CN113396113A - 基板收纳容器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板收纳容器(1)，容器主体(2)具备具有后壁(22)、上壁(23)、下壁(24)和一对侧壁的壁部(20)，通过后壁(22)封闭壁部(20)的另一端部，通过上壁(23)的一端部、下壁(24)的一端部和侧壁(25、26)的一端部形成容器主体开口部，在下壁(24)设置有将被收纳物(RP)相对于容器主体(2)定位的定位部(50)，在上壁(23)设置有将被收纳物(RP)的上部向下壁(24)的方向按压的下方按压部(60)，盖体(3)当封闭容器主体开口部时，使下方按压部(60)将被收纳物(RP)的上部向下壁(24)的方向按压。

Description

基板收纳容器
技术领域
本发明涉及对中间掩膜(reticule pod)进行收纳、保管、搬运、输送等时使用的基板收纳容器。
背景技术
已知有用于对中间掩膜盒进行收纳并搬运等的容器，该中间掩膜盒用于收纳在半导体制造中使用的中间掩膜(例如参照专利文献1、专利文献2)。
容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的盒状的壁部。在容器主体内形成有盒收纳空间。盒收纳空间由壁部包围而形成，能够收纳中间掩膜盒。盖体能够相对于开口周缘部拆装，并能够封闭容器主体开口部。在容器主体的内部设置有用于将中间掩膜盒固定于容器主体的盒固定部件，在通过盒固定部件将中间掩膜盒相对于容器主体固定的状态下，容器收纳中间掩膜盒。
在以往的容器中收纳中间掩膜盒时，设为将盖体从容器主体的开口周缘部卸下的状态，将中间掩膜盒插入盒收纳空间，在通过固定部件将中间掩膜盒相对于容器主体固定之后，通过盖体封闭容器主体开口部。但是，优选更顺畅地进行这样的中间掩膜盒向容器收纳的步骤。
专利文献1：日本专利公开公报特开2018-30632号
专利文献2：美国专利申请公开第2018/0102269号说明书
发明内容
本发明目的在于提供一种能够更顺畅地进行中间掩膜盒向容器收纳的步骤的基板收纳容器。
本发明的基板收纳容器具备：容器主体，在内部形成有能够收纳被收纳物的盒收纳空间，在一端部具有形成有与所述盒收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；盖体，能够相对于所述开口周缘部拆装，且能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及密封部件，安装于所述盖体，能够与所述盖体和所述开口周缘部抵接，通过夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部和所述盖体紧密地抵接，与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部，所述容器主体具有壁部，该壁部具有后壁、上壁、下壁和一对侧壁，通过所述后壁封闭所述壁部的另一端部，通过所述上壁的一端部、所述下壁的一端部和所述侧壁的一端部形成所述容器主体开口部，在所述下壁设置有定位部，该定位部将所述被收纳物相对于所述容器主体定位，在所述上壁设置有下方按压部，该下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压，所述盖体当封闭所述容器主体开口部时，使所述下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压。
此外，优选所述盖体具有能够与所述下方按压部卡合的按压部被卡合部，当封闭所述容器主体开口部时，所述按压部被卡合部与所述下方按压部卡合，使所述下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压。
此外，优选所述盖体的所述按压部被卡合部以及与所述按压部被卡合部卡合的所述下方按压部的驱动部卡合部具有相互卡合的钩形状。
此外，优选所述下方按压部具备：前端部按压部，与所述被收纳物的上部抵接而将所述被收纳物向所述下壁的方向按压；按压部驱动部，与所述前端部按压部连结，能够伴随着所述盖体的移动而移动；以及施力部件，当所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，对所述按压部驱动部进行施力以使所述前端部按压部成为从被收纳物离开的状态。
此外，优选所述下方按压部具备：前端部按压部，与所述被收纳物的上部抵接而将所述被收纳物向所述下壁的方向按压；以及按压部驱动部，与所述前端部按压部连结，能够伴随着所述盖体的移动而移动，所述按压部驱动部当所述盖体向所述后壁的方向移动时，能够朝相对于水平方向成规定的角度的斜上方向移动。
此外，优选所述前端部按压部的上部由所述按压部驱动部向所述后壁的方向按压，由此，所述前端部按压部的下部从所述后壁侧向容器主体开口部侧移动并与所述被收纳物的上部抵接，将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压。
此外，优选构成所述壁部的材料由环烯烃聚合物构成。此外，优选具有能够将所述盒收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通的通气路。
根据本发明，能够提供一种能够更顺畅地进行中间掩膜盒向容器收纳的步骤的基板收纳容器。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的基板收纳容器1的主视图。
图2是表示本发明的一实施方式的基板收纳容器1的俯视图。
图3是表示在本发明的一实施方式的基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP固定于容器主体2的状态的侧方剖视图。
图4是表示在本发明的一实施方式的基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP固定于容器主体2的状态的剖面立体图。
图5是在表示本发明的一实施方式的基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP未固定于容器主体2的状态的侧方剖视图。
图6是表示在本发明的一实施方式的基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP未固定于容器主体2的状态的剖面立体图。
具体实施方式
以下，参照附图说明本实施方式的基板收纳容器1。
图1是表示基板收纳容器1的主视图。图2是表示基板收纳容器1的俯视图。图3是表示在基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP固定于容器主体2的状态的侧方剖视图(沿着图2的A-A线的侧方剖视图)。图4是表示在基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP固定于容器主体2的状态的剖面立体图(沿着图2的A-A线的剖面立体图)。
此处，为了便于说明，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(图2中的从上朝下的方向)定义为前方向D11，将其相反的方向定义为后方向D12，将它们合并起来定义为前后方向D1。此外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的上方向)定义为上方向D21，将其相反的方向定义为下方向D22，将它们合并起来定义为上下方向D2。此外，将从后述第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(图1中的从右朝左的方向)定义为左方向D31，将其相反的方向定义为右方向D32，将它们合并起来定义为左右方向D3。在主要的附图中图示了表示这些方向的箭头。
此外，收纳于基板收纳容器1的中间掩膜盒RP用于收纳一个或多个在半导体制造中为了进行曝光处理而使用的中间掩膜，如图3所示，中间掩膜盒RP的整体的外形形状为大致长方体形状，构成为中央部具有比周围的部分更厚的厚度的形状。
此外，基板收纳容器1的容器主体2能够与盖体3一起用于收纳基板，基板是圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝石晶片等，是在工业上使用的薄基板。本实施方式中的能够收纳于容器主体2和盖体3的基板是直径300mm的硅晶片。
即，如图1所示，基板收纳容器1的容器主体2和盖体3用作收纳具有基于SEMI规格的结构且由上述的硅晶片构成的基板并在工厂内的工序中搬运的工序内容器，或者用作通过陆运方式、空运方式、海运方式等的输送方式输送基板的发货容器。
容器主体2具有在一端部形成有容器主体开口部21且另一端部被封闭的筒状的壁部20。在容器主体2内形成盒收纳空间27。盒收纳空间27由壁部20包围而形成。在壁部20的部分且形成盒收纳空间27的部分，配置有作为定位部的盒载置部50和下方按压部60。如图3等所示，在盒收纳空间27能够收纳一个作为被收纳物的中间掩膜盒RP。在盒载置部50载置中间掩膜盒RP，从而该中间掩膜盒RP在盒收纳空间27中相对于容器主体2定位。下方按压部60将中间掩膜盒RP的上部朝盒载置部50的方向按压。
盖体3能够相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28(图1等)拆装，能够封闭容器主体开口部21。
基板收纳容器1由塑料材质等的树脂构成，作为该材料的树脂，例如可举出聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物这样的热塑性树脂和它们的合金等。在对这些成形材料的树脂赋予导电性的情况下，选择性地添加碳纤维、碳粉、碳纳米管、导电性聚合物等的导电性物质。此外，为了提高刚性也可以添加玻璃纤维、碳纤维等。在本实施方式中，容器主体2使用低吸水材料即COP(环烯烃聚合物)。此外，在容器主体2上施加有抗静电材料。
以下，对各部分进行详细说明。
如图1～图4所示，容器主体2的壁部20具有后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25和第二侧壁26。后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25和第二侧壁26由上述的材料构成，并一体成形而构成。
第一侧壁25与第二侧壁26对置，上壁23与下壁24对置。上壁23的后端、下壁24的后端、第一侧壁25的后端以及第二侧壁26的后端全部与后壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一侧壁25的前端以及第二侧壁26的前端构成开口周缘部28，该开口周缘部28形成呈大致长方形状的容器主体开口部21。
开口周缘部28设置于容器主体2的一端部，后壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形为箱状。壁部20的内表面、即后壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第一侧壁25的内表面以及第二侧壁26的内表面形成由它们包围的盒收纳空间27。形成于开口周缘部28的容器主体开口部21与由壁部20包围且形成于容器主体2的内部的盒收纳空间27连通。
在上壁23和下壁24的部分且开口周缘部28的附近的部分，形成有朝向盒收纳空间27的外侧凹陷的未图示的闩锁卡合凹部。闩锁卡合凹部在上壁23和下壁24的左右两端部附近各形成1个，共计形成4个。
如图1所示，在上壁23的外表面，与上壁23一体成形地设置有肋235。肋235提高容器主体2的刚性。此外，在上壁23的中央部固定有顶部凸缘236。顶部凸缘236是在AMHS(自动晶片输送系统)、PGV(晶片基板输送台车)等中悬吊基板收纳容器1时成为在基板收纳容器1中被勾挂而悬吊的部分的部件。
如图3所示，在下壁24固定有底板244。底板244具有与构成下壁24的外表面的下表面的大致整个面对置配置的大致长方形状的板状，固定于下壁24。
在下壁24的四角形成有两个种类的贯通孔亦即未图示的供气孔和排气孔。在本实施方式中，下壁24的前部的2处贯通孔是用于将容器主体2的内部的气体排出的排气孔，后部的2处贯通孔是用于向容器主体2内部供给气体的供气孔。
在作为供气孔的贯通孔中配置有作为附加部件的未图示的供气用过滤部，在作为排气孔的贯通孔中配置有未图示的排气用过滤部。即，供气用过滤部和排气用过滤部内部的气体的流路构成能够将盒收纳空间27与容器主体2外部的空间连通的通气路的一部分。此外，供气用过滤部和排气用过滤部配置于壁部20，在供气用过滤部和排气用过滤部中，气体能够通过容器主体2的外部的空间与盒收纳空间27之间。供气用过滤部构成为与气体喷出喷嘴部8的内部空间连通，通过气体喷出喷嘴部8的内部空间供给到供气用过滤部的吹扫气体向盒收纳空间27供给。
盒载置部50具有在中央部分形成有贯通孔的板形状，固定于下壁24。盒载置部50具有向上方突出的凸部52，以贯通盒载置部50的凸部52的部分的方式设置共计3个销部件基部53。另外，在图3、图4中，分别仅呈现1个销部件基部53。
在销部件基部53的上部以覆盖销部件基部53的上部的方式设置有运动销(kinematic pin)55。运动销55从凸部52向上方向突出，共计设置3个。另外，在图3、图4中，分别仅呈现1个运动销55。如图3等所示，在盒载置部50载置中间掩膜盒RP，通过在形成于中间掩膜盒RP的底面的运动销卡合槽中卡合运动销55，中间掩膜盒RP相对于容器主体2被定位。在运动销55上施加有抗静电材料，与如上所述在容器主体2上施加有抗静电材料相结合，构成为使静电从中间掩膜盒RP的内部的中间掩膜通过。
在上壁23固定设置有按压部支承部61。在按压部支承部61固定有板簧611。板簧611的上部固定于按压部支承部61，板簧611朝下方向延伸，在中途朝后方向直角折弯，板簧611的前端部具有朝下方向D22突出的前端凸部6111。在按压部支承部61支承有下方按压部60，下方按压部60具备前端部按压部63、按压部驱动部64、作为施力部件的未图示的弹簧。
前端部按压部63由滑动性和耐磨损性高的超高分子量PE(聚乙烯)树脂构成，具有大致四棱柱形状。在前端部按压部63的上端部形成有贯通孔，销部件612贯通于贯通孔。从比贯通孔靠下端部的前端部按压部63的部分，形成有沿着前端部按压部63的长边方向延伸的长孔632，构成按压部支承部61的销部件613贯通长孔632。销部件613能够在长孔632中相对地移动，由此，前端部按压部63能够以销部件613作为旋转轴转动且能够相对于销部件613滑动。前端部按压部63的下端部具有能够与中间掩膜盒RP的上部抵接的板状抵接部615。板状抵接部615与中间掩膜盒RP的上部抵接，前端部按压部63将中间掩膜盒RP朝下壁24的方向按压。
按压部驱动部64由滑动性和耐磨损性高的超高分子量PE(聚乙烯)树脂构成，具有大致四棱柱形状。在按压部驱动部64的后端部形成有贯通孔，贯通前端部按压部63的上端部的销部件612贯通于贯通孔。由此，按压部驱动部64相对于前端部按压部63能够转动地连结。从比贯通孔靠前方向的按压部驱动部64，形成有沿着按压部驱动部64的长边方向延伸的长孔642，构成按压部支承部61的两个销部件616贯通长孔642。销部件616能够在长孔642中相对地移动，由此，按压部驱动部64能够相对于销部件616朝相对于与水平方向平行的前后方向D1成规定的角度倾斜的斜上方向滑动。
在按压部驱动部64的上部形成有前侧凹部644和后侧凹部645。通过板簧611的前端凸部6111与前侧凹部644卡合，如图3所示，按压部驱动部64在前端部按压部63的板状抵接部615与中间掩膜盒RP上部抵接而将中间掩膜盒RP朝下壁24的方向按压的位置处，被临时固定成不能沿着大致前后方向D1移动。此外，通过板簧611的前端凸部6111与后侧凹部645卡合，如图5所示，按压部驱动部64在前端部按压部63的板状抵接部615从中间掩膜盒RP的上部朝后斜上侧离开而能够相对于盒载置部50载置或卸下中间掩膜盒RP的位置处，被临时固定成不能沿着大致前后方向D1移动。
另外，在图5、图6等的剖面图中，省略了中间掩膜盒RP的剖面的图示。
更具体而言，如后所述，在盖体3朝后壁22的方向移动时，按压部驱动部64能够伴随着该移动而朝相对于水平方向成规定的角度的斜上方向移动。按压部驱动部64的前端部具有构成驱动部卡合部的钩形状部647。
未图示的弹簧以使前端部按压部63成为从中间掩膜盒RP离开的状态的方式，更具体而言，以使按压部驱动部64朝大致前方向D11移动的方式，与按压部驱动部64卡合而设置，对按压部驱动部64施力。
如图1等所示，盖体3具有与容器主体2的开口周缘部28的形状大致一致的大致长方形状。盖体3能够相对于容器主体2的开口周缘部28拆装，通过在开口周缘部28安装盖体3，盖体3能够封闭容器主体开口部21。在盖体3的内表面(图1所示的盖体3的里侧的面)、且是与盖体3封闭容器主体开口部21时在紧随开口周缘部28的后方向D12的位置形成的台阶的部分的面(密封面281)对置的面，安装有环状的密封部件4。密封部件4由能够弹性变形的聚酯类、聚烯烃类等各种热塑性弹性体、氟橡胶制品、硅橡胶制品等构成。密封部件4配置成围绕盖体3的外周边缘部一周。
当将盖体3安装于开口周缘部28时，密封部件4由密封面281和盖体3的内表面夹持而弹性变形，盖体3将容器主体开口部21以密闭的状态封闭。通过从开口周缘部28卸下盖体3，能够相对于容器主体2内的盒收纳空间27存取中间掩膜盒RP。
在盖体3中设置有闩锁机构。闩锁机构设置于盖体3的左右两端部附近，如图5所示，具备能够从盖体3的上边向上方向D21突出的两个上侧闩锁部32A、以及能够从盖体3的下边向下方向D22突出的两个下侧闩锁部32B。两个上侧闩锁部32A、32A配置在盖体3的上边的左右两端附近，两个下侧闩锁部32B、32B配置在盖体3的下边的左右两端附近。
如图1等所示，在盖体3的外表面设置有操作部33。通过从盖体3的前侧操作操作部33，能够使上侧闩锁部32A、下侧闩锁部32B从盖体3的上边、下边突出，此外，能够形成为使之不从上边、下边突出的状态。通过上侧闩锁部32A从盖体3的上边向上方向D21突出，并与容器主体2的未图示的闩锁卡合凹部卡合，且通过下侧闩锁部32B从盖体3的下边向下方向D22突出，并与容器主体2的未图示的闩锁卡合凹部卡合，由此，将盖体3固定于容器主体2的开口周缘部28。
在盖体3的内侧形成有向盒收纳空间27的外侧凹陷的凹部301。在凹部301固定设置有按压部被卡合部303。
按压部被卡合部303固定于盖体3的上部的凹部301的部分。如图5所示，按压部被卡合部303由在前后方向D1具有厚度的部件构成，按压部被卡合部303的下端部具有构成按压部被卡合部303的钩形状部304。按压部被卡合部303的钩形状部304能够与按压部驱动部64的钩形状部647卡合。
以下对向以上结构的基板收纳容器1收纳中间掩膜盒RP的情况进行说明。
图5是表示在基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP未固定于容器主体2的状态的侧方剖视图。图6是表示在基板收纳容器1中，中间掩膜盒RP未固定于容器主体2上的状态的剖面立体图。
首先，将盖体3设为从形成容器主体开口部21的开口周缘部28卸下的状态。接着，将中间掩膜盒RP向盒收纳空间27插入，通过使运动销55的前端部与形成于中间掩膜盒RP的底面的运动销卡合槽卡合，将中间掩膜盒RP相对于容器主体2定位。
接下来，使盖体3接近容器主体2。于是，如图5、图6所示，按压部被卡合部303的钩形状部304与按压部驱动部64的钩形状部647卡合。然后，当进一步使盖体3接近容器主体2时，按压部驱动部64被盖体3按压，按压部驱动部64克服未图示的弹簧的作用力向大致后方向D12移动，伴随于此，前端部按压部63的上部被按压部驱动部64向后壁22的方向按压，由此，前端部按压部63的下部从后壁22侧向容器主体开口部21侧移动，与中间掩膜盒RP的上部抵接，将中间掩膜盒RP的上部向下壁24的方向按压。由此，在中间掩膜盒RP成为固定于容器主体2的状态的同时，容器主体开口部21被盖体3封闭。然后，通过操作盖体3的操作部33，使上侧闩锁部32A、下侧闩锁部32B与容器主体2的未图示的闩锁卡合凹部卡合，将盖体3固定于容器主体2的开口周缘部28。
当从基板收纳容器1取出中间掩膜盒RP时，首先，通过操作盖体3的操作部33，将上侧闩锁部32A、下侧闩锁部32B设为不与容器主体2的未图示的闩锁卡合凹部卡合的状态。接着，使盖体3从容器主体开口部21离开。伴随于此，按压部被卡合部303的钩形状部304与按压部驱动部64的钩形状部647卡合，因此，按压部驱动部64被盖体3拖拽，朝相对于前方向D11成规定的角度的下方向倾斜移动。然后，当盖体3从容器主体2的开口周缘部28离开规定的距离以上时，盖体3水平地朝前方向D11移动，因此，按压部驱动部64的钩形状部647位于相比按压部被卡合部303的钩形状部304靠下侧的位置，按压部驱动部64的钩形状部647与按压部被卡合部303的钩形状部304的卡合被解除，盖体3成为从按压部驱动部64分离的状态，将盖体3从容器主体2卸下。
根据上述结构的本实施方式所涉及的基板收纳容器1，能够得到以下的效果。
如上所述，在下壁24设置有作为定位部的盒载置部50，该盒载置部50将作为被收纳物的中间掩膜盒RP相对于容器主体2定位，在上壁23设置有将中间掩膜盒RP的上部向下壁24的方向按压的下方按压部60，盖体3当封闭容器主体开口部21时，使下方按压部60将中间掩膜盒RP的上部向下壁24的方向按压。
根据上述结构，通过利用盖体3封闭容器主体开口部21，能够容易地将中间掩膜盒RP固定于容器主体2，能够更顺畅地进行中间掩膜盒RP向基板收纳容器1收纳的步骤。此外，由于在基板收纳容器1中收纳中间掩膜盒RP，因此能抑制在中间掩膜盒RP的外表面附着颗粒。其结果是，当从中间掩膜盒RP取出中间掩膜时，能够抑制颗粒附着于中间掩膜使致使该中间掩膜被污染，从而能够抑制晶片的电路不良的产生。特别是近年来，设计规则精细化，需要更严格地进行颗粒管理，对此也能够充分地应对。
此外，由于使用基板收纳容器1作为收纳中间掩膜盒RP的容器，所以作为收纳中间掩膜盒RP的容器的尺寸也适合，用于搬运基板收纳容器1的自动搬运装置也标准地存在，因此能够顺畅地投入到搬运中间掩膜盒RP的工序中。
此外，盖体3具有能够与下方按压部60卡合的按压部被卡合部303，当容器主体开口部21封闭时，按压部被卡合部303与构成下方按压部60的按压部驱动部64的钩形状部647卡合，使下方按压部60将作为被收纳物的中间掩膜盒RP的上部向下壁24的方向按压。并且，盖体3的按压部被卡合部303以及与按压部被卡合部303卡合的下方按压部60的驱动部卡合部具有彼此相互卡合的钩形状部304、647。根据该结构，伴随着盖体3的移动，能够通过下方按压部60的前端部按压部63按压中间掩膜盒RP。
此外，下方按压部60具备作为施力部件的未图示的弹簧，当盖体3未封闭容器主体开口部21时，该弹簧对按压部驱动部64施力以使前端部按压部63成为从中间掩膜盒RP离开的状态。根据该结构，当中间掩膜盒RP未收纳于容器主体2且盖体3未封闭容器主体开口部21时，能够使前端部按压部63位于从中间掩膜盒RP离开的状态的位置，换言之，能够相对于盒载置台载置中间掩膜盒RP的状态的位置。
此外，按压部驱动部64当盖体3向后壁22的方向移动时，能够朝相对于水平方向成规定的角度的斜上方向移动。根据该结构，当使盖体3向后壁22的方向移动时，按压部被卡合部303的钩形状部304能够与按压部驱动部64的钩形状部647卡合。此外，在使盖体3向容器主体开口部21的方向移动时，能够使按压部被卡合部303的钩形状部304与按压部驱动部64的钩形状部647的卡合自动地解除。
然后，通过前端部按压部63的上部由按压部驱动部64向后壁22的方向按压，前端部按压部63的下部从后壁22侧向容器主体开口部21侧移动，与中间掩膜盒RP的上部抵接，将中间掩膜盒RP的上部向下壁24的方向按压。根据该结构，当从开口周缘部28卸下盖体3时，能够成为能够容易地将中间掩膜盒RP载置于盒载置部50的状态。
此外，构成壁部20的材料由环烯烃聚合物构成。根据该结构，能够抑制水分从作为低吸水材料的COP向盒收纳空间的内部放出，能够抑制盒收纳空间内的湿度上升。
此外，具有能够将盒收纳空间27与容器主体2的外部空间连通的通气路。根据该结构，能够通过吹扫气体吹扫盒收纳空间27的气体。
本发明并不限定于上述的实施方式，能够在权利要求所记载的范围内进行各种变形。
例如，在本实施方式中，容器主体、盖体分别由能够收纳直径300mm的硅晶片的基板收纳容器的容器主体2、盖体3构成，但是并不限定于此。只要能够收纳中间掩膜盒RP便可以是任何容器，例如可以由模仿基板收纳容器的结构的容器、即在一端部形成有与盒收纳空间连通的容器主体开口部且另一端部被封闭的结构的容器构成。
此外，在本实施方式中，被收纳物为中间掩膜盒RP，但是并不限定于此。
此外，基板收纳容器的各部的结构并不限定于本实施方式中的基板收纳容器1的各部的结构。
此外，在本实施方式中，下壁24的前部的2处贯通孔是用于排出容器主体2的内部的气体的排气孔，后部的2处贯通孔是用于向容器主体2的内部供给气体的供气孔，但是并不限定于该结构。例如，也可以将下壁的前部的2处贯通孔中的至少1个设为用于向容器主体内部供给气体的供气孔。
附图标记说明：
1：基板收纳容器；2：容器主体；3：盖体；4：密封部件；20：壁部；21：容器主体开口部；22：后壁；23：上壁；24：下壁；25：第一侧壁；26：第二侧壁；27：盒收纳空间；28：开口周缘部；50：盒载置部(定位部)；60：下方按压部；61：按压部支承部；63：前端部按压部；64：按压部驱动部；304：钩形状部；615：板状抵接部；647：钩形状部；RP：中间掩膜盒。

Claims (8)

1.一种基板收纳容器，其特征在于，
所述基板收纳容器具备：
容器主体，在内部形成有能够收纳被收纳物的盒收纳空间，在一端部具有形成有与所述盒收纳空间连通的容器主体开口部的开口周缘部；
盖体，能够相对于所述开口周缘部拆装，且能够以由所述开口周缘部包围的位置关系封闭所述容器主体开口部；以及
密封部件，安装于所述盖体，能够与所述盖体和所述开口周缘部抵接，通过夹设在所述开口周缘部与所述盖体之间并与所述开口周缘部和所述盖体紧密地抵接，与所述盖体一起封闭所述容器主体开口部，
所述容器主体具有壁部，该壁部具有后壁、上壁、下壁和一对侧壁，通过所述后壁封闭所述壁部的另一端部，通过所述上壁的一端部、所述下壁的一端部和所述侧壁的一端部形成所述容器主体开口部，
在所述下壁设置有定位部，该定位部将所述被收纳物相对于所述容器主体定位，
在所述上壁设置有下方按压部，该下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压，
所述盖体当封闭所述容器主体开口部时，使所述下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述盖体具有能够与所述下方按压部卡合的按压部被卡合部，当封闭所述容器主体开口部时，所述按压部被卡合部与所述下方按压部卡合，使所述下方按压部将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压。
3.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述盖体的所述按压部被卡合部以及与所述按压部被卡合部卡合的所述下方按压部的驱动部卡合部具有相互卡合的钩形状。
4.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述下方按压部具备：
前端部按压部，与所述被收纳物的上部抵接而将所述被收纳物向所述下壁的方向按压；
按压部驱动部，与所述前端部按压部连结，能够伴随着所述盖体的移动而移动；以及
施力部件，当所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，对所述按压部驱动部进行施力以使所述前端部按压部成为从被收纳物离开的状态。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述下方按压部具备：
前端部按压部，与所述被收纳物的上部抵接而将所述被收纳物向所述下壁的方向按压；以及
按压部驱动部，与所述前端部按压部连结，能够伴随着所述盖体的移动而移动，
所述按压部驱动部当所述盖体向所述后壁的方向移动时，能够朝相对于水平方向成规定的角度的斜上方向移动。
6.根据权利要求5所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述前端部按压部的上部由所述按压部驱动部向所述后壁的方向按压，由此，所述前端部按压部的下部从所述后壁侧向容器主体开口部侧移动并与所述被收纳物的上部抵接，将所述被收纳物的上部向所述下壁的方向按压。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
构成所述壁部的材料由环烯烃聚合物构成。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
具有能够将所述盒收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通的通气路。
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