CN116544142B - 一种信息组件及晶圆盒 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种信息组件及晶圆盒，信息组件应用于晶圆盒，晶圆盒包括盒体，信息组件包括：主体以及限位结构，主体具有第一端以及与第一端相对设置的第二端，第一端以及第二端均用于与晶圆盒的盒体连接；主体上设置有位于第一端以及第二端之间的限位结构，限位结构用于与盒体连接。本申请实施例通过增加信息组件的主体与盒体之间的连接部位，以加强信息组件与盒体之间的连接，使得信息组件与盒体之间的固定更牢固，从而增加信息组件的稳定性，防止信息组件在外力的按压或冲击下发生晃动或移位，减少外部设备与信息组件之间发生信息互换错误的问题。

Description

一种信息组件及晶圆盒

技术领域

本申请涉及晶圆存储技术领域，尤其涉及一种信息组件及晶圆盒。

背景技术

晶圆作为芯片的制作基础，在生产时对晶圆的存储和转运都具有较高的要求，所以一般通过晶圆转运箱来存储晶圆，以保证晶圆在转运过程中的清洁。在相关技术中，晶圆转运箱中可以存储多种规格的晶圆片，为了让外部设备在不打开晶圆转运箱的前提下，识别箱体中晶圆的型号和材质等相关信息，通常在晶圆转运箱上安装存储晶圆信息的信息组件，但是信息组件一般是通过端部与晶圆转运箱固定，在外力的冲击下可能会使得信息组件发生晃动或移位，从而导致信息组件与外部设备之间发生信息互换错误的问题。

发明内容

本申请实施例提供了一种信息组件及晶圆盒，能够使得信息组件与晶圆盒的盒体之间固定更牢固，加强信息组件在晶圆盒上的稳定性。

本申请实施例提供了一种信息组件，应用于晶圆盒，晶圆盒包括盒体，信息组件包括：主体以及限位结构，主体具有第一端以及与第一端相对设置的第二端，第一端以及第二端均用于与晶圆盒的盒体连接，主体包括传感器，传感器用于存储晶圆信息；主体上设置有位于第一端以及第二端之间的限位结构，限位结构用于与盒体连接。

在本申请一些实施例中，限位结构包括：安装部和第一插槽，安装部用于与盒体连接；第一插槽开设于主体，第一插槽沿第一预设方向延伸，主体的边缘具有供安装部出入第一插槽的槽口，安装部沿第一预设方向从槽口插入第一插槽中。安装部插入第一插槽中，此时安装部与第一插槽之间的配合可以限制主体在盒体上的移动，加强主体与盒体之间的连接。

在本申请一些实施例中，第一插槽的槽壁包括第一侧壁以及第二侧壁，第一侧壁与槽口相对设置，第二侧壁位于第一侧壁的侧方。安装部的周侧面包括与第二侧壁相对的第一侧面，第一侧面上设置有沿第一预设方向延伸的第二插槽，在第二插槽中沿垂直于第一预设方向设置有挡板。限位结构还包括设置于第二侧壁的第一限位件，第一限位件位于第二插槽中，第一限位件位于挡板靠近槽口的一侧，且与挡板触接。安装部的周侧面触接到第一插槽的第一侧壁时，第一限位件插入第二插槽中，且第一限位件在挡板与槽口之间，第一限位件与挡板触接，此时的第一限位件限制了安装部脱离第一插槽，从而可以更好地将安装部固定在第一插槽中。

在本申请一些实施例中，第一限位件具有导向斜面，导向斜面的一端与第二侧壁连接，且导向斜面的另一端向远离槽口的方向倾斜延伸，导向斜面用于供挡板沿第二侧壁滑动到第一限位件处。导向斜面为挡板的继续滑动起导向作用，使得挡板能够顺利地沿导向斜面滑动到第一限位件处。

在本申请一些实施例中，主体为弹性主体。第一插槽中靠近槽口的槽侧壁可以发生形变，从而第一插槽中的挡板可以更容易地滑动经过第一限位件，由此使得安装部与第一插槽的安装和拆卸变得更容易。

在本申请一些实施例中，限位结构还包括设置于第二侧壁的第二限位件，第二限位件位于第一限位件远离槽口的一侧，第二限位件沿第一预设方向插入第二插槽，并与第二插槽的槽侧壁触接。第二限位件与第一限位件共同作用，使得主体与安装部之间的配合更牢固更稳定，降低主体发生晃动的可能性。

在本申请一些实施例中，盒体上设置有凸台，第一端以及第二端上均设置有固定结构，固定结构用于与盒体连接，且固定结构具有限位孔，限位孔用于供凸台沿第一预设方向插入，使得主体与盒体之间被固定，以减少主体在盒体上发生晃动的情况。

在本申请一些实施例中，固定结构还具有导向槽，导向槽从固定结构的边缘处沿第一预设方向延伸到限位孔，导向槽用于供凸台从固定结构的边缘处滑动到限位孔中。导向槽为凸台的滑动起到导向限位的作用，使得凸台可以顺利地滑入限位孔，同时也防止凸台在滑入限位孔的过程中发生移位。

在本申请一些实施例中，导向槽的槽壁为圆弧形槽壁。凸台与导向槽的槽壁触接时产生的摩擦力更小，对凸台的滑动产生的影响更小。

第二方面，本申请实施例还提供了一种晶圆盒，包括盒体以及如上述任一实施例中所述的信息组件，信息组件安装于盒体，且主体与盒体间隔设置。

本申请实施例的有益效果为：本申请实施例通过增加信息组件的主体与盒体之间的连接部位，以加强信息组件与盒体之间的连接，使得信息组件与盒体之间的固定更牢固，从而增加信息组件的稳定性，防止信息组件在外力的按压或冲击下发生晃动或移位，减少外部设备与信息组件之间发生信息互换错误的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例中主体和部分限位结构的结构示意图；

图2为本申请一实施例中安装部的结构示意图；

图3为本申请一实施例中部分第一插槽的结构示意图；

图4为本申请另一实施例中安装部的结构示意图；

图5为本申请另一实施例中主体和部分限位结构的结构示意图；

图6为图5中A处的放大结构示意图；

图7为本申请一实施例中晶圆盒的结构示意图。

附图标记：

100、信息组件；10、主体；11、第一端；12、第二端；13、传感器；14、存储部；20、限位结构；21、安装部；211、第一侧面；22、第一插槽；221、第一侧壁；222、第二侧壁；223、按压部；23、槽口；24、第二插槽；241、挡板；25、第一限位件；251、第一侧；252、第二侧；253、导向斜面；26、第二限位件；30、固定结构；31、限位孔；32、导向槽；33、阻挡条；L1、第一预设方向；

200、晶圆盒；201、盒体；202、凸台。

具体实施方式

为了更清楚地说明本申请实施例或相关技术中的技术方案，下面将结合本申请实施例中的附图来进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在相关技术中，晶圆盒中可以存储多种规格的晶圆片，可以在晶圆盒上安装存储晶圆信息的信息组件，从而使得外部设备在不打开晶圆盒的前提下，也能识别晶圆盒中晶圆的型号和材质等相关信息，但是如果信息组件与晶圆盒之间的固定不牢固，可能会出现信息组件弯曲或移位情况，则会导致信息组件与外部设备之间发生信息互换错误的问题。

针对上述情况，第一方面，请参见图1-图2，本申请提出了一种信息组件100，应用于晶圆盒200(如图7所示)，晶圆盒200包括盒体201，信息组件100包括：主体10以及限位结构20(如图7所示)，主体10具有第一端11以及与第一端11相对设置的第二端12，第一端11以及第二端12均用于与晶圆盒200的盒体201连接，主体10包括传感器13，传感器13用于存储晶圆信息；主体10上设置有位于第一端11以及第二端12之间的限位结构20，限位结构20用于与盒体201连接。

具体地，信息组件100安装在晶圆盒200的盒体201上，信息组件100作为一种晶圆信息载体，信息组件100的主体10上可以储存有关于晶圆的型号、规格或种类等信息，从而使得在不打开晶圆盒200的情况下，外部设备可以通过主体10上的传感器13来识别到晶圆盒200中的晶圆信息。其中，传感器13可以设置多个，且多个传感器13可以对称设置于限位结构20的相对两侧，以使得主体10的结构对称，从而使得信息组件100可以更稳定地安装于盒体201。

需要说明的是，本申请实施例通过主体10两端分别与晶圆盒200的盒体201连接，并在信息组件100的第一端11以及第二端12之间的位置处设置限位结构20，也就是说，通过增加信息组件100的主体10与盒体201之间的连接部位，以加强信息组件100与盒体201之间的连接，使得信息组件100与盒体201之间的固定更牢固，从而增加信息组件100的稳定性，防止信息组件100在外力的按压或冲击下发生晃动或移位，减少外部设备与信息组件100之间发生信息互换错误的问题。

还需要说明的是，本申请实施例对限位结构20的具体类型不做限定，本申请实施例对限位结构20的具体类型也不做限定，第二限位结构20与盒体201之间的连接方式可以为卡接、螺接、粘接、焊接等。

请继续参见图1-图2，在本申请一些实施例中，限位结构20包括：安装部21和第一插槽22，安装部21用于与盒体201连接；第一插槽22开设于主体10，第一插槽22沿第一预设方向L1延伸，主体10的边缘具有供安装部21出入第一插槽22的槽口23，安装部21沿第一预设方向L1从槽口23插入第一插槽22中。

需要说明的是，安装部21可以沿第一预设方向L1出入第一插槽22，安装部21与盒体201连接，安装部21插入第一插槽22中，此时安装部21与第一插槽22之间的配合可以限制主体10在盒体201上的移动，加强主体10与盒体201之间的连接。

还需要说明的是，信息组件100的主体10与晶圆盒200的盒体201之间一般可以进行反复的安装与拆卸，所以限位结构20的安装部21可以固定于盒体201上，然后通过在主体10上开设第一插槽22，从而使得固定于盒体201上的安装部21可以在第一插槽22中出入，以便于达到主体10与盒体201之间的拆卸或安装的目的；当然，限位结构20与盒体201之间的连接方式也可以为可拆卸连接，以便于信息组件100的拆卸。

进一步地，请继续参见图1-图2，在本申请一些实施例中，第一插槽22的槽壁包括第一侧壁221以及第二侧壁222，第一侧壁221与槽口23相对设置，第二侧壁222位于第一侧壁221的侧方。安装部21的周侧面包括与第二侧壁222相对的第一侧面211，第一侧面211上设置有沿第一预设方向L1延伸的第二插槽24，在第二插槽24中沿垂直于第一预设方向L1设置有挡板241。限位结构20还包括设置于第二侧壁222的第一限位件25，第一限位件25插入第二插槽24中，第一限位件25位于挡板241靠近槽口23的一侧，且与挡板241触接。

需要说明的是，安装部21插入第一插槽22中，安装部21的第一侧面211与第一插槽22的第二侧壁222相对，也即，第一侧面211上的第二插槽24与第二侧壁222相对；安装部21的周侧面触接到第一插槽22的第一侧壁221，也就是说，第一插槽22完全被安装部21插入，设置于第二侧壁222上的第一限位件25位于第二插槽24中，第一限位件25与挡板241触接。如图1所示，以第一插槽22沿第一预设方向L1的深度为H为例，安装部21沿第一预设方向L1从槽口23插入第一插槽22中，当安装部21的移动距离为H时，安装部21的周侧面触接到第一插槽22的第一侧壁221，此时第一限位件25位于第二插槽24中，且第一限位件25在挡板241与槽口23之间，第一限位件25与挡板241触接，则此时的第一限位件25限制了安装部21脱离第一插槽22，从而可以更好地将安装部21固定在第一插槽22中。

可以理解的是，第一限位件25沿第一预设方向L1具有相对设置的第一侧251与第二侧252，第一侧251靠近槽口23设置，第二侧252远离槽口23设置，当挡板241沿第一预设方向L1滑入第一插槽22中，挡板241先经过第一限位件25的第一侧251，然后在安装部21的周侧面触接到第一侧壁221时，挡板241到达第一限位件25的第二侧252，此时挡板241与第一限位件25的第二侧252触接，第一限位件25限制挡板241从第二侧252向第一侧251的方向移动，也就是说，第一限位件25可以限制安装部21脱离第一插槽22。

还需要说明的是，如图2所示，在一些实施例中，第二插槽24中沿垂直于第一预设方向L1可以设置有多个挡板241，多个挡板241沿第一预设方向L1间隔设置，当第二侧壁222上设置有一个第一限位件25时，多个挡板241均可以与第一限位件25配合，以限制安装部21脱离第一插槽22，由此使得安装部21插入第一插槽22中的深度可以控制，可以根据实际情况来调节安装部21在第一插槽22中的具体安装位置；或者，当第二侧壁222上设置有多个第一限位件25时，每一第一限位件25均可与一个挡板241配合触接，由此使得安装部21与第一插槽22之间的连接更为牢固稳定。其中，本申请实施例对第一限位件25的具体类型不做限制，例如，第一限位件25可以为凸起、卡钩等。

更进一步地，请参见图1-图3，在本申请一些实施例中，第一限位件25具有导向斜面253，导向斜面253的一端与第二侧壁222连接，且导向斜面253的另一端向远离槽口23的方向倾斜延伸，导向斜面253用于供挡板241沿第二侧壁222滑动到第一限位件25处。

可以理解的是，导向斜面253可以为挡板241的滑动起到导向限位的作用。以安装部21插入第一插槽22的过程为例，安装部21从槽口23进入第一插槽22，然后安装部21的周侧面沿着第一插槽22的槽侧壁移动，此时安装部21上第二插槽24中的挡板241沿第二侧壁222滑动，然后触接导向斜面253的一端，导向斜面253为挡板241的继续滑动起导向作用，使得挡板241能够顺利地沿导向斜面253滑动到第一限位件25处，并且第一限位件25与挡板241触接后，对挡板241起到限位作用，防止安装部21在第一插槽22中发生移动。

更进一步地，在本申请一些实施例中，主体10为弹性主体10。

可以理解的是，如图1-图2所示，第一插槽22开设于主体10上，当安装部21插入第一插槽22中时，安装部21上的挡板241部分需要滑动经过第二侧壁222上的第一限位件25后，再与第一限位件25形成抵接限位，所以将主体10设置为弹性主体10后，第一插槽22的侧壁都是具有弹性的材料，所以可以发生形变，以便于挡板241与第一限位件25的滑动。

需要说明的是，如图1和图3所示，主体10包括存储部14，主体10的第一端11与第二端12位于存储部14的相对两侧，第一插槽22中靠近槽口23的槽侧壁包括按压部223，按压部223与存储部14之间具有间隙，所以可以将按压部223朝向存储部14的方向按压，从而使得第一插槽22靠近槽口23的部分发生一定程度的形变，第一限位件25可以设置于按压部223，安装部21在出入第一插槽22中时，可以按压按压部223，使第一插槽22中靠近槽口23的槽侧壁发生形变，从而第一插槽22中的挡板241可以更容易地滑动经过第一限位件25，由此使得安装部21与第一插槽22的安装和拆卸变得更容易。

请参见图4-图5，在本申请一些实施例中，限位结构20还包括设置于第二侧壁222的第二限位件26，第二限位件26位于第一限位件25远离槽口23的一侧，第二限位件26沿第一预设方向L1插入第二插槽24，并与第二插槽24的槽侧壁触接。

需要说明的是，当安装部21沿第一预设方向L1插入第一插槽22中后，第一限位件25与第二插槽24中的挡板241触接，由此第一限位件25对主体10形成第一预设方向L1上的限位；此时第二限位件26插入第二插槽24中，并与第二插槽24的槽侧壁触接，由此第二限位件26对主体10形成垂直于第一预设方向L1上的限位。

可以理解的是，如图4-图5所示，在第一插槽22中，第一限位件25的设置位置更靠近槽口23，第二限位件26的设置位置在第一限位件25远离槽口23的一侧，从而使得安装部21在插入第一插槽22中时，第二插槽24中的挡板241不会挡住第二限位件26的移动。第一限位件25与第二插槽24中的挡板241触接配合，第二限位件26与第二插槽24中的槽侧壁触接配合，第一限位件25与第二限位件26共同作用，使得主体10与安装部21之间的配合更牢固更稳定，降低主体10发生晃动的可能性。

请参见图5-图7，在本申请一些实施例中，盒体201上设置有凸台202，第一端11以及第二端12上均设置有固定结构30，固定结构30用于与盒体201连接，且固定结构30具有限位孔31，限位孔31用于供凸台202沿第一预设方向L1插入。

可以理解的是，信息组件100的主体10可以沿第一预设方向L1滑动安装到盒体201上，盒体201上的凸台202插入固定结构30上的限位孔31，从而使得主体10与盒体201之间被固定，以减少主体10在盒体201上发生晃动的情况。

需要说明的是，如图5-图6所示，固定结构30上可以设置多个阻挡条33，在一个固定结构30上，阻挡条33沿第一预设方向L1贯穿固定结构30，多个阻挡条33沿垂直于第一预设方向L1的方向排布，且位于限位孔31的相对两侧，当凸台202沿第一预设方向L1插入限位孔31时，位于限位孔31两侧的阻挡条33可以为凸台202的滑动起到限位的作用，防止凸台202在滑入限位孔31的过程中发生左右移位。

进一步地，请参见图6，在本申请一些实施例中，固定结构30还具有导向槽32，导向槽32从固定结构30的边缘处沿第一预设方向L1延伸到限位孔31，导向槽32用于供凸台202从固定结构30的边缘处滑动到限位孔31中。

可以理解的是，信息组件100的主体10沿第一预设方向L1滑动安装到盒体201上，盒体201上的凸台202可以沿固定结构30上的导向槽32滑动进入限位孔31中，导向槽32为凸台202的滑动起到导向限位的作用，使得凸台202可以顺利地滑入限位孔31，同时也防止凸台202在滑入限位孔31的过程中发生移位。

更进一步地，在本申请一些实施例中，导向槽32的槽壁为圆弧形槽壁。

可以理解的是，圆弧形槽壁更为圆滑，凸台202与导向槽32的槽壁触接时产生的摩擦力更小，对凸台202的滑动产生的影响更小，使得凸台202可以更顺利地滑入限位孔31。

第二方面，请参见图7，本申请实施例还提供了一种晶圆盒200，包括盒体201以及如上述任一实施例中所述的信息组件100，信息组件100安装于盒体201，且主体10与盒体201间隔设置。

需要说明的是，通过主体10与限位结构20之间可拆卸连接，且限位结构20固定于盒体201上，来加强信息组件100与盒体201之间的连接，不仅使得信息组件100在安装后，主体10部分仍可以拆卸更换，而且使得信息组件100与盒体201之间的固定更牢固，从而增加信息组件100在盒体201上的稳定性，防止信息组件100在外力的按压或冲击下发生晃动或移位，减少外部设备与信息组件100之间发生信息互换错误的问题。另外，本申请对信息组件100在盒体201上的具体设置位置不做限定，可以根据实际情况进行安装。

还需要说明的是，在相关技术中，若外部设备要记录晶圆盒200中晶圆的型号及规格等相关信息，则需要打开晶圆盒200将晶圆取出并转移至外部设备中，但是这种方式不利于晶圆的洁净存储，所以在本申请实施例中，通过在晶圆盒200上设置信息组件100来存储晶圆盒200中的晶圆信息，从而使得无需打开晶圆盒200，即可让外部设备识别到晶圆盒200中的晶圆信息，有利于晶圆的洁净存储与转运。

本实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本申请的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本申请的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。

以上仅为本申请的较佳实施例而已，并不用以限制本申请，凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种信息组件，其特征在于，应用于晶圆盒，所述晶圆盒包括盒体，所述信息组件包括：

主体，具有第一端以及与所述第一端相对设置的第二端，所述第一端以及所述第二端均用于与所述盒体连接，所述主体包括传感器，所述传感器用于存储晶圆信息；

限位结构，设置于所述主体，且位于所述第一端以及所述第二端之间，所述限位结构包括与所述盒体连接的安装部、开设于所述主体上的第一插槽，所述第一插槽沿第一预设方向延伸，所述主体的边缘具有供所述安装部出入所述第一插槽的槽口，所述安装部沿所述第一预设方向从所述槽口插入所述第一插槽中，所述第一插槽的槽壁包括第一侧壁以及第二侧壁，所述第一侧壁与所述槽口相对设置，所述第二侧壁位于所述第一侧壁的侧方；所述安装部的周侧面包括与所述第二侧壁相对的第一侧面，所述第一侧面上设置有沿所述第一预设方向延伸的第二插槽，在所述第二插槽中沿垂直于所述第一预设方向设置有挡板；

其中，所述限位结构还包括设置于所述第二侧壁的第一限位件，所述第一限位件插入所述第二插槽中，所述第一限位件位于所述挡板靠近所述槽口的一侧，且与所述挡板触接。

2.根据权利要求1所述的信息组件，其特征在于，所述第一限位件具有导向斜面，所述导向斜面的一端与所述第二侧壁连接，且所述导向斜面的另一端向远离所述槽口的方向倾斜延伸，所述导向斜面用于供所述挡板沿所述第二侧壁滑动到所述第一限位件处。

3.根据权利要求1所述的信息组件，其特征在于，所述主体为弹性主体。

4.根据权利要求1所述的信息组件，其特征在于，所述限位结构还包括设置于所述第二侧壁的第二限位件，所述第二限位件位于所述第一限位件远离所述槽口的一侧，所述第二限位件沿所述第一预设方向插入所述第二插槽，并与所述第二插槽的槽侧壁触接。

5.根据权利要求1所述的信息组件，其特征在于，所述盒体上设置有凸台；所述第一端以及所述第二端上均设置有固定结构，所述固定结构用于与所述盒体连接，且所述固定结构具有限位孔，所述限位孔用于供所述凸台沿第一预设方向插入。

6.根据权利要求5所述的信息组件，其特征在于，所述固定结构还具有导向槽，所述导向槽从所述固定结构的边缘处沿所述第一预设方向延伸到所述限位孔，所述导向槽用于供所述凸台从所述固定结构的边缘处滑动到所述限位孔中。

7.根据权利要求6所述的信息组件，其特征在于，所述导向槽的槽壁为圆弧形槽壁。

8.一种晶圆盒，其特征在于，包括盒体以及如权利要求1-7中任一项所述的信息组件，所述信息组件安装于所述盒体，且所述主体与所述盒体间隔设置。