと、を備え、前記コレットは弾性体で形成され、前記突上げブロックの前記ダイシングテープに接する箇所に対応する位置に吸引孔を有する半導体製造装置を準備する工程と、
(b)ダイを有するダイシングテープを保持するウェハリングを準備する工程と、
(c)前記コレット部で前記ダイをピックアップする工程と、
を備え、
前記複数の突上げブロックは、最も外側に位置する外周ブロックと、中央に位置する中央ブロックと、前記外周ブロックと前記中央ブロックとの間に位置する中間ブロックと、を有し、
前記外周ブロックは上面に複数の凸部を間欠的に有し、
前記コレットは、前記外周ブロックに対応する位置に前記吸引孔を有し、
前記吸引孔は前記複数の凸部の前記ダイシングテープに接する箇所に対応するそれぞれの位置に配置される半導体装置の製造方法。 - 請求項9の半導体装置の製造方法において、さらに、
(d)基板を準備する工程と、
(e)前記ダイを前記基板または既にボンディングされているダイの上にボンディングする工程を備える半導体装置の製造方法。 - 請求項10の半導体装置の製造方法において、
前記(c)工程はさらに前記ピックアップしたダイを中間ステージに載置する工程を有し、
前記(e)工程はさらに前記中間ステージから前記ダイをピックアップする工程を有する半導体装置の製造方法。 - 最も外側に位置する外周ブロックと中央に位置する中央ブロックと前記外周ブロックと前記中央ブロックとの間に位置する中間ブロックとで構成される複数の突上げブロックを有し、前記外周ブロックは上面に複数の凸部を間欠的に有する突上げユニットと協働してダイが貼り付けられたダイシングテープから前記ダイを吸着するコレットであって、
前記コレットは弾性体で形成され、前記突上げブロックの前記ダイシングテープに接する箇所に対応する位置であって、前記複数の突上げブロックのうちの最外周ブロックに対応する位置に吸引孔を有し、
前記吸引孔は前記複数の凸部の前記ダイシングテープに接する箇所に対応するそれぞれの位置に配置されるコレット。 - 請求項12のコレットにおいて、
さらに、前記吸引孔に接続されている吸引溝を有し、
前記吸引孔は前記最外周ブロックの四隅の前記ダイシングテープに接する箇所のそれぞれに対応する位置に配置されるコレット。 - 請求項13のコレットにおいて、
前記吸引孔の径は前記吸引溝の幅よりも大きいコレット。 - 請求項12のコレットにおいて、
さらに、前記複数の突上げブロックのうちの中央に位置する中央ブロックおよび前記最外周ブロックと前記中央ブロックとの間に位置する中間ブロックに対応する位置に吸引孔を有するコレット。
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