JP2007019328A - 基板収納容器の蓋体開閉方法 - Google Patents
基板収納容器の蓋体開閉方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007019328A JP2007019328A JP2005200513A JP2005200513A JP2007019328A JP 2007019328 A JP2007019328 A JP 2007019328A JP 2005200513 A JP2005200513 A JP 2005200513A JP 2005200513 A JP2005200513 A JP 2005200513A JP 2007019328 A JP2007019328 A JP 2007019328A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- locking
- container
- opening
- closing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Closures For Containers (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】 蓋体開閉装置により容器本体20の開口したリム部24を蓋体30で閉鎖して施錠する基板収納容器の蓋体開閉方法であって、容器本体20の開口したリム部24に蓋体30を予め設定された押圧力で対向させ、容器本体20に収納された半導体ウェーハWの前部周縁に蓋体30のフロントリテーナ33を接近させた状態で停止させ、施錠機構40の回転体42の操作を開始して容器本体20の係止穴41に蓋体30の係止爪47を嵌合するとともに、回転体42の操作の継続により係止穴41と係止爪47との嵌合部Eを起点としてリム部24に蓋体30を嵌入し、半導体ウェーハWの前部周縁を蓋体30のフロントリテーナ33に保持させ、リム部24を蓋体30によりシール状態に閉鎖する。
【選択図】 図9
Description
容器本体の開口した正面に蓋体を予め設定された押圧力で略対向させ、容器本体に収納された基板の前部周縁に蓋体のリテーナを接近させた状態で停止させ、施錠機構の各回転体の操作を開始して容器本体の複数の係止凹部に蓋体の係止体をそれぞれ嵌め合わせるとともに、各回転体をさらに操作して複数の係止凹部と係止体との嵌め合わせ部を起点として容器本体の正面に蓋体を嵌め入れ、基板の前部周縁を蓋体のリテーナに保持させ、容器本体の正面を蓋体によりシール状態に閉鎖することを特徴としている。
また、予め設定された押圧力を9N〜160N、好ましくは30N〜140N、より好ましくは40N〜100Nの範囲とすることが好ましい。
また、基板の前部周縁に蓋体のリテーナを0.2mm〜5mmの距離で接近させることが好ましい。
各進退動体を、回転体の第一の溝孔にスライド可能に嵌め入れられる第一の進退動プレートと、回転体の第二の溝孔にスライド可能に嵌め入れられて第一の進退動プレートに対向する第二の進退動プレートとに分割し、第一の進退動プレートに押圧体を形成し、第二の進退動プレートの先端部には、係止体を設け、かつ第二の進退動プレートの中間部には、押圧体に接触して第二の進退動プレート及び又は係止体を蓋体の厚さ方向に押す被押圧体を形成することができる。
蓋体に誘導体を設け、施錠機構の各進退動体の先端部に係止体を設けるとともに、各進退動体には、誘導体にスライド可能に接触して進退動体及び又は係止体を蓋体の厚さ方向に押す被誘導体を設けたことを特徴としても良い。
施錠機構の各回転体の周縁部に、第一の溝孔を設けるとともに、この第一の溝孔の外側に位置する第二の溝孔を設け、
各進退動体を、回転体の第一の溝孔にスライド可能に嵌め入れられる第一の進退動プレートと、回転体の第二の溝孔にスライド可能に嵌め入れられて第一の進退動プレートに対向する第二の進退動プレートとに分割し、
第一の進退動プレートに押圧体を形成し、第二の進退動プレートの先端部には、係止体を設け、かつ第二の進退動プレートの中間部には、押圧体に接触して第二の進退動プレート及び又は係止体を蓋体の厚さ方向に押す被押圧体を形成したことを特徴としても良い。
また、基板の前部周縁に蓋体のリテーナを0.2mm〜5mmの距離で接近させれば、リテーナの撓み量が減少するので、基板を安全に保持することができ、容器本体の係止凹部に対する蓋体の係止体の嵌め入れがスムーズになり、しかも、容器本体の正面に蓋体を移動させてシール状態に嵌め入れることが容易となる。
なお、容器本体20から蓋体30を取り外して開口させる場合には、上記作業とは逆の順序、すなわち図10、図9、図8の順序で行なわれる。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、しかも、施錠機構40の構成の多様化を図ることができるのは明らかである。
本実施形態においても上記実施形態と同様の作用効果が期待でき、施錠機構40の構成の多様化が期待できる他、反力を利用して蓋体30を強固に閉鎖することができるのは明らかである。
4 周壁
5 貫通口
6 ドッキング装置
7 オープナ
9 クロージャ
10 位置合わせピン
11 操作キー
12 載置装置
13 位置決めピン
14 クランプ爪
20 容器本体
24 リム部(正面)
30 蓋体
33 フロントリテーナ(リテーナ)
34 シールガスケット(シール部材)
35 貫通孔
40 施錠機構
41 係止穴(係止凹部)
42 回転体
44 溝孔
44A 第一の溝孔
44B 第二の溝孔
45 進退動プレート(進退動体)
45A 第一の進退動プレート
45B 第二の進退動プレート
47 係止爪(係止体)
50 回転ローラ(係止体)
60 誘導ブロック(誘導体)
61 被誘導ブロック(被誘導体)
64 押圧爪(押圧体)
65 被押圧突起(被押圧体)
C 隙間
E 嵌合部
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (6)
- 蓋体開閉装置に搭載される基板収納用の容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する着脱自在の蓋体と、容器本体の正面に嵌め入れられる蓋体を蓋体開閉装置の操作に基づき施錠あるいは解錠する施錠機構とを備え、蓋体に、容器本体に収納された基板を保持するリテーナを取り付けるとともに、密封用のシール部材を取り付け、施錠機構を、容器本体の正面内周部に形成される複数の係止凹部と、蓋体に支持されて蓋体開閉装置の操作により回転する複数の回転体と、各回転体の回転に基づき蓋体の内外方向に進退動する複数の進退動体と、各進退動体の進退動に基づき蓋体から出没して容器本体の複数の係止凹部にそれぞれ嵌め合わされる複数の係止体とから構成し、蓋体開閉装置により容器本体の正面を蓋体で閉鎖して施錠する基板収納容器の蓋体開閉方法であって、
容器本体の開口した正面に蓋体を予め設定された押圧力で略対向させ、容器本体に収納された基板の前部周縁に蓋体のリテーナを接近させた状態で停止させ、施錠機構の各回転体の操作を開始して容器本体の複数の係止凹部に蓋体の係止体をそれぞれ嵌め合わせるとともに、各回転体をさらに操作して複数の係止凹部と係止体との嵌め合わせ部を起点として容器本体の正面に蓋体を嵌め入れ、基板の前部周縁を蓋体のリテーナに保持させ、容器本体の正面を蓋体によりシール状態に閉鎖することを特徴とする基板収納容器の蓋体開閉方法。 - 施錠機構の各回転体を回転させる蓋体開閉装置の回転トルクを0.1Nm〜2.0Nmの範囲とする請求項1記載の基板収納容器の蓋体開閉方法。
- 予め設定された押圧力を9N〜160Nの範囲とする請求項1又は2記載の基板収納容器の蓋体開閉方法。
- 基板の前部周縁に蓋体のリテーナを0.2mm〜5mmの距離で接近させる請求項1、2、又は3記載の基板収納容器の蓋体開閉方法。
- 蓋体に誘導体を設け、施錠機構の各進退動体の先端部に係止体を設けるとともに、各進退動体には、誘導体にスライド可能に接触して進退動体及び又は係止体を蓋体の厚さ方向に押す被誘導体を設けた請求項1ないし4いずれかに記載の基板収納容器の蓋体開閉方法。
- 施錠機構の各回転体の周縁部に、第一の溝孔を設けるとともに、この第一の溝孔の外側に位置する第二の溝孔を設け、
各進退動体を、回転体の第一の溝孔にスライド可能に嵌め入れられる第一の進退動プレートと、回転体の第二の溝孔にスライド可能に嵌め入れられて第一の進退動プレートに対向する第二の進退動プレートとに分割し、第一の進退動プレートに押圧体を形成し、第二の進退動プレートの先端部には、係止体を設け、かつ第二の進退動プレートの中間部には、押圧体に接触して第二の進退動プレート及び又は係止体を蓋体の厚さ方向に押す被押圧体を形成した請求項1ないし4いずれかに記載の基板収納容器の蓋体開閉方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005200513A JP4647417B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 基板収納容器の蓋体開閉方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005200513A JP4647417B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 基板収納容器の蓋体開閉方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007019328A true JP2007019328A (ja) | 2007-01-25 |
JP4647417B2 JP4647417B2 (ja) | 2011-03-09 |
Family
ID=37756199
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005200513A Active JP4647417B2 (ja) | 2005-07-08 | 2005-07-08 | 基板収納容器の蓋体開閉方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4647417B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009089122A2 (en) * | 2008-01-03 | 2009-07-16 | Asyst Technologies, Inc. | Controlled deflection of large area semiconductor substrates for shipping & manufacturing containers |
JP2012190898A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
WO2013005740A1 (ja) * | 2011-07-06 | 2013-01-10 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
JP2013541851A (ja) * | 2010-10-20 | 2013-11-14 | インテグリス・インコーポレーテッド | ドア・ガイドおよびシールを備えたウェーハ容器 |
WO2014054115A1 (ja) * | 2012-10-02 | 2014-04-10 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
WO2014176558A1 (en) * | 2013-04-26 | 2014-10-30 | Entegris, Inc. | Wafer container with latching mechanism for large diameter wafers |
KR20150088800A (ko) * | 2012-11-28 | 2015-08-03 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 기판 수납 용기 |
CN110870054A (zh) * | 2018-06-12 | 2020-03-06 | 未来儿股份有限公司 | 基板收纳容器 |
WO2020121448A1 (ja) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
CN113454007A (zh) * | 2019-02-22 | 2021-09-28 | 村田机械株式会社 | 盖开闭装置 |
WO2023162529A1 (ja) * | 2022-02-25 | 2023-08-31 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWM528296U (zh) * | 2016-05-02 | 2016-09-11 | Chung King Entpr Co Ltd | 閂鎖機構及具有該閂鎖機構的晶圓盒 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08255826A (ja) * | 1995-03-17 | 1996-10-01 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハ収納容器 |
JPH1191865A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-04-06 | Fluoroware Inc | ウェハー搬送モジュール |
JP2001102738A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装半田付け方法 |
WO2003010069A1 (fr) * | 2001-07-23 | 2003-02-06 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Couvercle pour contenant de feuilles et contenant de feuilles |
JP2003133405A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器の蓋体係止機構 |
JP2003174080A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Kakizaki Mamufacuturing Co Ltd | 薄板用収納・保管容器 |
JP2005101518A (ja) * | 2003-05-19 | 2005-04-14 | Miraial Kk | 薄板支持容器用蓋体 |
-
2005
- 2005-07-08 JP JP2005200513A patent/JP4647417B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08255826A (ja) * | 1995-03-17 | 1996-10-01 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 半導体ウェーハ収納容器 |
JPH1191865A (ja) * | 1997-07-11 | 1999-04-06 | Fluoroware Inc | ウェハー搬送モジュール |
JP2001102738A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品実装半田付け方法 |
WO2003010069A1 (fr) * | 2001-07-23 | 2003-02-06 | Kakizaki Manufacturing Co., Ltd. | Couvercle pour contenant de feuilles et contenant de feuilles |
JP2003133405A (ja) * | 2001-10-29 | 2003-05-09 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器の蓋体係止機構 |
JP2003174080A (ja) * | 2001-12-04 | 2003-06-20 | Kakizaki Mamufacuturing Co Ltd | 薄板用収納・保管容器 |
JP2005101518A (ja) * | 2003-05-19 | 2005-04-14 | Miraial Kk | 薄板支持容器用蓋体 |
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009089122A3 (en) * | 2008-01-03 | 2009-10-22 | Asyst Technologies, Inc. | Controlled deflection of large area semiconductor substrates for shipping & manufacturing containers |
WO2009089122A2 (en) * | 2008-01-03 | 2009-07-16 | Asyst Technologies, Inc. | Controlled deflection of large area semiconductor substrates for shipping & manufacturing containers |
US9673075B2 (en) | 2010-10-20 | 2017-06-06 | Entegris, Inc. | Wafer container with door guide and seal |
JP2013541851A (ja) * | 2010-10-20 | 2013-11-14 | インテグリス・インコーポレーテッド | ドア・ガイドおよびシールを備えたウェーハ容器 |
JP2012190898A (ja) * | 2011-03-09 | 2012-10-04 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器 |
US9387960B2 (en) | 2011-07-06 | 2016-07-12 | Miraial Co., Ltd. | Substrate storing container |
WO2013005740A1 (ja) * | 2011-07-06 | 2013-01-10 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
WO2014054115A1 (ja) * | 2012-10-02 | 2014-04-10 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
KR20150088800A (ko) * | 2012-11-28 | 2015-08-03 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 기판 수납 용기 |
KR102131473B1 (ko) | 2012-11-28 | 2020-07-07 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 기판 수납 용기 |
WO2014176558A1 (en) * | 2013-04-26 | 2014-10-30 | Entegris, Inc. | Wafer container with latching mechanism for large diameter wafers |
JP2016518719A (ja) * | 2013-04-26 | 2016-06-23 | インテグリス・インコーポレーテッド | ラッチ機構を備える大口径ウエハ用ウエハ容器 |
US10173812B2 (en) | 2013-04-26 | 2019-01-08 | Entegris, Inc. | Wafer container with latching mechanism for large diameter wafers |
US10723525B2 (en) | 2013-04-26 | 2020-07-28 | Entegris, Inc. | Wafer container with latching mechanism for large diameter wafers |
CN110870054A (zh) * | 2018-06-12 | 2020-03-06 | 未来儿股份有限公司 | 基板收纳容器 |
CN110870054B (zh) * | 2018-06-12 | 2023-10-24 | 未来儿股份有限公司 | 基板收纳容器 |
WO2020121448A1 (ja) * | 2018-12-12 | 2020-06-18 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
KR20210099032A (ko) * | 2018-12-12 | 2021-08-11 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 기판수납용기 |
CN113396113A (zh) * | 2018-12-12 | 2021-09-14 | 未来儿股份有限公司 | 基板收纳容器 |
JPWO2020121448A1 (ja) * | 2018-12-12 | 2021-11-18 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
JP7257418B2 (ja) | 2018-12-12 | 2023-04-13 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
TWI816950B (zh) * | 2018-12-12 | 2023-10-01 | 日商未來兒股份有限公司 | 基板收納容器 |
KR102632741B1 (ko) | 2018-12-12 | 2024-02-01 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 기판수납용기 |
CN113454007A (zh) * | 2019-02-22 | 2021-09-28 | 村田机械株式会社 | 盖开闭装置 |
CN113454007B (zh) * | 2019-02-22 | 2023-02-17 | 村田机械株式会社 | 盖开闭装置 |
WO2023162529A1 (ja) * | 2022-02-25 | 2023-08-31 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4647417B2 (ja) | 2011-03-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4647417B2 (ja) | 基板収納容器の蓋体開閉方法 | |
JP4573566B2 (ja) | 収納容器 | |
KR101213373B1 (ko) | 수납 용기 | |
JP4668179B2 (ja) | 基板収納容器 | |
US6105782A (en) | Storage container for precision substrates | |
JP3917371B2 (ja) | コンテナ | |
US8540289B2 (en) | Opening/closing structure for container for conveying thin plate | |
JP4213078B2 (ja) | リテーナ及び基板収納容器 | |
JP4739033B2 (ja) | 収納容器の蓋体及び収納容器 | |
KR20050006124A (ko) | 피처리체의 수납 용기 부재 | |
JP4338617B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP4482656B2 (ja) | ウエハ等精密基板収納容器 | |
JP4169736B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP4115115B2 (ja) | 基板収納容器の蓋体係止機構 | |
JP4049551B2 (ja) | 収納容器の蓋体 | |
JP3177136U (ja) | 半導体素子用容器 | |
JP3593122B2 (ja) | 精密基板収納容器 | |
JP5686699B2 (ja) | 蓋体及び基板収納容器 | |
JP4475637B2 (ja) | 回転防止部材付き基板収納容器及びその梱包方法 | |
JP2000039006A (ja) | 収納容器の蓋開閉ラッチ機構 | |
JP2006339618A (ja) | 手動式foupオプナー | |
JP5912960B2 (ja) | 基板収納容器 | |
JP2010027861A (ja) | 基板収納容器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070815 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091104 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091211 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100518 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100707 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101208 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131217 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4647417 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131217 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |