KR102632741B1 - 기판수납용기 - Google Patents

기판수납용기 Download PDF

Info

Publication number
KR102632741B1
KR102632741B1 KR1020217019667A KR20217019667A KR102632741B1 KR 102632741 B1 KR102632741 B1 KR 102632741B1 KR 1020217019667 A KR1020217019667 A KR 1020217019667A KR 20217019667 A KR20217019667 A KR 20217019667A KR 102632741 B1 KR102632741 B1 KR 102632741B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wall
container body
lid
opening
substrate storage
Prior art date
Application number
KR1020217019667A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210099032A (ko
Inventor
교헤이 사토
Original Assignee
미라이얼 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 미라이얼 가부시키가이샤 filed Critical 미라이얼 가부시키가이샤
Publication of KR20210099032A publication Critical patent/KR20210099032A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102632741B1 publication Critical patent/KR102632741B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67359—Closed carriers specially adapted for containing masks, reticles or pellicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/48—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67366—Closed carriers characterised by materials, roughness, coatings or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67376—Closed carriers characterised by sealing arrangements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67383—Closed carriers characterised by substrate supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

본 발명의 기판수납용기(1)에 있어서, 용기본체(2)는, 속벽(22), 상벽(23), 하벽(24) 및 한 쌍의 측벽을 구비하는 벽부(20)를 구비하고, 속벽(22)에 의하여 벽부(20)의 타단부가 폐쇄되고, 상벽(23)의 일단부, 하벽(24)의 일단부 및 측벽(25, 26)의 일단부에 의하여 용기본체 개구부가 형성되고, 하벽(24)에는 용기본체(2)에 대한 피수용물(RP)의 위치결정을 하는 위치결정부(50)가 설치되고, 상벽(23)에는 피수용물(RP)의 상부를 하벽(24)의 방향으로 가압하는 하방 가압부(60)가 설치되고, 뚜껑(3)은, 용기본체 개구부를 폐쇄할 때에 하방 가압부(60)에 의하여 피수용물(RP)의 상부를 하벽(24)의 방향으로 가압한다.

Description

기판수납용기
본 발명은, 레티클 포드(Reticle POD) 등을 수납, 보관, 반송(搬送), 수송 등을 할 때에 사용되는 기판수납용기에 관한 것이다.
반도체 제조에 있어서 사용되는 레티클을 수납하기 위한 레티클 포드를 수납해서 반송 등을 하기 위한 용기가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌1, 특허문헌2 참조).
용기본체의 일단부(一端部)는, 용기본체 개구부가 형성되는 개구 주연부(開口 周緣部)를 구비한다. 용기본체의 타단부(他端部)는, 폐쇄된 통모양의 벽부를 구비한다. 용기본체 내에는 포드 수용공간이 형성되어 있다. 포드 수용공간은, 벽부에 의하여 둘러싸여 형성되어 있고, 레티클 포드를 수납할 수 있다. 뚜껑은, 개구 주연부에 대하여 착탈(着脫)이 가능하고, 용기본체 개구부를 폐쇄할 수 있다. 용기본체의 내부에는, 레티클 포드를 용기본체에 고정시키기 위한 포드 고정부재가 설치되어 있고, 포드 고정부재에 의하여 레티클 포드가 용기본체에 대하여 고정된 상태로 용기는 레티클 포드를 수납한다.
특허문헌1 : 일본국 공개특허 특개2018-30632호 공보 특허문헌2 : 미국 특허출원공개 제2018/0102269호 명세서
종래의 용기에 레티클 포드를 수납할 때에는, 뚜껑을 용기본체의 개구 주연부로부터 분리한 상태로 만들고, 레티클 포드를 포드 수용공간에 삽입하고, 고정부재에 의하여 레티클 포드를 용기본체에 대하여 고정시킨 후에, 뚜껑에 의하여 용기본체 개구부를 폐쇄한다. 그러나 이러한 레티클 포드를 용기에 수납하는 절차를 보다 원활하게 할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명은, 레티클 포드를 용기에 수납하는 절차를 보다 원활하게 할 수 있는 기판수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 피수용물을 수용할 수 있는 포드 수용공간이 내부에 형성되고, 일단부에 있어서 상기 포드 수용공간과 연통하는 용기본체 개구부가 형성된 개구 주연부를 구비하는 용기본체와, 상기 개구 주연부에 대하여 착탈이 가능하고, 상기 개구 주연부에 의하여 둘러싸이는 위치관계로 상기 용기본체 개구부를 폐쇄할 수 있는 뚜껑과, 상기 뚜껑에 부착되고, 상기 뚜껑 및 상기 개구 주연부에 접촉할 수 있는 것으로서, 상기 개구 주연부와 상기 뚜껑의 사이에 끼워져 상기 개구 주연부 및 상기 뚜껑에 밀착하여 접촉됨으로써, 상기 뚜껑과 함께 상기 용기본체 개구부를 폐쇄하는 밀봉부재를 구비하고, 상기 용기본체는, 속벽, 상벽, 하벽 및 한 쌍의 측벽을 구비하는 벽부를 구비하고, 상기 속벽에 의하여 상기 벽부의 타단부가 폐쇄되고, 상기 상벽의 일단부, 상기 하벽의 일단부 및 상기 측벽의 일단부에 의하여 상기 용기본체 개구부가 형성되고, 상기 하벽에는, 상기 용기본체에 대한 상기 피수용물의 위치결정을 하는 위치결정부가 설치되고, 상기 상벽에는, 상기 피수용물의 상부를 상기 하벽의 방향으로 가압하는 하방 가압부가 설치되고, 상기 뚜껑은, 상기 용기본체 개구부를 폐쇄할 때에, 상기 하방 가압부로 상기 피수용물의 상부를 상기 하벽의 방향으로 가압하는 기판수납용기에 관한 것이다.
또한 상기 뚜껑은, 상기 하방 가압부와 결합할 수 있는 가압부 피결합부를 구비하고, 상기 용기본체 개구부를 폐쇄할 때에, 상기 가압부 피결합부가 상기 하방 가압부와 결합하여, 상기 하방 가압부로 상기 피수용물의 상부를 상기 하벽의 방향으로 가압하는 것이 바람직하다.
또한 상기 뚜껑의 상기 가압부 피결합부와, 상기 가압부 피결합부와 결합하는 상기 하방 가압부의 구동부 결합부는, 서로 결합하는 훅형상을 구비하고 있는 것이 바람직하다.
또한 상기 하방 가압부는, 상기 피수용물의 상부에 접촉하여 상기 피수용물을 상기 하벽의 방향으로 가압하는 선단부 가압부와, 상기 선단부 가압부에 연결되어 상기 뚜껑의 이동에 따라 이동할 수 있는 가압부 구동부와, 상기 뚜껑이 상기 용기본체 개구부를 폐쇄하고 있지 않을 때에는, 상기 선단부 가압부가 피수용물로부터 이간된 상태가 되도록 상기 가압부 구동부를 가압하는 가압부재를 구비하는 것이 바람직하다.
또한 상기 하방 가압부는, 상기 피수용물의 상부에 접촉하여 상기 피수용물을 상기 하벽의 방향으로 가압하는 선단부 가압부와, 상기 선단부 가압부에 연결되어 상기 뚜껑의 이동에 따라 이동할 수 있는 가압부 구동부를 구비하고, 상기 가압부 구동부는, 상기 뚜껑이 상기 속벽의 방향으로 이동할 때에, 수평방향에 대하여 소정의 각도로 경사진 상측방향으로 이동할 수 있는 것이 바람직하다.
또한 상기 선단부 가압부의 상부가 상기 가압부 구동부에 의하여 상기 속벽의 방향으로 가압됨으로써, 상기 선단부 가압부의 하부는, 상기 속벽 측에서부터 용기본체 개구부 측으로 이동하고, 상기 피수용물의 상부에 접촉하여, 상기 피수용물의 상부를 상기 하벽의 방향으로 가압하는 것이 바람직하다.
또한 상기 벽부를 구성하는 재료는, 시클로올레핀폴리머에 의하여 구성되어 있는 것이 바람직하다. 또한 상기 포드 수용공간과 상기 용기본체의 외부의 공간을 연통할 수 있는 통기로를 구비하는 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 레티클 포드를 용기에 수납하는 절차를 보다 원활하게 할 수 있는 기판수납용기를 제공할 수 있다.
도1은, 본 발명의 1실시형태에 관한 기판수납용기(1)를 나타내는 정면도이다.
도2는, 본 발명의 1실시형태에 관한 기판수납용기(1)를 나타내는 평면도이다.
도3은, 본 발명의 1실시형태에 관한 기판수납용기(1)에 있어서, 레티클 포드(RP)가 용기본체(2)에 고정되어 있는 상태를 나타내는 측방 단면도이다.
도4는, 본 발명의 1실시형태에 관한 기판수납용기(1)에 있어서, 레티클 포드(RP)가 용기본체(2)에 고정되어 있는 상태를 나타내는 단면 사시도이다.
도5는, 본 발명의 1실시형태에 관한 기판수납용기(1)에 있어서, 레티클 포드(RP)가 용기본체(2)에 고정되어 있지 않은 상태를 나타내는 측방 단면도이다.
도6은, 본 발명의 1실시형태에 관한 기판수납용기(1)에 있어서, 레티클 포드(RP)가 용기본체(2)에 고정되어 있지 않은 상태를 나타내는 단면 사시도이다.
이하에서, 본 실시형태에 의한 기판수납용기(1)에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.
도1은, 기판수납용기(1)를 나타내는 정면도이다. 도2는, 기판수납용기(1)를 나타내는 평면도이다. 도3은, 기판수납용기(1)에 있어서, 레티클 포드(RP)가 용기본체(2)에 고정되어 있는 상태를 나타내는 측방 단면도(도2의 A-A선에 따른 측방 단면도)이다. 도4는, 기판수납용기(1)에 있어서, 레티클 포드(RP)가 용기본체(2)에 고정되어 있는 상태를 나타내는 단면 사시도(도2의 A-A선에 따른 단면 사시도)이다.
여기에서 설명의 편의상, 후술하는 용기본체(2)로부터 뚜껑(3)을 향하는 방향(도2에 있어서의 위에서 아래를 향하는 방향)을 앞쪽방향(D11)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 뒤쪽방향(D12)이라고 정의하고, 이들을 합쳐서 전후방향(D1)이라고 정의한다. 또한 후술하는 하벽(24)으로부터 상벽(23)을 향하는 방향(도1에 있어서의 상측방향)을 상측방향(D21)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 하측방향(D22)이라고 정의하고, 이들을 합쳐서 상하방향(D2)이라고 정의한다. 또한 후술하는 제2측벽(26)으로부터 제1측벽(25)을 향하는 방향(도1에 있어서의 우측에서 좌측을 향하는 방향)을 좌측방향(D31)이라고 정의하고, 그 반대의 방향을 우측방향(D32)이라고 정의하고, 이들을 합쳐서 좌우방향(D3)이라고 정의한다. 주요 도면에는, 이들 방향을 나타내는 화살표를 도면에 나타내고 있다.
또한 기판수납용기(1)에 수납되는 레티클 포드(RP)는, 반도체 제조에 있어서 노광처리(露光處理)를 하기 위해서 사용되는 레티클을 1매 또는 복수 매 수납하기 위한 것으로서, 도3에 나타내는 바와 같이 전체의 외형 형상이 대략 직육면체 형상이며, 중앙부가 주위의 부분보다도 두꺼운 형상으로 구성되어 있다.
또한 기판수납용기(1)의 용기본체(2)는 뚜껑(3)과 함께 기판을 수납하기 위하여 사용될 수 있고, 기판은 원반모양의 실리콘 웨이퍼, 글라스 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등으로서, 산업상 사용되는 얇은 것이다. 본 실시형태에 있어서의 용기본체(2) 및 뚜껑(3)에 의하여 수납이 가능한 기판은, 지름이 300mm인 실리콘 웨이퍼이다.
즉 도1에 나타내는 바와 같이 기판수납용기(1)의 용기본체(2) 및 뚜껑(3)은, SEMI 규격에 의거하는 구성을 구비하고 있으며, 상기한 바와 같은 실리콘 웨이퍼로 이루어진 기판을 수납하여, 공장 내의 공정에 있어서 반송(搬送)하는 공정 내의 용기로서 사용되거나, 육상·항공·해상 운송수단 등의 수송수단에 의하여 기판을 수송하기 위한 출하용기로서 사용된다.
용기본체(2)는, 일단부(一端部)에 용기본체 개구부(21)가 형성되고, 타단부(他端部)가 폐쇄된 통모양의 벽부(20)를 구비한다. 용기본체(2) 내에는 포드 수용공간(27)이 형성되어 있다. 포드 수용공간(27)은, 벽부(20)에 의하여 둘러싸여 형성되어 있다. 벽부(20)의 부분으로서 포드 수용공간(27)을 형성하고 있는 부분에는, 위치결정부로서의 포드 재치부(50)와 하방 가압부(60)가 배치되어 있다. 포드 수용공간(27)에는, 도3 등에 나타내는 바와 같이 하나의 피수납물로서의 레티클 포드(RP)를 수납할 수 있다. 포드 재치부(50)는, 레티클 포드(RP)가 재치되어서 포드 수용공간(27)에 있어서 용기본체(2)에 대하여 위치결정된다. 하방 가압부(60)는, 레티클 포드(RP)의 상부를 포드 재치부(50)의 방향으로 가압한다.
뚜껑(3)은, 용기본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(開口 周緣部)(28)(도1 등)에 대하여 착탈이 가능하고, 용기본체 개구부(21)를 폐쇄할 수 있다.
기판수납용기(1)는, 플라스틱재(plastic材) 등의 수지로 구성되어 있고, 그 재료의 수지로서는, 예를 들면 폴리카보네이트, 시클로올레핀폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머와 같은 열가소성 수지나 이들의 알로이 등을 들 수 있다. 이들 성형재료의 수지에는, 도전성을 부여하는 경우에는 카본섬유, 카본파우더, 카본나노튜브, 도전성 폴리머 등의 도전성 물질이 선택적으로 첨가된다. 또한 강성(剛性)을 높이기 위해서 유리섬유나 탄소섬유 등을 첨가할 수도 있다. 본 실시형태에 있어서는, 용기본체(2)로는 저흡수재료인 COP(시클로올레핀폴리머)가 사용된다. 또한 용기본체(2)는, 대전방지재료로 처리되어 있다.
이하에서, 각 부에 대하여 상세하게 설명한다.
도1∼도4에 나타내는 바와 같이 용기본체(2)의 벽부(壁部)(20)는, 속벽(22)과 상벽(上壁)(23)과 하벽(下壁)(24)과 제1측벽(25)과 제2측벽(26)을 구비한다. 속벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1측벽(25) 및 제2측벽(26)은, 상기한 재료에 의하여 구성되어 있고, 일체(一體)로 성형되어서 구성되어 있다.
제1측벽(25)과 제2측벽(26)은 대향(對向)하고 있고, 상벽(23)과 하벽(24)은 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단(後端), 하벽(24)의 후단, 제1측벽(25)의 후단 및 제2측벽(26)의 후단은, 모두 속벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단(前端), 하벽(24)의 전단, 제1측벽(25)의 전단 및 제2측벽(26)의 전단은, 대략 직사각형 형상을 한 용기본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(28)를 구성한다.
개구 주연부(28)는 용기본체(2)의 일단부에 형성되어 있고, 속벽(22)은 용기본체(2)의 타단부에 위치하고 있다. 벽부(20)의 외면에 의하여 형성되는 용기본체(2)의 외형은 상자모양이다. 벽부(20)의 내면, 즉 속벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제1측벽(25)의 내면 및 제2측벽(26)의 내면은, 이들에 의하여 둘러싸인 포드 수용공간(27)을 형성하고 있다. 개구 주연부(28)에 형성된 용기본체 개구부(21)는, 벽부(20)에 의하여 둘러싸여 용기본체(2)의 내부에 형성되는 포드 수용공간(27)과 연통(連通)하고 있다.
상벽(23) 및 하벽(24)의 부분으로서 개구 주연부(28)의 근방의 부분에는, 포드 수용공간(27)의 외방을 향해서 오목하게 들어간 래치결합 오목부(도면에 나타내지 않는다)가 형성되어 있다. 래치결합 오목부는, 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부의 근방에 1개씩, 합계 4개가 형성되어 있다.
도1에 나타내는 바와 같이 상벽(23)의 외면에 있어서는, 리브(235)가 상벽(23)과 일체로 성형되어서 형성되어 있다. 리브(235)는, 용기본체(2)의 강성을 높인다. 또한 상벽(23)의 중앙부에는, 톱플랜지(236)가 고정된다. 톱플랜지(236)는, AMHS(자동 웨이퍼 반송 시스템), PGV(웨이퍼 기판 반송대차) 등에 있어서 기판수납용기(1)를 매달 때에, 기판수납용기(1)에 있어서 걸어서 매다는 부분이 되는 부재이다.
하벽(24)에는, 도3에 나타내는 바와 같이 보텀 플레이트(244)가 고정되어 있다. 보텀 플레이트(244)는, 하벽(24)의 외면을 구성하는 하면의 대략 전체면과 대향하도록 배치되는 대략 직사각형 형상의 판상(板狀)을 구비하고, 하벽(24)에 고정되어 있다.
하벽(24)의 네 모서리에는, 2종류의 관통구멍인 급기구멍과 배기구멍이 형성되어 있다(도면에 나타내지 않는다). 본 실시형태에 있어서는, 하벽(24)의 전방부에 있는 두 군데의 관통구멍은 용기본체(2)의 내부의 기체를 배출하기 위한 배기구멍이며, 후방부에 있는 두 군데의 관통구멍은 용기본체(2)의 내부로 기체를 급기(給氣)하기 위한 급기구멍이다.
급기구멍으로서의 관통구멍에는, 부가부품으로서의 급기용 필터부(도면에 나타내지 않는다)가 배치되어 있고, 배기구멍으로서의 관통구멍에는, 배기용 필터부(도면에 나타내지 않는다)가 배치되어 있다. 즉 급기용 필터부 및 배기용 필터부 내부의 기체의 유로는, 포드 수용공간(27)과 용기본체(2) 외부의 공간을 연통할 수 있는 통기로(通氣路)의 일부를 구성한다. 또한 급기용 필터부와 배기용 필터부는 벽부(20)에 배치되어 있고, 급기용 필터부와 배기용 필터부에 있어서는, 용기본체(2) 외부의 공간과 포드 수용공간(27)의 사이로 기체가 통과할 수 있다. 급기용 필터부는 기체분출 노즐부(8)의 내부공간과 연통하고 있어, 기체분출 노즐부(8)의 내부공간을 통하여 급기용 필터부에 공급된 퍼지가스는, 포드 수용공간(27)으로 공급되도록 구성되어 있다.
포드 재치부(50)는, 중앙부분에 관통구멍이 형성된 판형상을 구비하고, 하벽(24)에 고정되어 있다. 포드 재치부(50)는, 상측방향으로 돌출된 볼록부(52)를 구비하고, 포드 재치부(50)의 볼록부(52)의 부분을 관통하도록 핀부재 기부(pin部材 基部)(53)가 합계 3개 형성되어 있다. 또한 도3, 도4에 있어서는, 각 도면에 핀부재 기부(53)는 1개만 나타내고 있다.
핀부재 기부(53)의 상부에는, 핀부재 기부(53)의 상부를 덮도록 키네마틱 핀(kinematic pin)(55)이 설치되어 있다. 키네마틱 핀(55)은, 볼록부(52)보다 상측방향으로 돌출되어 있고, 합계 3개가 설치되어 있다. 또한 도3, 도4에 있어서는, 각 도면에 키네마틱 핀(55)은 1개만 나타내고 있다. 포드 재치부(50)에는 레티클 포드(RP)가 재치되고, 도3 등에 나타내는 바와 같이 레티클 포드(RP)의 바닥면에 형성된 키네마틱 핀 결합홈에 키네마틱 핀(55)이 결합됨으로써, 레티클 포드(RP)는 용기본체(2)에 대하여 위치결정된다. 키네마틱 핀(55)은 대전방지재료로 처리되어 있어, 상기한 바와 같이 용기본체(2)가 대전방지재료로 처리되어 있는 것과 더불어, 레티클 포드(RP) 내부의 레티클로부터 정전기를 패스시키도록 구성되어 있다.
상벽(23)에는, 가압부 지지부(61)가 고정되어서 설치되어 있다. 가압부 지지부(61)에는, 판스프링(611)이 고정되어 있다. 판스프링(611)의 상부는 가압부 지지부(61)에 고정되어 있고, 판스프링(611)은 하측방향으로 연장되고 도중에 뒤쪽방향으로 직각으로 구부러지며, 판스프링(611)의 선단부(先端部)는 하측방향(D22)으로 돌출된 선단볼록부(6111)를 구비하고 있다. 가압부 지지부(61)에는 하방 가압부(60)가 지지되어 있고, 하방 가압부(60)는, 선단부 가압부(先端部 加壓部)(63)와, 가압부 구동부(加壓部 驅動部)(64)와, 가압부재로서의 스프링(도면에 나타내지 않는다)을 구비하고 있다.
선단부 가압부(63)는, 슬라이딩성 및 내마모성이 높은 초고분자량 PE(폴리에틸렌) 수지에 의하여 구성되어 있고, 대략 사각기둥 형상을 구비하고 있다. 선단부 가압부(63)의 상단부(上端部)에는 관통구멍이 형성되고, 관통구멍에는 핀부재(612)가 관통하고 있다. 관통구멍보다도 하단부측의 선단부 가압부(63)의 부분에는, 선단부 가압부(63)의 길이방향으로 연장되는 장공(長空)(632)이 형성되어 있고, 가압부 지지부(61)를 구성하는 핀부재(613)가 장공(632)을 관통하고 있다. 핀부재(613)는 장공(632)을 상대적으로 이동할 수 있고, 이에 따라 선단부 가압부(63)는, 핀부재(613)를 회전축으로 하여 회전이 가능하고 또한 핀부재(613)에 대하여 슬라이딩이 가능하다. 선단부 가압부(63)의 하단부는, 레티클 포드(RP)의 상부에 접촉할 수 있는 판상 접촉부(615)를 구비하고 있다. 판상 접촉부(615)가 레티클 포드(RP)의 상부에 접촉함으로써, 선단부 가압부(63)는 레티클 포드(RP)를 하벽(24)의 방향으로 가압한다.
가압부 구동부(64)는, 슬라이딩성 및 내마모성이 높은 초고분자량 PE(폴리에틸렌) 수지에 의하여 구성되어 있고, 대략 사각기둥 형상을 구비하고 있다. 가압부 구동부(64)의 후단부(後端部)에는 관통구멍이 형성되고, 관통구멍에는 선단부 가압부(63)의 상단부를 관통하는 핀부재(612)가 관통하고 있다. 이에 따라 가압부 구동부(64)는, 선단부 가압부(63)에 대하여 회전이 가능하도록 연결되어 있다. 관통구멍보다도 앞쪽방향 측의 가압부 구동부(64)에는, 가압부 구동부(64)의 길이방향으로 연장되는 장공(642)이 형성되어 있고, 가압부 지지부(61)를 구성하는 2개의 핀부재(616)가 장공(642)을 관통하고 있다. 핀부재(616)는 장공(642)을 상대적으로 이동할 수 있고, 이에 따라 가압부 구동부(64)는 핀부재(616)에 대하여, 수평방향으로 평행한 전후방향(D1)에 대하여 소정의 각도로 경사진 상측방향으로 슬라이딩이 가능하다.
가압부 구동부(64)의 상부에는, 앞쪽 오목부(644)와 뒤쪽 오목부(645)가 형성되어 있다. 앞쪽 오목부(644)에 판스프링(611)의 선단 볼록부(6111)가 결합됨으로써, 가압부 구동부(64)는, 도3에 나타내는 바와 같이 선단부 가압부(63)의 판상 접촉부(615)가 레티클 포드(RP)의 상부에 접촉하여 레티클 포드(RP)를 하벽(24)의 방향으로 가압하는 위치에 있어서, 대략 전후방향(D1)으로 이동할 수 없게 일시적으로 가고정되도록 구성되어 있다. 또한 뒤쪽 오목부(645)에 판스프링(611)의 선단 볼록부(6111)가 결합됨으로써, 가압부 구동부(64)는, 도5에 나타내는 바와 같이 선단부 가압부(63)의 판상 접촉부(615)가 레티클 포드(RP)의 상부로부터 뒤쪽으로 경사진 상측으로 이간(離間)되어 레티클 포드(RP)를 포드 재치부(50)에 대하여 재치 또는 분리할 수 있는 위치에 있어서, 대략 전후방향(D1)으로 이동할 수 없게 일시적으로 가고정되도록 구성되어 있다.
또한 도5, 도6 등의 단면도에 있어서는, 레티클 포드(RP)의 단면의 도시를 생략하고 있다.
더 구체적으로는, 후술하는 바와 같이 가압부 구동부(64)는, 뚜껑(3)이 속벽(22)의 방향으로 이동할 때에, 이 이동에 따라 수평방향에 대하여 소정의 각도로 경사진 상측방향으로 이동할 수 있다. 가압부 구동부(64)의 전단부(前端部)는, 구동부 결합부를 구성하는 훅형상부(hook形狀部)(647)를 구비하고 있다.
도면에 나타내지 않는 스프링은, 선단부 가압부(63)를 레티클 포드(RP)로부터 이간된 상태로 만들도록, 더 구체적으로는 가압부 구동부(64)를 대략 앞쪽방향(D11)으로 이동시키도록 가압부 구동부(64)와 결합해서 설치되어 있고, 가압부 구동부(64)를 가압한다.
뚜껑(3)은, 도1 등에 나타내는 바와 같이 용기본체(2)의 개구 주연부(28)의 형상과 대략 일치하는 대략 직사각형 형상을 구비하고 있다. 뚜껑(3)은 용기본체(2)의 개구 주연부(28)에 대하여 착탈이 가능하고, 개구 주연부(28)에 뚜껑(3)이 장착됨으로써, 뚜껑(3)은 용기본체 개구부(21)를 폐쇄시킬 수 있다. 뚜껑(3)의 내면(도1에 나타내는 뚜껑(3)의 이면측)으로서, 뚜껑(3)이 용기본체 개구부(21)를 폐쇄하고 있을 때의 개구 주연부(28)의 바로 뒤쪽방향(D12)의 위치에 형성된 단차부분의 면(밀봉면(281))에 대향하는 면에는, 환상(環狀)의 밀봉부재(4)가 부착되어 있다. 밀봉부재(4)는, 탄성변형이 가능한 폴리에스테르계, 폴리올레핀계 등 각종 열가소성 엘라스토머, 불소고무제, 실리콘 고무제 등에 의하여 구성되어 있다. 밀봉부재(4)는, 뚜껑(3)의 외측 주연부(外側 周緣部)를 일주(一周)하도록 배치되어 있다.
뚜껑(3)이 개구 주연부(28)에 장착되었을 때에, 밀봉부재(4)는 밀봉면(281)과 뚜껑(3)의 내면 사이에 끼워져서 탄성변형되고, 뚜껑(3)은 용기본체 개구부(21)를 밀폐한 상태로 폐쇄시킨다. 개구 주연부(28)로부터 뚜껑(3)이 분리됨으로써, 용기본체(2) 내의 포드 수용공간(27)에 대하여 레티클 포드(RP)를 출납(出納)할 수 있게 된다.
뚜껑(3)에 있어서는, 래치기구가 설치되어 있다. 래치기구는, 뚜껑(3)의 좌우 양단부의 근방에 설치되어 있고, 도5에 나타내는 바와 같이 뚜껑(3)의 상변(上邊)으로부터 상측방향(D21)으로 돌출이 가능한 2개의 상측 래치부(32A)와, 뚜껑(3)의 하변(下邊)으로부터 하측방향(D22)으로 돌출이 가능한 2개의 하측 래치부(32B)를 구비하고 있다. 2개의 상측 래치부(32A, 32A)는, 뚜껑(3)의 상변의 좌우 양단의 근방에 배치되어 있고, 2개의 하측 래치부(32B, 32B)는, 뚜껑(3)의 하변의 좌우 양단의 근방에 배치되어 있다.
도1 등에 나타내는 바와 같이 뚜껑(3)의 외면에 있어서는 조작부(33)가 설치되어 있다. 조작부(33)를 뚜껑(3)의 앞쪽에서 조작함으로써, 상측 래치부(32A), 하측 래치부(32B)를 뚜껑(3)의 상변, 하변으로부터 돌출시킬 수 있고, 또한 상변, 하변으로부터 돌출되지 않는 상태로 만들 수 있다. 상측 래치부(32A)가 뚜껑(3)의 상변으로부터 상측방향(D21)으로 돌출되어 용기본체(2)의 래치결합 오목부(도면에 나타내지 않는다)와 결합하고, 또한 하측 래치부(32B)가 뚜껑(3)의 하변으로부터 하측방향(D22)으로 돌출되어 용기본체(2)의 래치결합 오목부(도면에 나타내지 않는다)와 결합함으로써, 뚜껑(3)은 용기본체(2)의 개구 주연부(28)에 고정된다.
뚜껑(3)의 내측에 있어서는, 포드 수용공간(27)의 외방으로 오목하게 들어간 오목부(301)가 형성되어 있다. 오목부(301)에는, 가압부 피결합부(303)가 고정되어서 설치되어 있다.
가압부 피결합부(303)는, 뚜껑(3)의 상부에 있어서의 오목부(301)의 부분에 고정되어 있다. 도5에 나타내는 바와 같이 가압부 피결합부(303)는, 전후방향(D1)에 있어서 두께를 가지는 부재에 의하여 구성되어 있고, 가압부 피결합부(303)의 하단부는, 가압부 피결합부(303)를 구성하는 훅형상부(304)를 구비하고 있다. 가압부 피결합부(303)의 훅형상부(304)는, 가압부 구동부(64)의 훅형상부(647)와 결합할 수 있다.
상기와 같은 구성으로 이루어진 기판수납용기(1)에 대한 레티클 포드(RP)의 수납에 대해서 설명한다.
도5는, 기판수납용기(1)에 있어서, 레티클 포드(RP)가 용기본체(2)에 고정되어 있지 않은 상태를 나타내는 측방 단면도이다. 도6은, 기판수납용기(1)에 있어서, 레티클 포드(RP)가 용기본체(2)에 고정되어 있지 않은 상태를 나타내는 단면 사시도이다.
우선 뚜껑(3)을 용기본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(28)로부터 분리한 상태로 만든다. 다음에 레티클 포드(RP)를 포드 수용공간(27)에 삽입하고, 레티클 포드(RP)의 바닥면에 형성된 키네마틱 핀 결합홈과 키네마틱 핀(55)의 선단부를 결합시킴으로써, 레티클 포드(RP)는 용기본체(2)에 대하여 위치결정된다.
다음에 뚜껑(3)을 용기본체(2)에 접근시킨다. 이렇게 하면 도5, 도6에 나타내는 바와 같이, 가압부 피결합부(303)의 훅형상부(304)가 가압부 구동부(64)의 훅형상부(647)와 결합한다. 그리고 뚜껑(3)을 용기본체(2)에 더 접근시키면, 가압부 구동부(64)가 뚜껑(3)에 의하여 가압되어, 도면에 나타나 있지 않은 스프링의 탄성력에 저항해서 가압부 구동부(64)가 대략 뒤쪽방향(D12)으로 이동하고, 이에 따라 선단부 가압부(63)의 상부가 가압부 구동부(64)에 의하여 속벽(22)의 방향으로 가압됨으로써, 선단부 가압부(63)의 하부는 속벽(22) 측으로부터 용기본체 개구부(21) 측으로 이동하고, 레티클 포드(RP)의 상부에 접촉하여, 레티클 포드(RP)의 상부를 하벽(24)의 방향으로 가압한다. 이에 따라 레티클 포드(RP)는 용기본체(2)에 고정된 상태가 됨과 동시에, 뚜껑(3)에 의하여 용기본체 개구부(21)가 폐쇄된다. 그리고 뚜껑(3)의 조작부(33)를 조작하여, 상측 래치부(32A), 하측 래치부(32B)를 용기본체(2)의 래치결합 오목부(도면에 나타내지 않는다)와 결합시킴으로써, 뚜껑(3)은 용기본체(2)의 개구 주연부(28)에 고정된다.
기판수납용기(1)로부터 레티클 포드(RP)를 꺼낼 때에는, 우선 뚜껑(3)의 조작부(33)를 조작함으로써, 상측 래치부(32A), 하측 래치부(32B)를 용기본체(2)의 래치결합 오목부(도면에 나타내지 않는다)와 결합하지 않은 상태로 만든다. 다음에 뚜껑(3)을 용기본체 개구부(21)로부터 이간시킨다. 이에 수반하여, 가압부 피결합부(303)의 훅형상부(304)가 가압부 구동부(64)의 훅형상부(647)와 결합하고 있기 때문에, 가압부 구동부(64)는 뚜껑(3)에 끌려서 앞쪽방향(D11)에 대하여 소정의 각도로 경사진 하측방향으로 이동된다. 그리고 뚜껑(3)이 소정의 거리 이상 용기본체(2)의 개구 주연부(28)로부터 이간되었을 때에, 뚜껑(3)은 앞쪽방향(D11)으로 수평으로 이동하고, 가압부 구동부(64)의 훅형상부(647)는 가압부 피결합부(303)의 훅형상부(304)보다도 하측에 위치하기 때문에, 가압부 구동부(64)의 훅형상부(647)와 가압부 피결합부(303)의 훅형상부(304)의 결합이 해제되어, 뚜껑(3)은 가압부 구동부(64)로부터 떨어진 상태가 되고, 뚜껑(3)은 용기본체(2)로부터 분리된다.
상기 구성의 본 실시형태에 관한 기판수납용기(1)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
상기한 바와 같이, 하벽(24)에는 용기본체(2)에 대한 피수용물로서의 레티클 포드(RP)의 위치결정을 하는 위치결정부로서의 포드 재치부(50)가 설치되고, 상벽(23)에는 레티클 포드(RP)의 상부를 하벽(24)의 방향으로 가압하는 하방 가압부(60)가 설치됨으로써, 뚜껑(3)이 용기본체 개구부(21)를 폐쇄할 때에, 하방 가압부(60)에 의하여 레티클 포드(RP)의 상부를 하벽(24)의 방향으로 가압시킨다.
상기 구성에 의하여, 뚜껑(3)으로 용기본체 개구부(21)를 폐쇄함으로써 레티클 포드(RP)를 용기본체(2)에 용이하게 고정시키는 것이 가능해져, 레티클 포드(RP)를 기판수납용기(1)에 수납하는 절차를 보다 원활하게 할 수 있다. 또한 레티클 포드(RP)를 기판수납용기(1)에 수용하기 때문에, 레티클 포드(RP)의 외면에 파티클이 부착되는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 레티클을 레티클 포드(RP)로부터 꺼낼 때에 레티클에 파티클이 부착되어 오염됨에 따라 웨이퍼에 회로불량이 발생하는 것을 억제할 수 있다. 특히 최근에는, 디자인룰이 미세화되어서 파티클 관리를 보다 엄중하게 할 필요가 있지만, 이에 대해서도 충분히 대응할 수 있다.
또한 레티클 포드(RP)를 수용하는 용기로서 기판수납용기(1)를 사용하였기 때문에, 레티클 포드(RP)를 수납하는 용기로서의 치수도 적합하고, 기판수납용기(1)를 반송하기 위한 자동반송장치도 일반적으로 존재하기 때문에, 원활하게 레티클 포드(RP)를 반송하는 공정에 투입할 수 있다.
또한 뚜껑(3)은, 하방 가압부(60)와 결합할 수 있는 가압부 피결합부(303)를 구비하고, 용기본체 개구부(21)를 폐쇄할 때에, 가압부 피결합부(303)가 하방 가압부(60)를 구성하는 가압부 구동부(64)의 훅형상부(647)와 결합하여, 하방 가압부(60)에 의하여 피수용물로서의 레티클 포드(RP)의 상부를 하벽(24)의 방향으로 가압시킨다. 그리고 뚜껑(3)의 가압부 피결합부(303)와, 가압부 피결합부(303)와 결합하는 하방 가압부(60)의 구동부 결합부는, 서로 결합하는 훅형상부(304, 647)를 구비하고 있다. 이 구성에 의하여, 뚜껑(3)의 이동에 따라 하방 가압부(60)의 선단부 가압부(63)에 의한 레티클 포드(RP)에 대한 가압이 가능하게 된다.
또한 하방 가압부(60)는, 뚜껑(3)이 용기본체 개구부(21)를 폐쇄하고 있지 않을 때에, 선단부 가압부(63)가 레티클 포드(RP)로부터 이간된 상태가 되도록 가압부 구동부(64)를 가압하는 가압부재로서의 스프링(도면에 나타내지 않는다)을 구비한다. 이 구성에 의하여, 레티클 포드(RP)가 용기본체(2)에 수용되지 않고 뚜껑(3)에 의하여 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있지 않을 때에, 선단부 가압부(63)가 레티클 포드(RP)로부터 이간된 상태의 위치, 바꾸어 말하면, 레티클 포드(RP)를 포드 재치대에 대하여 재치할 수 있는 상태의 위치로 만들 수 있다.
또한 가압부 구동부(64)는, 뚜껑(3)이 속벽(22)의 방향으로 이동할 때에, 수평방향에 대하여 소정의 각도로 경사진 상측방향으로 이동할 수 있다. 이 구성에 의하여, 뚜껑(3)을 속벽(22)의 방향으로 이동시킬 때에, 가압부 피결합부(303)의 훅형상부(304)를 가압부 구동부(64)의 훅형상부(647)와 결합시킬 수 있다. 또한 뚜껑(3)을 용기본체 개구부(21)의 방향으로 이동시킬 때에, 가압부 피결합부(303)의 훅형상부(304)와 가압부 구동부(64)의 훅형상부(647)의 결합을 자동으로 해제시킬 수 있다.
그리고 선단부 가압부(63)의 상부가 가압부 구동부(64)에 의하여 속벽(22)의 방향으로 가압됨으로써, 선단부 가압부(63)의 하부는 속벽(22) 측에서부터 용기본체 개구부(21) 측으로 이동하고, 레티클 포드(RP)의 상부에 접촉하여, 레티클 포드(RP)의 상부를 하벽(24)의 방향으로 가압한다. 이 구성에 의하여, 뚜껑(3)이 개구 주연부(28)로부터 분리되어 있을 때에, 레티클 포드(RP)를 포드 재치부(50)에 용이하게 재치할 수 있는 상태로 만들 수 있다.
또한 벽부(20)를 구성하는 재료는, 시클로올레핀폴리머에 의하여 구성되어 있다. 이 구성에 의하여, 저흡수재료인 COP로부터 포드 수용공간의 내부로 수분이 방출되는 것을 억제할 수 있어, 포드 수용공간 내의 습도의 상승을 억제할 수 있다.
또한 포드 수용공간(27)과 용기본체(2)의 외부의 공간을 연통할 수 있는 통기로를 구비한다. 이 구성에 의하여, 퍼지가스에 의하여 포드 수용공간(27)의 기체를 퍼지할 수 있다.
본 발명은, 상기한 실시형태에 한정되지 않고, 특허청구범위에 기재된 기술적 범위에 있어서 변형이 가능하다.
예를 들면 본 실시형태에 있어서는, 용기본체, 뚜껑은 지름이 300mm인 실리콘 웨이퍼를 수납할 수 있는 기판수납용기의 용기본체(2), 뚜껑(3)에 의하여 구성되었지만, 이에 한정되지 않는다. 레티클 포드(RP)를 수용할 수 있다면 어떤 용기라도 좋으며, 예를 들면 기판수납용기를 모방한 구조의 용기, 즉 일단부에 포드 수용공간과 연통하는 용기본체 개구부가 형성되고 타단부가 폐쇄되어 있는 것과 같은 구조의 용기에 의하여 구성되어도 좋다.
또한 본 실시형태에 있어서는, 피수용물은 레티클 포드(RP)로 하였지만, 이에 한정되지 않는다.
또한 기판수납용기의 각 부의 구성은, 본 실시형태에 있어서의 기판수납용기(1)의 각 부의 구성에 한정되지 않는다.
또한 본 실시형태에서는, 하벽(24)의 전방부의 두 군데의 관통구멍은 용기본체(2)의 내부의 기체를 배출하기 위한 배기구멍이며, 후방부의 두 군데의 관통구멍은 용기본체(2)의 내부에 기체를 급기하기 위한 급기구멍이었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면 하벽의 전방부에 있어서 두 군데의 관통구멍 중 적어도 1개에 대해서도, 용기본체의 내부에 기체를 급기하기 위한 급기구멍으로 하여도 좋다.
1 : 기판수납용기
2 : 용기본체
3 : 뚜껑
4 : 밀봉부재
20 : 벽부
21 : 용기본체 개구부
22 : 속벽
23 : 상벽
24 : 하벽
25 : 제1측벽
26 : 제2측벽
27 : 포드 수용공간
28 : 개구 주연부
50 : 포드 재치부(위치결정부)
60 : 하방 가압부
61 : 가압부 지지부
63 : 선단부 가압부
64 : 가압부 구동부
304 : 훅형상부
615 : 판상 접촉부
647 : 훅형상부
RP : 레티클 포드

Claims (8)

  1. 내부에 기판을 수납할 수 있음과 아울러, 기판 이외의 피수용물(被收容物)을 수납할 수 있는 기판수납용기로서,
    상기 피수용물을 수용할 수 있는 포드 수용공간이 내부에 형성되고, 일단부(一端部)에 있어서 상기 포드 수용공간과 연통(連通)하는 용기본체 개구부가 형성된 개구 주연부(開口 周緣部)를 구비하는 용기본체와,
    상기 개구 주연부에 대하여 착탈이 가능하고, 상기 개구 주연부에 의하여 둘러싸이는 위치관계로 상기 용기본체 개구부를 폐쇄할 수 있는 뚜껑과,
    상기 뚜껑에 부착되고, 상기 뚜껑 및 상기 개구 주연부에 접촉할 수 있는 것으로서, 상기 개구 주연부와 상기 뚜껑의 사이에 끼워져 상기 개구 주연부 및 상기 뚜껑에 밀착하여 접촉됨으로써, 상기 뚜껑과 함께 상기 용기본체 개구부를 폐쇄하는 밀봉부재를
    구비하고,
    상기 용기본체는, 속벽, 상벽, 하벽 및 한 쌍의 측벽을 구비하는 벽부를 구비하고, 상기 속벽에 의하여 상기 벽부의 타단부(他端部)가 폐쇄되고, 상기 상벽의 일단부, 상기 하벽의 일단부 및 상기 측벽의 일단부에 의하여 상기 용기본체 개구부가 형성되고,
    상기 하벽에는, 상기 용기본체에 대한 상기 피수용물의 위치결정을 하는 위치결정부가 설치되고,
    상기 상벽에는, 상기 피수용물의 상부를, 상기 하벽의 방향으로 이동하여 가압하는 하방 가압부가 설치되고,
    상기 뚜껑은, 상기 용기본체 개구부를 폐쇄할 때에, 상기 하방 가압부로 상기 피수용물의 상부를 상기 하벽의 방향으로 가압하는
    기판수납용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 뚜껑은, 상기 하방 가압부와 결합할 수 있는 가압부 피결합부를 구비하고, 상기 용기본체 개구부를 폐쇄할 때에, 상기 가압부 피결합부가 상기 하방 가압부와 결합하여, 상기 하방 가압부로 상기 피수용물의 상부를 상기 하벽의 방향으로 가압하는 기판수납용기.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 뚜껑의 상기 가압부 피결합부와, 상기 가압부 피결합부와 결합하는 상기 하방 가압부의 구동부 결합부는, 서로 결합하는 훅형상(hook形狀)을 구비하고 있는 기판수납용기.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 하방 가압부는,
    상기 피수용물의 상부에 접촉하여 상기 피수용물을 상기 하벽의 방향으로 가압하는 선단부 가압부(先端部 加壓部)와,
    상기 선단부 가압부에 연결되어 상기 뚜껑의 이동에 따라 이동할 수 있는 가압부 구동부(加壓部 驅動部)와,
    상기 뚜껑이 상기 용기본체 개구부를 폐쇄하고 있지 않을 때에는, 상기 선단부 가압부가 피수용물로부터 이간(離間)된 상태가 되도록 상기 가압부 구동부를 가압하는 가압부재를
    구비하는 기판수납용기.
  5. 제1항 내지 제4항 중의 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 하방 가압부는,
    상기 피수용물의 상부에 접촉하여 상기 피수용물을 상기 하벽의 방향으로 가압하는 선단부 가압부와,
    상기 선단부 가압부에 연결되어 상기 뚜껑의 이동에 따라 이동할 수 있는 가압부 구동부를
    구비하고,
    상기 가압부 구동부는, 상기 뚜껑이 상기 속벽의 방향으로 이동할 때에, 수평방향에 대하여 소정의 각도로 경사진 상측방향으로 이동할 수 있는 기판수납용기.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 선단부 가압부의 상부가 상기 가압부 구동부에 의하여 상기 속벽의 방향으로 가압됨으로써, 상기 선단부 가압부의 하부는, 상기 속벽 측에서부터 용기본체 개구부 측으로 이동하고, 상기 피수용물의 상부에 접촉하여, 상기 피수용물의 상부를 상기 하벽의 방향으로 가압하는 기판수납용기.
  7. 제1항 내지 제4항 중의 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 벽부를 구성하는 재료는, 시클로올레핀폴리머에 의하여 구성되어 있는 기판수납용기.
  8. 제1항 내지 제4항 중의 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 포드 수용공간과 상기 용기본체의 외부의 공간을 연통할 수 있는 통기로(通氣路)를 구비하는 기판수납용기.
KR1020217019667A 2018-12-12 2018-12-12 기판수납용기 KR102632741B1 (ko)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2018/045728 WO2020121448A1 (ja) 2018-12-12 2018-12-12 基板収納容器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210099032A KR20210099032A (ko) 2021-08-11
KR102632741B1 true KR102632741B1 (ko) 2024-02-01

Family

ID=71075306

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020217019667A KR102632741B1 (ko) 2018-12-12 2018-12-12 기판수납용기

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JP7257418B2 (ko)
KR (1) KR102632741B1 (ko)
CN (1) CN113396113B (ko)
TW (1) TWI816950B (ko)
WO (1) WO2020121448A1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023122029A1 (en) * 2021-12-22 2023-06-29 Entegris, Inc. Polymer blends for microenvironments

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007019328A (ja) 2005-07-08 2007-01-25 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器の蓋体開閉方法
JP4218260B2 (ja) 2002-06-06 2009-02-04 東京エレクトロン株式会社 被処理体の収納容器体及びこれを用いた処理システム
JP2016091765A (ja) 2014-11-04 2016-05-23 リコーイメージング株式会社 電池収納機構及び撮像装置
US20180102269A1 (en) 2016-10-07 2018-04-12 Gudeng Precision Industrial Co., Ltd Vertical fixing transmission box and transmission method using the same

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002370777A (ja) * 2001-06-12 2002-12-24 Sony Corp 保管容器および保管容器の蓋体の開放構造
JP4634772B2 (ja) * 2004-10-14 2011-02-16 ミライアル株式会社 収納容器
JP6334716B2 (ja) * 2013-10-14 2018-05-30 インテグリス・インコーポレーテッド 前面開放式ウエハ容器の多孔性タワーディフューザアセンブリ
JP6536090B2 (ja) * 2015-03-06 2019-07-03 シンフォニアテクノロジー株式会社 搬送装置
JP6493339B2 (ja) 2016-08-26 2019-04-03 村田機械株式会社 搬送容器、及び収容物の移載方法
KR102050007B1 (ko) 2017-03-07 2020-01-08 서강대학교산학협력단 블록체인 기반 외부 서비스 지원 시스템 및 그 방법
KR102150670B1 (ko) * 2018-11-01 2020-09-01 세메스 주식회사 스토커

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4218260B2 (ja) 2002-06-06 2009-02-04 東京エレクトロン株式会社 被処理体の収納容器体及びこれを用いた処理システム
JP2007019328A (ja) 2005-07-08 2007-01-25 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器の蓋体開閉方法
JP2016091765A (ja) 2014-11-04 2016-05-23 リコーイメージング株式会社 電池収納機構及び撮像装置
US20180102269A1 (en) 2016-10-07 2018-04-12 Gudeng Precision Industrial Co., Ltd Vertical fixing transmission box and transmission method using the same

Also Published As

Publication number Publication date
CN113396113B (zh) 2023-03-28
KR20210099032A (ko) 2021-08-11
WO2020121448A1 (ja) 2020-06-18
JPWO2020121448A1 (ja) 2021-11-18
TW202036764A (zh) 2020-10-01
TWI816950B (zh) 2023-10-01
CN113396113A (zh) 2021-09-14
JP7257418B2 (ja) 2023-04-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11887875B2 (en) Substrate storing container
JP6450156B2 (ja) ガスパージ用フィルタ
JP6854341B2 (ja) 基板収納容器
TW201603172A (zh) 基板收納容器
KR102632741B1 (ko) 기판수납용기
TWI691445B (zh) 基板收納容器
TWI802650B (zh) 氣體吹掃用埠
KR102520475B1 (ko) 기판 수납 용기
JP2007142192A (ja) 薄板体収納容器
US20230197488A1 (en) Substrate storage container
JP6498758B2 (ja) 基板収納容器
WO2020122261A2 (ja) 基板収納容器
KR20220041078A (ko) 기판수납용기 및 필터부
JP2016119408A (ja) 基板収納容器
JP7453822B2 (ja) 基板収納容器
TWI652211B (zh) Substrate storage container and holding member
WO2021234809A1 (ja) 基板収納容器
WO2018154778A1 (ja) 基板収納容器

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant