JP7453822B2 - 基板収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、基板収納容器に関する。

液晶パネル用ガラス基板等を扱う半導体の製造工程では、基板（例えば、ウェーハ、パネル等）を所定の工程から別の工程に搬送する際や、基板を保管する際に、基板収納容器が用いられている。基板収納容器には、その内部に複数の基板を一定の間隔を置いて上下方向に重ねて収納するもの等がある。そして、半導体の製造工程では、空気中の微粒子（パーティクル）等から基板を保護するために、基板を外気に接触させずに自動搬送装置等によって搬送する。また、ロードポート（ＬＰ）等によって基板を容器内から搬出入する。このように、半導体製造では、基板収納容器を用いたオートメーション化が行われている。かかる基板収納容器としては、例えば、前開式基板収納容器（ＦＯＵＰ；Front Opening Unified Pod）が用いられている。

このような基板収納容器は、容器内部を低湿度に維持する目的等のために、窒素ガス等の不活性ガス、又はドライエア等によって容器内を置換する（ガスパージ）。通常、このようなガスパージは、基板収納容器の底部等に給気バルブ及び排気バルブ等のバルブ体等を設け、そこから置換ガスを容器本体の内部に導入し、外部に排出することによって管理される（例えば、特許文献１）。

特許第６１６５６５３号公報

しかしながら、ロードポート（ＬＰ）等の外部装置のノズルを基板収納容器のバルブ体に接続又は離間する過程において、ノズルがバルブ体に接触することによって、基板収納容器全体が浮き上がったり、振動したりする場合がある。これにより、基板収納容器の内部において、微粒子の発塵及び基板の位置ずれ等を引き起こしてしまう。かかる不具合は、半導体製品について製品不良の原因となる。

本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、外部装置等のノズルの着脱時における基板収納容器の浮き上がりや振動を抑制できる、基板収納容器を提供することを主な目的とする。

本発明者は、上述した目的を達成するために鋭意検討した結果、基板を収納する基板収納容器であって、開口を介して基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉塞する蓋体と、容器本体への気体の流れ、又は容器本体からの気体の流れを制御する、バルブ体と、を備え、バルブ体は、気体の通気がなされる通気孔が形成されたバルブ本体と、バルブ本体を保持し、容器本体と接続する接続部を有する、バルブ保持部と、バルブ本体及びバルブ保持部の間に配置され、バルブ本体及びバルブ保持部と当接している、可撓性の接続部材と、を含む、基板収納容器とすることに知見を得て、本発明を完成させるに至った。

すなわち、本発明は以下のとおりである。

（１）
基板を収納する基板収納容器であって、開口を介して基板を収納する容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉塞する蓋体と、前記容器本体への気体の流れ、又は前記容器本体からの気体の流れを制御する、バルブ体と、を備え、前記バルブ体は、前記気体の通気がなされる通気孔が形成されたバルブ本体と、前記バルブ本体を保持し、前記容器本体と接続する接続部を有する、バルブ保持部と、前記バルブ本体及び前記バルブ保持部の間に配置され、前記バルブ本体及び前記バルブ保持部と当接している、可撓性の接続部材と、を含む、基板収納容器である。
（２）
前記バルブ保持部は、別体に形成された、内筒部と、外筒部と、を含み、前記内筒部及び前記外筒部は、前記外筒部の内壁と、前記内筒部の外壁とが当接するように互いに組み合わされる、（１）の基板収納容器である。
（３）
前記バルブ本体は、その外周面に溝部を有し、前記接続部材は、前記バルブ本体の前記溝部に嵌め込まれることによって、前記バルブ本体及び前記バルブ保持部の間に配置される、（１）又は（２）の基板収納容器である。
（４）
前記バルブ保持部は、その内周面に溝部を有し、前記接続部材は、前記バルブ保持部の前記溝部に嵌め込まれることによって、前記バルブ本体及び前記バルブ保持部の間に配置される、（１）～（３）のいずれかの基板収納容器である。
（５）
前記バルブ本体は、別体に形成された、第一の筒体と、第二の筒体と、を含み、前記第一の筒体及び前記第二の筒体は、前記バルブ本体及び前記接続部材の当接境界の少なくとも一部を含む面を、前記第一の筒体及び前記第二の筒体の接合面として、互いに組み合わされる、（１）～（４）のいずれかの基板収納容器である。
（６）
前記バルブ本体は、別体に形成された、第一の筒体と、第二の筒体と、を含み、かつ、前記バルブ保持部は、別体に形成された、内筒部と、外筒部と、を含み、前記接続部材の前記バルブ本体に当接する部分は、前記第一の筒体及び前記第二の筒体により挟み込まれ、かつ、前記接続部材の前記バルブ保持部に当接する部分は、前記内筒部及び前記外筒部により挟み込まれることによって、前記接続部材は、前記バルブ本体及び前記バルブ保持部の間に配置されている、（１）～（５）のいずれかの基板収納容器である。
（７）
前記バルブ保持部は、その内周面に、前記バルブ本体を受け止め可能なストッパを有する、（１）～（６）のいずれかの基板収納容器である。

本発明によれば、外部装置等のノズルの着脱による基板収納容器の浮き上がりや振動を抑制できる、基板収納容器を提供することができる。

図１は、第１の実施形態に係る基板収納容器の斜視図である。 図２は、第１の実施形態に係る基板収納容器の底面図である。 図３は、図１の容器本体の斜視図である。 図４は、第１の実施形態に係る基板収納容器のバルブ本体の上面図である。 図５は、第１の実施形態に係る基板収納容器のバルブ本体の側面図である。 図６は、第１の実施形態に係る基板収納容器のバルブ本体の底面図である。 図７は、図４のＡ－Ａ´線におけるバルブ本体の断面斜視図である。 図８は、図７のバルブ本体に下方から力が加わった状態を示す断面斜視図である。 図９は、第１の実施形態に係る基板収納容器にノズルを接続する状態を示す断面模式図である。 図１０は、第１の実施形態に係る基板収納容器にノズルを接続した状態を示す断面模式図である。 図１１は、第２の実施形態に係る基板収納容器のバルブ本体付近の断面模式図である。

以下、図面を参照しながら本発明を実施するための形態（以下、単に「本実施形態」という。）について詳細に説明する。以下の本実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明を以下の内容に限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨の範囲内で適宜に変形して実施できる。

なお、図面中、同一要素には同一符号を付すこととし、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。さらに、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。

さらに、本明細書において、「略」を付した用語は、当業者の技術常識の範囲内でその「略」を除いた用語の意味を示すものであり、「略」を除いた意味自体をも含むものとする。

以下、本実施形態に係る基板収納容器の一例について説明する。

図１は、第１の実施形態に係る基板収納容器の斜視図である。図２は、第１の実施形態に係る基板収納容器の底面図である。図３は、図１の容器本体の斜視図である。

基板収納容器１は、容器本体１０と、蓋体２０と、バルブ体３０と、を備えており、容器本体１０に形成された開口Ｈから、基板Ｗ（例えば、ウェーハ、パネル等）の出し入れを行う。そして、図示しないが、通常、基板収納容器１の開閉及び搬送等の操作は、ロードポート（ＬＰ）やロボットアーム等によって行われる。

基板Ｗの形状は、特に限定されず、例えば、矩形状、円形状等であってもよい。矩形状の基板である場合、その大きさは特に限定されないが、例えば、２５０ｍｍ×２５０ｍｍ～６５０ｍｍ×６５０ｍｍのものが挙げられる。また、キャリアパネルの寸法である６２５ｍｍ×６１５ｍｍや、封止パネルの寸法である６００ｍｍ×６００ｍｍ等のものが挙げられる。そして、円形状の基板である場合、その大きさは特に限定されないが、例えば、７７５μｍの厚さを有するφ３００ｍｍのシリコンウェーハ等が挙げられる。

容器本体１０は、その前面に開口Ｈが設けられており、底面、天面、左側面、右側面、及び背面によって構成されている。開口Ｈは、底面、天面、左側面、及び右側面によって囲まれた領域である。なお、特に断りがない限り、前方とは、容器本体１０の背面から開口Ｈに向かった水平方向をいい、後方とは、前方の逆方向をいう。そして、上方とは、容器本体１０の底面から天面に向かった垂直方向をいい、下方とは、上方の逆方向をいう。また、右（方向）とは、容器本体１０の背面から開口Ｈに向かって右側の方向をいい、左（方向）とは、容器本体１０の背面から開口Ｈに向かって左側の方向をいう。

容器本体１０は、その左右側面の内壁に、基板Ｗを収納するための基板載置部１６がそれぞれ設けられている。また、必要に応じて、背面の内壁にリアサポート（不図示）を設けていてもよい。基板載置部１６及びリアサポートは、垂直方向に所定のピッチ間隔で配列されている。これにより、複数枚の基板Ｗを、容器本体１０の内部に、略水平に収納できるとともに、垂直方向に所定の間隔で整列配置することができる。そして、基板Ｗの出し入れの際には、ロードポート（ＬＰ）等の外部装置に容器本体１０が搭載されたりする。基板載置部１６及びリアサポートは、例えば、樹脂等によって形成することができる。ここでは、一例として、基板載置部１６及びリアサポートを設けた形態を説明したが、本実施形態では、リアサポートは、設けなくてもよい。

そして、容器本体１０の天面には搬送用のロボティックフランジ１１が設けられていてもよい。また、容器本体１０の外壁には、グリップ部１２が設けられていてもよい。例えば、人がこのグリップ部１２を手で把持することによって、基板収納容器１を搬送することができる。あるいは、容器搬送装置等のロボットアーム等がこのグリップ部１２を把持することによって、基板収納容器１を搬送する構成であってもよい。ここでは、一例として、ロボティックフランジ１１及びグリップ部１２を設けた形態を説明したが、本実施形態では、これらは設けなくてもよい。また、これらを設ける場合であっても、その取り付け位置は、図示した場所に限定されるものではなく、適宜好適な場所に設けることができる。

容器本体１０の底面には、ボトムプレート１３が設けられていてもよい。また、容器本体１０の底面には、給気を行うバルブ体（給気バルブ体）３０が２個、排気を行うバルブ体（排気バルブ体）４０が２個、それぞれ取り付けられている（以下、給気バルブ体及び排気バルブ体を、あわせて「バルブ体」と総称することがある。）。給気バルブ体３０は、容器本体１０の給気孔１４に対応するように、排気バルブ体４０は、容器本体１０の排気孔１５に対応するように、それぞれ取り付けられる。このように、バルブ体３０，４０は、容器本体の開口部（給気孔１４、排気孔１５）に取り付けることができる。

また、蓋体２０は、容器本体１０の開口Ｈを閉塞する。蓋体２０には、開口Ｈを閉塞する内表面に、基板Ｗを押さえるためのリテーナ（不図示）を備えていてもよい。

稼働時には、給気バルブ体３０に外部装置の給気用ノズル（例えば、パージ用ノズル等）を接続し、排気バルブ体４０に外部装置の排気用ノズルを接続する。そして、給気バルブ体３０及び給気孔１４を介して、基板収納容器１の内部に気体（例えば、窒素ガス等の不活性ガス、又は空気等のガス）を導入することができる。また、排気バルブ体４０及び排気孔１５を介して、基板収納容器１の内部に存在するガスを外部に排出することができる。

図２では、容器本体１０に、２個の給気バルブ体３０及び２個の排気バルブ体４０を取り付けている態様を例示したが、本実施形態では、給気バルブ体３０及び排気バルブ体４０の個数は限定されない。また、給気バルブ体３０及び排気バルブ体４０を取り付ける位置についても限定されない。給気バルブ体３０及び排気バルブ体４０の個数及び取り付け位置はガスパージの効果及びガスの流量等を考慮して決定することができる。

容器本体１０、蓋体２０、並びに給気バルブ体３０及び排気バルブ体４０は、樹脂組成物を含有する成形材料により構成することができる。例えば、射出成形により部品が成形され、これらの部品の組み合わせから構成されてもよい。樹脂組成物の樹脂としては、特に限定されないが、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、環状ポリオレフィン、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、液晶ポリマー等の熱可塑性樹脂、及びこれらのアロイ等が挙げられる。

あるいは、給気バルブ体３０及び排気バルブ体４０の材料として、ポリエステル系のエラストマー、ポリウレタン系エラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、ポリエーテル系熱可塑性エラストマー、ポリスチレン系エラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマー等からなる熱可塑性のエラストマー；フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴム；等の弾性材等を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウム等からなる充填剤；ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。

樹脂組成物は、必要に応じて、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電物質、アニオン系、カチオン系、非イオン系等の各種帯電防止剤等を含有していてもよい。また、樹脂組成物は、必要に応じて、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系等の紫外線吸収剤を含有していてもよい。さらに、樹脂組成物は、剛性を向上させる目的で、ガラス繊維、炭素繊維等を含有していてもよい。

容器本体１０は、正面が開口したフロントオープンボックスタイプであり、正面の開口Ｈを略水平横方向に向けた状態で半導体製造工場の天井搬送機構等に把持して工程間を搬送させてもよい。あるいは、半導体加工装置に付属するロードポート（ＬＰ）上に位置決めして搭載させてもよい。

続いて、バルブ体（給気バルブ体３０及び排気バルブ体４０）について説明する。給気バルブ体３０は、容器本体１０へのガスの流れを制御するバルブとして機能し、排気バルブ体４０は、容器本体１０からのガスの流れを制御する。以下では、一例として給気バルブ体３０の構成を説明するが、かかる構成は排気バルブ体４０にも適用することができる。すなわち、基板収納容器１に用いられる給気バルブ体３０及び排気バルブ体４０の少なくとも１つは、以下に示す構成を有する。

図４は、第１の実施形態に係る基板収納容器のバルブ本体の上面図である。図５は、第１の実施形態に係る基板収納容器のバルブ本体の側面図である。図６は、第１の実施形態に係る基板収納容器のバルブ本体の底面図である。そして、図７は、図４のＡ－Ａ´線におけるバルブ本体の断面斜視図であり、図８は、図７のバルブ本体に下方から力が加わった状態を示す断面斜視図である。

バルブ体３０は、バルブ本体３１と、バルブ保持部３２と、可撓性を有する接続部材３３と、を含む。接続部材３３は、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２の間に配置され、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２と当接している。詳細は後述するが、接続部材３３をこのように配置することにより、外部装置等のノズルＮ（例えば、図９、図１０参照）の着脱による基板収納容器１の浮き上がりや振動を抑制できる。

バルブ体３０は、バルブ保持部３２の外周面に、Ｏリング３４が環装されている。このＯリング３４によって、容器本体１０と係止することができる。このＯリング３４は、例えば、内筒部３２１と外筒部３２２とによって挟持されることによって、バルブ体３０に取り付けることができる。さらに、Ｏリング３４はシール部材として機能することができ、バルブ体３０の気密性を向上させることができる。

バルブ体３０は、ガスの通気がなされる通気孔ｈが形成されたバルブ本体３１と、このバルブ本体３１を保持し、容器本体１０と接続する接続部３２１ｊ，３２２ｊを有するバルブ保持部３２と、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２の間に配置され、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２と当接している、可撓性の接続部材３３と、を含む。

バルブ本体３１は、接続部材３３を備えることによって、外部装置のノズルＮ（図９、図１０等参照）の着脱時に、バルブ本体３１に弾性的に付勢することができる。ここでは、弾性体の一例として接続部材３３を用いる場合を示したが、本実施形態はこれに限定されず、例えば、コイルバネ等であってもよい。

また、図示はしないが、バルブ本体３１は、ガスの逆流を防止するよう作動する逆止弁（チェックバルブ）を有する。逆止弁は、上支持部３６及び下支持部３７の中央部にガスを通気させる通気孔ｈを設け、この通気孔ｈを覆うように板バネ体３５が係合され、バルブ本体３１に配置される。さらに、バルブ体３０は、基板収納容器１にパーティクルの侵入を防止するためのフィルタ（不図示）を備えていてもよい。フィルタを使用する場合、その材質、種類、形状等は、特に限定されず、公知のものを使用することができる。例えば、大気中のパーティクル粒子を除去可能なフィルタ（例えば、ＨＥＰＡフィルタ、準ＨＥＰＡフィルタ、ＵＬＰＡフィルタ等）を使用することができる。

給気バルブ体３０である場合、バルブ内のガスの通気方向は、容器本体１０の外部から内部に向けた方向であるから、容器本体１０の内部から外部に向けて逆流しないように逆止弁を機能させればよい。

排気バルブ体４０である場合、逆止弁が作動する方向を、給気バルブ体３０と逆にすればよい。排気バルブ体４０のバルブ内のガスの通気方向は、容器本体１０の内部から外部に向けた方向であるから、容器本体１０の外部から内部に向けて逆流しないように逆止弁を機能させればよい。その他については、給気バルブ体３０と同様の構成を取ってもよい。

バルブ本体３１及びバルブ保持部３２の間には、隙間が形成されていてもよい。かかる隙間を設けることで、両部材の間に遊びを確保することができる。これによって、外部装置のノズルＮ（図９、図１０等参照）と接続した際に、ノズルＮの動きに追従することができる。かかる隙間を形成するためには、例えば、図７に示すように、バルブ本体３１の外周面が先細りになるテーパ面であるようにしてもよい。

バルブ保持部３２は、バルブ本体３１を収納する。バルブ保持部３２は、別体に形成された、内筒部３２１と外筒部３２２とを含み、内筒部３２１及び外筒部３２２は、外筒部３２２の内壁と、内筒部３２１の外壁とが当接するように互いに組み合わされていることが好ましい。本実施形態では、外筒部３２２の内壁の少なくとも一部が、内筒部３２１の外壁の少なくとも一部と当接していればよいが、バルブ体３０の強度及び気密性等を一層向上させる観点から、外筒部３２２の内周面の少なくとも一部と、内筒部３２１の外周面の少なくとも一部とが、面で接するように組み合わされていることが好ましい。面で接するように組み合わされている態様としては、例えば、ネジ式等が挙げられる。かかるネジ式の場合、ネジ部のネジ面と座部の座面とが互いに面で接することにより組み合わせることができる。例えば、内筒部３２１がネジ部であり、外筒部３２２が座部であるネジ式構造であることが好ましい。

バルブ保持部３２は、その内周面に、バルブ本体３１を受け止め可能なストッパ３２２ｓを有することが好ましい。ストッパ３２２ｓを設けることにより、バルブ本体３１に外部から力が加わった際に、バルブ本体３１がバルブ保持部３２から外れてしまい、脱落すること等を防止することができる。

接続部材３３は、バルブ本体３１と当接していればよく、バルブ本体３１との固定手段は特に限定されない。例えば、バルブ本体３１の溝部３１１を設けることによる嵌合、接着剤等による接着、熱融着等であってもよいが、バルブ本体３１の溝部３１１を設けることによる嵌合が好ましい。例えば、バルブ本体３１は、その外周面に溝部３１１を有し、接続部材３３は、バルブ本体３１の溝部３１１に嵌め込まれることによって、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２の間に配置されていることが好ましい。バルブ本体３１の溝部３１１は、接続部材３３の差し込み溝として機能させることができる。このような嵌め込み構造とすることで、接続部材３３をしっかりと固定することができるとともに、外部からバルブ本体３１にかかる力をより吸収することができ、かつ、交換する際には容易に取り外すことができる。

接続部材３３は、バルブ保持部３２と当接していればよく、バルブ保持部３２との固定手段は特に限定されない。例えば、バルブ保持部３２の溝部３２３を設けることによる嵌合、接着剤等による接着、熱融着等であってもよいが、バルブ保持部３２の溝部３２３を設けることによる嵌合が好ましい。例えば、バルブ保持部３２は、その内周面に溝部３２３を有し、接続部材３３は、バルブ保持部３２の溝部３２３に嵌め込まれることによって、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２の間に配置されていることが好ましい。さらには、後述するように、バルブ保持部３２が、内筒部３２１と外筒部３２２とから構成される場合、溝部３２３に配置された接続部材３３は、内筒部３２１と外筒部３２２とによってしっかりと挟持することができる。このような構造とすることで、接続部材３３をしっかりと固定することができるとともに、外部からバルブ本体３１にかかる力をより吸収することができ、かつ、交換する際には容易に取り外すことができる。

本実施形態では、バルブ本体３１の外周面に溝部３１１が形成され、かつ、バルブ保持部３２の内周面に溝部３２３が形成されており、接続部材３３の一方の端部がバルブ本体３１の溝部３１１に嵌め込まれており、かつ、接続部材３３のもう一方の端部がバルブ保持部３２の溝部３２３に嵌め込まれていることがより好ましい。バルブ本体３１側とバルブ保持部３２側の両方が、かかる嵌め込み構造であることによって、接続部材３３を一層しっかりと固定することができるとともに、バルブ本体３１にかかる力（例えば、バルブの着脱時における、バルブの接続又は離間にかかる力等）をより一層吸収することができ、かつ、交換する際には一層容易に取り外すことができる。

可撓性の接続部材３３は、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２の両方に当接しており、外部からバルブ本体３１に力が加えられた場合に、その動きを吸収する。例えば、図８に示すように、バルブ本体３１に対して、下方から上方に向けて外部から力が加えられた場合（矢印Ｆ１参照）、バルブ本体３１と当接している接続部材３３の部分が上方に撓む。例えば、バルブ本体３１の溝部３１１に嵌め込まれている接続部材３３の端部が上方に撓む。これによって、バルブ本体３１のみが上方に動き、バルブ保持部３２は当初の位置を維持する。このようにして、外部装置等のノズルＮの着脱による基板収納容器１の浮き上がりや振動を抑制できる。

可撓性の接続部材３３の材料は、可撓性を有していればよく、特に限定されない。接続部材３３の具体例としては、例えば、弾性体が挙げられる。弾性体としては、例えば、ゴム、エラストマー等が挙げられる。かかる材料の具体例としては、ポリエステル系のエラストマー、ポリウレタン系エラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、ポリエーテル系熱可塑性エラストマー、ポリスチレン系エラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマー等からなる熱可塑性のエラストマー；フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴム；等の弾性材を用いることができる。これらの材料には、密着性を改質する観点から、カーボン、ガラス繊維、マイカ、タルク、シリカ、炭酸カルシウム等からなる充填剤；ポリエチレン、ポリアミド、ポリアセタール、フッ素系樹脂、シリコーン樹脂等の樹脂が所定量選択的に添加されてもよい。

そして、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２の材料は、特に限定されず、剛性部材から構成されていてもよいし、可撓性部材から構成されていてもよい。例えば、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２の間に配置された接続部材３３は可撓性部材から構成され、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２は剛性部材から構成される、という組み合わせであってでもよい。この場合、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２は、金属やプラスチック等の耐久性が高い部材を用いることができる。このような部材を用いることができることにより、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２は経年劣化の影響が少なく、長期使用が可能となる。そして、長期使用の際は、経年劣化した接続部材３３のみを交換すればよいため、経済性に優れるといった効果も付与できる。

続いて、外部装置のノズルを基板収納容器１に接続した場合の、バルブ本体３１の挙動について説明する。

図９は、第１の実施形態に係る基板収納容器にノズルを接続する状態を示す断面模式図である。図１０は、第１の実施形態に係る基板収納容器にノズルを接続した状態を示す断面模式図である。

バルブ保持部３２は、バルブ本体３１を保持するとともに、容器本体１０と接続される。バルブ保持部３２は、内筒部３２１の接続部３２１ｊと、外筒部３２２の接続部３２２ｊとによって、容器本体１０を挟持することによって、容器本体１０と接続される。ノズルＮの接続前は、バルブ本体３１は上方に持ち上げられておらず、当初の位置にある（図９参照）。ノズルＮの接続時には、ノズルＮがバルブ本体３１を上方に押し上げている（図１０参照）。このノズルＮは、例えば、外部装置のパージ用ノズル等である。

ノズルＮをバルブ体３０に接続する際、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２の間に配置されている接続部材３３について、バルブ本体３１と当接している部分が上方に撓む。これにより、バルブ本体３１のみが上方に動き、バルブ保持部３２は当初の位置を維持することができる。また、ノズルＮをバルブ体３０から離間する際、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２の間に配置されている接続部材３３について、バルブ本体３１と当接している部分が上方又は下方に撓む。これにより、バルブ本体３１のみが上方又は下方に動き、バルブ保持部３２は当初の位置を維持することができる。このようにして、外部装置のパージ用ノズル等のノズルＮの着脱時に生じる浮き上がりや振動を抑制できる。

ここまでは、バルブ本体３１が一体成形されている場合を例に説明したが、本実施形態ではバルブ本体３１は必ずしも一体でなくてもよく、複数の部品から形成されていてもよい。以下、説明する。

図１１は、第２の実施形態に係る基板収納容器のバルブ本体付近の断面模式図である。

第２の実施形態に係る基板収納容器２は、バルブ体５０を有する。バルブ体５０において、バルブ本体５１は、別体に形成された、第一の筒体５１１と、第二の筒体５１２と、を含み、第一の筒体５１１及び第二の筒体５１２は、バルブ本体５１及び接続部材３３の当接境界の少なくとも一部を含む面を、第一の筒体５１１及び第二の筒体５１２の接合面５１３として、互いに組み合わされている。すなわち、接合面５１３は、接続部材３３がバルブ本体５１に当接する境界を含んでいる。

このように、別体である第一の筒体５１１と第二の筒体５１２とを用いることによって、高い係合力を発揮し、その結果、接続部材３３を強い力で挟持することができる。そして、第一の筒体５１１と第二の筒体５１２の組み合わせ方法は、特に限定されず、嵌合、螺合等によることができる。例えば、第一の筒体５１１及び第二の筒体５１２が互いに嵌合可能な嵌合構造、第一の筒体５１１及び第二の筒体５１２のいずれか一方を他方にねじ込む螺合構造等を採用することができる。例えば、接続部材３３がバルブ本体５１と当接する境界（当接境界）において、第一の筒体５１１及び第二の筒体５１２が、このような嵌合又は螺合によって組み合わされることにより、接続部材３３を強い力で挟持することができるため、安定性が向上する。

基板収納容器２のバルブ体５０以外の部品の構成としては、第１の実施形態に係る基板収納容器１において説明した構成を適宜採用することができる。例えば、バルブ本体５１は、別体に形成された、第一の筒体５１１と、第二の筒体５１２と、を含み、かつ、バルブ保持部３２は、別体に形成された、内筒部３２１と、外筒部３２２と、を含み、接続部材３３のバルブ本体５１に当接する部分は、第一の筒体５１１及び第二の筒体５１２により挟み込まれ、かつ、接続部材３３のバルブ保持部３２に当接する部分は、内筒部３２１及び外筒部３２２により挟み込まれることによって、接続部材３３は、バルブ本体３１及びバルブ保持部３２の間に配置されていることが好ましい。これにより、バルブ本体５１と当接する接続部材３３の一方の端部、及びバルブ保持部３２と当接する接続部材３３の他方の端部の両方が、別部材によって挟持される。これにより、接続部材３３の両端部を強い力で挟持することができため、安定性が一層向上する。

以上説明してきたように、本実施形態に係る基板収納容器１，２は、バルブ体３０，４０，５０を用いることにより、簡便な構造でありながら、外部装置等のノズルの着脱による基板収納容器の浮き上がりや振動を抑制できる。そして、かかる基板収納容器１，２は、例えば、既存の基板収納容器のバルブ接続部分を改変することのみによって製造することも可能である。そのため、既存の基板収納容器に大掛かりな改造を施すことなく、製造することが可能である。さらに、既存の基板収納容器を用いることができることにより、ＦＯＵＰに要求される標準規格、及び使用時の外部装置との機械的干渉等に及ぼす影響が少なく、汎用性に優れる。

１，２：基板収納容器、１０：容器本体、１１：ロボティックフランジ、１２：グリップ部、１３：ボトムプレート、１４：給気孔、１５：排気孔、１６：基板載置部、２０：蓋体、３０，４０，５０：バルブ体、３１，５１：バルブ本体、３１１：（バルブ本体の）溝部、３２：バルブ保持部、３２１：内筒部、３２１ｊ：（内筒部の）接続部、３２２：外筒部、３２２ｊ：（外筒部の）接続部、３２２ｓ：ストッパ、３２３：（バルブ保持部の）溝部、３３：接続部材、３４：Ｏリング、３５：板バネ体、３６：上支持部、３７：下支持部、５１１：第一の筒体、５１２：第二の筒体、５１３：接合面、Ｗ：基板、Ｈ：開口、ｈ：通気孔、Ｎ：ノズル

Claims (6)

1. 基板を収納する基板収納容器であって、
   開口を介して基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の前記開口を閉塞する蓋体と、
   前記容器本体への気体の流れ、又は前記容器本体からの気体の流れを制御する、バルブ体と、
   を備え、
   前記バルブ体は、
   前記気体の通気がなされる通気孔が形成されたバルブ本体と、
   前記バルブ本体を保持し、前記容器本体と接続する接続部を有する、バルブ保持部と、
   前記バルブ本体及び前記バルブ保持部の間に配置され、前記バルブ本体及び前記バルブ保持部と当接している、可撓性の接続部材と、
   を含み、
   前記バルブ保持部は、その内周面に、前記バルブ本体を受け止め可能なストッパを有する、
   基板収納容器。
2. 前記バルブ保持部は、別体に形成された、内筒部と、外筒部と、を含み、
   前記内筒部及び前記外筒部は、前記外筒部の内壁と、前記内筒部の外壁とが当接するように互いに組み合わされる、
   請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記バルブ本体は、その外周面に溝部を有し、
   前記接続部材は、前記バルブ本体の前記溝部に嵌め込まれることによって、前記バルブ本体及び前記バルブ保持部の間に配置される、
   請求項１又は２に記載の基板収納容器。
4. 前記バルブ保持部は、その内周面に溝部を有し、
   前記接続部材は、前記バルブ保持部の前記溝部に嵌め込まれることによって、前記バルブ本体及び前記バルブ保持部の間に配置される、
   請求項１～３のいずれか一項に記載の基板収納容器。
5. 前記バルブ本体は、別体に形成された、第一の筒体と、第二の筒体と、を含み、
   前記第一の筒体及び前記第二の筒体は、前記バルブ本体及び前記接続部材の当接境界の少なくとも一部を含む面を、前記第一の筒体及び前記第二の筒体の接合面として、互いに組み合わされる、
   請求項１～４のいずれか一項に記載の基板収納容器。
6. 前記バルブ本体は、別体に形成された、第一の筒体と、第二の筒体と、を含み、かつ、
   前記バルブ保持部は、別体に形成された、内筒部と、外筒部と、を含み、
   前記接続部材の前記バルブ本体に当接する部分は、前記第一の筒体及び前記第二の筒体により挟み込まれ、かつ、前記接続部材の前記バルブ保持部に当接する部分は、前記内筒部及び前記外筒部により挟み込まれることによって、前記接続部材は、前記バルブ本体及び前記バルブ保持部の間に配置されている、
   請求項１～５のいずれか一項に記載の基板収納容器。