JP3014870U - ウエハリング用ラック - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ウエハリングを装着したラックを搬送する際
に、自動的にストッパー機構が働くこと。 【構成】 内壁面に水平に複数の溝と突部とを交互に形
成した一対の側面板を対向させ、両側面板の溝に挿入口
側からウエハリングを挿入することによって側面板間に
ウエハリングを保持する本体と、保持したウエハリング
が挿入口から滑り出ないようにとめるストッパー機構と
からなり、ストッパー機構が、側面板の挿入口付近内壁
面に形成したストッパー支持枠と、支持枠内に上下方向
に移動可能に嵌め込まれたストッパー部材と、ストッパ
ー部材壁面に設けた側面板と同ピッチの溝及び突部と、
支持枠にストッパー部材を保持するストッパー止め機構
とからなり、ラック本体を平面より持ち上げた時に、ス
トッパー部材が下方に移動して、ストッパー止め機構が
作用しながらストッパー部材下端が側面板の底面から突
出するとともに、側面板の溝位置とストッパー部材の溝
位置とが食い違う構造。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、ＩＣ用のシリコンウエハを保持するウエハリングを装着し、搬送す るために用いるラックに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

ウエハリングを搬送する装着ラックは、図７に示すように、向かい合う１組の 側面板２、３を天板４と丸棒６、７によって平行に保持し、側面板２、３の内壁 には溝１１と突部１２とを交互に形成し、開口面の一方を挿入口１とし、この挿 入口１から溝１１にウエハリングＲを挿入して、装着するものである。側面板２ 、３に形成された溝１１は、挿入口１と反対側では、溝１１を埋めるなどして、 リングＲがそれ以上先に行かないようにしてある。 各溝にそれぞれウエハリングＲを装着したラックを、取っ手５を持って、搬送 する際、ウエハリングＲがラックの挿入口１から滑り出て、落ちてしまうような ことがないように、側面板３に棒状のストッパー２３を取り付けてある。 このストッパー機構は、ラックにウエハリングＲを装着した後、図８（ａ）に 示すように、ストッパー２３を矢印方向に持ち上げ溝２２から外し、次に矢印 のように回転させ、側面板３の内側で、溝２２に落とし込んでロックする（図 （ｂ））ものである。 このようにすれば、装着したウエハリングＲはストッパー２３により、端を押 えられ、挿入口１から、滑り出ることはない。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、以上のようなストッパーは、いちいち手で、掛けなければならないし 、万一、掛け忘れた場合には、搬送中に、ウエハリングを落としてしまうことが あった。 そこで、本考案の目的は、ウエハリングを装着したラックを搬送する際には、 自動的にストッパー機構が働くようにすることである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

第１の考案は、内壁面に水平に複数の溝と突部とを交互に形成した一対の側面 板を対向させ、両側面板の溝に挿入口側からウエハリングを挿入することによっ て側面板間にウエハリングを保持する本体と、保持したウエハリングが挿入口か ら滑り出ないようにとめるストッパー機構とからなるウエハリング用ラックにお いて、ストッパー機構が、側面板の挿入口付近内壁面に形成したストッパー支持 枠と、この支持枠内に上下方向に移動可能に嵌め込まれたストッパー部材と、ス トッパー部材壁面に設けた側面板と同ピッチの溝及び突部と、支持枠からのスト ッパー部材が脱落しないように保持するストッパー止め機構とからなり、ラック 本体を平面に載置した時には、ストッパー部材下端がラック本体の底面と一致す るとともに側面板の溝位置とストッパー部材の溝とが一致し、ラック本体を平面 より持ち上げた時には、ストッパー部材が下方に移動して、前記ストッパー止め 機構が作用しながらストッパー部材下端が側面板の底面から突出するとともに、 側面板の溝位置とストッパー部材の溝位置とが食い違うことを特徴とするウエハ リング用ラックである。 第２の考案は、上記ストッパー止め機構が、ストッパー部材下端に設けたピン と、このピンを通し側面板の底面まで貫通するピン孔とからなり、ラック本体を 平面に載置した時には、ストッパー部材下端のピン先端が側面板の底面と一致す るとともに側面板の溝位置とストッパー部材の溝とが一致し、ラック本体を平面 より持ち上げた時には、ストッパー部材が下方に移動して、前記ピンがラック本 体の底面から突出するとともに側面板の溝位置とストッパー部材の溝位置とが食 い違うことを特徴とするものである。 第３の考案は、第１の考案を前提とし、ストッパー止め機構が、支持枠との間 をストッパー部材が移動できるように側面板に設けた押え板と、ストッパー部材 の下方で前記押え板より上方に設けた止め部とからなり、ストッパー部材が下方 に移動したときに押え板に突き当たるようにしたものである。

【０００５】

【作用】 ラック本体を平面に載置した状態では、本体の側面板の溝とストッパー部材の 溝が一致しているので、挿入口からウエハリングを挿入して装着する。 ウエハリングを装着したラック本体を持ち上げると、ストッパー部材が下方に ずれ、本体側面板の溝位置にストッパー部材の突部が並ぶ。本体の溝に装着され たウエハリングは、ストッパー部材の突部に衝突するので、溝を滑って、外へ出 ることはない。

【０００６】

【実施例】

図１〜図３に示す第１実施例は、ストッパー機構を備えた側面板２、３が、従 来例とは異なるが、全体の構成は、図７の従来例と同様である。 側面板２または３は、図１に示すように溝１１と突部１２とを交互に形成した 面に支持枠１３を形成し、その中に、やはり溝１１ａと突部１２ａとを交互に形 成したストッパー部材１０をはめ込んでいる。ここで、支持枠１３は、側面板３ の一部に窓状に開けてあるが、単なる窪みでもかまわない。 このストッパー部材１０は、支持枠１３よりも上下方向の長さが短いので、上 部または、下部には、隙間ができている。 また、挿入口１側とは、反対の方には、溝８を縦に形成し、棒状のストッパー ９を固定してウエハリング挿入時の、行き止まりとする。 ストッパー部材１０は、図２に示すように上部にピン孔１７を形成し、下端に は、ピン１６を備えている。ストッパー押え板１９にはピン１５がスプリング１ ４を伴って取り付けられ、ピン１５はピン孔１７に挿入されている。そして、ス トッパー部材１０の下方には、側面板３と押え板２０に連続してピン孔１８が形 成され、このピン孔１８にピン１６が挿入されている。

【０００７】 ラック本体が、平面上に載置された状態では、図２に示すように、ピン１６の 先端が本体の底面と一致し、ストッパー部材１０は、スプリング１４に抗して上 方に押し上げられ、支持枠の下部には、長さＬの隙間ができている。 この時、側面板３の溝１１と、ストッパー部材１０に形成された溝１１ａの位 置は、完全に一致しているので、ウエハリングは、出し入れ自在である。 次に、ウエハリング搬送のために、取っ手５を持ちラック本体を持ち上げると 、スプリング１４の弾性力及びストッパー部材１０の自重によって、ストッパー 部材１０は下方に移動する。 ストッパー部材１０は、支持枠１３に当たり、止まる。つまり距離Ｌだけ移動 する。 ストッパー部材１０の突部１２ａがウエハリングを挿入した時よりも、Ｌだけ 下方にずれ、図３に示すように、側面板３の溝部４の中間に位置し、ストッパー となる。つまり、ウエハリングを搬送するために、ラックを持ち上げるだけで、 自動的にストッパー機構が働く。 この際、ピン１６は本体の底面より長さＬだけ突出しているが、ラック本体を 平面上に載置すれば、ピン１６を押し上げることになり、ストッパー解除の状態 に戻る。

【０００８】 図４、図５に示す第２実施例は、溝部１１ｂと突部１２ｂを形成したストッパ ー部材３１の下端にピンを設けず、支持枠１３がラック本体の底面まで開放され ている点が、第１実施例と異なるが、ストッパーのロックや解除機構は同様であ る。 ストッパー部材３１の上端には、スプリング受けとなる孔３０が形成され、支 持枠１３との間にスプリング２４が設置されている。また、押え板２５をネジ２ ７で側面板３に取り付けている。 ストッパー部材３１の下端は、ネジ２８で側面板３にとめられた押え板２６と 支持枠１３の間を上下に移動できるようになっている。そして、ストッパー部材 ３１が、下方に移動し、ロック状態となる。この時、図５に示すように、ストッ パー部材３１の下端は、側面板３のより突出し、底面最下端の突部１２ｂを兼ね た止め部２９が、押え板２６の上部に突き当たって、ストッパー部材３１が、そ れ以上下がらないようにしている。

【０００９】 図６に示す第３実施例は、ストッパー部材を２重に設けた以外は、第１実施例 と同様である。 第１実施例のストッパー部材１０の隣に、同様のストッパー部材２１を並べて 設置した。ストッパー部材１０とストッパー部材２１は、長さに差を設けること で、支持枠内での移動量を変化させている。このため、側面板３の溝１１の位置 にストッパー部材１０、２３の突部１２ａ、１２ｃが少しづつずれて位置するこ とになり、ウエハリングを確実に止めることができる。溝１１の幅が突部１２の 巾に比べて、大きい場合に、特に有効である。 なお、この実施例のストッパー部材１０または、２１は、第２実施例のストッ パー部材３１や、その他の形状のものとしても同様の効果が得られる。

【００１０】

【考案の効果】

本考案によれば、ウエハリング搬送時に、自動的にストッパー機構が働くので 、ストッパーを掛け忘れて、ウエハリングを落としてしまうことがない。 また、ラックを平面に置くだけで、ストッパーの解除も、自動的に行われる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施例の側面板の斜視図である。

【図２】第１実施例の部分拡大図である。

【図３】第１実施例のストッパー機構説明図である。

【図４】第２実施例の側面板の平面図である。

【図５】第２実施例の部分の側面図である。

【図６】第３実施例の側面板の平面図である。

【図７】従来例の斜視図である。

【図８】従来例のストッパー機構の斜視図であり、
（ａ）はストッパー解除時、（ｂ）はストッパーロック
時である。

【符号の説明】

１ 挿入口 ２、３ 側面板 １０、２１、３１ ストッパー部材 １１、１１ａ、１１ｂ、１１ｃ 溝 １２、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ 突部 １３ 支持枠 １６ ピン １８ ピン孔 ２６ 押え板 ２９ 止め部

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 内壁面に水平に複数の溝と突部とを交互
   に形成した一対の側面板を対向させ、両側面板の溝に挿
   入口側からウエハリングを挿入することによって側面板
   間にウエハリングを保持する本体と、保持したウエハリ
   ングが挿入口から滑り出ないようにとめるストッパー機
   構とからなるウエハリング用ラックにおいて、ストッパ
   ー機構が、側面板の挿入口付近内壁面に形成したストッ
   パー支持枠と、この支持枠内に上下方向に移動可能に嵌
   め込まれたストッパー部材と、ストッパー部材壁面に設
   けた側面板と同ピッチの溝及び突部と、支持枠からのス
   トッパー部材が脱落しないように保持するストッパー止
   め機構とからなり、ラック本体を平面に載置した時に
   は、ストッパー部材下端がラック本体の底面と一致する
   とともに側面板の溝位置とストッパー部材の溝とが一致
   し、ラック本体を平面より持ち上げた時には、ストッパ
   ー部材が下方に移動して、前記ストッパー止め機構が作
   用しながらストッパー部材下端が側面板の底面から突出
   するとともに、側面板の溝位置とストッパー部材の溝位
   置とが食い違うことを特徴とするウエハリング用ラッ
   ク。
2. 【請求項２】 ストッパー止め機構が、ストッパー部材
   下端に設けたピンと、このピンを通し側面板の底面まで
   貫通するピン孔とからなり、ラック本体を平面に載置し
   た場合には、ストッパー部材下端のピン先端が側面板の
   底面と一致するとともに側面板の溝位置とストッパー部
   材の溝とが一致し、ラック本体を平面より持ち上げた場
   合には、ストッパー部材が下方に移動して、前記ピンが
   ラック本体の底面から突出するとともに側面板の溝位置
   とストッパー部材の溝位置とが食い違うことを特徴とす
   る請求項１に記載のウエハリング用ラック。
3. 【請求項３】 ストッパー止め機構が、支持枠との間を
   ストッパー部材が移動できるように側面板に設けた押え
   板と、ストッパー部材の下方で前記押え板より上方に設
   けた止め部とからなり、ストッパー部材が下方に移動し
   たときに押え板に突き当たるようにした請求項１に記載
   のウエハリング用ラック。