JPH04196148A

JPH04196148A - チップ供給装置

Info

Publication number: JPH04196148A
Application number: JP2323639A
Authority: JP
Inventors: Kenichi Nishida; 健一西田
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1990-11-26
Filing date: 1990-11-26
Publication date: 1992-07-15
Anticipated expiration: 2014-07-12
Also published as: JP2917511B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、半導体などのチップ供給装置に係り、チップ
を移載ヘッドに供給するティクア・ノブステージと、ウ
ェハーリングを段積みして収納するマガジンとの間に予
熱ステージを設け、先行するウェハーリングがティクア
ップステージに位置決めされている陣中に、予熱ステー
ジのウェハーシートを予め加熱しておくことにより、ウ
ェハーシートの拡張とチップの供給作業を作業能率よく
行うよ・うにしたものである。

（従来の技術）ウェハーは、ウェハーリングに張設されたウェハーシー
ト上に貼着され、チップ状にカットされた後、移載ヘッ
ドのノズルにティクアップされ、リードフレームなどの
基板に搭載される。

その際、ウェハーシート上のチップ認識や、ウェハーシ
ー１・からのチップのティクアップが容易にできるよう
に、ウェハーシートを拡張し、チ・ノブ同士を切り離す
必要がある。このためチップのティクアップステージに
は、ウェハーシートの拡張を容易にするだめの加熱手段
が設けられている。

（発明が解決しようとする課題）ところが従来手段は、ウェハーシーＩ・の加熱は、ティ
クアップステージで行われていたため、ウェハーリング
をティクアップステージにセットした後、ウェハーシー
トをしばらく加熱し、その後でウェハーシートを拡張せ
ねばならなかった。このためこの加熱時間はデ・ノドタ
イムとなり、その間ミ移載ヘッドなとの装置の運転は停
止せねばならず、作業能率があがらない問題があった。

そこで本発明は、上記デッドタイムを短縮若しくは解消
し、能率の良いチ・ノブ供給作業が可能なチップ供給装
置を提供することを目的とする。

（課題を解決するための手段）本発明は、ウェハーリングが段積して収納されるマガジ
ンと、ウェハーリングのウェハーシー１・を拡張する拡張手段
を有し、この拡張手段により拡張されたウェハーシート
の上のチップを移載ヘッドに供給するティクアップステ
ージと、」二言己マガジンと、このティクアップステージの間に
設けられた予熱ステージと、上記マガジンと、予熱ステージと、ティクアップステー
ジの間を上記ウェハーリングを受け渡しする搬送手段と
からチップ供給装置を構成し、　上記予熱ステージに、
上記ウェハーリングの往動ガイドと復動ガイドを上下に
段差を付与して設け、且つごの往動ガイドと復動ガイド
を昇降させて往路と復路を切り替える切り替え手段を設
けたものである。

（作用）上記構成によれば、ティクアップステージでウェハーシ
ー１・を拡張するのに先立ぢ、予熱ステージで予め加熱
できるので、加熱時間がテッドタイムとなることはなく
、作業性よくウェハ一シートを拡張して、チップを移載
ヘッドに供給できる。また往動ガイドと復動ガイドを昇
降させることにより、往路と復路を切り替えて、ウェハ
ーリングをマガジン、予熱ステージ、ティクアップステ
ージの間をスムーズに搬送できる。

（実施例）次に、図面を参照しながら本発明の詳細な説明する。

第１図は、チップ供給装置の斜視図である。

このチップ供給装置は、マガジン１と、ティクアップス
テージ２と、マガジン１とティクアップステージ２の間
に設けられた予熱ステージ３と、これらの間をウェハー
リング８を受け渡しするウェハーリング８の搬送手段４
より構成されている。

マガジン１のラック５には、ウェハーリング８が複数枚
段積収納されている。ウェハーリング８にはウェハーシ
ー１・９が張設されており、このウェハーシート９には
、チ・ノブ１０がボンドにより貼着されている。このチ
ップ１０は、ウェハーシー１〜９にウェハーを貼着し、
ブレードによりチップ状に切断して形成される。

マガジン１の背後には、シリンダ１１が設りられており
、そのロッド１２が突出することにより、マガジン１内
のウェハーリング８を予熱ステージ３へ押し出す。

マガジン１の下部には、送りねじ１３が設げられており
、この送りねじ１３をモータ（図外）により駆動するこ
とにより、マガジン１は昇降し、段積収納されたウェハ
ーリング８の高さを、往動ガイド２２や復動ガイｌ”２
３（後述）と同一・レベルになるように調整する。１４
．１５はマガジン１の昇降を案内するためのガイドリン
グとガイドシャフトである。

予熱ステージ３には、上記ラック５と平行な左右−・対
のガイド手段２１が設けられている。

第２図に示すように、このガイド手段２１には、ウェハ
ーリング８の摺動を案内する上下２段の往動ガイド２２
と復動ガイド２３が溝状に形成されている。上段の復動
ガイド２３は、ウェハーリング８をティクアップステー
ジ２からマガジン１に回収する際の復路、下段の往動ガ
イド２２ば、ウェハーリング８を予熱ステージ３からテ
ィクアップステージ２に送り出す往路となっている。

第２図において、ガイ１手段２１ば、垂直なロッド２４
に支持されている。２０は装着用カプリングである。こ
のロッド２４の下部ば、台部２５に装着されたガイド管
２６に昇降自在に挿入されており、またその下端部は、
昇降板２７に支持されている。昇降板２７と台部２５の
間には、切り替え手段としてのシリンダ２８が配設され
ており、そのロッド２９は、昇降板２７に取り付けられ
ている。したがって、ロット２９が突没すると、昇降板
２７は昇降し、これとともにガイド手段２１も昇降して
、上記往路と復路を切り替える。

上記ロッド２４には、支持板３１が装着されている。こ
の支持板３１には力■熱手段としてのヒートパイプ３２
が立設されている。このヒートパイプ３２の内部には、
ヒータ３３が収納されている。ヒートパイプ３２の下端
部にはエア吸入部３４が設げられており、このエア吸入
部３４から吸入されたエアは、ヒータ３３により加熱さ
れ、往動ガイド２２に位置決めされたウェハーリング８
のウェハーシート９−・向って吹き出す。

３５はヒートパイプ３２の直上に設けられた整流子であ
る。この整流子３５は逆円錐形であり、ヒートパイプ３
２から吹き出された熱風を、ウェハーシー１−９の全面
に吹き付けるように四方に拡散する。このようにウェハ
ーシー１−９に熱風を吹き付けて加熱するごとにより、
ティクアップステージ２におりるウェハーシー１−９の
拡張を容易にし、またチップ１０をウェハーシート９に
貼着するホントを軟化させる。

次にティクアップステージ２の詳細な構造を説明する。

第３図（ａ）において、４１はウェハーリング８の保持
部である。この保持部４１はレール状であって、上記ガ
イド手段２１と平行に設けられている。このウェハーリ
ング８の下方には、ウェハーシート９を下方から受ける
受けリング４２が設けられている。４３ばウェハーリン
グ８の直上に位置する押圧板である。この押圧板４３の
側部にはナツト４４が一体的に設けられている。第１図
に示すように、ナツト４４は押圧板４３の４隅に設けら
れている。４５はこのナツト４４に螺合する垂直な送り
ねじである。

送りねじ４５の下部には、タイミングプーリ４６が装着
されており、このタイミングブーＵ　４６には、タイミ
ングヘルド４７が調帯されている。４８はタイミングヘ
ルド４７の駆動用モータである。

モータ４８が駆動すると、送りねじ４５は回転し、押圧
板４３は下降する。すると第３図（ｂ）に示すように、
ウェハーシー１・９の周縁部は受けリング４２に押しつ
けられ、ウェハーシート９は拡張して、チップ１０とチ
ップ１０の間隔は拡げられる。３２．３５は、上記予熱
ステージ３のものと同様のヒートパイプと整流子であり
、ウェハーシート９に熱風を吹き付けることにより、ウ
ェハーシー１・９の拡張を容易にする。

第１図において、５１．５２はＸＹ子テーブルＭＸ、Ｍ
ＹばＸモータ、Ｙモータであり、上記保持部４１に保持
されたウェハーリング８をＸＹＸ方向移動させ、所定の
チップ１０を移載ヘッド７０の直下に位置させる。この
移載ヘッド７０ば、そのノズル７１にチップ１０を吸着
してティクアップし、リードフレーＪ、のような基板（
図外）に移送搭載する。

次に、第１図を参照しながらウニバーリング８の搬送手
段４を説明する。

６１はアーム６２に保持された係着部であり、」−記つ
エバーリング８を係着する。６３ばＸ方向に水平に設け
られたタイミングブー１−１６４ばタイミングプーリ、
６５はモータである。

上記アーム６２は、ブラゲｙ　Ｉ□　６６によりりイミ
ングヘルト６３に装着されている。モータ６５が駆動す
ることにより、係着部６１はＸ方向に移動し、予熱ステ
ージ３のウェハーリング８を、ティクアップステージ２
に搬送する。このとき、ガイド手段２１の往動ガイド２
２は、保持部４１と同一レベルにある。

またモータ６５が逆回転することにより、ティクアップ
ステージ２でチップ１０のティクアップが完了したウェ
ハーリング８を、マガジン１へ搬送して回収する。この
とき、ガイド手段２１の復動ガイド２３は、保持部４１
と同一レベルにある。

このチップ供給装置は上記のような構成より成り、次に
全体の動作の説明を行う。

送りねじ１３を駆動して、マガジン１を昇降させ、マガ
ジン１内の所望のウェハーリング８をガイド手段２１の
往動ガイド２２と同じレベルにする。次いでシリンダ１
１のロッド１２を突出させ、ウェハーリング８を往動ガ
イド２２へ押し出ず。

予熱ステージ３のヒーｌ〜パイプ３２からは熱風が吹き
出しており、往復ガイド２２に位置決めされたウェハー
リング８のウェハーシート９は加熱される。この時、テ
ィクアップステージ２において、先行するウェハーリン
グ８のデツプ１０は、移載ヘッド７０によりティクアッ
プされて、基板に移送搭載されている。

このティクアップステージ２のウェハーリング８のチッ
プ１０が無くなると、このウェハーリング８は、係着部
６１に係着されて、復動ガイド２３まで搬送される。

次いでシリンダ２８を駆動することにより、ガイド手段
２１の高さを切り替えて、往動ガイド２２をティクアッ
プステージ２の保持部４１と同じ高さにする。次いで予
熱ステージ３で予め加熱されたウェハーリング８は、係
着部６１に係着されて、ティクアップステージ２へ搬送
され、保持部４１に位置決めされ、また復動ガイド２３
まで搬送された」１記ウェハーリング８は、マガジン１
に回収される。

次いでモータ４８が駆動することにより、押圧板４３は
下降する。するとウェハーシート９は受けリング４２に
押し付けられて拡張され、移載ヘッド７０によるこのウ
ェハーシート９上のチップ１０のティクアップが再開さ
れる。

以上のように本装置によれば、ウェハーリング８をティ
クアップステージ２に搬送するのに先立ち、予熱ステー
ジ３においてウェハーシート９を予め加熱するので、テ
ィクアップステージ２におけるウェハーシート９の加熱
時間を大幅に短縮若しくは不要にできる。またシリンダ
２８を駆動して往路と復路を切り替えることにより、ウ
ェハーリング８を、マガジン１と、予熱ステージ３と、
ティクアップステージ２の間をスムーズに受け渡し搬送
することができる。

（発明の効果）以上説明したように本発明によれば、ウェハーシートの
加熱時間がデッドタイムとなることはなく、しかもウェ
ハーリングを、マガジンと、予熱ステージと、ティクア
ップステージの間をスｌ、−ズに搬送できるので、移載
ヘッドに対するチップの供給を作業性よくスムーズに行
うことができる。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の実施例を示すものであって、第１図はチッ
プ供給装置の全体斜視図、第２図は予熱ステージの側面
図、第３図（ａ）はティクアップステージの拡張作業前
の側面図、第３図（ｂ）は拡張作業後の側面図である。１・・・マガジン２・・・ティクアップステージ３・・・予熱ステージ４・・・搬送手段８・・・ウェハーリング９・・・ウェハーシート１０・・・チップ２２・・・往動ガイド２３・・・復動ガイド２８・・・切り替え手段４２．４３・・・拡張手段

Claims

【特許請求の範囲】ウェハーリングが段積して収納されるマガジンと、ウェハーリングのウェハーシートを拡張する拡張手段を
有し、この拡張手段により拡張されたウェハーシート上
のチップを移載ヘッドに供給するテイクアップステージ
と、上記マガジンと、このテイクアップステージの間に設け
られた予熱ステージと、上記マガジンと、予熱ステージと、テイクアップステー
ジの間を上記ウェハーリングを受け渡しする搬送手段と
を備え、上記予熱ステージに、上記ウェハーリングの往動ガイド
と復動ガイドを上下に段差を付与して設け、且つこの往
動ガイドと復動ガイドを昇降させて往路と復路を切り替
える切り替え手段を設けたことを特徴とするチップ供給
装置。