CN218585942U - 晶圆盒及晶圆装载系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种晶圆盒及晶圆装载系统。晶圆盒用于放置于设有第一定位件的晶圆机台，晶圆盒包括盒体、阻挡件和活动件，盒体包括两个侧板及底板，每一侧板的内壁上开设有多个一侧开口的容纳槽，且同一侧板上的全部容纳槽与另一侧板上的全部容纳槽一一对应，至少一侧板的内壁上还设有供阻挡件活动穿设的安装槽，阻挡件上设有与容纳槽的开口相适配的多个阻挡部，阻挡部一一对应地挡设于容纳槽的开口，活动件连接于底板的底外壁，活动件的第一端活动地穿设于安装槽，且位于全部阻挡部的下方，活动件被配置为能够在晶圆盒放置于晶圆机台时，与第一定位件在第二方向上抵接。上述晶圆盒能够自动实现将容纳槽的开口打开或阻挡，使晶圆盒使用更方便。

Description

晶圆盒及晶圆装载系统

技术领域

本申请涉及半导体制造设备技术领域，特别是涉及一种晶圆盒及晶圆装载系统。

背景技术

在晶圆的生产加工及搬运过程中，通常使用晶圆盒来储存或者运输晶圆，但放置于晶圆盒内的晶圆存在滑出晶圆盒造成摔片的风险。为此，相关技术中提供了一种晶圆盒，通过在晶圆盒上设置阻挡件以防止晶圆从晶圆盒内滑出。

然而，相关技术中的晶圆盒，存在使用不便的问题。

实用新型内容

基于此，有必要针对相关技术中晶圆盒使用不便的问题，提供一种便于使用的晶圆盒及晶圆装载系统。

根据本申请的一个方面，提供一种晶圆盒，用于容纳晶圆并用于放置于晶圆机台，所述晶圆机台上设有第一定位件，所述晶圆盒包括：

盒体，包括沿第一方向彼此相对设置的两个侧板，以及分别与两个所述侧板在与所述第一方向垂直的第二方向上的同一侧连接的底板；每一所述侧板面对另一所述侧板的内壁上开设有多个用于至少部分容纳所述晶圆且一侧开口的容纳槽，且同一所述侧板上的全部所述容纳槽沿所述第二方向彼此间隔设置，并与另一所述侧板上的全部所述容纳槽一一对应；至少一所述侧板的内壁上还设有沿第二方向延伸的安装槽；

阻挡件，沿所述第二方向可活动地穿设于所述安装槽，所述阻挡件上设有沿所述第二方向彼此间隔设置且与所述容纳槽的所述开口相适配的多个阻挡部，所述阻挡部一一对应地挡设于所述容纳槽的所述开口；以及

活动件，所述活动件连接于所述底板的底外壁，所述活动件的第一端沿第二方向活动地穿设于所述安装槽，且位于所述阻挡件的下方；所述活动件被配置为能够在所述晶圆盒放置于所述晶圆机台时，与所述第一定位件在所述第二方向上抵接，并响应于所述晶圆盒的重力的反作用力沿所述第二方向朝靠近所述阻挡部的一侧移动，以带动所述阻挡件沿所述第二方向在所述安装槽内移动而打开所述容纳槽的所述开口。

上述晶圆盒，通过在至少一侧板的内壁上设置安装槽，并设置穿设于安装槽内的阻挡件，阻挡件上设有一一对应地挡设于容纳槽的开口的阻挡部，以阻挡放置于晶圆盒内的晶圆，使晶圆无法通过容纳槽的开口从晶圆盒中滑出，从而避免了晶圆滑出摔片的风险。通过在底板的底外壁设置活动件，以在晶圆盒放置于晶圆机台时，通过使活动件在第二方向上与第一定位件抵接，使活动件能够受到晶圆盒的重力的反作用力而沿第二方向朝靠近阻挡部的一侧移动，从而带动阻挡件在安装槽内移动而打开容纳槽的开口，使晶圆能够通过容纳槽的开口，以能够将晶圆存取于晶圆盒内。因此，将晶圆盒放置于晶圆机台，或将晶圆盒从晶圆机台上拿起时，自动实现将容纳槽的开口打开或阻挡，并与晶圆盒不同的使用情景适配，且无需进行其他操作，从而使晶圆盒的使用更加方便。

在其中一实施例中，至少一个所述侧板沿所述第二方向靠近所述底板的一侧具有凸出部，所述凸出部沿所述第二方向凸伸出于所述底板的底外壁；

所述安装槽沿所述第二方向延伸至所述凸出部内；

所述活动件的所述第一端沿所述第二方向活动穿设于所述安装槽内位于所述凸出部处。

在其中一实施例中，所述活动件设有与所述第一定位件配合的定位结构；

所述晶圆盒具有第一状态和第二状态；

在所述晶圆盒处于所述第一状态下，所述活动件的所述第一端与所述底板在所述第二方向上具有第一间距；

在所述晶圆盒处于所述第二状态下，所述第一定位件与所述定位结构适配连接，所述活动件的所述第一端与所述底板在所述第二方向上具有第二间距；

其中，所述第一间距大于所述第二间距。

在其中一实施例中，相邻的两个所述阻挡部之间界定出开槽；

在所述晶圆盒处于所述第二状态下，所述开槽与对应的所述容纳槽的开口连通。

在其中一实施例中，所述活动件具有相对设置的所述第一端和第二端；

所述活动件的所述第二端绕第一轴线与所述底板的底外壁转动地连接；

其中，所述第一轴线分别与所述第一方向和所述第二方向垂直。

在其中一实施例中，所述活动件具有相对设置的所述第一端和第二端，所述活动件包括设有所述第一端的第一活动部和设有所述第二端的第二活动部；

所述第一活动部具有与所述第一端相对的第三端，所述第二活动部具有与所述第二端相对的第四端，所述第一活动部的所述第三端与所述第二活动部的所述第四端固定连接，所述第一活动部沿所述第一方向纵长延伸，所述第二活动部的纵长延伸方向与所述第二方向垂直并与所述第一方向交叉设置；

所述第二活动部的所述第二端绕第三轴线与所述底板的底外壁转动地连接；所述第三轴线分别与所述第二方向和所述第二活动部的纵长延伸方向垂直；

所述第二活动部用于与所述第一定位件抵接。

在其中一实施例中，所述晶圆盒还包括与所述阻挡件一一对应的限位组件；

每一所述限位组件包括分别设于对应的所述侧板的内壁上的两个限位件，两个所述限位件分别位于对应的所述阻挡件的全部所述阻挡部在所述第二方向上的两侧，且两个所述限位件分别沿第三方向穿过所述安装槽；每一所述限位件与所述安装槽在所述第一方向上的第一槽壁彼此间隔设置，以供对应的所述阻挡件活动穿设于所述限位件和所述第一槽壁之间；

其中，所述第三方向分别与所述第一方向和所述第二方向垂直。

在其中一实施例中，两个所述侧板和所述底板界定出容纳空间；

所述盒体沿第三方向上的一侧具有与所述容纳空间连通的盒口；

所述安装槽沿所述第三方向靠近所述盒口设置；

其中，所述第三方向分别与所述第一方向和所述第二方向垂直。

根据本申请的另一方面，提供一种晶圆装载系统，包括如上述任一项实施例所述的晶圆盒。

在其中一实施例中，所述晶圆装载系统包括晶圆机台，所述晶圆机台上设有第一定位件；

所述第一定位件被配置为能够在所述晶圆盒放置于所述晶圆机台时，与所述活动件在所述第二方向上抵接，以使所述活动件响应于所述晶圆盒的重力的反作用力沿所述第二方向朝靠近所述阻挡部的一侧移动，从而带动所述阻挡件沿所述第二方向在所述安装槽内移动而打开所述容纳槽的所述开口。

附图说明

图1为本申请一实施例中晶圆盒的结构示意图；

图2为本申请一实施例中其中一侧板的结构示意图；

图3为本申请一实施例中阻挡件、活动件与侧板的装配示意图；

图4为本申请一实施例中晶圆盒的仰视图；

图5为本申请一实施例中晶圆盒在第一状态下活动件的位置示意图；

图6为本申请一实施例中晶圆盒在第二状态下活动件的位置示意图；

图7为本申请一实施例中晶圆盒在第一状态下阻挡件和侧板的装配示意图；

图8为本申请一实施例中晶圆盒在第二状态下阻挡件和侧板的装配示意图；

图9为本申请一实施例中晶圆盒在第二状态下阻挡件、侧板和晶圆的装配示意图。

附图标记说明：

1、晶圆盒；10、盒体；11、侧板；111、容纳槽；1111、开口；112、安装槽；1121、第一槽壁；113、凸出部；12、底板；121、连接部；13、盒口；20、阻挡件；21、阻挡部；22、开槽；30、活动件；301、第一端；302、第二端；31、定位孔；32、第一活动部；33、第二活动部；40、限位组件；41、限位件；50、垫块；51、定位槽；2、晶圆；3、晶圆机台；4、第一定位件；b、第三轴线；A、第一方向；B、第二方向；C、第三方向。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

图1为本申请一实施例中晶圆盒的结构示意图；图2为本申请一实施例中其中一侧板的结构示意图；图3为本申请一实施例中阻挡件、活动件与侧板的装配示意图；图4为本申请一实施例中晶圆盒的仰视图；图5为本申请一实施例中晶圆盒在第一状态下活动件的位置示意图；图6为本申请一实施例中晶圆盒在第二状态下活动件的位置示意图。

参阅图1-3，本申请一实施例中提供的晶圆盒1，用于容纳晶圆2并用于放置于晶圆机台3(见图5至图6)，晶圆机台3上设有第一定位件4，晶圆盒1包括盒体10、阻挡件20(见图3)和活动件30(见图4)。

盒体10包括沿第一方向(也即图1中的方向A)彼此相对设置的两个侧板11，以及分别与两个侧板11在与第一方向垂直的第二方向(也即图1中的方向B)上的同一侧连接的底板12。每一侧板11面对另一侧板11的内壁上开设有多个用于至少部分容纳晶圆2且一侧开口的容纳槽111，且同一侧板11上的全部容纳槽111沿第二方向彼此间隔设置，并与另一侧板11上的全部容纳槽111一一对应。至少一侧板11的内壁上还设有沿第二方向延伸的安装槽112(见图2)。结合图3所示，阻挡件20沿第二方向可活动地穿设于安装槽112，阻挡件20上设有沿第二方向彼此间隔设置且与容纳槽111的开口1111相适配的多个阻挡部21，阻挡部21一一对应地挡设于容纳槽111的开口1111。结合图3和图4所示，活动件30连接于底板12的底外壁，活动件30的第一端301沿第二方向活动地穿设于安装槽112，且位于阻挡件20的下方。活动件30被配置为能够在晶圆盒1放置于晶圆机台3时，与第一定位件4在第二方向上抵接，并响应于晶圆盒1的重力的反作用力沿第二方向朝靠近阻挡部21的一侧移动，以带动阻挡件20沿第二方向在安装槽112内移动而打开容纳槽111的开口1111。

上述晶圆盒1，通过在至少一侧板11的内壁上设置安装槽112，并设置穿设于安装槽112内的阻挡件20，阻挡件20上设有一一对应地挡设于容纳槽111的开口1111的阻挡部21，以阻挡放置于晶圆盒1内的晶圆2，使晶圆2无法通过容纳槽111的开口1111从晶圆盒1中滑出，从而避免了晶圆2滑出摔片的风险。通过在底板12的底外壁设置活动件30，以在晶圆盒1放置于晶圆机台3时(参见图6)，通过使活动件30在第二方向上与第一定位件4抵接，使活动件30能够受到晶圆盒1的重力的反作用力而沿第二方向朝靠近阻挡部21的一侧移动，从而带动阻挡件20在安装槽112内移动而打开容纳槽111的开口1111，使晶圆2能够通过容纳槽111的开口1111，以能够将晶圆2存取于晶圆盒1内。因此，将晶圆盒1放置于晶圆机台3，或将晶圆盒1从晶圆机台3上拿起时，自动实现将容纳槽111的开口1111打开或阻挡，并与晶圆盒1不同的使用情景适配，且无需进行其他操作，从而使晶圆盒1的使用更加方便，并且不会影响晶圆盒1对晶圆2的储存数量以及晶圆2的运输效率。

在实际使用过程中，第二方向为竖直方向，以当活动件30响应于晶圆盒1的重力的反作用力沿第二方向朝靠近阻挡部21的一侧移动时，活动件30在竖直方向朝上运动，从而带动阻挡件20在竖直方向上朝上运动而打开容纳槽111的开口1111。当晶圆盒1从晶圆机台3上拿起时，活动件30不再受到第一定位件4的抵接作用，阻挡件20和活动件30在各自重力作用下向下运动，从而使阻挡部21自动将容纳槽111的开口1111阻挡，以在移动晶圆盒1以运输晶圆2时，避免晶圆2从晶圆盒1中滑出导致摔片。

可选地，如图4所示，活动件30设有与第一定位件4配合的定位结构31。晶圆盒1具有第一状态和第二状态，在晶圆盒1处于第一状态下，如图5所示，活动件30的第一端301与底板12在第二方向上具有第一间距；在晶圆盒1处于第二状态下，如图6所示，第一定位件4与定位结构31适配连接，活动件30的第一端301与底板12在第二方向上具有第二间距。其中，第一间距大于第二间距。如此，通过在活动件30开设定位结构31，并设置在晶圆盒1的第二状态下第一定位件4与定位结构31适配连接，以避免晶圆盒1在晶圆机台3上放置不稳。通过设置第一间距大于第二间距，使第一定位件4与定位结构31从彼此分离变为彼此连接时，第一定位件4能够推动活动件30的第一端301沿第二方向朝靠近底板12的一侧移动，并通过活动件30提供给阻挡件20与重力方向相反的支撑力，以使活动件30在支撑力的作用下使晶圆盒1从第一状态切换至第二状态。当第一定位件4与定位结构31从彼此连接变为分离时，活动件30不再受到第一定位件4的支撑作用，活动件30在自身重力的作用下使晶圆盒1从第二状态切换至第一状态。

可选地，如图4所示，定位结构31可以为用于部分容纳第一定位件4的定位孔。另一些实施例中，定位结构31也可以是设于活动件30沿第二方向远离底板12的一侧的定位槽(图中未示出)，定位槽用于至少部分容纳第一定位件4。

图7为本申请一实施例中晶圆盒在第一状态下阻挡件和侧板的装配示意图；图8为本申请一实施例中晶圆盒在第二状态下阻挡件和侧板的装配示意图。

应当理解的是，如图5和图7所示，在晶圆盒1处于第一状态下，阻挡部21将对应的容纳槽111的开口1111阻挡，如图6和图8所示，在晶圆盒1处于第二状态下，阻挡件20将对应的容纳槽111的开口1111打开。

图9为本申请一实施例中晶圆盒在第二状态下阻挡件、侧板和晶圆的装配示意图。

具体地，如图9所示，相邻的两个阻挡部21之间界定出开槽22，在晶圆盒1处于第二状态下，开槽22与对应的容纳槽111的开口1111连通，以使晶圆2能够从对应的开槽22中通过，使晶圆2从晶圆盒1里取出，或放入晶圆盒1内。

一些实施例中，如图1所示，两个侧板11和底板12界定出容纳空间，盒体10沿第三方向(也即图1中的方向C)上的一侧具有与容纳空间连通的盒口13，结合图2所示，安装槽112沿第三方向靠近盒口13设置。其中，第三方向分别与第一方向和第二方向垂直。如此，使安装槽112位于晶圆盒1内的晶圆2与盒口13之间，使阻挡件20位于晶圆2从晶圆盒1中取出时的移动路径上，以实现对晶圆2的有效阻挡。

为使活动件30的第一端301能够沿第二方向在安装槽112内活动，一些实施例中，活动件30具有相对设置的第一端301和第二端302，活动件30的第二端302绕第一轴线(未示出)与底板12的底外壁转动地连接。其中，第一轴线分别与第一方向和第二方向垂直。如此，使活动件30的第一端301与底板12连接，从而使活动件30能够绕第一轴线相对底板12转动，使活动件30的第一端301能够在安装槽112内运动，并使活动件30的结构简单。

另一些实施例中，如图4所示，活动件30具有相对设置的第一端301和第二端302，活动件30包括设有第一端301的第一活动部32和设有第二端302的第二活动部33。第一活动部32具有与第一端301相对的第三端，第二活动部33具有与第二端302相对的第四端，第一活动部32的第三端与第二活动部33的第四端固定连接。第一活动部32沿第一方向纵长延伸，第二活动部33的纵长延伸方向与第二方向垂直并与第一方向交叉设置。第二活动部33的第二端302绕第三轴线b与底板12的底外壁转动地连接，第三轴线b分别与第二方向和第二活动部33的纵长延伸方向垂直，且第二活动部33用于与第一定位件4(见图5-6)抵接。如此，使第二活动部33能够沿垂直于第二方向且不同于第一方向的任意方向纵长延伸，从而提高了活动件30设置的灵活性，便于与第一定位件4的位置适配。

可选地，如图4所示，底板12的底外壁上设有两个连接部121，两个连接部121沿活动件30的第二端302的转动轴线(例如第一轴线或第三轴线b)方向彼此间隔设置。晶圆盒1还包括沿活动件30的第二端302的转动轴线方向分别穿设于两个连接部121的销轴(图中未示出)，销轴分别与两个连接部121转动连接，活动件30的第二端302套设于销轴上，从而实现活动件30的第二端302与底板12转动连接。

为使活动件30能够带动阻挡件20沿第二方向移动，一些实施例中，如图3和图4所示，至少一个侧板11沿第二方向靠近底板12的一侧具有凸出部113，凸出部113沿第二方向凸伸出于底板12的底外壁，安装槽112沿第二方向延伸至凸出部113内，活动件30的第一端301沿第二方向活动穿设于安装槽112内位于凸出部113处。如此，通过设置凸出部113，安装槽112沿第二方向延伸至凸出部113内，以容纳活动件30的第一端301，使活动件30的第一端301能够沿第二方向抵接于阻挡件20，从而能够带动阻挡件20沿第二方向在安装槽112内移动。

为将阻挡件20限位于安装槽112内，一些实施例中，如图3所示，晶圆盒1还包括与阻挡件20一一对应的限位组件40。每一限位组件40包括分别设于对应的侧板11的内壁上的两个限位件41，两个限位件41分别位于相应阻挡件20的全部阻挡部21在第二方向上的两侧，且两个限位件41分别沿第三方向穿过安装槽112，每一限位件41与安装槽112在第一方向上的第一槽壁1121(见图2)彼此间隔设置，以供对应的阻挡件20活动穿设于限位件41和第一槽壁1121之间。其中，第三方向分别与第一方向和第二方向垂直。如此，通过设置限位组件40，使阻挡件20在第二方向上的两端分别被限位于对应的限位件41和侧板11之间，使阻挡件20不会从侧板11上掉落。

根据本申请的另一个方面，提供一种晶圆装载系统，包括如上述任一项实施例所述的晶圆盒1。

一些实施例中，如图5和图6所示，晶圆装载系统包括晶圆机台3，晶圆机台3上设有第一定位件4。第一定位件4被配置为能够在晶圆盒1放置于晶圆机台3时，与活动件30在第二方向上抵接，以使活动件30响应于晶圆盒1的重力的反作用力沿第二方向朝靠近阻挡部21的一侧移动，从而带动阻挡件20沿第二方向在安装槽112内移动而打开容纳槽111的开口1111。

可选地，如图4所示，晶圆机台3上还设有至少一个第二定位件(未示出)，底板12的底外壁上设有多个垫块50，每一所述垫块50沿第二方向远离底板的一侧设有定位槽51，其中一垫块50的定位槽51用于部分容纳活动件30；其他垫块50与第二定位件一一对应设置，并被配置为在晶圆盒1放置于晶圆机台3时，定位槽51与对应的第二定位件适配连接。如此，通过第一定位件4和第二定位件，共同对放置于晶圆机台3上的晶圆盒1定位，防止晶圆盒1在晶圆机台3上滑动。

在一个实施例中，如图4所示，第二定位件的数量为2个，垫块50的数量为3个。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种晶圆盒，用于容纳晶圆并用于放置于晶圆机台，其特征在于，所述晶圆机台上设有第一定位件，所述晶圆盒包括：

盒体，包括沿第一方向彼此相对设置的两个侧板，以及分别与两个所述侧板在与所述第一方向垂直的第二方向上的同一侧连接的底板；每一所述侧板面对另一所述侧板的内壁上开设有多个用于至少部分容纳所述晶圆且一侧开口的容纳槽，且同一所述侧板上的全部所述容纳槽沿所述第二方向彼此间隔设置，并与另一所述侧板上的全部所述容纳槽一一对应；至少一所述侧板的内壁上还设有沿第二方向延伸的安装槽；

阻挡件，沿所述第二方向可活动地穿设于所述安装槽，所述阻挡件上设有沿所述第二方向彼此间隔设置且与所述容纳槽的所述开口相适配的多个阻挡部，所述阻挡部一一对应地挡设于所述容纳槽的所述开口；以及

活动件，所述活动件连接于所述底板的底外壁，所述活动件的第一端沿第二方向活动地穿设于所述安装槽，且位于所述阻挡件的下方；所述活动件被配置为能够在所述晶圆盒放置于所述晶圆机台时，与所述第一定位件在所述第二方向上抵接，并响应于所述晶圆盒的重力的反作用力沿所述第二方向朝靠近所述阻挡部的一侧移动，以带动所述阻挡件沿所述第二方向在所述安装槽内移动而打开所述容纳槽的所述开口。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，至少一个所述侧板沿所述第二方向靠近所述底板的一侧具有凸出部，所述凸出部沿所述第二方向凸伸出于所述底板的底外壁；

所述安装槽沿所述第二方向延伸至所述凸出部内；

所述活动件的所述第一端沿所述第二方向活动穿设于所述安装槽内位于所述凸出部处。

3.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述活动件设有与所述第一定位件配合的定位结构；

所述晶圆盒具有第一状态和第二状态；

在所述晶圆盒处于所述第一状态下，所述活动件的所述第一端与所述底板在所述第二方向上具有第一间距；

在所述晶圆盒处于所述第二状态下，所述第一定位件与所述定位结构适配连接，所述活动件的所述第一端与所述底板在所述第二方向上具有第二间距；

其中，所述第一间距大于所述第二间距。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒，其特征在于，相邻的两个所述阻挡部之间界定出开槽；

在所述晶圆盒处于所述第二状态下，所述开槽与对应的所述容纳槽的开口连通。

5.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述活动件具有相对设置的所述第一端和第二端；

所述活动件的所述第二端绕第一轴线与所述底板的底外壁转动地连接；

其中，所述第一轴线分别与所述第一方向和所述第二方向垂直。

6.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述活动件具有相对设置的所述第一端和第二端，所述活动件包括设有所述第一端的第一活动部和设有所述第二端的第二活动部；

所述第一活动部具有与所述第一端相对的第三端，所述第二活动部具有与所述第二端相对的第四端，所述第一活动部的所述第三端与所述第二活动部的所述第四端固定连接，所述第一活动部沿所述第一方向纵长延伸，所述第二活动部的纵长延伸方向与所述第二方向垂直并与所述第一方向交叉设置；

所述第二活动部的所述第二端绕第三轴线与所述底板的底外壁转动地连接；所述第三轴线分别与所述第二方向和所述第二活动部的纵长延伸方向垂直；

所述第二活动部用于与所述第一定位件抵接。

7.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，所述晶圆盒还包括与所述阻挡件一一对应的限位组件；

每一所述限位组件包括分别设于对应的所述侧板的内壁上的两个限位件，两个所述限位件分别位于对应的所述阻挡件的全部所述阻挡部在所述第二方向上的两侧，且两个所述限位件分别沿第三方向穿过所述安装槽；每一所述限位件与所述安装槽在所述第一方向上的第一槽壁彼此间隔设置，以供对应的所述阻挡件活动穿设于所述限位件和所述第一槽壁之间；

其中，所述第三方向分别与所述第一方向和所述第二方向垂直。

8.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，两个所述侧板和所述底板界定出容纳空间；

所述盒体沿第三方向上的一侧具有与所述容纳空间连通的盒口；

所述安装槽沿所述第三方向靠近所述盒口设置；

其中，所述第三方向分别与所述第一方向和所述第二方向垂直。

9.一种晶圆装载系统，其特征在于，包括如权利要求1至8任一项所述的晶圆盒。

10.根据权利要求9所述的晶圆装载系统，其特征在于，所述晶圆装载系统包括晶圆机台，所述晶圆机台上设有第一定位件；

所述第一定位件被配置为能够在所述晶圆盒放置于所述晶圆机台时，与所述活动件在所述第二方向上抵接，以使所述活动件响应于所述晶圆盒的重力的反作用力沿所述第二方向朝靠近所述阻挡部的一侧移动，从而带动所述阻挡件沿所述第二方向在所述安装槽内移动而打开所述容纳槽的所述开口。

Images