JP3511841B2 - チップの供給装置 - Google Patents
チップの供給装置Info
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- JP3511841B2 JP3511841B2 JP7541597A JP7541597A JP3511841B2 JP 3511841 B2 JP3511841 B2 JP 3511841B2 JP 7541597 A JP7541597 A JP 7541597A JP 7541597 A JP7541597 A JP 7541597A JP 3511841 B2 JP3511841 B2 JP 3511841B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウェハシート上の
チップをダイボンディング装置のコレットに供給するチ
ップの供給装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】ダイボンディング装置は、ウェハのチッ
プをコレットで真空吸着してピックアップし、プリント
基板やリードフレームなどの基板に搭載するようになっ
ている。ウェハはウェハホルダに張設されたウェハシー
ト上にボンドで貼着されており、ダイシングにより多数
個のチップに切断されている。 【０００３】ウェハシート上で切断されたチップ同士は
互いに密接しており、そのままではコレットでピックア
ップできないことから、コレットでチップをピックアッ
プする前に、ウェハシートを引き伸ばして相隣るチップ
同士を引き離すことが行われる。またコレットは水平回
転方向の方向性を有しており、ウェハシート上のチップ
はコレットと水平回転方向の向きが一致していないと、
コレットでピックアップすることはできない。 【０００４】そこでこの種チップの供給装置には、ウェ
ハシートの引き伸ばし機構と、チップの向きをコレット
の向きに一致させるためのウェハホルダの水平回転機構
が備えられる。またダイボンディング装置におけるウェ
ハの消費量は多いので、ウェハホルダは一般にマガジン
に段積して多数個収納されており、ピックアップ位置に
おけるウェハシート上のチップが品切れになったり、あ
るいはチップの品種が変更になる場合には、マガジンか
ら新たなウェハホルダが取り出され、ピックアップ位置
へ供給されるようになっている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】以上のように、ダイボ
ンディング装置におけるチップの供給装置には、ウェハ
シートの引き伸ばし機構、ウェハホルダの水平回転機
構、マガジンからのウェハホルダの取り出し機構などの
諸機構が付設される。 【０００６】コレットに対するチップの供給を作業性よ
くスムーズに行うためには、上記３つの機構をうまく連
係させて動作させることが望ましい。しかしながら従来
のチップの供給装置においては、これらの機構はうまく
連係して動作するように構成されておらず、このためウ
ェハシート上のチップの品切れにともなうウェハホルダ
の交換作業やウェハシートの引き伸ばし作業等の諸作業
にかなりの時間を要しており、それだけ生産性があがら
ないという問題点があった。 【０００７】そこで本発明は、上記諸作業を連係よくス
ムーズに行うことができるダイボンディング装置におけ
るチップの供給装置を提供することを目的とする。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明のチップの供給装
置は、ウェハシート上のチップをダイボンディング装置
のコレットに供給するチップの供給装置であって、ウェ
ハシートを張設したウェハホルダを収納するマガジン
と、コレットによるピックアップ位置にウェハシート上
のチップを位置決めする位置決め装置と、マガジンに収
納されたウェハホルダを位置決め装置へ移送する移送手
段とを備え、前記位置決め装置が、ウェハシートの下方
に配置された筒体と、ウェハホルダを上方から押えつけ
ることによりウェハシートを筒体の上面に押しつけて引
き伸ばす押えつけ部材と、この押えつけ部材に上下動作
を行わせる上下動手段とから成るウェハシートの引き伸
ばし機構と、前記筒体と前記押えつけ部材と前記上下動
手段を一体的に水平回転させる水平回転機構とから成
り、かつ前記押えつけ部材側に、前記マガジンに形成さ
れたウェハホルダのガイド部と平行なガイド部材を設け
たものである。 【０００９】 【発明の実施の形態】上記構成によれば、ウェハホルダ
をマガジンから取り出して筒体上に位置させる作業と、
ウェハシートを筒体に押しつけることにより引き伸ばし
てチップ同士を引き離す作業と、ウェハホルダを水平回
転させてウェハシート上のチップの向きをコレットの向
きに合わせる作業と、ウェハシート上のチップが品切れ
になったならば、ウェハホルダを筒体上から回収する作
業等の諸作業を、一連の作業として連係よくスムーズに
行うことができる。 【００１０】以下、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。図１は、本発明の一実施の形態のチップの
供給装置の側面図、図２は同チップの供給装置の平面
図、図３は同チップの供給装置の位置決め装置の断面
図、図４、図５、図６、図７は同チップの供給装置のウ
ェハホルダの交換動作を示す平面図である。 【００１１】まず、図１〜図３を参照してチップの供給
装置の全体構造を説明する。図１、図２において、この
チップの供給装置は、マガジン１と、チップの位置決め
装置２０と、移送アーム４から成っている。図３におい
て、６はドーナツ板状のウェハホルダであって、ウェハ
シート７が張設されている。ウェハシート７上には多数
個のチップ８が貼着されている。このチップ８は、ウェ
ハシート７上に貼着されたウェハをダイシングによりマ
トリクス状に切断したものである。 【００１２】図２において、マガジン１の両側部の内面
にはガイド部２がラック状に多段に形成されている。ウ
ェハシート７が張設されたウェハホルダ６は、このガイ
ド部２上に多段に収納されている。３はマガジン１を上
下動させるエレベータである。移送アーム４は、図示し
ない移動テーブルが駆動することによりマガジン１と位
置決め装置２０の間を往復移動する。移送アーム４はそ
の先端部にチャック５を有している。移送アーム４は、
マガジン１内のウェハホルダ６をチャック５でチャック
し、マガジン１から取り出して位置決め装置２０へ移送
する。また位置決め装置２０においてチップ８が品切れ
になったウェハホルダ６をチャック５でチャックし、マ
ガジン１内に戻す。すなわち移送アーム４は、ウェハホ
ルダ６の移送手段となっている。 【００１３】図１において、位置決め装置２０の側方に
はガイドレール１０が設けられており、ガイドレール１
０には基板１１が位置決めされている。１２はダイボン
ディング装置のコレットであって、位置決め装置２０に
位置決めされたウェハシート７上のチップ８を真空吸着
してピックアップし、基板１１上に搭載する。 【００１４】次に、図２および図３を参照して、ウェハ
ホルダ６に張設されたウェハシート７を引き伸ばす引き
伸ばし機構について説明する。２１は円筒状の筒体であ
って、マガジン１内のウェハホルダ６は、ウェハシート
７が円筒体２１の真上に位置するように移送アーム４に
より移送される。筒体２１の下部にはベース板２２が一
体的に形成されている。ベース板２２の４隅にはベアリ
ング２３が装着されている。ベアリング２３には垂直な
送りねじ２４が挿入されている。送りねじ２４にはナッ
ト２５が装着されており、ナット２５には板状の押えつ
け部材２６が結合されている。 【００１５】図２に示すように、押えつけ部材２６は２
枚並設されており、その中央部には円状の開口部２７が
開口され、ウェハシート７はこの開口部２７に露呈して
いる。また図３に示すように、押えつけ部材２６の下面
にはガイド部材２８が設けられている。移送アーム４に
よりマガジン１から取り出されたウェハホルダ６は、こ
のガイド部材２８上まで移送される。移送アーム４によ
りマガジン１内のウェハホルダ６を位置決め装置２０へ
移送するときは、ガイド部材２８はマガジン１のガイド
部２と平行になるように水平回転機構（後述）により水
平回転されてその向きが調整される。 【００１６】図２および図３において、送りねじ２４の
下端部にはプーリ３１が装着されている。プーリ３１に
はタイミングベルト３２が調帯されている。またタイミ
ングベルト３２には駆動プーリ３３が係合している。モ
ータ３４が駆動して駆動プーリ３３が回転すると、タイ
ミングベルト３２は回動する。すると４本の送りねじ２
４は同時に回転し、ナット２５は上下動し、これと一体
の押えつけ部材２６も上下動する。すなわち、送りねじ
２４、ナット２５、プーリ３１、タイミングベルト３
２、駆動プーリ３３、モータ３４などは押えつけ部材２
６の上下動手段となっている。図１及び図３に示すよう
に、上下動手段（送りねじ２４、ナット２５、プーリ３
１、タイミングベルト３２、駆動プーリ３３、モータ３
４）はベース板２２に取り付けられている。 【００１７】移送アーム４がマガジン１内のウェハホル
ダ６を取り出すときは、押えつけ部材２６は図３におい
て実線で示す上方位置で待機しており、移送アーム４で
移送されてきたウェハホルダ６は、ガイド部材２８上ま
で移送されてくる。そこでモータ３４が駆動し、押えつ
け部材２６が下降すると、ウェハシート７は筒体２１上
に着地し、押えつけ部材２６が更に下降すると、ウェハ
シート７は強制的に引き伸ばされ、ウェハシート７上の
チップ８は互いに引き離される（図３において、鎖線で
示すウェハシート７を参照）。またウェハシート７上の
チップ８が品切れになるなどしてウェハホルダ６の交換
を行うときは、モータ３４を逆方向へ駆動して押えつけ
部材２６を上昇させ、ウェハホルダ６を図３の実線位置
まで上昇させる。そこで移送アーム４のチャック５はウ
ェハホルダ６をチャックし、マガジン１へ移送してその
ガイド部２上に回収する。 【００１８】図１および図３において、６０はダイエジ
ェクタユニットである。ダイエジェクタユニット６０
は、ブラケット６１と、ブラケット６１の前面側に保持
された本体６２と、本体６２上に設けられたペパーポッ
ト６３から成っている。本体６２は、図示しない駆動手
段に駆動されて上下動する。図３に示すように、ペパー
ポット６３はウェハシート７の下面に当接する位置まで
上昇する。そしてコレット１２がチップ８をピックアッ
プするときには、このチップ８をペパーポット６３内の
ピン６４により突き上げる。図１において、６５はカメ
ラであり、ウェハシート７上のチップ８の位置や向きを
観察する。 【００１９】次に、図１および図２を参照して、ウェハ
ホルダ６の位置決め機構４０を説明する。図１におい
て、４１はＸテーブル、４２はＸテーブル４１上に設け
られたＹテーブル、４３はＹテーブル４２上に設けられ
たブロック、４４はブロック４３上に設けられた台板で
ある。台板４４上には、Ｘ方向のレール４５が設けられ
ている。筒体２１と一体のベース板２２からアーム４６
が延出している。アーム４６の後端部にはローラ４７が
軸着されている。台板４４上には、レール４５と平行な
送りねじ４８と、送りねじ４８を回転させるモータ４９
が設けられている。送りねじ４８にはナット５０が装着
されている。ナット５０にはスライダ５１が結合されて
いる。スライダ５１はレール４５にスライド自在に嵌合
している。スライダ５１の上面には断面Ｕ字形の摺動子
５２が装着されており、ローラ４７はこの摺動子５２に
嵌合している。 【００２０】台板４４の前部上面には、平面視して円弧
状のガイドレール５３が設けられている。ベース板２２
の下面に装着されたスライダ５４はガイドレール５３に
スライド自在に嵌合している。図２において、モータ４
９が駆動して送りねじ４８が回転すると、ナット５０は
送りねじ４８に沿って移動する。これにともない、アー
ム４６、ローラ４７、摺動子５２を介してナット５０に
連結されたベース板２２および筒体２１並びにベース板
２２に取り付けられた上下動手段（送りねじ２４、ナッ
ト２５、プーリ３１、タイミングベルト３２、駆動プー
リ３３、モータ３４）は、ガイドレール５３に案内され
て一体的に水平回転する。これにより、筒体２１上のウ
ェハホルダ６とウェハシート７は水平回転し、ウェハシ
ート７上のチップ８の水平回転方向の向きが調整され
る。すなわち、送りねじ４８、モータ４９、ナット５
０、ガイドレール５３、スライダ５４などは、ウェハホ
ルダ６の水平回転機構を構成している。 【００２１】このチップの供給装置は上記のような構成
より成り、次に各図を参照して全体の動作を説明する。
図４〜図７は、一連の動作を動作順に示している。図４
は、マガジン１内のウェハホルダ６を位置決め装置２０
の筒体２１上へ引き出す動作を示している。この場合、
まずＸテーブル４１を駆動して筒体２１をマガジン１に
接近させる。このとき、マガジン１のガイド部２と押え
つけ部材２６側のガイド部材２８は平行である。 【００２２】そこで、移送アーム４のチャック５により
マガジン１内のウェハホルダ６をチャックし、筒体２１
の上方へ引き出す。次に図５に示すように、チャック５
によるチャック状態を解除して移送アーム４を側方へ退
去させたうえで、Ｘテーブル４１を駆動してウェハホル
ダ６を右方へ移動させる。図３において実線で示す上昇
位置のウェハホルダ６は、このときの状態を示してい
る。図５に示すように、この状態で、ウェハシート７上
のチップ８は、その水平方向の向きがやや傾いている。 【００２３】次に、図３において、モータ３４を駆動す
ることにより押えつけ部材２６を下降させる。するとウ
ェハシート７は筒体２１の上面に着地し、押えつけ部材
２６が更に下降することにより、ウェハシート７は引き
伸ばされてその上面のチップ８は互いに引き離される
（図３において、鎖線で示すウェハシート７およびチッ
プ８を参照）。 【００２４】次に、カメラ６５（図１）でウェハシート
７上のチップ８を観察し、チップ８の水平回転方向の向
きを検出する。次にこの検出結果に基づいて、モータ４
９を駆動して送りねじ４８を回転させる。するとナット
５０は送りねじ４８に沿って左方へ移動し、これにより
ベース板２２はガイドレール５３に沿って時計方向へ水
平回転し、ウェハホルダ６も水平回転してチップ８の向
きは補正される。図６は、この補正が終了した状態を示
している。このようにチップ８の向きを補正することに
より、チップ８の向きをコレット１２の向きに一致させ
ることができる。 【００２５】以上のようにしてチップ８の位置決めを行
ったならば、次にコレット１２によりチップ８を基板１
１上に搭載する動作を開始する。このチップ８の搭載
は、次のようにして行われる。図１において、カメラ６
５でコレット１２がピックアップするチップ８を観察
し、その位置を検出する。次にＸテーブル４１とＹテー
ブル４２を駆動し、このチップ８をコレット１２による
チップ８のピックアップ位置に移動させる。なおコレッ
ト１２によるチップ８のピックアップ位置は一定位置に
定められている。 【００２６】次にコレット１２は上下動作を行ってチッ
プ８を真空吸着してピックアップし、基板１１の上方へ
移動してチップ８を基板１１に搭載する。以上の動作が
繰り返されることにより、ウェハシート７上のチップ８
は基板１１に次々に搭載される。 【００２７】さて、ウェハシート７上のチップ８が品切
れになったならば、ウェハホルダ６の交換を次のように
して行う。図７に示すように、モータ４９を駆動するこ
とにより、ナット５０を送りねじ４８に沿って右方へ移
動させ、これによりウェハホルダ６を先程と逆方向の反
時計方向へ水平回転させ、ガイド部材２８をマガジン１
のガイド部２と平行にする。その後、Ｘテーブル４１，
Ｙテーブル４２を駆動して、図４に示す場合と同様に位
置決め装置２０をマガジン１に接近させる。次に移送ア
ーム４をウェハホルダ６へ向って前進させて、チャック
５でウェハホルダ６をチャックする。次に移送アーム４
をマガジン１へ向って移動させ、ウェハホルダ６をマガ
ジン１の空席のガイド部２上に回収する。次にエレベー
タ３を駆動してマガジン１を上下動させ、次に使用する
新たなウェハホルダ６をチャック５と同じレベルにし、
チャック５でこのウェハホルダ６をチャックする。以後
の動作は、上述した動作と同じである。 【００２８】 【発明の効果】本発明によれば、ウェハホルダをマガジ
ンから取り出して筒体上に位置させる作業と、ウェハシ
ートを引き伸ばしてチップ同士を引き離す作業と、ウェ
ハホルダを水平回転させてウェハシート上のチップの向
きをコレットの向きに合わせる作業と、ウェハシート上
のチップが品切れになったならば、ウェハホルダを筒体
上から回収する作業を、一連の作業として連係よくスム
ーズに行うことができる。
チップをダイボンディング装置のコレットに供給するチ
ップの供給装置に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】ダイボンディング装置は、ウェハのチッ
プをコレットで真空吸着してピックアップし、プリント
基板やリードフレームなどの基板に搭載するようになっ
ている。ウェハはウェハホルダに張設されたウェハシー
ト上にボンドで貼着されており、ダイシングにより多数
個のチップに切断されている。 【０００３】ウェハシート上で切断されたチップ同士は
互いに密接しており、そのままではコレットでピックア
ップできないことから、コレットでチップをピックアッ
プする前に、ウェハシートを引き伸ばして相隣るチップ
同士を引き離すことが行われる。またコレットは水平回
転方向の方向性を有しており、ウェハシート上のチップ
はコレットと水平回転方向の向きが一致していないと、
コレットでピックアップすることはできない。 【０００４】そこでこの種チップの供給装置には、ウェ
ハシートの引き伸ばし機構と、チップの向きをコレット
の向きに一致させるためのウェハホルダの水平回転機構
が備えられる。またダイボンディング装置におけるウェ
ハの消費量は多いので、ウェハホルダは一般にマガジン
に段積して多数個収納されており、ピックアップ位置に
おけるウェハシート上のチップが品切れになったり、あ
るいはチップの品種が変更になる場合には、マガジンか
ら新たなウェハホルダが取り出され、ピックアップ位置
へ供給されるようになっている。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】以上のように、ダイボ
ンディング装置におけるチップの供給装置には、ウェハ
シートの引き伸ばし機構、ウェハホルダの水平回転機
構、マガジンからのウェハホルダの取り出し機構などの
諸機構が付設される。 【０００６】コレットに対するチップの供給を作業性よ
くスムーズに行うためには、上記３つの機構をうまく連
係させて動作させることが望ましい。しかしながら従来
のチップの供給装置においては、これらの機構はうまく
連係して動作するように構成されておらず、このためウ
ェハシート上のチップの品切れにともなうウェハホルダ
の交換作業やウェハシートの引き伸ばし作業等の諸作業
にかなりの時間を要しており、それだけ生産性があがら
ないという問題点があった。 【０００７】そこで本発明は、上記諸作業を連係よくス
ムーズに行うことができるダイボンディング装置におけ
るチップの供給装置を提供することを目的とする。 【０００８】 【課題を解決するための手段】本発明のチップの供給装
置は、ウェハシート上のチップをダイボンディング装置
のコレットに供給するチップの供給装置であって、ウェ
ハシートを張設したウェハホルダを収納するマガジン
と、コレットによるピックアップ位置にウェハシート上
のチップを位置決めする位置決め装置と、マガジンに収
納されたウェハホルダを位置決め装置へ移送する移送手
段とを備え、前記位置決め装置が、ウェハシートの下方
に配置された筒体と、ウェハホルダを上方から押えつけ
ることによりウェハシートを筒体の上面に押しつけて引
き伸ばす押えつけ部材と、この押えつけ部材に上下動作
を行わせる上下動手段とから成るウェハシートの引き伸
ばし機構と、前記筒体と前記押えつけ部材と前記上下動
手段を一体的に水平回転させる水平回転機構とから成
り、かつ前記押えつけ部材側に、前記マガジンに形成さ
れたウェハホルダのガイド部と平行なガイド部材を設け
たものである。 【０００９】 【発明の実施の形態】上記構成によれば、ウェハホルダ
をマガジンから取り出して筒体上に位置させる作業と、
ウェハシートを筒体に押しつけることにより引き伸ばし
てチップ同士を引き離す作業と、ウェハホルダを水平回
転させてウェハシート上のチップの向きをコレットの向
きに合わせる作業と、ウェハシート上のチップが品切れ
になったならば、ウェハホルダを筒体上から回収する作
業等の諸作業を、一連の作業として連係よくスムーズに
行うことができる。 【００１０】以下、本発明の実施の形態を図面を参照し
て説明する。図１は、本発明の一実施の形態のチップの
供給装置の側面図、図２は同チップの供給装置の平面
図、図３は同チップの供給装置の位置決め装置の断面
図、図４、図５、図６、図７は同チップの供給装置のウ
ェハホルダの交換動作を示す平面図である。 【００１１】まず、図１〜図３を参照してチップの供給
装置の全体構造を説明する。図１、図２において、この
チップの供給装置は、マガジン１と、チップの位置決め
装置２０と、移送アーム４から成っている。図３におい
て、６はドーナツ板状のウェハホルダであって、ウェハ
シート７が張設されている。ウェハシート７上には多数
個のチップ８が貼着されている。このチップ８は、ウェ
ハシート７上に貼着されたウェハをダイシングによりマ
トリクス状に切断したものである。 【００１２】図２において、マガジン１の両側部の内面
にはガイド部２がラック状に多段に形成されている。ウ
ェハシート７が張設されたウェハホルダ６は、このガイ
ド部２上に多段に収納されている。３はマガジン１を上
下動させるエレベータである。移送アーム４は、図示し
ない移動テーブルが駆動することによりマガジン１と位
置決め装置２０の間を往復移動する。移送アーム４はそ
の先端部にチャック５を有している。移送アーム４は、
マガジン１内のウェハホルダ６をチャック５でチャック
し、マガジン１から取り出して位置決め装置２０へ移送
する。また位置決め装置２０においてチップ８が品切れ
になったウェハホルダ６をチャック５でチャックし、マ
ガジン１内に戻す。すなわち移送アーム４は、ウェハホ
ルダ６の移送手段となっている。 【００１３】図１において、位置決め装置２０の側方に
はガイドレール１０が設けられており、ガイドレール１
０には基板１１が位置決めされている。１２はダイボン
ディング装置のコレットであって、位置決め装置２０に
位置決めされたウェハシート７上のチップ８を真空吸着
してピックアップし、基板１１上に搭載する。 【００１４】次に、図２および図３を参照して、ウェハ
ホルダ６に張設されたウェハシート７を引き伸ばす引き
伸ばし機構について説明する。２１は円筒状の筒体であ
って、マガジン１内のウェハホルダ６は、ウェハシート
７が円筒体２１の真上に位置するように移送アーム４に
より移送される。筒体２１の下部にはベース板２２が一
体的に形成されている。ベース板２２の４隅にはベアリ
ング２３が装着されている。ベアリング２３には垂直な
送りねじ２４が挿入されている。送りねじ２４にはナッ
ト２５が装着されており、ナット２５には板状の押えつ
け部材２６が結合されている。 【００１５】図２に示すように、押えつけ部材２６は２
枚並設されており、その中央部には円状の開口部２７が
開口され、ウェハシート７はこの開口部２７に露呈して
いる。また図３に示すように、押えつけ部材２６の下面
にはガイド部材２８が設けられている。移送アーム４に
よりマガジン１から取り出されたウェハホルダ６は、こ
のガイド部材２８上まで移送される。移送アーム４によ
りマガジン１内のウェハホルダ６を位置決め装置２０へ
移送するときは、ガイド部材２８はマガジン１のガイド
部２と平行になるように水平回転機構（後述）により水
平回転されてその向きが調整される。 【００１６】図２および図３において、送りねじ２４の
下端部にはプーリ３１が装着されている。プーリ３１に
はタイミングベルト３２が調帯されている。またタイミ
ングベルト３２には駆動プーリ３３が係合している。モ
ータ３４が駆動して駆動プーリ３３が回転すると、タイ
ミングベルト３２は回動する。すると４本の送りねじ２
４は同時に回転し、ナット２５は上下動し、これと一体
の押えつけ部材２６も上下動する。すなわち、送りねじ
２４、ナット２５、プーリ３１、タイミングベルト３
２、駆動プーリ３３、モータ３４などは押えつけ部材２
６の上下動手段となっている。図１及び図３に示すよう
に、上下動手段（送りねじ２４、ナット２５、プーリ３
１、タイミングベルト３２、駆動プーリ３３、モータ３
４）はベース板２２に取り付けられている。 【００１７】移送アーム４がマガジン１内のウェハホル
ダ６を取り出すときは、押えつけ部材２６は図３におい
て実線で示す上方位置で待機しており、移送アーム４で
移送されてきたウェハホルダ６は、ガイド部材２８上ま
で移送されてくる。そこでモータ３４が駆動し、押えつ
け部材２６が下降すると、ウェハシート７は筒体２１上
に着地し、押えつけ部材２６が更に下降すると、ウェハ
シート７は強制的に引き伸ばされ、ウェハシート７上の
チップ８は互いに引き離される（図３において、鎖線で
示すウェハシート７を参照）。またウェハシート７上の
チップ８が品切れになるなどしてウェハホルダ６の交換
を行うときは、モータ３４を逆方向へ駆動して押えつけ
部材２６を上昇させ、ウェハホルダ６を図３の実線位置
まで上昇させる。そこで移送アーム４のチャック５はウ
ェハホルダ６をチャックし、マガジン１へ移送してその
ガイド部２上に回収する。 【００１８】図１および図３において、６０はダイエジ
ェクタユニットである。ダイエジェクタユニット６０
は、ブラケット６１と、ブラケット６１の前面側に保持
された本体６２と、本体６２上に設けられたペパーポッ
ト６３から成っている。本体６２は、図示しない駆動手
段に駆動されて上下動する。図３に示すように、ペパー
ポット６３はウェハシート７の下面に当接する位置まで
上昇する。そしてコレット１２がチップ８をピックアッ
プするときには、このチップ８をペパーポット６３内の
ピン６４により突き上げる。図１において、６５はカメ
ラであり、ウェハシート７上のチップ８の位置や向きを
観察する。 【００１９】次に、図１および図２を参照して、ウェハ
ホルダ６の位置決め機構４０を説明する。図１におい
て、４１はＸテーブル、４２はＸテーブル４１上に設け
られたＹテーブル、４３はＹテーブル４２上に設けられ
たブロック、４４はブロック４３上に設けられた台板で
ある。台板４４上には、Ｘ方向のレール４５が設けられ
ている。筒体２１と一体のベース板２２からアーム４６
が延出している。アーム４６の後端部にはローラ４７が
軸着されている。台板４４上には、レール４５と平行な
送りねじ４８と、送りねじ４８を回転させるモータ４９
が設けられている。送りねじ４８にはナット５０が装着
されている。ナット５０にはスライダ５１が結合されて
いる。スライダ５１はレール４５にスライド自在に嵌合
している。スライダ５１の上面には断面Ｕ字形の摺動子
５２が装着されており、ローラ４７はこの摺動子５２に
嵌合している。 【００２０】台板４４の前部上面には、平面視して円弧
状のガイドレール５３が設けられている。ベース板２２
の下面に装着されたスライダ５４はガイドレール５３に
スライド自在に嵌合している。図２において、モータ４
９が駆動して送りねじ４８が回転すると、ナット５０は
送りねじ４８に沿って移動する。これにともない、アー
ム４６、ローラ４７、摺動子５２を介してナット５０に
連結されたベース板２２および筒体２１並びにベース板
２２に取り付けられた上下動手段（送りねじ２４、ナッ
ト２５、プーリ３１、タイミングベルト３２、駆動プー
リ３３、モータ３４）は、ガイドレール５３に案内され
て一体的に水平回転する。これにより、筒体２１上のウ
ェハホルダ６とウェハシート７は水平回転し、ウェハシ
ート７上のチップ８の水平回転方向の向きが調整され
る。すなわち、送りねじ４８、モータ４９、ナット５
０、ガイドレール５３、スライダ５４などは、ウェハホ
ルダ６の水平回転機構を構成している。 【００２１】このチップの供給装置は上記のような構成
より成り、次に各図を参照して全体の動作を説明する。
図４〜図７は、一連の動作を動作順に示している。図４
は、マガジン１内のウェハホルダ６を位置決め装置２０
の筒体２１上へ引き出す動作を示している。この場合、
まずＸテーブル４１を駆動して筒体２１をマガジン１に
接近させる。このとき、マガジン１のガイド部２と押え
つけ部材２６側のガイド部材２８は平行である。 【００２２】そこで、移送アーム４のチャック５により
マガジン１内のウェハホルダ６をチャックし、筒体２１
の上方へ引き出す。次に図５に示すように、チャック５
によるチャック状態を解除して移送アーム４を側方へ退
去させたうえで、Ｘテーブル４１を駆動してウェハホル
ダ６を右方へ移動させる。図３において実線で示す上昇
位置のウェハホルダ６は、このときの状態を示してい
る。図５に示すように、この状態で、ウェハシート７上
のチップ８は、その水平方向の向きがやや傾いている。 【００２３】次に、図３において、モータ３４を駆動す
ることにより押えつけ部材２６を下降させる。するとウ
ェハシート７は筒体２１の上面に着地し、押えつけ部材
２６が更に下降することにより、ウェハシート７は引き
伸ばされてその上面のチップ８は互いに引き離される
（図３において、鎖線で示すウェハシート７およびチッ
プ８を参照）。 【００２４】次に、カメラ６５（図１）でウェハシート
７上のチップ８を観察し、チップ８の水平回転方向の向
きを検出する。次にこの検出結果に基づいて、モータ４
９を駆動して送りねじ４８を回転させる。するとナット
５０は送りねじ４８に沿って左方へ移動し、これにより
ベース板２２はガイドレール５３に沿って時計方向へ水
平回転し、ウェハホルダ６も水平回転してチップ８の向
きは補正される。図６は、この補正が終了した状態を示
している。このようにチップ８の向きを補正することに
より、チップ８の向きをコレット１２の向きに一致させ
ることができる。 【００２５】以上のようにしてチップ８の位置決めを行
ったならば、次にコレット１２によりチップ８を基板１
１上に搭載する動作を開始する。このチップ８の搭載
は、次のようにして行われる。図１において、カメラ６
５でコレット１２がピックアップするチップ８を観察
し、その位置を検出する。次にＸテーブル４１とＹテー
ブル４２を駆動し、このチップ８をコレット１２による
チップ８のピックアップ位置に移動させる。なおコレッ
ト１２によるチップ８のピックアップ位置は一定位置に
定められている。 【００２６】次にコレット１２は上下動作を行ってチッ
プ８を真空吸着してピックアップし、基板１１の上方へ
移動してチップ８を基板１１に搭載する。以上の動作が
繰り返されることにより、ウェハシート７上のチップ８
は基板１１に次々に搭載される。 【００２７】さて、ウェハシート７上のチップ８が品切
れになったならば、ウェハホルダ６の交換を次のように
して行う。図７に示すように、モータ４９を駆動するこ
とにより、ナット５０を送りねじ４８に沿って右方へ移
動させ、これによりウェハホルダ６を先程と逆方向の反
時計方向へ水平回転させ、ガイド部材２８をマガジン１
のガイド部２と平行にする。その後、Ｘテーブル４１，
Ｙテーブル４２を駆動して、図４に示す場合と同様に位
置決め装置２０をマガジン１に接近させる。次に移送ア
ーム４をウェハホルダ６へ向って前進させて、チャック
５でウェハホルダ６をチャックする。次に移送アーム４
をマガジン１へ向って移動させ、ウェハホルダ６をマガ
ジン１の空席のガイド部２上に回収する。次にエレベー
タ３を駆動してマガジン１を上下動させ、次に使用する
新たなウェハホルダ６をチャック５と同じレベルにし、
チャック５でこのウェハホルダ６をチャックする。以後
の動作は、上述した動作と同じである。 【００２８】 【発明の効果】本発明によれば、ウェハホルダをマガジ
ンから取り出して筒体上に位置させる作業と、ウェハシ
ートを引き伸ばしてチップ同士を引き離す作業と、ウェ
ハホルダを水平回転させてウェハシート上のチップの向
きをコレットの向きに合わせる作業と、ウェハシート上
のチップが品切れになったならば、ウェハホルダを筒体
上から回収する作業を、一連の作業として連係よくスム
ーズに行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のチップの供給装置の側
面図 【図２】本発明の一実施の形態のチップの供給装置の平
面図 【図３】本発明の一実施の形態のチップの供給装置の位
置決め装置の断面図 【図４】本発明の一実施の形態のチップの供給装置のウ
ェハホルダの交換動作を示す平面図 【図５】本発明の一実施の形態のチップの供給装置のウ
ェハホルダの交換動作を示す平面図 【図６】本発明の一実施の形態のチップの供給装置のウ
ェハホルダの交換動作を示す平面図 【図７】本発明の一実施の形態のチップの供給装置のウ
ェハホルダの交換動作を示す平面図 【符号の説明】 １ マガジン ２ ガイド部 ４ 移送アーム ６ ウェハホルダ ７ ウェハシート ８ チップ １０ 基板 １２ コレット ２１ 筒体 ２４ 送りねじ ２５ ナット ２６ 押えつけ部材 ２８ ガイド部材 ３４ モータ ４８ 送りねじ ４９ モータ ５０ ナット ５３ ガイドレール
面図 【図２】本発明の一実施の形態のチップの供給装置の平
面図 【図３】本発明の一実施の形態のチップの供給装置の位
置決め装置の断面図 【図４】本発明の一実施の形態のチップの供給装置のウ
ェハホルダの交換動作を示す平面図 【図５】本発明の一実施の形態のチップの供給装置のウ
ェハホルダの交換動作を示す平面図 【図６】本発明の一実施の形態のチップの供給装置のウ
ェハホルダの交換動作を示す平面図 【図７】本発明の一実施の形態のチップの供給装置のウ
ェハホルダの交換動作を示す平面図 【符号の説明】 １ マガジン ２ ガイド部 ４ 移送アーム ６ ウェハホルダ ７ ウェハシート ８ チップ １０ 基板 １２ コレット ２１ 筒体 ２４ 送りねじ ２５ ナット ２６ 押えつけ部材 ２８ ガイド部材 ３４ モータ ４８ 送りねじ ４９ モータ ５０ ナット ５３ ガイドレール
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フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01L 21/68
H01L 21/301
H01L 21/52
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】ウェハシート上のチップをダイボンディン
グ装置のコレットに供給するチップの供給装置であっ
て、ウェハシートを張設したウェハホルダを収納するマ
ガジンと、コレットによるピックアップ位置にウェハシ
ート上のチップを位置決めする位置決め装置と、マガジ
ンに収納されたウェハホルダを位置決め装置へ移送する
移送手段とを備え、前記位置決め装置が、ウェハシート
の下方に配置された筒体と、ウェハホルダを上方から押
えつけることによりウェハシートを筒体の上面に押しつ
けて引き伸ばす押えつけ部材と、この押えつけ部材に上
下動作を行わせる上下動手段とから成るウェハシートの
引き伸ばし機構と、前記筒体と前記押えつけ部材と前記
上下動手段を一体的に水平回転させる水平回転機構とか
ら成り、かつ前記押えつけ部材側に、前記マガジンに形
成されたウェハホルダのガイド部と平行なガイド部材を
設けたことを特徴とするチップの供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7541597A JP3511841B2 (ja) | 1997-03-27 | 1997-03-27 | チップの供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7541597A JP3511841B2 (ja) | 1997-03-27 | 1997-03-27 | チップの供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10270532A JPH10270532A (ja) | 1998-10-09 |
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Family
ID=13575534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7541597A Expired - Fee Related JP3511841B2 (ja) | 1997-03-27 | 1997-03-27 | チップの供給装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3511841B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7275314B2 (en) | 2004-03-26 | 2007-10-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method |
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| CN111916370B (zh) * | 2020-05-29 | 2023-09-05 | 佛山市顺德区蚬华多媒体制品有限公司 | 一种固晶机及其半导体器件封装方法 |
| CN112053984B (zh) * | 2020-09-28 | 2022-06-28 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种自动交接的多尺寸硅片传输装置 |
| CN114429930B (zh) * | 2022-01-28 | 2023-04-14 | 上海世禹精密设备股份有限公司 | 一种芯片载具自动收集装置 |
-
1997
- 1997-03-27 JP JP7541597A patent/JP3511841B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7275314B2 (en) | 2004-03-26 | 2007-10-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10270532A (ja) | 1998-10-09 |
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