JPH03173455A - ウエハのマガジン - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、薄板体のマガジンキャリヤの内、特に半導
体ウェハ（以下ウェハという）のマガジンキャリヤに関
するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来より広範に利用されているマガジンを示す
斜視図である。図において、１はマガジン、１ａ、ｌｂ
は対向するアルミニウム製の側板体、ｌｃは側板体の内
面に通常２５カ所刻設された櫛形溝であり、一方は開口
し、他方はテフロン等のプラスチック棒１ｋが埋め込ま
れることにより閉じられている。又、ｌｄ、ｌｅ及びＩ
ｆは側板体１ａ及びｌｂを一定間隔に保持するステンレ
ス製のカラーであり、２はウェハである。

次に動作について説明する。従来のマガジンは上記のよ
うに構成されており、櫛形溝ｌｃ内にウェハ２を収納し
、ウェハ２が水平になるようにマガジン１を立てて、搬
送装置にセットし、櫛形溝１ｃの刻設ピッチ毎に昇降さ
せることにより、ウェハ２を自動的に出し入れするよう
に用いられるものである。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のマガジンでは、搬送装置から人力であれ
、機械であれ、取外す際は、ウェハ２が垂直になる方向
にマガジンの姿勢を横にしてウェハ２が脱落しないよう
に、即ち櫛形溝１ｃの開口部が上向きになるようにする
必要がある。しかしながら実際の工場において、このマ
ガジン１を取り扱う際には、しばしば櫛形溝１ｃの開口
部が下向きになる方向に誤って持つ場合が生じてしまう
。この様な事態が生ずると、ウェハ２はほぼ全量が滑落
して、破れやすく、又汚染によって電気特性や回路パタ
ーンが損傷を受けてしまうという問題があった。

この発明はこのような問題点を解消するためのもので、
マガジンの掴み方を逆にしても、ウェハの脱落がなく、
しかも取扱いが簡便なマガジンを得ることを目的とする
。

〔課題を解決するための手段〕

この発明に係るウェハのマガジンは、側板体の櫛形溝と
同一ピッチの櫛形溝を設けまたストッパーを上部に配置
したスプリングを介して上下摺動可能に遊嵌し、このス
トッパーの下部にはストッパーを上下作動させるピンを
自由状態で側板体の下方に突出するように配置したもの
である。

〔作用〕

上記のように構成された半導体ウェハのマガジンにおい
ては、ウェハ搬送装置にマガジンをセットした場合、マ
ガジンの自重により作動ピンが引っ込んで、ストッパー
の櫛形溝と側板体の櫛形溝が一致することにより、ウェ
ハはマガジン内を出し入れすることができ、ロボットハ
ンド等によりマガジンを掴み上げた場合には、スプリン
グが伸長してストッパーの櫛形溝が半ピツチだけ下がる
ことにより、側板体の櫛形溝が完全に塞がれ、ウェハを
係止しその滑落を阻止する。

〔実施例〕

以下この発明の一実施例を第１図について説明する６図
において、１０ａはアルミニウム製の一方の側板体く片
方の側板体は省略）で、内面に櫛形溝１０ｃが刻設され
かつ縦方向に三角形の筒形案内溝１０ｈが設けられてい
る。３はその一面に上記櫛形７１１０ｃと同一ピッチの
櫛形溝３ａが刻設された断面三角形のテフロン製筒形ス
トッパーで、上記案内溝１０ｈ内に摺動可能に遊嵌され
、その下端に設けられた作動ビン３ｂが側板体１０ａの
下端にあけられたピン穴ｌｏｇを挿通して突出している
。４はマガジンがエレベータ上に載置されたとき、該マ
ガジンの自重によって上記作動ビン３ｂが引っ込むよう
にストッパ３の頭部に設置されたスプリングであり、５
はこのスプリングの押えブツシュである。

以上のようなものにおいて本体を組み立てる際は側板体
１０ａの頂部よりストッパー３、スプリング４、押えブ
ツシュ５の順に溝１０ｈに挿入するようになっている。

次に動作について説明する。まず、ウェハの搬送装置に
本マガジンをセットする。すると、前述したようにマガ
ジンの自重により作動ビン３ｂが引っ込んでストッパー
３に刻設された櫛形溝３ａは側板体１０ａの櫛形溝１０
ｃと一致する。この段階にて、ウェハ２は自在にマガジ
ン内を出入りすることができる。次にウェハ２の全量若
しくは必要量がマガジン内に収納された段階でオペレー
ター若しくはロボットハンドにてマガジンを掴み上げる
。この瞬間、スプリング４が伸長してストッパー３は半
ピツチだけ下がり、側板体１０ａの櫛形溝１０ｃを完全
に塞いでしまう。従ってこの状態ではウェハ２はマガジ
ン内に係止されて完全に収納されているので、マガジン
の掴み方を誤っても内部のウェハ２が滑落成いは脱落す
ることはない。そしてこの状態から再びウェハを取出す
ときは、搬送装置に載置してやればよい。すると突出し
た作動ビン３ｂは引っ込み櫛形溝３ａと櫛形溝１０ｃは
一致して、ウェハ２をスムーズに取出すことができるよ
うになる。尚、ストッパーは少なくとも一方の側板体に
設ければ目的は果し得るが、両方に設ければより確実に
ウェハをロックできる。

又、上記実施例ではストッパーは断面三角状としたが、
これに限定するものではなく、回転止めが施されている
ものであればよい。又、材質もテフロンに限らず滑動性
を有するものであればよい。

更には、本実施例では、ストッパーは埋没した形態をと
ったが、これに限らず、例えば櫛形溝側が露出していて
もよい。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、マガジンの側仮（ｋの
少なくとも一方にストッパーを取り付けるという簡単な
構造により、マガジン内のウェハを確実にロック出来る
という効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示すもので、イ、口は一
部断面の正面図、ハは一部断面の平面図、第２図は従来
のマガジンを示す斜視図である。 図中、１はマガジン、２はウェハ、３はストッパー、３
ａは櫛形溝、３ｂは作動ピン、４はスプリング、５は押
さえブツシュ、１０ａは側板体、ｌｏｃは櫛形溝である
。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 対向する側板体の各々の内面に所定数の櫛形溝を刻設し
   、一方の櫛形溝を開口し、他方の櫛形溝を閉口してなる
   ウェハのマガジンにおいて、上記側板体の一方又は両方
   の開口部近傍に側板体の櫛形溝と同一ピッチの櫛形溝を
   設けたストッパーを上下に摺動可能に遊嵌し、そのスト
   ッパーの下部には該ストッパーを上下動させる作動ピン
   を突設するとともに、該ストッパー上部にはスプリング
   を圧接したことを特徴とするウェハのマガジン。