JP2005311093A - ウェーハ搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 所定の位置に設置されたときにのみ自動的に半導体ウェーハの出し入れが可能となるウェーハ搬送装置を提供する。
【解決手段】 ウェーハ搬送装置１００において、キャリア１０３の前面のウェーハ取出面１１９に、閉状態においてウェーハの飛び出しを防止するとともに、開状態においてウェーハの取り出しを可能とするストッパー１０５を設ける。また、キャリア１０３は、脚部１０４を有する。また、ストッパー１０５の下端に、非接地状態でキャリア１０３から突出する突出部１２１を設ける。そして、突出部１２１がキャリア１０３の底面より上方に押し込まれたときに、ストッパー１０５が回動し、開状態となるように構成する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、ウェーハ搬送装置に関する。

従来の半導体ウェーハの搬送装置としては、たとえば特許文献１および特許文献２に記載されたものがある。特許文献１には、ストッパーを有する半導体基板キャリアが開示されている。同文献に記載された半導体基板キャリアは、製造装置に装着されたときにのみ半導体基板の出し入れができるとされている。

ところが、特許文献１に記載の構成の場合、キャリアの底面からストッパーの停止ピンが突出した構成であって、キャリアを設置すると常にウェーハの出し入れが可能であった。このため、ロードポートの所定の位置以外にキャリアを置いた際にも半導体基板を出し入れ可能であり、出し入れ可能とすることを望まない位置においても出し入れ可能となってしまっていた。また、ストッパーに設けられた山谷構造がキャリアのガイドに対して相対的に上下移動する構成となっていた。このため、ウェーハが多少飛び出した状態で収納されている場合、ストッパーを上下させた際に、キャリア内の半導体基板がはさまってしまう懸念があった。

また、特許文献２には、開放開口に蓋が設けられたキャリアが開示されている。同文献に記載されたキャリアは、キャリア用設置台に置かれると、ストッパー軸の回転が可能となり、引き続き使用者がキャリアの持ち手を離すことにより、ウェーハの出し入れが可能となる。この構成によれば、必要な場所のみでキャリアの蓋を開くことができ、基板の安全な運搬を図ることができるとされている。

ところが、特許文献２に記載の構成の場合、扉の開閉が持ち手の位置に依存してなされる構成となっていた。そして、キャリアの使用者が持ち手を回転させて、キャリアを持ち上げないと、キャリアの扉が閉状態とはならない。このため、自動的に扉を開閉することができなかった。
特開２０００−１００９２１号公報 特開平１１−１２１６０３号公報

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、所定の位置に設置されたときにのみ自動的に半導体ウェーハの出し入れが可能となるウェーハ搬送装置を提供することにある。

本発明によれば、ウェーハを収容するキャリアと、前記キャリアの底面に設けられた接地部と、前記キャリアの前面に設けられたウェーハ取出用開口部と、前記ウェーハ取出用開口部に設けられ、閉状態において前記ウェーハの飛び出しを防止するとともに、開状態において前記ウェーハの取り出しを可能とするストッパーと、前記ストッパーの下端に設けられ、非接地状態で前記キャリアの底面から突出する突出部と、を有し、前記突出部の下端が前記キャリアの前記接地部より上方に押し込まれたときに、前記ストッパーが回動し、開状態となるように構成されたことを特徴とするウェーハ搬送装置が提供される。

本発明のウェーハ搬送装置は、接地部を水平面上に接地しただけの状態では閉状態が保たれるとともに、接地部よりも上方に突出部の下端が押し込まれた際に選択的にストッパーが開状態となる。このため、キャリアの搬送中などの非接地状態だけでなく、接地状態においても、突出部が押し込まれない状態ではストッパーを閉状態とすることができる。よって、単に水平面上に置いただけではストッパーが開状態とならず、所定の場所に置かれた際にのみ確実にウェーハの出し入れを可能とすることができる。したがって、キャリアが所定の位置に設置されていない状態でウェーハが取出用開口部から飛び出すのを確実に抑制することができる。

また、キャリアが所定の場所に置かれたときに、突出部が上方に押し込まれる。このとき、突出部の下端が上方に押し込まれるとともに自動的にストッパーが回動し、開状態となる。このため、キャリアが所定の場所に置かれたときには自動的にウェーハの出し入れが可能となり、手動でストッパーを開く必要がない。さらに、所定の位置に置かれていたキャリアが所定の場所から除去された際には、ストッパーが自動的に閉状態となる。このように、本発明によれば、所定の場所に置いたときにのみ選択的にストッパーが開状態となり、ウェーハの出し入れが可能となるとともに、それ以外の状態ではストッパーが自動的に閉状態となるウェーハ搬送装置が実現される。

なお、本明細書において、接地部とは、ウェーハ搬送装置を、平坦な面の上に、当該半導体ウェーハ搬送装置の底面が当該平坦な面に対向するように置いたときに、当該平坦な面と接触する部分のことをいう。接地部は、たとえばキャリアの底面の一部であってもよいし、キャリアの底面から突出した部材の下端面であってもよい。

また、本発明において、突出部の下端面は、非接地状態でキャリアの底面と同水準の面に位置する構成とすることができる。また、突出部の下端面は、非接地状態でキャリアの底面よりも上方に位置し、これが上方にさらに押し込まれたときに開状態となるように構成されていてもよい。

また、本発明において、キャリアの底面の形状に特に限定はなく、たとえば、平坦面とすることができる。また、所定の凹凸構造を有していてもよい。

また、ウェーハ取出用開口部は、ストッパーの開状態においてウェーハの出し入れが可能な大きさの開口部であればよい。たとえば、キャリアの前面全体が開口してウェーハ取出用開口部となっていてもよい。

また、ストッパーは、閉状態においてウェーハ取出用開口部からのウェーハの飛び出しを防止できる形状であればよく、たとえば、キャリアの上下方向に延在する枠体や扉等とすることができる。

本発明に係るウェーハ搬送装置において、前記突出部が前記キャリアの前記底面より上方に押し込まれたときに、前記ストッパーが回動し、開状態となるように構成されてもよい。こうすることにより、突出部がキャリアの底面より上方に押し込まれてはじめてストッパーを開状態とすることができる。このため、キャリアが所定の場所に置かれたときにのみさらに確実にストッパーを開状態とすることができる。

本発明のウェーハ搬送装置において、前記ストッパーの下方に設けられ、前記突出部の上部に接続された内筒と、前記内筒に外嵌する外筒と、前記内筒の外側面または前記外筒の内側面のうちの一方に、前記内筒の中心軸に対して斜めに設けられた案内溝と、前記内筒の外側面または前記外筒の内側面のうちの他方に設けられ、前記案内溝に係合し、前記案内溝に沿って摺動可能な突起部と、を有し、前記突起部が前記案内溝に沿って摺動するとともに、前記ストッパーが前記内筒の中心軸を回転軸として回動するように構成されてもよい。

本発明のウェーハ搬送装置は、突起部が案内溝に沿って摺動するとともに、ストッパーが内筒の中心軸を回転軸として回動するように構成されている。このため、簡素な構成で突出部の押し込みとストッパーの回動とを連動させることができる。突出部の押し込みに連動してストッパーを自動的に開状態とすることができる。また、突出部の押し込みを解除した際には、自動的にストッパーを閉状態とすることができる。

本発明のウェーハ搬送装置において、前記案内溝が前記内筒の外側面に設けられ、前記突起部が前記外筒の内側面に設けられてもよい。こうすることにより、ストッパーの回動時に突起部に回転による比較的大きな力が加わった場合にも、充分な強度を確保することができる。

本発明のウェーハ搬送装置において、ロードポートに設置した際に前記ストッパーが回動し、前記ウェーハを取り出し可能に構成されてもよい。こうすることにより、接地部が接地されているかどうかによらず、ロードポートに設置されていない状態ではストッパーを閉状態としてウェーハの飛び出しを防止するともに、ロードポートに設置した際には自動的にストッパーを開状態とすることができる。

本発明のウェーハ搬送装置において、前記突出部は、前記ロードポートに設置された際に、前記ロードポートにおける前記キャリアの位置決め部と前記ロードポートにおける排除領域との間に位置するように構成されてもよい。こうすることにより、ロードポートに設置した際にさらに自動的にストッパーを開状態とすることができる。

本発明のウェーハ搬送装置において、前記キャリアは、略平坦な前記底面と、前記底面より下方に突出する脚部と、を有し、前記接地部は、前記脚部の下端面であってもよい。こうすれば、キャリアを脚部において水平面に接地しただけではストッパーが開状態とならず、所定の場所に置かれ、突出部が接地部よりも上方に押し込まれたときに開状態となる構成が実現される。このため、簡素な構成でストッパーの確実な選択的な自動開閉が可能となる。

なお、本発明において、キャリアの平坦が略平坦であるというのは、突出部が実質的に平坦な面を貫通するように構成されていることを指し、キャリアの底面の所定の領域に所定の凹凸構造や傾斜構造が形成されていてもよい。

本発明のウェーハ搬送装置において、互いに異なる方向に回動する複数の前記ストッパーを有する構成とすることができる。こうすることにより、複数のストッパーが観音開きとなる構成とすることができる。このため、ストッパーの開状態においてウェーハの出し入れをさらに容易に行うことを可能とするとともに、閉状態においてはウェーハの飛び出しをさらに確実に防止することができる。

以上説明したように、本発明によれば、突出部の下端がキャリアの接地部より上方に押し込まれたときに、ストッパーが回動し、ウェーハ取出用開口部が開状態となるように構成することにより、所定の位置に設置されたときにのみ自動的に半導体ウェーハの出し入れが可能となるウェーハ搬送装置が実現される。

以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。なお、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。

（第一の実施形態）
図１および図２は、本実施形態に係るウェーハ搬送装置の構成を模式的に示す図である。図１は、ウェーハ搬送装置１００が接地面１０２に載置された状態をウェーハ取出面１１９（前面）の側から見た様子を示す図である。また、図２はウェーハ搬送装置１００の平面図である。図１は、図２のＡ−Ａ'断面図である。

図１および図２に示したウェーハ搬送装置１００は、キャリア１０３と、ストッパー１０５と、ストッパー開閉部１０１と、フィルムフレーム１１１とを有する。

キャリア１０３において、ウェーハ取出面１１９が開口面となっており、また、キャリア１０３内に櫛歯状に設けられた複数のフレーム保持部１０７が設けられ、隣接するフレーム保持部１０７の間に形成された溝部１０９にフィルムフレーム１１１が収納される。また、キャリア１０３は、その底面から突出する脚部１０４を有する。図１に示したようにキャリア１０３は、接地部である脚部１０４の底面で、水平で平坦な接地面１０２に接地する。

ストッパー１０５は、キャリア１０３内のウェーハ取出面１１９近傍の左右二箇所に設けられており、開閉可能となっている。ストッパー１０５は、閉状態においてフィルムフレーム１１１の端部に当接し、その飛び出しを防止し、開状態でフィルムフレーム１１１の取り出しを可能とする。図１は、ストッパー１０５が閉じた状態を示している。

なお、図１においては、ストッパー１０５がキャリア１０３の上下方向に延在し、その形状が略コの字型の枠体である場合を例示しているが、ストッパー１０５は、フィルムフレーム１１１の飛び出しを防止し、開閉可能に構成されていればよく、たとえば、ストッパー１０５を扉にすることもできる。

また、図２に示したように、フィルムフレーム１１１は、たとえば金属材料からなるフィルムフレームリング１１５の表面にフィルム１１３が固定された構成となっている。

ストッパー開閉部１０１は、ストッパー１０５の下方に設けられており、下端に突出部１２１を有する。ストッパー開閉部１０１は、脚部１０４よりもキャリア１０３の中央側に設けられている。図１に示したように、突出部１２１は、脚部１０４にて接地面１０２にキャリア１０３を接地した状態で、キャリア１０３の底面から突出している。

図３（ａ）および図３（ｂ）は、ストッパー開閉部１０１の近傍を拡大して示す断面図である。図３（ａ）は、ストッパー１０５が閉状態にあるときのストッパー開閉部１０１の構成を示している。また、図３（ｂ）は、ストッパー１０５が開状態にあるときのストッパー開閉部１０１の構成を示している。

図３（ａ）および図３（ｂ）に示したように、ストッパー開閉部１０１は、下端に突出部１２１を有する内筒１２３と、内筒１２３の側面に外嵌する外筒１２５と、外筒１２５に内挿された内筒１２３の上部において内筒１２３の側面に巻回されたバネ１２７とを有する。

ここで、外筒１２５は、ストッパー１０５の下端に設けられた中空部１３５を有する部分である。すなわち、ストッパー１０５と外筒１２５とは連続一体に形成されている。なお、本明細書において、連続一体とは、連続体として一体に成形されていることをいう。また、単一部材からなり、接合部を有しない構造であることが好ましい。また、中空部１３５は、外筒１２５の中心軸に対する断面積が小さい上部の領域と、断面積が大きい下部の領域とからなる。また、中空部１３５の下部において、外筒１２５の内側面には突起１２９が設けられている。

また、内筒１２３の外側面には、内筒１２３の中心軸に対して斜めに案内溝１３１が形成されている。突出部１２１が押し込まれて上昇すると、それとともに案内溝１３１に沿って回転変位が生じる。このため、突出部１２１が押し込まれるとともに、突出部１２１に接続するストッパー１０５が回動する。また、外筒１２５の内側面に設けられた突起１２９が案内溝１３１に係合しており、案内溝１３１に沿って突起１２９が摺動可能な構成となっている。

図３（ａ）に示したように、ストッパー１０５の閉状態において、内筒１２３は、下端の突出部１２１を除き、中空部１３５に挿入されている。内筒１２３は、中心軸に対する断面積が小さい上部の領域と断面積が大きい下部の領域からなる。内筒１２３の上端は、外筒１２５の上部の領域に挿入されており、内筒１２３の上部の領域で外筒１２５の下方の領域に位置する部分において、内筒１２３の外側面にバネ１２７が巻回している。そして、突起１２９は、案内溝１３１の上端に位置している。このような構成により、内筒１２３の中心軸と外筒１２５の中心軸を確実に一致させるとともに、内筒１２３を自重により確実に降下させて、下端の突出部１２１を外筒１２５から突出させた状態を維持することができる。

ここで、突出部１２１を下端から上方に向かって押し込むと、外筒１２５の内側面に設けられた突起１２９が案内溝１３１に沿って内筒１２３の中心軸に対して斜めにスライドする。このため、突出部１２１が外筒１２５の中空部１３５に挿入されるとともに、外筒１２５と一体に形成されているストッパー１０５が内筒１２３の中心軸を回転軸として回動する。これにより、フィルムフレーム１１１の飛び出しを防止する位置から、フィルムフレーム１１１をウェーハ取出面１１９から取り出し可能な位置へとストッパー１０５が回転移動する。

案内溝１３１に沿った外筒１２５の回転角度は、ストッパー１０５の構成に応じて任意に選択することが可能であり、ストッパー１０５の開閉状態が実現できるように構成されていればよい。

図３（ｂ）に示したように、ストッパー１０５の開状態においては、突出部１２１の少なくとも一部が外筒１２５の内部に収容されるとともに、突起１２９が案内溝１３１の下端に位置する。また、内筒１２３の挿入に伴い、内筒１２３の上部の領域に設けられたバネ１２７が収縮状態となっている。

図３（ｂ）の状態から、突出部１２１を上部に向かって押し込む力を除去すると、収縮していたバネ１２７が伸びるとともに、突起１２９が案内溝１３１に沿って上方に向かって移動するため、ストッパー開閉部１０１およびストッパー１０５は、図３（ａ）に示したストッパー１０５の閉状態の構成に戻る。

図１に示したウェーハ搬送装置１００は、以上のように構成されたストッパー開閉部１０１を有するため、突出部１２１を上方に押し込む力が付与される領域に設置された時に、自動的にストッパー１０５が開いてウェーハ取出面１１９からのフィルムフレーム１１１が可能となるとともに、それ以外の状態ではストッパー１０５が閉じてフィルムフレーム１１１の飛び出しを防止する構成となっている。

図４は、図１のウェーハ搬送装置１００をロードポートの所定の位置に設置した状態を示す断面図である。図４においては、ウェーハ搬送装置１００のストッパー１０５が開状態となっている。

図４において、ロードポート１１０の上部に凸状のキャリア位置決め部１３９が設けられている。キャリア位置決め部１３９は、ウェーハ搬送装置１００が底面において接地される部分である。

また、ロードポート１１０の側方には、排除領域１３７が設けられている。排除領域１３７は、ウェーハ搬送装置１００等を配設したり、ロードポート１１０の突起等を突出させたりしない領域としてＳＥＭＩ規格で規定されている領域である。

また、ロードポート１１０には、ウェーハ搬送装置１００がキャリア位置決め部１３９に接地している際に突出部１２１が配設される位置に対応する位置に、ストッパー開突起１３３が設けられている。図４においては、キャリア位置決め部１３９およびストッパー開突起１３３の高さが等しくなるように構成されている。

ウェーハ搬送装置１００は、その底面でロードポート１１０のキャリア位置決め部１３９に設置される。このとき、ウェーハ搬送装置１００の脚部１０４は、接地部となっておらず、排除領域１３７の上部に位置する。

また、ウェーハ搬送装置１００の底面をキャリア位置決め部１３９で接地させると、ウェーハ搬送装置１００の突出部１２１がストッパー開突起１３３によって脚部１０４の上方に押し込まれるため、ストッパー１０５が回動し、開状態となる。このように、ウェーハ搬送装置１００は、突出部１２１の下端すなわち底面がキャリア１０３の底面よりも上方に押し込まれたときに、ストッパー１０５が回動し、開状態となるように構成されている。

なお、ウェーハ搬送装置１００においては、キャリア１０３のウェーハ取出面１１９の内側には、二つのストッパー１０５が左右に配置されており、突出部１２１が押し込まれた際に、これらのストッパー１０５が互いに逆向きに回動するように構成されており、二つのストッパー１０５は観音開きとなっている。具体的には、図中左側のストッパー１０５が右回りに回動し、図中右側のストッパー１０５が左回りに回動する。この構成は、二つのストッパー１０５に接続するストッパー開閉部１０１の案内溝１３１の形成方向を互いに逆向きにすることによって得られる。

次に、図１に示したウェーハ搬送装置１００の効果を説明する。
図１に示したウェーハ搬送装置１００は、閉状態においてウェーハ取出面１１９からのフィルムフレーム１１１またはウェーハの飛び出しを防止するとともに、開状態でフィルムフレーム１１１またはウェーハの取り出しを可能とするストッパー１０５が設けられている。そして、ストッパー１０５の下端にストッパー開閉部１０１が設けられている。ストッパー開閉部１０１の下端に位置する突出部１２１がロードポート１１０のストッパー開突起１３３によりキャリア１０３内に押し込まれた際にストッパー１０５が回動し、開状態となるとともに、突出部１２１がキャリア１０３内に押し込まれていない状態では、脚部１０４の接地の有無によらずストッパー１０５が閉状態となる。

また、突出部１２１の底面がストッパー開突起１３３によりキャリア１０３の底面におけるキャリア位置決め部１３９への接地面よりも上方に押し込まれたときに、ストッパー１０５が回動し、開状態となるとともに、突出部１２１がキャリア位置決め部１３９への接地面よりも上方に押し込まれていない状態では、脚部１０４の接地の有無によらずストッパー１０５が閉状態となる。

このように、ウェーハ搬送装置１００は、キャリア１０３の底面がロードポート１１０のキャリア位置決め部１３９に接地されると、ストッパー開突起１３３により突出部１２１が上方に押し込まれ、自動的にストッパー１０５が開状態となるとともに、それ以外の状態では閉状態となる構成となっている。よって、脚部１０４の接地の有無によらず、ロードポート１１０の所定の位置に設置されたとき以外はウェーハ取出面１１９からのフィルムフレーム１１１の飛び出しを確実に抑制しつつ、ロードポート１１０の所定の位置に設置されたときには自動的にフィルムフレーム１１１の出し入れが可能な構成となっている。

たとえば、台車や作業台上ではストッパー１０５が自然に開かないので、フィルムフレーム１１１が落下しない。また、ロードポート１１０に乗せるとキャリア１０３の自重によってストッパー１０５が自動で開く為、ロードポート１１０にキャリア１０３をセットする前にマニュアルでストッパー１０５を開状態とする必要がない。

また、突出部１２１が、ロードポート１１０のキャリア位置決め部１３９と排除領域１３７との間に位置するように構成されている。このため、ロードポート１１０のＳＥＭＩ規格で定められた以外の部分を使用して、キャリア１０３の自動開閉機構を取り付けることができる。ＳＥＭＩ規格で定められた部分以外の部分を使用するため、業界標準に準拠し自動開閉機構が実現できる。

キャリア１０３を所定の位置に接地した際に選択的にストッパー１０５が開状態となる効果は、キャリア１０３の底面がロードポート１１０のキャリア位置決め部１３９に接地されたときに、突出部１２１の下端がキャリア１０３の底面よりも上方に押し込まれる構成とした際に発揮される。

また、ウェーハ搬送装置１００において、ストッパー開閉部１０１は内筒１２３と外筒１２５とを有し、内筒１２３の外側面に、中心軸に対して斜めに設けられた案内溝１３１と、外筒１２５の内側面に設けられた突起１２９とが係合し、突起１２９が案内溝１３１に沿って移動可能に構成されている。このため、突出部１２１が上下方向に移動した際に、ストッパー開閉部１０１に連結したストッパー１０５がスムーズに回動し、確実に開閉される構成となっている。

また、ストッパー開閉部１０１において、内筒１２３の上部の領域にバネ１２７が設けられている。このため、少なくとも非接地状態において、突出部１２１を確実に垂下させることができる。

また、二つのストッパー１０５が観音開きであるため、ストッパー１０５が開いた状態でのフィルムフレーム１１１またはウェーハの出し入れを容易に行うことができる構成となっている。

また、図１に示したウェーハ搬送装置１００は、キャリア１０３の底面が平坦面であり、閉状態において平坦な底面から突出部１２１が下方に突出した構成である。このため、キャリア１０３をその底面でキャリア位置決め部１３９に接地させる際の位置ずれマージンをとることができる。よって、キャリア１０３がキャリア位置決め部１３９から若干ずれた状態で接地された場合にも、許容される範囲でストッパー１０５を開状態とすることが可能となる。また、キャリア１０３の底面を平坦面とすることにより、ウェーハ搬送装置１００の構成を簡素化することができる。

なお、ウェーハ搬送装置１００において、キャリア底面１４１は、突出部１２１が貫通する領域の近傍において平坦であればよく、他の所定の領域に凹凸構造や傾斜構造等が形成されていてもよい。

また、図１では、ストッパー１０５が閉じた状態で、突出部１２１の下端が脚部１０４の底面と同一面に位置する構成を例示したが、ストッパー１０５の下端が脚部１０４の底面よりも上方に位置している構成とすることもできる。この場合にも、突出部１２１の下端が脚部１０４の底面よりも上方に押し込まれたときにストッパー１０５が自動的に開状態となるため、図１の構成と同様の効果を得ることができる。また、突出部１２１の下端を脚部１０４の底面よりも上方に設けることにより、ストッパー１０５の誤って開閉することをさらに確実に抑制することができる。

また、図４では、突出部１２１全体がキャリア１０３の底面より上方に押し込まれたときにストッパー１０５が開状態となる構成を例示したが、突出部１２１が脚部１０４の上方の所定の位置まで押し込まれたときにストッパー１０５が開状態となる構成とすることもできる。

また、図３（ａ）および図３（ｂ）においては、内筒１２３の外側面に案内溝１３１が設けられており、外筒１２５の内側面に突起１２９が設けられている場合を例にストッパー開閉部１０１の構成を説明したが、内筒１２３と外筒１２５の一方に対して他方を相対的に回転移動可能な構成であればよく、案内溝１３１が外筒１２５の内側面に設けられ、突起１２９が内筒１２３の外側面に設けられていてもよい。また、案内溝１３１が内筒１２３または外筒１２５の側面を貫通していてもよい。こうすれば、内筒１２３または外筒１２５を製造容易な構成とすることができる。

たとえば、図５は、ストッパー開閉部１０１の他の構成を示す図である。図５において、上の図が平面図であり、下の図が側面図である。図５に示したストッパー開閉部１０１は、図３（ａ）および図３（ｂ）に示したストッパー開閉部１０１の場合とは逆に、内筒１２３の外側面に突起１２９が設けられている。また、外筒１２５の側面を貫通する案内溝１３１が設けられている。図５は、ストッパー１０５が閉状態であるときのストッパー開閉部１０１を示している。

図５に示したストッパー開閉部１０１においても、突出部１２１に上方向の力を付与すると、突出部１２１が外筒１２５の内部に挿入される。このとき、突起１２９が案内溝１３１の下端から上端に向かって内筒１２３の中心軸に対して斜めに移動するため、外筒１２５の上部に接続するストッパー１０５（図５では不図示）が回動して開状態となる。

このため、この構成の場合にも、突出部１２１がストッパー開突起１３３の上部に位置するようにウェーハ搬送装置１００がロードポート１１０に接地されたときにのみ選択的にストッパー１０５が開き、フィルムフレーム１１１およびフィルムフレーム１１１上のウェーハの出し入れが可能である。そして、突出部１２１がストッパー開突起１３３によって押し上げられていない状態においては、脚部１０４が接地されているかどうかによらず、ストッパー１０５を閉状態とすることができる。

よって、図５に示したストッパー開閉部１０１を有するウェーハ搬送装置１００においても、ウェーハ搬送装置１００を所定の位置に設置した際に自動的にウェーハの取り出しが可能となるとともに、それ以外の状態ではウェーハの飛び出しを確実に抑制することができる。

また、外筒１２５に突起１２９を設ける場合（図３（ａ）および図３（ｂ））、ストッパー１０５は比較的重いため、ストッパー１０５回転移動の際に、突起１２９に比較的大きな力が集中するのに対し、図５の構成では、案内溝１３１を外筒１２５に形成し、突起１２９を内筒１２３に設けることにより、回転移動の際に突起１２９に加わる力を減少させることができる。このため、ストッパー開閉部１０１の機械的強度を向上させることができる。

また、以上においては、キャリア１０３の底面が平坦面であり、ストッパー１０５が閉じた状態で、ストッパー開閉部１０１の下端に設けられた突出部１２１がキャリア１０３の底面を貫通している構成を例に説明したが、キャリア１０３の底面は平坦面でなくてもよい。たとえば、キャリア１０３の底面に凹部が設けられており、閉状態において突出部１２１が凹部から突出している構成とすることもできる。

図６（ａ）および図６（ｂ）は、図４におけるストッパー開閉部１０１近傍の構成を拡大して模式的に示した図である。これらの図において、左側の図は、キャリア１０３がロードポート１１０の所定の位置に設置されていない状態（ストッパー１０５閉状態）を示し、右側の図は、キャリア１０３がロードポート１１０の所定の位置に固定された状態（ストッパー１０５開状態）を示している。

図６（ａ）は、ストッパー１０５（図６（ａ）では不図示）が閉じた状態で、ストッパー開閉部１０１の下端に設けられた突出部１２１が平坦なキャリア底面１４１を貫通している構成を示している。この構成は、図１および図４に示したウェーハ搬送装置１００の構成に対応している。この場合、突出部１２１がロードポート１１０のストッパー開突起１３３上に配設されて、突出部１２１の底面がキャリア底面１４１すなわちロードポート１１０への接地部よりも上方に押し込まれた際に、ストッパー開閉部１０１に接続するストッパー１０５を回動させ、ストッパー１０５を開かせることができる。

また、図６（ｂ）は、キャリア底面１４１に凹部１４３が設けられ、少なくとも非接地状態で凹部１４３内に突出部１２１が収容された構成を示す図である。図６（ｂ）では、ストッパー１０５（図６（ｂ）では不図示）が閉じた状態で、ストッパー開閉部１０１の下端に設けられた突出部１２１の下端が、キャリア底面１４１と等しいかまたはこれより上部に位置する場合を示している。図６（ｂ）に示した構成においても、凹部１４３に嵌合する位置にロードポート１１０のストッパー開突起１３３を設けることにより、ストッパー開突起１３３が凹部１４３に嵌合し、突出部１２１が上方に押し込まれた際に、ストッパー開閉部１０１に接続するストッパー１０５を回動させ、ストッパー１０５を開かせることができる。

以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。

たとえば、以上においては、ロードポート１１０にストッパー開突起１３３を設けてストッパー１０５を開閉する構成を例に説明したが、ロードポート１１０にストッパー開突起１３３を設けない構成とすることもできる。たとえば、ＳＥＭＩ規格に規定された位置決め用の突起に当接する位置に突出部１２１を設けることにより、ストッパー開突起１３３を設けることなく、あらかじめロードポート１１０に設けられている突起を用いてストッパー１０５の開閉を行うことができる。

また、以上においては、ストッパー１０５の閉状態で突出部１２１が内筒１２３の下端に設けられた構成を例に説明したが、突出部１２１が外筒１２５の下端に設けられ、外筒１２５を上方に押し込んだ際にストッパー１０５が回動する構成とすることもできる。

本実施形態に係るウェーハ搬送装置の構成を模式的に示す断面図である。 本実施形態に係るウェーハ搬送装置の構成を模式的に示す平面図である。 本実施形態に係るウェーハ搬送装置のストッパー開閉部の構成を模式的に示す断面図である。 本実施形態に係るウェーハ搬送装置の構成を模式的に示す断面図である。 本実施形態に係るウェーハ搬送装置のストッパー開閉部の構成を模式的に示す図である。 本実施形態に係るウェーハ搬送装置のストッパー開閉部の構成を模式的に示す断面図である。

符号の説明

１００ ウェーハ搬送装置
１０１ ストッパー開閉部
１０２ 接地面
１０３ キャリア
１０４ 脚部
１０５ ストッパー
１０７ フレーム保持部
１０９ 溝部
１１０ ロードポート
１１１ フィルムフレーム
１１３ フィルム
１１５ フィルムフレームリング
１１９ ウェーハ取出面
１２１ 突出部
１２３ 内筒
１２５ 外筒
１２７ バネ
１２９ 突起
１３１ 案内溝
１３３ ストッパー開突起
１３５ 中空部
１３７ 排除領域
１３９ キャリア位置決め部
１４１ キャリア底面
１４３ 凹部

Claims (7)

1. ウェーハを収容するキャリアと、
   前記キャリアの底面に設けられた接地部と、
   前記キャリアの前面に設けられたウェーハ取出用開口部と、
   前記ウェーハ取出用開口部に設けられ、閉状態において前記ウェーハの飛び出しを防止するとともに、開状態において前記ウェーハの取り出しを可能とするストッパーと、
   前記ストッパーの下端に設けられ、非接地状態で前記キャリアの底面から突出する突出部と、
   を有し、
   前記突出部の下端が前記接地部より上方に押し込まれたときに、前記ストッパーが回動し、開状態となるように構成されたことを特徴とするウェーハ搬送装置。
2. 請求項１に記載のウェーハ搬送装置において、
   前記ストッパーの下方に設けられ、前記突出部の上部に接続された内筒と、
   前記内筒に外嵌する外筒と、
   前記内筒の外側面または前記外筒の内側面のうちの一方に、前記内筒の中心軸に対して斜めに設けられた案内溝と、
   前記内筒の外側面または前記外筒の内側面のうちの他方に設けられ、前記案内溝に係合し、前記案内溝に沿って摺動可能な突起部と、
   を有し、
   前記突起部が前記案内溝に沿って摺動するとともに、前記ストッパーが前記内筒の中心軸を回転軸として回動するように構成されたことを特徴とするウェーハ搬送装置。
3. 請求項２に記載のウェーハ搬送装置において、前記案内溝が前記外筒の内側面に設けられ、前記突起部が前記内筒の外側面に設けられたことを特徴とするウェーハ搬送装置。
4. 請求項１乃至３いずれかに記載のウェーハ搬送装置において、ロードポートに設置した際に前記ストッパーが回動し、前記ウェーハを取り出し可能に構成されたことを特徴とするウェーハ搬送装置。
5. 請求項４に記載のウェーハ搬送装置において、前記突出部は、前記ロードポートに設置された際に、前記ロードポートにおける前記キャリアの位置決め部と前記ロードポートにおける排除領域との間に位置するように構成されたことを特徴とするウェーハ搬送装置。
6. 請求項１乃至５いずれかに記載のウェーハ搬送装置において、前記キャリアは、
   略平坦な前記底面と、
   前記底面より下方に突出する脚部と、
   を有し、
   前記接地部は、前記脚部の下端面であることを特徴とするウェーハ搬送装置。
7. 請求項１乃至６いずれかに記載のウェーハ搬送装置において、互いに異なる方向に回動する複数の前記ストッパーを有することを特徴とするウェーハ搬送装置。

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