CN210913451U - 一种晶圆物料盒和晶圆物料盒搬运设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆物料盒，包括盒体和锁杆；盒体具有存放腔，存放腔的腔壁开设有承托晶圆框架的水平支撑槽；水平支撑槽形成有供晶圆框架进出的进出口；锁杆设置有沿竖直方向排列的水平避让槽和封堵部；锁杆可在其自重下相对盒体下降至其底端伸出盒体的底面的第一位置，锁杆还可相对盒体向上运动至其底端端面与盒体的底面齐平的第二位置；在锁杆位于第一位置时，封堵部正对进出口从而封堵进出口；在锁杆位于第二位置时，水平避让槽正对进出口从而打开进出口。本实用新型能在不需要额外对晶圆盒内的晶圆进行锁定或者锁定的装置进行操作的情况下，自动对放入其中的晶圆框架内的晶圆锁定和解锁锁定；本实用新型还公开了晶圆物料盒搬运设备。

Description

一种晶圆物料盒和晶圆物料盒搬运设备

技术领域

本实用新型涉及半导体器件封装设备领域，尤其涉及一种用于存放晶圆的晶圆物料盒和搬运该晶圆物料盒的晶圆物料盒搬运设备。

背景技术

目前，常将晶圆固定在晶圆框架上，晶圆框架提供工作人员或者夹持机构持握的部位，从而在工作人员或者夹持机构移送单片晶圆时，不需要直接接触晶圆而避免对晶圆表面造成磨损；同时，为了避免晶圆在外部空间移动过程中受到物理因素(如与其他物体产生撞击、摩擦等作用)或者化学因素的影响，常将固定有晶圆的晶圆框架存放在晶圆物料盒内。

现有的晶圆物料盒为至少一侧无挡板的矩形框结构，晶圆物料盒内开设多个水平支撑槽，水平支撑槽的端部形成有进出口，晶圆框架通过进出口插装于水平支撑槽内而实现晶圆存放在晶圆物料盒内，但是，在采用机械手或者人工提取的方式将晶圆物料盒移动至承托平面的过程中，由于机械手的机械震动或者人工提取不平稳等因素易导致晶圆物料盒倾斜，此时，晶圆框架可能在其自重下从进出口脱离水平支撑槽，从而从晶圆物料盒无挡板的一侧掉出晶圆物料盒；因此，现有也采用设置锁销的方式来阻止晶圆框架的掉落。

请参看专利文献CN102629564A，专利文献CN102629564A公开了一种晶圆盒；具体地，参看说明书第【0074-0078】段所记载的技术方案：再次引用图2，本发明的晶圆盒可以设置防止晶圆盒(10)内容纳的晶圆(W)在作业途中脱离的锁销(500)。上述锁销(500)具有能旋转地设置于上述各端板(100)上部一侧的旋转轴(510)，具有一体连接于上述旋转轴(510)的连接杆(520)，在上述连接杆(520)的末端，还具有沿晶圆盒(10)长度方向连接成一体的销杆(530)。而且，如图8所示，在上述端板(100)的上端，可以形成用于固定上述销杆(530)的第1固定槽(130)，在端板(100)的一侧端，可以形成用于在上述销杆(530)解除锁定时固定销杆(530)的第2固定槽(140)。此时，在上述第1固定槽(130)的内面上，可以形成至少一个以上用于防止插入第1固定槽(140)的销杆(530)脱离的固定凸起(131)。然而，上述结构中，在提取晶圆盒前，需要转动锁销至第1固定槽从而实现锁定，避免晶圆掉落；同理地，在需要存取出晶圆时，也需要转动锁销至第2固定槽从而解除锁定，以便于晶圆框架的存取；由上可知，该晶圆盒的锁销实现锁定或者解锁锁定的操作需要外部干预来实现，不利于在晶圆生产过程中和实施半导体器件封装的晶圆贴膜和切割流程之前的全自动化车间的建设。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型的目的之一在于提供一种晶圆物料盒，其能在不需要额外对晶圆盒内的晶圆进行锁定或者锁定的装置进行操作的情况下，实现自动对放入其中的晶圆框架内的晶圆锁定和解锁锁定。

本实用新型的目的之一采用如下技术方案实现：

一种晶圆物料盒，包括

盒体；所述盒体具有用于存放晶圆框架的存放腔，所述存放腔的腔壁开设有供晶圆框架活动插装以承托晶圆框架的水平支撑槽；所述水平支撑槽的端部形成有供晶圆框架进出所述水平支撑槽的进出口；

锁杆；所述盒体上位于水平支撑槽的进出口处设有竖直方向的锁杆安装位，供所述锁杆放置；所述锁杆设置有沿竖直方向排列的水平避让槽和封堵部；所述水平避让槽的两端贯通并可供晶圆框架活动穿过；所述锁杆可在其自重下相对所述盒体下降至其底端伸出所述盒体的底面的第一位置，所述锁杆还可相对所述盒体向上运动至其底端端面与盒体的底面齐平的第二位置；在所述锁杆位于所述第一位置时，所述封堵部正对所述进出口从而封堵所述进出口；在所述锁杆位于所述第二位置时，所述水平避让槽正对所述进出口从而打开所述进出口。

进一步地，所述水平支撑槽的数量为多条，多条所述水平支撑槽沿所述存放腔的竖直方向依次间隔排列；所述水平避让槽的数量为多条，所述封堵部的数量为多个，多条所述水平避让槽和多个所述封堵部沿所述锁杆的竖直方向依次交替排列；在所述锁杆位于所述第一位置时，多个所述封堵部与多条所述水平支撑槽一一对应；在所述锁杆位于所述第二位置时，多条所述水平避让槽与多条所述水平支撑槽一一对应。

进一步地，所述锁杆安装位为沿所述盒体上下两端贯通的竖向限位槽；所述锁杆包括杆体和固定在所述杆体顶端的限位部；所述杆体活动穿设于所述竖向限位槽内，所述限位部用于在所述锁杆位于所述第一位置时与所述竖向限位槽的顶端所在所述盒体端面相抵碰；所述水平避让槽和所述封堵部均设置在所述杆体上。

进一步地，所述盒体的顶面设置有第一限位结构，所述盒体的底面设置有第二限位结构，所述第一限位结构和所述第二限位结构能够匹配插装。

进一步地，所述盒体上开设有多个镂空结构。

进一步地，所述盒体的顶面设置有RFID标签，所述RFID标签与所述盒体的顶面之间设置有绝缘垫片。

进一步地，所述晶圆物料盒还包括提手和弹性元件；所述提手安装在所述盒体的顶面，并可在与所述盒体的顶面贴合的贴合位置和相对所述盒体的顶面倾斜向上的持握位置之间转动；所述弹性元件用于提供促使所述提手保持处于所述贴合位置的弹性应力。

本实用新型的目的之二还公开了搬运上述晶圆物料盒的晶圆物料盒搬运设备，可设置在全自动化设置的半导体器件封装车间内，用于实现自动将上述的晶圆物料盒搬运到加工车位。

本实用新型的目的之二采用如下技术方案实现：

晶圆物料盒搬运设备，用于搬运如上述的晶圆物料盒，包括机械手；机械手包括机械臂和勾臂；所述勾臂包括连接段和托举段；所述托举段固定在所述连接段的下端并与所述连接段配合构成L型；所述机械臂与所述连接段的上端传动连接，并用于带动所述勾臂分别沿X、Y、Z轴三向运动；所述盒体的顶面设置有受力臂，所述受力臂与所述盒体的顶面之间间隔形成供所述托举段进出的进出空间。

进一步地，所述托举段上方设置有定位插销；所述受力臂开设有槽口向下的定位插槽，所述定位插槽用于供对应所述定位插销插装。

进一步地，所述受力臂沿所述盒体的宽度方向延伸，所述受力臂在所述盒体的长度方向的相对两端分别设置有侧挡板；所述侧挡板沿所述盒体的长度方向延伸。

相比现有技术，本实用新型的有益效果在于：

本实用新型通过设置带有阻挡部和水平避让槽的锁杆，且锁杆可相对盒体上下运动；如此，在盒体脱离外部承托平面时，锁杆在其自重下可向下移动，进而使锁杆上的封堵部封堵水平支撑槽的进出口，无需外部干预即可实现锁定，保证晶圆框架不会掉出盒体；同时地，在正常工作需要取放晶圆时，本晶圆物料盒将会被放置在外部承托平面上，在盒体放置在外部承托平面过程中，锁杆在外部承托平面的抵顶下相对盒体向上运动，而使得锁杆上的水平避让槽与水平支撑槽的进水口相对应，无需外部干预即可实现解除锁定，以便于晶圆框架的取出。

附图说明

图1为本实用新型晶圆物料盒的结构示意图之一(锁杆位于第二位置)；

图2为本实用新型图1局部A的结构放大图；

图3为本实用新型晶圆物料盒的结构示意图之二(锁杆位于第二位置)；

图4为本实用新型晶圆物料盒的结构示意图之二(锁杆位于第一位置)；

图5为本实用新型锁杆的结构示意图；

图6为机械手与本实用新型晶圆物料盒的结构示意图；

图7为机械手与本实用新型晶圆物料盒配合使用状态图。

图中：10、盒体；11、存放腔；12、水平支撑槽；121、进出口；13、盒体的底面；14、盒体的顶面；20、锁杆；21、水平避让槽；22、封堵部；23、杆体；24、限位部；30、第一限位结构；40、第二限位结构；50、镂空结构；60、RFID标签；70、绝缘垫片；80、受力臂；90、机械臂；100、定位插槽；110、定位插销；120、提手；130、勾臂；131、连接段；132、托举段；140、侧挡板；150、晶圆框架。

具体实施方式

下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做进一步描述，需要说明的是，在不相冲突的前提下，以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。

如图1-5所示的一种晶圆物料盒，包括盒体10和锁杆20；其中，

盒体10具有用于存放晶圆框架150的存放腔11，可以理解地是，为了便于晶圆框架150的取放，盒体10上还可开设连通存放腔11与外部的开口，开口供晶圆框架150进出存放腔11；具体地，存放腔11的腔壁开设有供晶圆框架150活动插装以承托晶圆框架150的水平支撑槽12，如此，在晶圆框架150插装于水平支撑槽12内时，水平支撑槽12的槽壁支撑晶圆框架150，而实现晶圆框架150水平存放在存放腔11内；与此同时，为了实现晶圆框架150的稳定承托，可在存放腔11相对的两腔壁均开设上述水平支撑槽12，两水平支撑槽12位于同一水平面且两水平支撑槽12的槽口相对设置，如此，两水平支撑槽12可共同配合承托同一个晶圆框架150；水平支撑槽12的端部还形成有供晶圆框架150进出水平支撑槽12的进出口121，该进出口121可设于水平支撑槽12靠近上述开口的一端，如此，便于晶圆框架150的存取；所述盒体10上位于水平支撑槽12的进出口121处设有竖直方向的锁杆安装位，供锁杆20放置；

锁杆20设置有沿竖直方向排列的水平避让槽21和封堵部22；水平避让槽21的两端贯通并可供晶圆框架150活动穿过，可以理解地是，晶圆框架150可通过水平避让槽21相互贯通的两端进出该水平避让槽21；锁杆20安装在盒体10上，具体地，锁杆20可在其自重下相对盒体10下降至其底端伸出盒体的底面13的第一位置，锁杆20还可相对盒体10向上运动至其底端端面与盒体的底面13齐平的第二位置；在锁杆20位于第一位置，封堵部22正对进出口121从而封堵进出口121；在锁杆20位于第二位置时，水平避让槽21正对进出口121从而打开进出口121。

在上述结构的基础上，在需要移送晶圆时，提起本晶圆物料盒，本晶圆物料盒脱离外部承托平面，锁杆20在其自重作用下向下运动至第一位置，此时，锁杆20的封堵部22正对进出口121从而封堵进出口121，晶圆框架150因为受到位于进出口121处的封堵部22的阻拦而不会从盒体10的水平支撑槽12脱落从而掉落；在正常工作需要取放晶圆时，本晶圆物料盒将会被放置在外部承托平面上，此时，锁杆20的底部端面抵靠在外部承托平面表面上，由于整个本晶圆物料盒自身重力的影响，盒体10将在其自重下下降至与外部承托平面贴合的位置，即，锁杆20将相对盒体10向上运动至第二位置，此时，锁杆20上的水平避让槽21正对进出口121从而打开进出口121，晶圆框架150可通过该进出口121和水平避让槽21脱离水平支撑槽12或插装于水平支撑槽12上，从而实现从盒体10内取出或存放晶圆框架150；上述锁杆20的落锁与解锁不需要人工操作，而可适用于全自动生产的过程。

作为一种优选地实施方式，上述水平支撑槽12的数量可设置为多条，多条水平支撑槽12沿存放腔11的竖直方向依次间隔排列，实现一个盒体10存放多个晶圆框架150；相应地，水平避让槽21的数量为多条，封堵部22的数量为多个，多条水平避让槽21和多个封堵部22沿锁杆20竖直方向依次交替排列；在锁杆20位于第一位置时，多个封堵部22与多条水平支撑槽12一一对应，此时，实现对多条水平支撑槽12的进出口121封堵；在锁杆20位于第二位置时，多条水平避让槽21与多条水平支撑槽12一一对应，此时，打开多条水平支撑槽12的进出口121。

上述优选实施方式中需要说明的是，此处位于锁杆20最顶端的可为封堵部22也可为水平避让槽21，而位于锁杆20最低端的可为封堵部22或也可为水平避让槽21，其以实际生产需求来设定；再者，在生产加工过程中，可通过开设间隔设置的水平避让槽21，如此，锁杆20位于两水平避让槽21的部位即形成该封堵部22；或者，通过形成间隔设置且凸出锁杆20表面的封堵部22，如此，两个封堵部22之间即可形成水平避让槽21，简化加工程序。

上述的锁杆20可采用以下方式安装：锁杆20插装于盒体10内，盒体10的下方设置有限位块；限位块在锁杆20位于第一位置时与锁杆20的底端相抵碰，以阻止锁杆20继续向下运动，但是，位于下方的限位块在本晶圆物料盒放置在外部承托平面时，会对本晶圆物料盒的放置造成阻碍；本实施例的锁杆20优选以下安装方式：在盒体10上开设上下两端贯通的竖向限位槽，该竖向限位槽即为上述锁杆安装位；锁杆20包括杆体23和固定在杆体23顶端的限位部24；限位部24为相对于杆体23横截面设置的凸起。在上述优选的实施方式中，杆体23为一竖直方向呈长条状的长方体，水平避让槽21和封堵部22从上往下设置在杆体23上；此时，限位部24为杆体23上端面上往前后左右任一方向或者两个方向设置的凸起。其中，更优的实施方式为限位部24为杆体23上端面上往前后或者左右方向设置的凸起，或者往前后左右四个方向设置的凸起。当杆体23上端面设置限位部24时，杆体23在上端面的横截面将大于杆体23其他部位的横截面。此时，可以设置竖向限位槽的形状与杆体23的横截面匹配，同时竖向限位槽的横截面面积略大于杆体23横截面面积而小于杆体23端面设有限位部24处的横截面面积。锁杆20活动穿设于竖向限位槽内，从而被竖向限位槽限定其运动方向；限位部24用于在锁杆20处于第一位置时与竖向限位槽的顶端所在盒体10端面相抵碰，实现锁杆20的定位，从而阻止锁杆20继续向下运动，避免锁杆20脱离竖向限位槽，即避免锁杆20在其自重作用下脱离盒体10，该结构简单，且可避免对本晶圆物料盒的放置造成阻碍。

为了在叠放本晶圆物料盒，实现本晶圆物料盒的整齐摆放，优选地，如图1和图3所示，盒体的顶面14设置有第一限位结构30，盒体的底面13设置有第二限位结构40，第一限位结构30和第二限位结构40能够匹配插装；如此，叠放本晶圆物料盒时，位于上方的本晶圆物料盒的第二限位结构40与位于下方的本晶圆物料盒的第一限位结构30匹配插装，此时，实现上下两个本晶圆物料盒相对位置的固定，从而实现整齐摆放。此处需要说明的是，上述的第一限位结构30可为限位块，相应地，第二限位结构40可为限位槽；或者，上述的第一限位结构30为限位槽，相应地，第二限位结构40可为限位块；上述第一限位结构30和第二限位结构40的具体实施方式包括但不仅限于上述的实施方式，只要可实现两者相互匹配插装的结构均可。

为了减轻本晶圆物料盒整体重量，如图1所示，盒体10上开设有多个镂空结构50，该镂空结构50可为开设在盒体10上的圆孔、条状槽等等；进一步地，可将盒体的底面13设置成栏栅结构，以实现进一步降低整体重量，从而降低提取本晶圆物料盒时所需要的动力。

如图1所示，具体地，盒体的顶面14设置有RFID标签60，如此，可通过读取RFID标签60来实现自动化获取本晶圆物料盒的信息，识别工作无需人工干预；更具体地，由于盒体10常采用金属材料制成，金属材料对电磁波具有强烈的反射性，所以会伴随着信号减弱，对RFID标签60的读取会产生干扰，且干扰严重时还会出现读取失败的现象，如此，读取RFID标签60时需要离RFID标签60比较近，而读取距离越近干扰越严重，因此，还可在RFID标签60与盒体的顶面14之间设置绝缘垫片70，以减弱金属干扰，使RFID标签60读取的有效性得到了保证。

为了便于本晶圆物料盒的提取，如图1所示，本晶圆物料盒还包括安装在盒体10上的提手120，满足人工操作的需求；进一步地，本晶圆物料盒还包括弹性元件，其中，提手120可转动地安装在盒体的顶面14，并可在与盒体的顶面14贴合的贴合位置和相对盒体的顶面14倾斜向上的持握位置之间转动；弹性元件用于提供促使提手120保持处于贴合位置的弹性应力；如此，在需要手动提取本晶圆物料盒时，通过克服弹性元件的弹性应力可将提手120向上倾斜，从而便于提握；同时地，通过弹性元件可避免在不使用提手120时，提手120在外力振动下随意晃动。

上述的弹性元件可为扭簧，提手120通过销轴安装在盒体10上，扭簧套设在销轴上，且扭簧的两弹力臂分别抵于提手120和盒体10上；上述的弹性元件还可为弹簧或弹力片，弹簧或弹力片的两端分别与提手120和盒体10固定连接；上述的弹性元件包括但不仅限于上述的实施方式，只要可实现弹性拉伸作用的现有部件均可。

如图6-7所示，本实施例还公开了一种晶圆物料盒搬运设备，用于搬运如上述的晶圆物料盒，本晶圆物料盒搬运设备包括机械手，机械手包括机械臂90和勾臂130；所述勾臂130包括连接段131和托举段132；所述托举段132固定在所述连接段131的下端并与所述连接段131配合构成L型；所述机械臂90与所述连接段131的上端传动连接，并用于带动所述勾臂130分别沿X、Y、Z轴三向运动；所述盒体的顶面14设置有受力臂80，所述受力臂80与所述盒体的顶面14之间间隔形成供所述托举段132进出的进出空间；如此，在机械臂90的带动下可带动托举段132进入该进出空间，并使托举段132抵于受力臂80，之后在机械臂90的带动下即可实现托举段132托举受力臂80，从而提起盒体10，此时，机械手和盒体10对接为纯机械结构对接，结构简洁、稳定。

为实现稳定托举，上述的勾臂130数量可设置为两个，相应地，受力臂80的数量也为两个，两个受力臂80可供勾臂130一一对应托举，如此，可实现两勾臂130同时托举两受力臂80。

上述的机械臂90可采用以下结构:机械臂90包括X向电机、第一移动板、Y向电机、第二移动板、Z向电机和第三移动板，其中X向电机带动第一移动板沿X向运动，Y向电机的机体安装在第一移动板上，Y向电机的输出轴与第二移动板固定连接并带动第一移动板沿Y向运动，Z向电机的机体安装在第二移动板上，Z向电机的输出轴与第三移动板固定连接；上述连接段131的上端固定在该第三移动板上；如此，通过X向电机、Y向电机和Z向电机实现勾臂130的移动；上述的机械臂90也可采用现有的三轴联动机构或多轴机械臂90，此处不再对机械臂90的具体结构进行赘述。

更优选地，托举段132上方设置有定位插销110；受力臂80开设有槽口向下的定位插槽100，定位插槽100用于供对应定位插销110插装，通过定位插销110与定位插槽100插装配合时，确保机械手的准确抓取。

再者，还可在盒体的顶面14设置相机标定物，该相机标定物可为横截面呈三角形的凹槽或者L型的凹槽；如此，通过在外部机械手上安装摄像头，摄像头对相机标定物的识别可实现坐标的确定，从而便于外部机械手的勾臂130准确伸入进出空间内。

更具体地，如图1所示，所述受力臂80沿所述盒体10的宽度方向延伸，所述受力臂80在所述盒体10的长度方向的相对两端分别设置有侧挡板140；所述侧挡板140沿所述盒体10的长度方向延伸，可以理解地是，该进出空间为两侧挡板140之间，如此可实现对进出空间的隔离，降低外部其他加工设备对机械手动作造成干扰的可能性；再者，在两个受力臂80沿盒体10的长度方向依次排列时，侧挡板140沿盒体10的长度方向延伸并经过两个受力臂80。

再者，在采用机械手提取本晶圆物料盒而不使用提手120时，提手120在弹性元件的作用下贴合于盒体的顶面14，可避免提手120对机械手的动作造成阻碍。

上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型保护的范围，本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。

Claims (10)

1.一种晶圆物料盒，其特征在于：包括

盒体；所述盒体具有用于存放晶圆框架的存放腔，所述存放腔的腔壁开设有供晶圆框架活动插装以承托晶圆框架的水平支撑槽；所述水平支撑槽的端部形成有供晶圆框架进出所述水平支撑槽的进出口；

锁杆；所述盒体上位于水平支撑槽的进出口处设有竖直方向的锁杆安装位，供所述锁杆放置；所述锁杆设置有竖直方向排列的水平避让槽和封堵部；所述水平避让槽的两端贯通并可供晶圆框架活动穿过；所述锁杆可在其自重下相对所述盒体下降至其底端伸出所述盒体的底面的第一位置，所述锁杆还可相对所述盒体向上运动至其底端端面与盒体的底面齐平的第二位置；在所述锁杆位于所述第一位置时，所述封堵部正对所述进出口从而封堵所述进出口；在所述锁杆位于所述第二位置时，所述水平避让槽正对所述进出口从而打开所述进出口。

2.如权利要求1所述的晶圆物料盒，其特征在于：所述水平支撑槽的数量为多条，多条所述水平支撑槽沿所述存放腔的竖直方向依次间隔排列；所述水平避让槽的数量为多条，所述封堵部的数量为多个，多条所述水平避让槽和多个所述封堵部沿所述锁杆的竖直方向依次交替排列；在所述锁杆位于所述第一位置时，多个所述封堵部与多条所述水平支撑槽一一对应；在所述锁杆位于所述第二位置时，多条所述水平避让槽与多条所述水平支撑槽一一对应。

3.如权利要求1所述的晶圆物料盒，其特征在于：所述锁杆安装位为沿所述盒体上下两端贯通的竖向限位槽；所述锁杆包括杆体和固定在所述杆体顶端的限位部；所述杆体活动穿设于所述竖向限位槽内，所述限位部用于在所述锁杆位于所述第一位置时与所述竖向限位槽的顶端所在所述盒体端面相抵碰；所述水平避让槽和所述封堵部均设置在所述杆体上。

4.如权利要求1所述的晶圆物料盒，其特征在于：所述盒体的顶面设置有第一限位结构，所述盒体的底面设置有第二限位结构，所述第一限位结构和所述第二限位结构能够匹配插装。

5.如权利要求1所述的晶圆物料盒，其特征在于：所述盒体上开设有多个镂空结构。

6.如权利要求1所述的晶圆物料盒，其特征在于：所述盒体的顶面设置有RFID标签，所述RFID标签与所述盒体的顶面之间设置有绝缘垫片。

7.如权利要求1所述的晶圆物料盒，其特征在于：所述晶圆物料盒还包括提手和弹性元件；所述提手安装在所述盒体的顶面，并可在与所述盒体的顶面贴合的贴合位置和相对所述盒体的顶面倾斜向上的持握位置之间转动；所述弹性元件用于提供促使所述提手保持处于所述贴合位置的弹性应力。

8.一种晶圆物料盒搬运设备，用于搬运如权利要求1至权利要求7任一所述的晶圆物料盒，其特征在于：包括机械手，所述机械手包括机械臂和勾臂；所述勾臂包括连接段和托举段；所述托举段固定在所述连接段的下端并与所述连接段配合构成L型；所述机械臂与所述连接段的上端传动连接，并用于带动所述勾臂分别沿X、Y、Z轴三向运动；所述盒体的顶面设置有受力臂，所述受力臂与所述盒体的顶面之间间隔形成供所述托举段进出的进出空间。

9.如权利要求8所述的晶圆物料盒搬运设备，其特征在于：所述托举段上方设置有定位插销；所述受力臂开设有槽口向下的定位插槽，所述定位插槽用于供对应所述定位插销插装。

10.如权利要求8所述的晶圆物料盒搬运设备，其特征在于：所述受力臂沿所述盒体的宽度方向延伸，所述受力臂在所述盒体的长度方向的相对两端分别设置有侧挡板；所述侧挡板沿所述盒体的长度方向延伸。

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