JPS6397540A - リ−ドフレ−ム分離装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上坐且且分立 本発明はリードフレーム分離装置に関し、詳しくは樹脂
封止型半導体装置等の製造に使用されるリードフレーム
を、縦積み状態から１枚ずつ分離する装置に関するもの
である。

止沫四月支肛 例えば、トランジスタやＩＣ等の樹脂封止型半導体装置
の製造においては、金属製のリードフレームを使用する
のが一般的である。上記半導体装置の製造工程では、縦
積み、すなわち積層された多数のリードフレームを１枚
ずつ分離した上で、そのリードフレームをペレットマウ
ント工程等の後工程へ搬送している。このリードフレー
ムを縦積み状態から１枚ずつ分離する手段としては、従
来、真空吸引手段や磁気吸引手段によるものがあった。

このリードフレーム分離手段では、ｍＷみされた多数の
リードフレームの上方から、真空吸着パッドや磁石によ
り最上層のリードフレームを吸着して分離し、これをペ
レットマウント工程等に搬送する。上記縦積みしたリー
ドフレームはエレベータ機構に載置され、上述のような
分湘動作毎にエレベータ機構でリードフレームを上昇動
させて、最上層のリードフレームを所定のポジションか
ら分離する。そしてすべてのリードフレームが分離完了
した時点で、エレベータ機構を下降動させて初期位置に
設定し、次の縦積みされたリードフレームを供給した上
で上述の分にＩｔｖＪ作を繰り返す。

発皿が豊状−！ムＬＹと支血皿題２包 ところで、上記リードフレームは、板材をエツチング加
工やプレス加工して作成されるのが一般的である。した
がってエツチング加工により作成されたリードフレーム
を多段に亘って縦積みした場合、積載重量が増して、各
リードフレームが分離し難くなるほど密着してしまうこ
とがある。またプレス加工により作成されたリードフレ
ームをｉ１積みした場合には、加工時に発生したパリが
他のリードフレームに引っ掛かることがあった。その為
、真空吸着パッドや磁石によって縦積み状態のリードフ
レームを分離するに際して、１枚のリードフレームのみ
を分離するのが困難で、２〜３枚のリードフレームが同
時に分離されることが多発していた。この場合、後工程
への搬送途中等で余分なリードフレームが落下するとい
う不具合があった。

また、前記真空吸着パッドや磁石による分離手段では、
縦積み状態のリードフレームの上方から最上層のリード
フレームをピックアップするため、最上層のリードフレ
ームを所定のポジションに配置させるエレベータ機構を
必要とし、装置自体の複雑化及び大形化を免れ得ない。

また上記分ｇｌ　ＦＪ佳作中リードフレームを補充する
ことができず、すべてのリードフレームについて分離完
了した時点で、エレベータ機構を下降させて初期位置に
設定した後、新たなリードフレームを供給しなければな
らず、作業性が大幅に低下するという問題点があった。

更に上記リードフレームは、サイズ的に多品種のものが
あり、この品種に応じて真空吸着パッドや磁石の吸着個
所が異なるため、吸着位置を変更しなければならず品種
対応が困難であった。

□　　占　　　°　　　　　　　の　−・本発明は前記
問題点に濫みて提案されたもので、この問題点を解決す
るための技術的手段は、所定の角度に傾斜して配置され
、複数のリードフレームをその傾斜方向に沿って縦積み
載置した平板状のストッカと、上記ストッカの下縁部に
突設され、先頭リードフレームの下縁部を位置規制する
下部フレームストッパと、上記下部フレームストッパの
上方で対向する位置に配置され、先頭リーフレームの上
縁部を弾性的に掛止して位置規制する上部フレームスト
ッパと、上記上部フレームストッパの近傍に前後動及び
回転可能に設置され、この回転により、周面上に形成さ
れた分層溝に先頭リードフレームの上縁部を引掛けて、
上部フレームストッパの弾性力に抗して部分的に剥離す
るセパレータと、待機ポジションとチャックポジション
間で移動可能に、且つ、上記チャックポジションで前後
動可能に配設され、前記セパレータにより部分的に剥離
された先頭リードフレームの上縁部を挟持する開閉自在
なチャック爪と、先頭リードフレームの上縁部の外側で
前後動可能に配置され、上記先頭リードフレームを支持
するメインホルダと、先頭リードフレームと後続リード
フレーム間で前後動可能に配置され、前記セパレータに
より部分的に剥離された先頭リードフレームと後続リー
ドフレーム間に挿入させて先頭リードフレームを分離す
ると共に、後続リードフレームを一時的に支持するサブ
ホルダとを含むものである。

皿 本発明に係るリードフレーム分離装置によれば、ストッ
カ上に縦積み載置された複数のリードフレームのうち、
先頭リードフし・−ムの上縁部を、該先頭リードフレー
ムの上縁部に当接するセパレータの回転により部分的に
剥離する。

このセパレータによる先頭リードフレームの部分的剥離
の後、チャック爪にて先頭リードフレ　゛−ムの上縁部
を挾持すると共に、サブホルダを上記先頭リードフーム
と後続リードフレーム間に挿入させて先頭リードフレー
ムを分離してストッカから取り出すと共に、後続リード
フレームを上記サブホルダで一時的に支持する。これに
より縦積み状態にある複数のリードフレームから１枚ず
つ確実に分離することができる。

皇上珂 本発明に係るリードフレーム分離装置の一実施例を第１
図乃至第１１図を参照しながら説明する。第１図はり−
ドフレー分離装置の正面図、第２図乃至第４図は第１図
中のＡ、Ｂ、Ｃ矢視図であり、更に第５図乃至第７図は
セパレータユニットを示す、この第１図乃至第７図に示
すリードフレーム分離装置（１）において、（２）は基
台（３）の−側端部に立設した支持フレーム（４）を介
して所定の角度で傾斜して配置された平板状のストッカ
で、このストッカ（２）上にその傾斜方向に沿って複数
のリードフレーム（５）（５）・・・−・（図示鎖線部
分）が縦積み載置される。このストッカ（２）の傾斜角
度は、後述する先頭リードフレーム分離時、後続リード
フレームが速やかにその自重でストッカ（２）上を降下
するように設定される。（６）は上記ストッカ（２）の
下縁部（２ａ）に、リードフレーム（５）（５）−・の
長手方向に亘って突設された下部フレームストッパで、
ストッカ（２）上の先頭リードフレーム（５°）を位置
規制する、（７）は上記ストッカ（２）の下縁部近傍に
埋設された反射型光センサで、ストフカ（２）上のリー
ドフレーム（５）（５）−の有無を検出することにより
リードフレーム残量を検知する。（８）は基台（３）の
略中央部分に設けられた搬送レールで、前記ストッカ（
２）のリードフレーム（５）（５）・−・の長手方向に
沿って該リードフレーム幅寸法だけ離隔配置された固定
ガイドレール（９）及び可動ガイドレール（１０）から
なり、ストッカ（２）から分離された１枚のリードフレ
ーム（５）が移載される。

上記可動ガイドレール（１０）は、基台（３）上にクロ
スローラ（１１）を介してリードフレーム幅方向に摺動
自在に装着し、クランプレバ−（１２）の操作により長
大（１３）を利用して上記可動ガイドレール（１０）を
前後動させ、固定ガイドレール（９）との離隔距離をリ
ードフレーム（５）の幅寸法に設定して品種対応を可能
ならしめる。　　（１４）は前記固定ガイドレール（９
）の内側端近傍に配置されたブツシャで、基台（３）の
下方でリードフレーム長手方向に突出退入可能なシリン
ダ（１５）のロンド（１５ａ）先端に連結される。この
ブツシャ（１４）により搬送レール（８）上に移載され
たリードフレーム（５）を次工程に供給する。（１６）
はチャックユニットで、このチャックユニット（１６）
における（１７）　　（１７）は前記搬送レール（８）
の可動ガイドレール（１０）に沿って複数個所（図では
２箇所）に配設されたチャック爪で、可動ガイドレール
（１０）と平行配置されたチャックベース（１８）に架
設したシャフト（１９）に基端部が装着された上チャッ
ク（２０）　　（２０＞と、上記チャックベース（１８
）の上チャック（２０）　　（２０）と対応する位置に
基端部がネジ止めされた下チャック（２１）　　（２１
）とから構成される。この上チャック（２０）　　（２
０）及び下チャック（２１）（２１）の先端部間でリー
ドフレーム（５）の上縁部を挟持する。尚、上チャック
（２０）　　（２０）及び下チャック（２１）　　（２
１）はシャフト（１９）及びチャックベース（１８）に
対してスライド可能に装着されてリードフレーム（５）
の品種対応を可能ならしめる。（２２）は前記チャック
ベース（１８）から突設された取付部（２３）に組付け
られたチャック爪開閉用シリンダで、このシリンダ（２
２）のシリンダロッド（２２ａ）先端は、シャフト（１
９）の一部に固着された開閉用レバー（２４）の遊端部
（２４ａ）に、取付部（２３）とレバー（２４）間に張
設されたバネ（２５）の弾性力により常時当接される。

　　（２６）は搬送レール（８）と直交する方向に横架
されたスイングレバーで、その先端部（２６ａ）は長大
（２７）により調整可能にチャックベース（１８）にネ
ジ止めされる。　　（２８）は基台（３）の（Ｆｌｌ端
部でストッカ（２）の下方位置に、固定ガイドレール（
９）と平行して架設したシャフト（２９）に固設された
回転ブロックで、この回転ブロック（２８）に前記スイ
ングレバー（２６）の基端部（２６ｂ）をクロスローラ
（３０）を介してリードフレーム幅方向で突出退入可能
に装着する。また、上記回転ブロック（２８）にはチャ
ック爪イン・アウト用シリンダ（３１）が組付けられ、
このシリンダ（３１）のシリンダロッド（３１ａ　）を
、スイングレバー（２６）の基端部（２６ｂ　）の一部
に、スイングレバー（２６）の基端部（２６ｂ　）と回
転ブロック（２８）間に張設したバネ（３２）の弾性力
によって常時当接させる。上記回転ブロック（２８）を
支承するシャフト（２９）の一端は軸受部材（３３）に
て軸支され、且つ、他端はレバー（３４）を介して基台
（３）に固設されたロータリーアクチェエータ（３５）
の出力軸（３５ａ）に連結される。　　（３６）は上記
シャフト（２９）及び出力軸（３５ａ）に軸支されたレ
バー（３４）の先端下方の基台（３）上に配設されたス
トッパで、上記ロークリアクチェエータ（３５）を作動
させることによりスイングレバー（２６）をスイングさ
せ、待機ボジシッンＰ１にあるチャックユニット（１６
）のチャック爪（１７）　　（１７）を移動させてチャ
ックポジションＰ２に配置する際、レバー（３４）の先
端をストッパ（３６）に当接させることにより前期スイ
ングレバー（２６）の上昇端位置を規制する。

（３７）は基台（３）のストッカ（２）と対向する側端
部に立設された第１支持フレーム、（３８）は該第１支
持フレーム（３７）にクロスローラ（３９）を介してス
トフカ（２）上のリードフレーム（５）（５）−・−の
傾斜方向と直交する方向に摺動可能に装着された第２支
持フレームで、この第２支持フセーム（３８）の位置調
整は、該第２支持フレーム（３８）に穿設された長大（
４０）を利用してクランプレバ−（４１）のｉ作により
行われる。（４２）は上記第２支持フレーム（３８）の
先端に固着された平板状のホルダベース、（４３）はホ
ルダベース（４２）の先端部下面側にクロスローラ（４
４）　　（４４）を介して摺動可能に装着された、リー
ドフレーム（５）の長手方向に沿って長尺な平板状のメ
インホルダベースで、ホルダベース（４２）に固設され
たメインホルダ用シリンダ（４５）により前後動する。

（４６）は該メインホルダベース（４３）の複数箇所（
図では２箇所）に、長大（４７）によりリードフレーム
（５）の品種に応じて位置調整可能にネジ止めされたメ
インホルダで、その先端部がストッカ（２）上の先頭リ
ードフレーム（５゛）の上縁部外側に配置されて上記先
頭リードフレーム（５゛）を支持する。　　（４８）は
メインホルダベース（４３）のメインホルダ（４６）の
外側位置に配設されたセパレータユニットで、前記メイ
ンホルダ（４６）と同様、径大（４９）によりリードフ
レーム（５）の品種に応じて位置調整可能にネジ止めさ
れる。このセパレータユニット（４８）は、第５図乃至
第７図に示すように周面の一部に多数の微細な分離溝（
５０）が形成されたセパレータ（５１）を取付フレーム
（５２）に回転可能に偏芯して軸支し、該取付フレーム
（５２）に固設されたセパレータ用シリンダ（５３）の
シリンダロッド（５３ａ）を、上記セパレータ（５１）
の回転軸（５４）に固着されたブロック（５５）から延
びるピン（５６）に連結する。また、上記取付フレーム
（５２）の一部に板バネ（５７）を介して上部フレーム
ストッパ（５８）が装着され、前述したストッカ（２）
の下部フレームストッパ（６）の上方で対向する位置に
配置される。この上部フレームストッパ（５８）の先端
に設けられた掛止部（５９）に、ストッカ（２）上の先
頭リードフレーム（５′）の上縁部を板バネ（５７）で
弾性的に掛止して位置規制する。ここで後述するリード
フレーム分離時、前記セパレータ（５１）の回転により
先頭リードフレーム（５゛）の上縁部を部分的に剥離さ
せるため、上記セパレータ（５１）の回転中心と先頭リ
ードフレーム（５）の上縁部との位Ｗ関係は＠密に設定
しなければならず、そこで上部フレームストッパ（５８
）で先頭リードフレーム（５゛）の上縁部を位置規制す
ることによりセパレータ（５１）による先頭リードフレ
ーム（５゛）の部分的剥離を確実且つ安定化させる。（
６０）は前記ホルダベース（４２）の先端部上面側にク
ロスローラ（６１）（６１）を介して摺動可能に装着さ
れた、リードフレーム（５）の長手方向に沿って長尺な
平板状のサブホルダベースで、ホルダベース（４２）に
固設されたサブホルダ用シリンダ（６２）により前後動
する。　　（６３）　　（６３）はサブホルダベース（
６０）の両端部に装着されたサブホルダで、その先端部
がストッカ（２）上の先頭リードフレーム（５”）と後
続リードフレーム（５）間に挿入配置され、上記先頭リ
ードフレーム（５°）を分離すると共に、１＆続リード
フレーム（５）（５）・−・−・を一時的に支持する。

上述した構成からなるリードフレーム分薄装置（１）の
動作を第１図乃至第７図、及び第８図乃至第１１図を参
照しながら説明する。

まず第１図に示す初期状態でストッカ（２）上に複数の
リードフレーム（５）（５）−を長手方向を横にした状
態で、縦稍み載置する。この時、上記リードフレーム（
５）［５）・・・の先頭リードフレーム（５′）はメイ
ンホルダ（４６）にて支持されると共に、該先頭リード
フレーム（５°）の下縁部はストッカ（２）の下部フレ
ームストッパ（６）で位置規制され、且つ、その上縁部
はセパレータユニット（４日）の上部フレームストッパ
（５８）で位置規制される。

この状態から第８図に示すようにストッカ（２）上の先
頭リードフレーム（５′）の上級部エツジに当接するセ
パレータユニット（４８）のセパレータ（５１）をセパ
レータ用シリンダ（５３）の作動により定ピツチ回転さ
せる。これにより上記セパレータ（５１）の分離溝（５
０）に先頭リードフレーム（５゛）の上縁部エツジを引
っ掛けた状態から、上部フレームストッパ（５８）の弾
性力に抗して該上部フレームストッパ（５８）によって
位置規制された先頭リードフレーム（５゛）の上縁部を
弾性変形の範囲内で若干捲って上記セパレータ（５１）
で先頭リードフレーム（５゛）の上縁部を後続リードフ
レーム（５）（５）・・−・から部分的に剥離する。

この状態から第９図に示すように待機ポジションＰ！に
あるチャックユニット（１６）を、ロータリーアクチェ
エータ（３５）の作動によりスイングレバー（２６）を
スイングさせることによって上昇させる。このチャック
ユニット（１６）が上昇端位置に達するとロークリアク
チュエータ（３５）を停止させて開状態のチャック爪（
１７）（１７）をチャックポジションＰｚに配置する。

そしてチャック爪イン・アウト用シリンダ（３１）の作
動によりスイングレバー（２６）を介して上記チャック
爪（１７）　　（１７）を前進動させ、チャック爪（１
７）　　（１７）の上チャック（２０）　　（２０）と
下チャック（２１）　　（２１）間にセパレータ（５１
）により部分的に剥離されたス）７カ（２）上の先頭リ
ードフレーム（５′）の上縁部をまず配置する。このチ
ャック爪（１７）　　（１７）のイン動作と同時に、ホ
ルダベース（４２）のサブホルダ用シリンダ（６２）を
作動させることによりサブホルダ（６３）　　（６３）
を前進動させ、前期セパレータ（５１）により部分的に
剥離された先頭リードフレーム（５′）と後続リードフ
レーム（５）（５）（５）−間に挿入配置する。

この状態から第１０図に示すようにチャック爪開閉用シ
リンダ（２２）を作動させることにより開閉用レバー（
２４）を介してシャフト（１９）を回転させ、チャック
爪（１７）　　（１７）の上チャック（２０）　　（２
０）を閉じて該チャック爪（１７）（１７）で先頭リー
ドフレーム（５°）の上縁部を挾持する。そしてホルダ
ベース（４２）のメインホルダ用シリンダ（４５）を作
動させることによりメインホルダベース（４３）のメイ
ンホルダ（４６）　　（４６）及びセパレータユニット
（４８）（４８）のセパレータ（５１）　　（５１）を
後退勤させる。この時、ストフカ（２）の先頭リードフ
レム（５゛）はチャック爪（１７）　　（１７）で挾持
され、後続リードフレーム（５）（５）・・−はサブホ
ルダ（６３）　　（６３）で支承される。

この状態から第１１図に示すようにチャック爪イン・ア
ウト用シリンダ（３１）を作動させることにより、スイ
ングレバー（２６）を介してチャック爪（１７）　　（
１７）を後退勤させ、該チャック爪（１７）　　（１７
）に挟持された先頭リードフレーム（５”）をストッカ
（２）の下部フレームストッパ（６）から引き抜いて分
離する。このチャック爪（１７）　　（１７）のアウト
動作後、ロータリーアクチェエータ（３５）の作動によ
りスイングレバー（２６）をスイングさせてチャックユ
ニッ）　（１６）を下降させ、前期チャック爪（１７）
（１７）をチャックポジションＰ２から待機ポジション
Ｐ！に移送して先頭リードフレーム（５゛）を搬送レー
ル（８）上ににヱする。そしてチャック爪開閉用シリン
ダ（２２）の作動によりチャック爪（１７）　　（１７
＞を開状態にすれば、先頭リードフレーム（５”）が搬
送レール（８）の固定及び可動ガイドレール（９）　　
（１０）上に載置され、ブツシャ（１４）により次工程
へ搬送される。

上述したチャックユニット（１６）の降下中、該チャッ
クユニット（１６）の動作とは別にホルダベース（４２
）のメインホルダ用シリンダ（４５）を作動させること
によりメインホルダ（４６）（４６）及びセパレータユ
ニット（４８）　　（４Ｂ＞のセパレータ（５１）　　
（５１）を前進動させ、その後ホルダベース（４２）の
サブホルダ用シリンダ（６２）を作動させることにより
サブホルダ（６３）（６３）を後退勤させる。これによ
りサブホルダ（６３）　　（６３）で支持されていたス
トッカ（２）上の後続リードフレーム（５）（５）−・
が、傾斜するストッカ（２）上を自重でスライドしてメ
インホルダ（４６）　　（４６）で支持され、初期状態
に設定される。

上述した各動作を繰り返すことによりストフカ（２）上
のリードフレーム（５）　　（５）−・−・を先頭リー
ドフレーム（５゛）から順次１枚千つ確実に分離し、搬
送レール（８）上に移替えて次工程に供給する。

〕ユ■亘来 本発明に係るリードフレーム分離装置によれば、ストッ
カ上の複数のリードフレームを先頭リードフレームから
順次１枚ずつ確実に且つ安定して分隔することが可能と
なってリードフレームの後工程への搬送がスムーズに行
えて良好な作業性が得られる。また従来のようにエレベ
ータ機構等を必要としないので装置の簡略化及び小型化
が実現容易となり、分離動作中であっても随時リードフ
レームの補充が可能である。

更にリードフレームの品種対応もその板厚にかかわりな
く簡便な手段で容易に行えて実用的価値大なるリードフ
レーム分離装置を提供できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るリードフレーム分ｍ装置の一実施
例を示す正面図、第２図は第１図のＡ矢視図、第３図は
第１図のＢ矢視図、第４図は第１図のＣ矢視図、第５図
は第１図装置のセパレータユニットを示す正面図、第６
図は第５図機構の側面図、第７図は第５図機構のセパレ
ータユニットの駆動機構を示す正面図、第８図乃至第１
１図は第１図装置の各動作状態を説明するための概略構
成斜視図である。 （１’）　−リードフレーム分離装置、（２）・−・−
・ストッカ、（５）・・−リードフレーム、（５°）−
先頭リードフレーム、（６）　−下部フレームストッパ
・１．　（１７）・−・チャック爪、（４６）−ｍ−・
メインホルダ、（５０）−・−分離溝、（５１）　−セ
パレータ、（５８）　−上部フレームストッパ、（６３
）　−サブホルダ、Ｐｌ・−待機ポジション、Ｐ２−チ
ャックポジション。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）所定の角度に傾斜して配置され、複数のリードフ
   レームをその傾斜方向に沿って縦積み載置した平板状の
   ストッカと、 前記ストッカの下縁部に突設され、先頭リードフレーム
   の下縁部を位置規制する下部フレームストッパと、 前記下部フレームストッパの上方で対向する位置に配置
   され、先頭リードフレームの上縁部を掛止して位置規制
   する上部フレームストッパと、 前記上部フレームストッパの近傍に前後動及び回転可能
   に設置され、この回転により、周面上に形成された分離
   溝に先頭リードフレームの上縁部を引掛けて、上部フレ
   ームストッパに抗して部分的に剥離するセパレータと、 待機ポジジョンとチャックポジション間で移動可能に、
   且つ、上記チャックポジションで前後動可能に配設され
   、前記セパレータにより部分的に剥離された先頭リード
   フレームの上縁部を挟持する開閉自在なチャック爪と、 先頭リードフレームの上縁部の外側で前後動可能に配置
   され、上記先頭リードフレームを支持するメインホルダ
   と、 先頭リードフレームと、後続リードフレーム間で前後動
   可能に配置され、前記セパレータにより部分的に剥離さ
   れた先頭リードフレームと後続リードフレーム間に挿入
   させて先頭リードフレームを分離すると共に、後続リー
   ドフレームを一時的に支持するサブホルダとを含むこと
   を特徴とするリードフレーム分離装置。