JP7225280B2

JP7225280B2 - 電子部品収納用ボックス

Info

Publication number: JP7225280B2
Application number: JP2021015004A
Authority: JP
Inventors: 政宏施; 作雲朱
Original assignee: ▲き▼邦科技股▲分▼有限公司
Priority date: 2020-07-07
Filing date: 2021-02-02
Publication date: 2023-02-20
Anticipated expiration: 2041-02-02
Also published as: KR20220005972A; TWI728858B; US11148864B1; CN113911568B; KR102469135B1; CN113911568A; TW202202414A; JP2022014867A

Description

本発明は、ウエハーの保存に用いる開閉可能な電子部品収納用ボックスに関するものである。

ウエハーの製造過程では、通常ウエハーフレームにウエハーを載置し、異なるプロセスを実行する。プロセス終了後にウエハーが載置されているウエハーフレームをウエハーカセットまたはウエハーボート（wafer boat）中に保存し、搬送または保存する。従来のウエハーボートは直線パスを有し、ウエハーフレームは直線パスの装入端をウエハーボートに装入し、直線パスの他端には底板を設置し、ウエハーフレームを磁気吸着するための磁気部品は底板に設置している。

ウエハー収納トレイとして、例えば、特許文献１に記載されたものが知られている。
以下の特許文献１を公開例として挙げる。

実全昭５２－１０３０６７号公報

ウエハーボートは直線パスの装入端にストッパーが設置されておらず、ウエハーボートを取り出す際にウエハーボート内のウエハーフレームが装入端から脱離する可能性がある。
本発明は、上述に鑑みてなされたものであり、その目的は、保存ボックスに設置された電子部品またはウエハーを載置しているウエハーフレームが脱落する事態を回避する電子部品収納用ボックスを提供することにある。

本発明の電子部品収納用ボックスは、第一側板と、第二側板と、第一内面と、第二内面と、収容空間とを有し、前記第一内面は前記第一側板の内面であり、前記第二内面は前記第二側板の内面であり、前記第一内面は前記第二内面に向けられ、前記第一内面及び前記第二内面は前記収容空間の両側にそれぞれ位置し、前記収容空間はピックアンドプレース口を有し、前記第一内面には複数の第一溝部を形成し、前記第二内面には複数の第二溝部を形成し、各前記第一溝部及び各前記第二溝部は前記収容空間及び前記ピックアンドプレース口に連通し、第一軸方向に沿って各前記第一溝部、各前記第二溝部、及び前記収容空間がピックアンドプレースパスを構成し、前記第一側板は第二軸方向に沿って収容孔を有し、各前記第一溝部は前記収容孔に連通しているウエハーカセットと、前記第一軸方向と交差する前記第二軸方向に沿って前記ウエハーカセットに回転可能に設置され、前記収容孔中に回転可能に設置され、頂部に螺旋状の案内溝を有する長尺状のストップロッドであって、ストッパー及び凹部を有し、前記ストッパーは前記凹部の一側に位置し、前記ストッパーまたは前記凹部は前記ピックアンドプレースパスに選択的に位置し、前記凹部が前記ピックアンドプレースパスに位置している場合、前記ピックアンドプレースパスは開放パスとなり、前記ストッパーが前記ピックアンドプレースパスに位置している場合、前記ピックアンドプレースパスは非開放パスとなるストップロッドと、前記ウエハーカセットの前記収容孔に設置し、前記第二軸方向に沿って前記ストップロッドの前記頂部を触圧するための弾性部材と、を備えている。

前記ストップロッドは前記ウエハーカセットに回転可能に設置し、前記ストップロッドの前記ストッパー及び前記凹部は前記ピックアンドプレースパスに選択的に位置している。前記ストップロッドは前記ウエハーカセットに位置しているピックアンドプレースパスを選択的に開閉するために用いている。
前記凹部が前記ピックアンドプレースパスに位置している場合、前記ピックアンドプレースパスは開放パスとなり、前記ウエハーカセットに設置しているウエハーフレームまたは電子部品が前記凹部により取り出し可能となる。前記ストッパーが前記ピックアンドプレースパスに位置している場合、前記ピックアンドプレースパスが塞がれて非開放パスに変化し、前記ウエハーカセット内のウエハーフレームまたは電子部品が脱落しなくなる。

本発明に係る電子部品収納用ボックスの第一実施形態を示す斜視図である。本発明に係る電子部品収納用ボックスの第一実施形態を示す斜視図である。本発明に係る電子部品収納用ボックスの第一実施形態を示す分解斜視図である。本発明に係る電子部品収納用ボックスの第一実施形態を示す分解斜視図である。本発明のフレ－ムを示す平面図である。本発明に係る電子部品収納用ボックスの第一実施形態を示す断面図である。本発明に係る電子部品収納用ボックスの第一実施形態を示す部分断面拡大図である。本発明に係る電子部品収納用ボックスの第一実施形態を示す断面図である。本発明に係る電子部品収納用ボックスの第一実施形態を示す部分断面拡大図である。

以下、本発明による実施形態を図面に基づいて説明する。なお、複数の実施形態において実質的に同一の構成部位には同一の符号を付し、説明を省略する。

（第一実施形態）
本発明の第一実施形態について図１から図９に基づいて説明する。

図１から図４に示すように、本発明に係る電子部品収納用ボックス１００には電子部品またはウエハー１０を載置しているウエハーフレーム２０を設置している（図５参照）。
ウエハーフレーム２０により電子部品収納用ボックス１００に設置する例について、本発明は電子部品収納用ボックス１００に設置する物品について制限しない。

電子部品収納用ボックス１００はウエハーカセット１１０及びストップロッド１２０を備え、ウエハーカセット１１０は第一内面１１１ａと、第二内面１１２ａと、収容空間１１３とを有している。第一内面１１１ａ及び第二内面１１２ａは収容空間１１３の両側にそれぞれ位置し、収容空間１１３はピックアンドプレース口１１３ａを有している。
本実施形態では、ウエハーカセット１１０は第一側板１１１及び第二側板１１２を含み、収容空間１１３は第一側板１１１と第二側板１１２との間に位置している。第一内面１１１ａは第一側板１１１の内面であり、第二内面１１２ａは第二側板１１２の内面であり、第一内面１１１ａは第二内面１１２ａに向けられている。第一内面１１１ａには複数の第一溝部１１１ｂを形成し、第二内面１１２ａには複数の第二溝部１１２ｂを形成し、各第一溝部１１１ｂ及び各第二溝部１１２ｂは収容空間１１３及びピックアンドプレース口１１３ａに連通している。
図３、図４、図７及び図９に示すように、第一軸Ｘ方向に沿って、各第一溝部１１１ｂ、各第二溝部１１２ｂ、及び収容空間１１３がピックアンドプレースパスＳを構成している。ウエハーフレーム２０はピックアンドプレースパスＳによりウエハーカセット１１０に装入し、ピックアンドプレースパスＳによりウエハーカセット１１０内のウエハーフレーム２０から取り出す。

図３及び図４に示すように、第一軸Ｘ方向と交差する第二軸Ｙ方向に沿って、ストップロッド１２０をウエハーカセット１１０に回転可能に設置している。
本実施形態では、第一側板１１１は第二軸Ｙ方向に沿って収容孔１１１ｃを有している。
図３、図４及び図６に示すように、各第一溝部１１１ｂは収容孔１１１ｃに連通し、ストップロッド１２０は収容孔１１１ｃ中に回転可能に設置している。収容孔１１１ｃは第一側板１１１の底面１１１ｅを貫通している。

ストップロッド１２０はストッパー１２１及び凹部１２２を有し（図３及び図４参照）、ストッパー１２１は凹部１２２の一側に位置し、ストップロッド１２０が回転するとストッパー１２１または凹部１２２がピックアンドプレースパスＳに選択的に位置する。
図４、図６及び図７に示すように、ストップロッド１２０が回転して凹部１２２がピックアンドプレースパスＳに位置すると、ピックアンドプレースパスＳが開放パスとなる。
本実施形態では、凹部１２２が各第一溝部１１１ｂに連通し、ピックアンドプレースパスＳを開放する。
図８及び図９に示すように、ストップロッド１２０が回転してストッパー１２１がピックアンドプレースパスＳに位置すると、ピックアンドプレースパスＳが非開放パスとなり、ストッパー１２１はピックアンドプレースパスＳを塞ぐために用い、ピックアンドプレースパスＳが閉鎖される。

図３及び図４に示すように、電子部品収納用ボックス１００は位置限定部材１３０を備え、位置限定部材１３０はウエハーカセット１１０に設置している。位置限定部材１３０は支持部材１６０によりウエハーカセット１１０の第一側板１１１に設置し、支持部材１６０はねじ１７０により第一側板１１１に固定している。

図３、図４、図６及び図８に示すように、ストップロッド１２０は案内溝１２３を備え、位置限定部材１３０は位置限定部１３１を有している。位置限定部１３１は第一側板１１１の収容孔１１１ｃに位置し、案内溝１２３中に挿設し、ストップロッド１２０の回転角度を制限している。

図３、図６及び図８に示すように、案内溝１２３は第一端部１２３ａ及び第二端部１２３ｂを有している。案内溝１２３はストップロッド１２０に凹設している螺旋溝である。
本実施形態では、ストップロッド１２０はストッパー１２１の両端にそれぞれ位置している頂部１２４及び底部１２５を備え、案内溝１２３は頂部１２４に設置している。また、第一端部１２３ａから頂部１２４の上面１２４ａまでの距離は第二端部１２３ｂから上面１２４ａまでの距離より長い。

図６に示すように、電子部品収納用ボックス１００を台上（図示省略）に設置する概略図であり、ストップロッド１２０が回転して位置限定部１３１が第一端部１２３ａに位置すると、底部１２５が第一位置に位置する。
本実施形態では、第一位置は底部１２５が収容孔１１１ｃ中に挿入される位置である。
図４、図６及び図７に示すように、位置限定部１３１が第一端部１２３ａに位置する場合、凹部１２２がピックアンドプレースパスＳに位置し、ピックアンドプレースパスＳを開放し、これによりウエハーカセット１１０に設置しているウエハーフレーム２０が凹部１２２により取り出し可能となり、ウエハーフレーム２０がピックアンドプレース口１１３ａ及び凹部１２２によりウエハーカセット１１０内に設置される。

図８に示すように、電子部品収納用ボックス１００が持ち上げられると、ストップロッド１２０が重力の影響を受けて下に向けて移動し、位置限定部材１３０の位置限定部１３１がストップロッド１２０の案内溝１２３中に挿設されることで、ストップロッド１２０が位置限定部１３１により制限されて重力の影響を受け、変位するように回転し、第一端部１２３ａに位置している位置限定部１３１が第二端部１２３ｂに位置するように変化する。位置限定部１３１が第二端部１２３ｂに位置すると、底部１２５が第一位置から第二位置に変位する。
本実施形態では、第二位置に位置している底部１２５は第一側板１１１の底面１１１ｅに突出している。
図８及び図９に示すように、位置限定部１３１が第二端部１２３ｂに位置すると、ストッパー１２１がピックアンドプレースパスＳに位置し、ピックアンドプレースパスＳを閉鎖するために用い、これによりウエハーカセット１１０に設置しているウエハーフレーム２０がストッパー１２１により係止されてウエハーカセット１１０から脱離しなくなる。

図３、図４、図６及び図８に示すように、電子部品収納用ボックス１００は弾性部材１４０を備え、弾性部材１４０はウエハーカセット１１０の収容孔１１１ｃ中に設置し、第二軸Ｙ方向に沿ってストップロッド１２０を触圧する。
本実施形態では、収容孔１１１ｃは第一側板１１１の上面１１１ｆを貫通し、電子部品収納用ボックス１００はストッププレート１５０を備え、ストッププレート１５０は第一側板１１１に設置し、弾性部材１４０はストッププレート１５０とストップロッド１２０との間に位置を限定されている。
図６に示すように、電子部品収納用ボックス１００が台上に載置されると、弾性部材１４０がストップロッド１２０により圧迫される。
図８に示すように、電子部品収納用ボックス１００が持ち上げられると、弾性部材１４０がストップロッド１２０を押動し、同時にストップロッド１２０が位置限定部１３１に位置を限定されて回転し、第一端部１２３ａに位置している位置限定部１３１が第二端部１２３ｂに位置するように変化する。

図１から図４に示すように、収容孔１１１ｃはウィンドウ１１１ｄを有し、ウィンドウ１１１ｄは第一側板１１１の外面に位置し、ウィンドウ１１１ｄはストップロッド１２０のストッパー１２１または凹部１２２を露出するために用いている。これにより、ストッパー１２１または凹部１２２がピックアンドプレースパスＳに位置していることを観察可能となる。
図２及び図４に示すように、収容空間１１３が開口部１１３ｂを有する場合、電子部品収納用ボックス１００は収容空間１１３にブロッカー１８０を別途設置する必要がある。ブロッカー１８０を開口部１１３ｂに隣接させることで、ウエハーカセット１１０の開口部１１３ｂからウエハーカセット１１０が脱離するのを回避する。

本発明はストップロッド１２０が回転することで、凹部１２２またはストッパー１２１がピックアンドプレースパスＳ中に位置する。
図７に示すように、凹部１２２が第一溝部１１１ｂに位置している場合、ピックアンドプレースパスＳは開放パスとなり、このためウエハーカセット１１０に設置しているウエハーフレーム２０がピックアンドプレース口１１３ａから取り出し可能となり、ピックアンドプレースパスＳを経てウエハーフレーム２０をウエハーカセット１１０内に設置可能となる。
図９に示すように、ストッパー１２１が第一溝部１１１ｂに位置している場合、ピックアンドプレースパスＳは非開放パスとなり、ウエハーカセット１１０内のウエハーフレーム２０がストッパー１２１により係止され、ウエハーカセット１１０から取り出せなくなる。これにより、ウエハーカセット１１０内のウエハーフレーム２０または電子部品の脱落を回避する。

以上、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々の形態で実施可能である。

１０ウエハー、
２０ウエハーフレーム、
１００電子部品収納用ボックス、
１１０ウエハーカセット、
１１１第一側板、
１１１ａ第一内面、
１１１ｂ第一溝部、
１１１ｃ収容孔、
１１１ｄウィンドウ、
１１１ｅ底面、
１１１ｆ上面、
１１２第二側板、
１１２ａ第二内面、
１１２ｂ第二溝部、
１１３収容空間、
１１３ａピックアンドプレース口、
１１３ｂ開口部、
１２０ストップロッド、
１２１ストッパー、
１２２凹部、
１２３案内溝、
１２３ａ第一端部、
１２３ｂ第二端部、
１２４頂部、
１２４ａ上面、
１２５底部、
１３０位置限定部材、
１３１位置限定部、
１４０弾性部材、
１５０ストッププレート、
１６０支持部材、
１７０ねじ、
１８０ブロッカー、
Ｓピックアンドプレースパス、
Ｘ第一軸、
Ｙ第二軸。

Claims

第一側板と、第二側板と、第一内面と、第二内面と、収容空間とを有し、前記第一内面は前記第一側板の内面であり、前記第二内面は前記第二側板の内面であり、前記第一内面は前記第二内面に向けられ、前記第一内面及び前記第二内面は前記収容空間の両側にそれぞれ位置し、前記収容空間はピックアンドプレース口を有し、前記第一内面には複数の第一溝部を形成し、前記第二内面には複数の第二溝部を形成し、各前記第一溝部及び各前記第二溝部は前記収容空間及び前記ピックアンドプレース口に連通し、第一軸方向に沿って各前記第一溝部、各前記第二溝部、及び前記収容空間がピックアンドプレースパスを構成し、前記第一側板は第二軸方向に沿って収容孔を有し、各前記第一溝部は前記収容孔に連通しているウエハーカセットと、
前記第一軸方向と交差する前記第二軸方向に沿って前記ウエハーカセットに回転可能に設置され、前記収容孔中に回転可能に設置され、頂部に螺旋状の案内溝を有する長尺状のストップロッドであって、ストッパー及び凹部を有し、前記ストッパーは前記凹部の一側に位置し、前記ストッパーまたは前記凹部は前記ピックアンドプレースパスに選択的に位置し、前記凹部が前記ピックアンドプレースパスに位置している場合、前記ピックアンドプレースパスは開放パスとなり、前記ストッパーが前記ピックアンドプレースパスに位置している場合、前記ピックアンドプレースパスは非開放パスとなるストップロッドと、
前記ウエハーカセットの前記収容孔に設置し、前記第二軸方向に沿って前記ストップロッドの前記頂部を触圧するための弾性部材と、を備えていることを特徴とする電子部品収納用ボックス。
前記ウエハーカセットに設置され、位置限定部を有している位置限定部材を備え、前記位置限定部を前記ストップロッドの前記案内溝に挿設することで、前記ストップロッドの回転角度を制限していることを特徴とする請求項１に記載の電子部品収納用ボックス。
前記案内溝は第一端部及び第二端部を有し、前記ストップロッドが回転して前記位置限定部が前記案内溝の前記第一端部に位置する場合、前記凹部が前記ピックアンドプレースパスに位置し、前記ピックアンドプレースパスが前記開放パスとして形成され、前記ストップロッドが回転して前記位置限定部が前記案内溝の前記第二端部に位置する場合、前記ストッパーが前記ピックアンドプレースパスに位置し、前記ピックアンドプレースパスが前記非開放パスとして形成されることを特徴とする請求項２に記載の電子部品収納用ボックス。
前記ストップロッドの前記頂部は前記ストッパーの一端に位置し、前記案内溝は前記頂部に設置していることを特徴とする請求項３に記載の電子部品収納用ボックス。
前記案内溝の前記第一端部及び前記頂部の上面までの距離は、前記案内溝の前記第二端部及び前記上面までの距離より長いことを特徴とする請求項４に記載の電子部品収納用ボックス。
前記位置限定部が前記案内溝の前記第一端部に位置する場合、前記ストップロッドの底部が第一位置に位置することを特徴とする請求項３に記載の電子部品収納用ボックス。
前記ストップロッドが回転して前記第一端部に位置している前記位置限定部が前記第二端部に位置するように変化すると、前記ストップロッドの前記底部が前記第一位置から第二位置に変位することを特徴とする請求項６に記載の電子部品収納用ボックス。
前記位置限定部は前記収容孔に位置し、前記ストップロッドの前記案内溝中に挿設していることを特徴とする請求項６に記載の電子部品収納用ボックス。
前記凹部が各前記第一溝部に位置している場合、前記ピックアンドプレースパスは前記
開放パスとなり、前記ストッパーが各前記第一溝部に位置している場合、前記ピックアン
ドプレースパスは前記非開放パスとなることを特徴とする請求項８に記載の電子部品収納
用ボックス。
前記収容孔は前記第一側板の外面に位置しているウィンドウを有し、前記ウィンドウからは前記ストップロッドの前記ストッパーまたは前記凹部が露出していることを特徴とする請求項８に記載の電子部品収納用ボックス。
前記収容孔は前記第一側板の底面を貫通し、前記位置限定部が前記案内溝の前記第二端部に位置する場合、前記ストップロッドの前記底部が前記底面に突出することを特徴とする請求項８に記載の電子部品収納用ボックス。
前記第一側板に設置しているストッププレートを備え、前記収容孔は前記第一側板の上面を貫通し、前記弾性部材は前記ストッププレートと前記ストップロッドとの間に位置を限定されていることを特徴とする請求項８に記載の電子部品収納用ボックス。
支持部材を備え、前記位置限定部材は前記支持部材により前記第一側板に設置していることを特徴とする請求項８に記載の電子部品収納用ボックス。
前記案内溝は前記ストップロッドの螺旋溝に凹設されていることを特徴とする請求項５に記載の電子部品収納用ボックス。
前記収容空間に設置され、前記収容空間の開口部に隣接しているブロッカーを前記第二側板に備えていることを特徴とする請求項１に記載の電子部品収納用ボックス。