TW201603172A

TW201603172A - 基板收納容器

Info

Publication number: TW201603172A
Application number: TW104120934A
Authority: TW
Inventors: Minoru Tomita; Tadatoshi Inoue
Original assignee: Miraial Co Ltd
Priority date: 2014-07-01
Filing date: 2015-06-29
Publication date: 2016-01-16
Also published as: WO2016002005A1

Abstract

本發明提供一種基板收納容器。基板收納容器(1)的氣道(801)具有：與基板收納空間(27)連接的基板收納空間側開口(807)；與容器主體(2)的外部空間連接的外部空間側開口(802)。過濾器部殼體具有：形成外部空間側開口(802)的噴嘴部(83)；以及與噴嘴部(83)分別獨立構成的、形成基板收納空間側開口(807)的過濾器外廓殼體部(81)、(82)、(84)。作為噴嘴部(83)的一部分的、外部空間側開口(802)的周圍的部分具有開口周圍突出部(834)，其能與向外部空間側開口(802)供給氣體的氣體供給口開口部抵接，並比過濾器外廓殼體部更向氣道(801)在外部空間側開口(802)開口的方向突出。

Description

基板收納容器

本發明關於一種對由半導體晶片等構成的基板進行收納、保管、搬運、輸送等時使用的基板收納容器。

作為用於收納並搬運由半導體晶片構成的基板的基板收納容器，以往公知的有具備容器主體以及蓋體的結構的基板收納容器。

容器主體具有在一端部形成有容器主體開口部、另一端部封閉的筒狀的壁部。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍形成，能夠收納複數個基板。蓋體相對於容器主體開口部可裝拆，並能夠封閉容器主體開口部。

在作為蓋體的一部分的、封閉容器主體開口部與基板收納空間相對的部分上，設有前部保持構件。當容器主體開口部被蓋體封閉時，前部保持構件能夠支承複數個基板的邊緣部。此外，以與前部保持構件成對的方式在壁部設有後側基板支承部。後側基板支承部能夠支承複數個基板的邊緣部。當容器主體開口部被蓋體封閉時，後側基板支承部通過與前部保持構件協同動作，支承複數個基板，由此在使相鄰的基板彼此以規定的間隔分開排列的狀態下保持複數個基板。

此外，在容器主體上設有止回閥。通過止回閥，從容器主體的外部朝向基板收納空間，用氮氣等惰性氣體或者除去了水分(1%以下)的乾燥氣體(以下稱為吹掃氣體)進行氣體吹掃。止回閥防止因氣體吹掃使填充在基板收納空間中的氣體漏出(參照專利文獻1~4)。

然而，止回閥的一端部位於容器主體的外部，與用於供給用於進行氣體吹掃的吹掃氣體的氣體供給口開口部連接。對於所述連接部分，要求高密封性、且要求盡可能地不洩漏吹掃氣體。

現有技術文獻

專利文獻1：日本專利公表公報特表2007-533166號

專利文獻2：日本專利公開公報特開2004-179449號

專利文獻3：日本專利公開公報特開2004-146676號

專利文獻4：日本專利公表公報特表2007-520895號

本發明的目的是提供一種基板收納容器，其能夠提高具有止回閥的過濾器部與用於供給吹掃氣體的氣體供給口開口部的連接部分的密封性。

本發明提供一種基板收納容器，其包括：容器主體，具備在一端部形成有容器主體開口部且另一端部被封閉的筒狀的壁部，由所述壁部的內表面形成基板收納空間，所述基板收納空間能收納複數個基板並與所述容器主體開口部連通；蓋體，相對於所述容器主體開口部可裝拆，能封閉所述容器主體開口部；以及過濾器部，具有：閥體；氣道，具有收容所述閥體的閥體收容室並能連通所述基板收納空間與所述容器主體的外部空間；過濾器，配置在所述氣道上；以及過濾器部殼體，形成所述氣道以及所述閥體收容室，所述過濾器部配置於所述壁部，使氣體能穿過所述過濾器並在所述容器主體的外部空間以及所述基板收納空間之間通過，所述閥體收容室構成所述氣道的一部分，所述閥體能在連通位置以及連通切斷位置之間移動，當所述閥體位於所述連通位置時，在所述閥體收容室中連通所述基板收納空間以及所述容器主體的外部空間，當所述閥體位於所述連通切斷位置時，在所述閥體收容室中切斷所述基板收納空間以及所述容器主體的外部空間的連通，所述氣道具有：基板收納空間側開口，與所述基板收納空間連接；以及外部空間側開口，與所述容器主體的外部空間連接，所述過濾器部殼體具有：噴嘴部，形成所述外部空間側開口；以及過濾器外廓殼體部，與所述噴嘴部分別獨立構成，固定有所述過濾器部，形成所述基板收納空間側開口，所述閥體收容室由所述噴嘴部的內周面形成，作為所述噴嘴部的一部分的所述外部空間側開口的周圍的部分具有開口周圍突出部，所述開口周圍突出部能與向所述外部空間側開口供給氣體的氣體供給口開口部抵接，比所述過濾器外廓殼體部更向所述氣道在所述外部空間側開口之開口的方向突出。

此外，較佳的是，所述閥體收容室具有外部空間側收容室開口以及收容空間側收容室開口，所述閥體具有密封面以及切口，所述密封面位於所述閥體的一端部，具有能以擇一的方式封閉所述外部空間側收容室開口以及所述收容空間側收容室開口中的任意一方的面積，所述切口從相對於所述閥體的一端部的另一端部向所述閥體的一端部延伸，所述閥體收容室能將所述閥體收容在能封閉所述外部空間側收容室開口的外部側封閉可能位置或能封閉所述收容空間側收容室開口的內部側封閉可能位置中的任意一方。

此外，較佳的是，所述基板收納容器具有施加作用力構件，所述施加作用力構件在所述閥體位於所述外部側封閉可能位置時，以使所述密封面封閉所述外部空間側收容室開口的方式對所述閥體施加作用力，以阻止氣體從所述外部空間側收容室開口向所述閥體收容室流入，所述施加作用力構件在所述閥體位於所述內部側封閉可能位置時，以使所述密封面封閉所述收容空間側收容室開口的方式對所述閥體施加作用力，以阻止氣體從所述收容空間側收容室開口向所述閥體收容室流入。

此外，較佳的是，所述閥體收容室位於比所述過濾器更靠所述容器主體的外部空間側的所述氣道的部分。

此外，較佳的是，所述噴嘴部具有：前端部突出部，具有所述開口周圍突出部；以及收容室形成部，與所述前端部突出部分別獨立構成，與所述前端部突出部連接，並形成所述閥體收容室。

此外，較佳的是，所述噴嘴部的所述開口周圍突出部具有能彈性變形的彈性構件。

此外，較佳的是，所述彈性構件的表面具有凹凸部，或者，所述彈性構件的表面被粗糙化。此外，較佳的是，所述噴嘴部的所述開口周圍突出部具有向基板收納容器的外側突出的圓頂形狀。

此外，較佳的是，所述過濾器外廓殼體部具有：內側開口形成部，形成所述基板收納空間側開口；以及噴嘴部支承部，與所述內側開口形成部連接，支承作為所述噴嘴部的一部分的、所述開口周圍突出部的附近的部分。

按照本發明，能夠提供一種基板收納容器，其能夠提高具有止回閥的過濾器部與用於供給吹掃氣體的氣體供給口開口部的連接部分的密封性。

1‧‧‧基板收納容器

2‧‧‧容器主體

20‧‧‧壁部

21‧‧‧開口部

22‧‧‧後壁

23‧‧‧上壁

231A、231B、241A、241B‧‧‧插銷卡合凹部

235A、235B‧‧‧肋

236‧‧‧頂凸緣

24‧‧‧下壁

245‧‧‧通孔/供氣孔

246‧‧‧通孔/排氣孔

25‧‧‧第一側壁

26‧‧‧第二側壁

27‧‧‧基板收納空間

28‧‧‧開口周緣部

281‧‧‧密封面

3‧‧‧蓋體

32A、32B‧‧‧上側插銷部

33‧‧‧前側操作部

5‧‧‧基板支承板狀部

80-1、80-2‧‧‧過濾器部

801‧‧‧氣道

802‧‧‧外部空間測開口

803‧‧‧外部空間側收容室開口

804‧‧‧閥體收容室

805‧‧‧收容空間側收容室開口

806‧‧‧通孔

807‧‧‧基板收納空間側開口

81‧‧‧過濾器外廓殼體部/內側開口形成部

811‧‧‧圓形突出部

812‧‧‧環狀周緣部

815‧‧‧凹部

82‧‧‧過濾器外廓殼體部/第一殼體部

821、831、841‧‧‧筒狀部

822‧‧‧端部凸緣部

823‧‧‧內側突出部

824‧‧‧小凸緣部

825‧‧‧突出部

83、83B‧‧‧噴嘴部

8311‧‧‧收容室形成部

8312‧‧‧前端部突出部

8313‧‧‧內表面側臺階部

8314‧‧‧內表面側凸部

832、832A‧‧‧外部突出部

833‧‧‧外徑小徑部

834、834A‧‧‧開口周圍突出部

835A‧‧‧圓頂狀部

84‧‧‧過濾器外廓殼體部/第二殼體部

842‧‧‧端部內側突出部

843‧‧‧端部軸向突出部

846‧‧‧肋部

847‧‧‧O形環

85‧‧‧過濾器

86‧‧‧閥體

861‧‧‧密封壁

862‧‧‧密封面

863‧‧‧切口

864‧‧‧側面凸部

87‧‧‧彈簧

W‧‧‧基板

D2‧‧‧上下方向

D21‧‧‧向上方向

D22‧‧‧向下方向

D3‧‧‧左右方向

D31‧‧‧向左方向

D32‧‧‧向右方向

圖1是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1中收納有基板W的情況的分解立體圖。

圖2是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。

圖3A是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1的上方立體圖。

圖3B是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1的下方立體圖。

圖4是表示在本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1防止了吹掃氣體從基板收納空間27洩漏的情況的剖視圖。

圖5是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1的剖視圖。

圖6是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1的分解立體圖。

圖7是表示在本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-2防止了氣體從基板收納空間27的外部流入基板收納空間27內的情況的剖視圖。

圖8是表示本發明的第二實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1A的剖視圖。

圖9是表示本發明的第三實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1B的剖視圖。

以下，參照圖式說明本發明的第一實施方式的、基板收納容器1以及基板收納容器用的過濾器部80-1、80-2。圖1是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1中收納有基板W的情況的分解立體圖。圖2是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。圖3A是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1的上方立體圖。圖3B是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1的下方立體圖。圖4是表示在本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1防止了吹掃氣體從基板收納空間27洩漏的情況的剖視圖。圖5是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1的剖視圖。圖6是表示本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1的分解立體圖。圖7是表示在本發明的第一實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-2防止了氣體從基板收納空間27的外部流入基板收納空間27內的情況的剖視圖。

在此，為了便於說明，把從後述的容器主體2朝向蓋體3的方向(從圖1中的右上朝向左下的方向)定義為向前方向D11，將其相反的方向定義為向後方向D12，將所述的方向合併定義為前後方向D1。此外，把從後述的下壁24朝向上壁23的方向(圖1中的向上方向)定義為向上方向D21，把其相反的方向定義為向下方向D22，將所述方向合併定義為上下方向D2。此外，把從後述的第二側壁26朝向第一側壁25的方向(從圖1中的右下朝向左上的方向)定義為向左方向D31，把其相反的方向定義為向右方向D32，將所述方向合併定義為左右方向D3。

此外，基板收納容器1中收納的基板W(參照圖1)是圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片、藍寶石晶片等在工業中使用的薄晶片。本實施方式中的基板W是直徑300mm~450mm的矽晶片。

如圖1如所示，基板收納容器1通過收納由如上所述的矽晶片構成的基板W，在工廠內的程序中作為搬運的程序內容器使用，或作為用於通過陸運手段、空運手段、海運手段等輸送手段輸送基板的發貨容器使用，基板收納容器1具有容器主體2、蓋體3、作為側方基板支承部的基板支承板狀部5、後側基板支承部(未圖示)、以及作為蓋體側基板支承部的前部保持構件(未圖示)。

容器主體2具有在一端部形成有容器主體開口部21、另一端部封閉的筒狀的壁部20。在容器主體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍形成。在作為壁部20的一部分的、形成基板收納空間27的部分上，配置有基板支承板狀部5。如圖1所示，在基板收納空間27中能夠收納複數個基板W。

基板支承板狀部5在基板收納空間27內以成對的方式設在壁部20上。當容器主體開口部21未被蓋體3封閉時，基板支承板狀部5通過與複數個基板W的邊緣部抵接，能在使相鄰的基板W彼此以分開規定的間隔排列的狀態下支承複數個基板W的邊緣部。在基板支承板狀部5的後側設有後側基板支承部(未圖示)。

後側基板支承部(未圖示)在基板收納空間27內以與前部保持構件(未圖示)成對的方式設置在壁部20上。當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，後側基板支承部(未圖示)通過與複數個基板W的邊緣部抵接，能夠支承複數個基板W的邊緣部的後部。

蓋體3相對於形成容器主體開口部21的開口周緣部28(圖1等)可裝拆，能夠封閉容器主體開口部21。前部保持構件(未圖示)設置在作為蓋體3的一部分的、容器主體開口部21被蓋體3封閉時與基板收納空間27相對的部分上。前部保持構件(未圖示)在基板收納空間27的內部以與後側基板支承部(未圖示)成對的方式配置。

當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，前部保持構件(未圖示)通過與複數個基板W的邊緣部抵接，能夠支承複數個基板W的邊緣部的前部。當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，前部保持構件(未圖示)通過與後側基板支承部(未圖示)協同動作支承複數個基板W，在使相鄰的基板W彼此分開規定的間隔排列的狀態下保持複數個基板W。以下，對各部分進行詳細的說明。

基板收納容器1由塑料材料等樹脂構成，當沒有特別說明時，作為所述材料的樹脂，例如採用聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物等熱塑性樹脂以及它們的合金(alloy)等。在對所述的成形材料的樹脂賦予導電性的情況下，選擇性地向所述的成形材料的樹脂中添加碳纖維、碳粉末、碳納米管、導電性聚合物等導電性物質。此外，為了提高剛性，也可以向所述的成形材料的樹脂中添加玻璃纖維以及碳纖維等。

如圖1等所示，容器主體2的壁部20具有後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25以及第二側壁26。後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25以及第二側壁26由所述的材料構成，在第一實施方式中由聚碳酸酯一體成形。

第一側壁25以及第二側壁26相對，上壁23以及下壁24相對。上壁23的後端、下壁24的後端、第一側壁25的後端以及第二側壁26的後端，全都與後壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一側壁25的前端以及第二側壁26的前端構成開口周緣部28，所述開口周緣部28形成大致長方形狀的容器主體開口部21，所述容器主體開口部21具有與後壁22相對的位置關係。

開口周緣部28設置在容器主體2的一端部，後壁22位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱狀。壁部20的內表面亦即後壁22的內表面、上壁23的內表面、下壁24的內表面、第一側壁25的內表面以及第二側壁26的內表面，形成由它們包圍的基板收納空間27。由開口周緣部28形成的容器主體開口部21，與被壁部20包圍且形成在容器主體2內部的基板收納空間27連通。基板收納空間27中最多能收納25個基板W。

如圖1所示，在作為上壁23以及下壁24的一部分的、開口周緣部28的附近的部分，形成有向基板收納空間27的外側凹入的插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B。插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23以及下壁24的左右兩端部附近各形成一個，合計形成四個。

如圖1所示，在上壁23的外表面設有與上壁23一體成形的肋235A、235B。肋235A、235B提高了容器主體2的剛性。此外，在上壁23的中央部固定有頂凸緣236。當在AMHS(自動晶片輸送系統)、PGV(晶片基板輸送台車)等上懸掛基板收納容器1時，頂凸緣236是基板收納容器1上用於懸掛的部分。

如圖2所示，在下壁24的四角形成有兩種通孔245、 246。通孔245構成供氣孔，通孔246構成排氣孔。在通孔245中配置有圖4所示結構的過濾器部80-1。在通孔246中配置有圖7所示結構的過濾器部80-2。過濾器部80-2的、收容在後述的閥體收容室804中的閥體86以及彈簧87的朝向，與過濾器部80-1的、收容在閥體收容室804中的閥體86以及彈簧87的朝向不同，除此以外的結構在過濾器部80-1以及過濾器部80-2中相同。因此，對於以下特別描述的部分以外的結構，省略了對過濾器部80-2的說明。

如圖4所示，過濾器部80-1具有作為過濾器部殼體的內側開口形成部81、第一殼體部82、噴嘴部83以及第二殼體部84；過濾器85；閥體86；以及作為施加作用力構件的彈簧87。內側開口形成部81、第一殼體部82以及第二殼體部84，構成過濾器外廓殼體部。內側開口形成部81、第一殼體部82、噴嘴部83以及第二殼體部84是分別由單獨部件構成的，所述單獨部件由各自獨立的部件構成。因此，由內側開口形成部81、第一殼體部82以及第二殼體部84構成的內部側過濾器部殼體部，是以與噴嘴部83分開的方式構成的。此外，通過由內側開口形成部81、第一殼體部82、噴嘴部83、第二殼體部84構成的過濾器部殼體，形成連通基板收納空間27以及容器主體2的外部空間的氣道801，所述氣道801具有收容閥體86的閥體收容室804。上下方向D2上的過濾器部80-1的高度為29.3mm。左右方向D3上的過濾器部80-1的寬度(過濾器部80-1的直徑)為38mm。

在圖4所示的結構的過濾器部80-1中，氣體能夠穿過過濾器85從容器主體2的外部空間通向基板收納空間27。此外，在圖7所示的結構的過濾器部80-2中，氣體能夠穿過過濾器85從基板收納空間27通向容器主體2的外部空間。

如圖4、圖6所示，內側開口形成部81具有圓盤形狀。內側開口形成部81的中央部分具有朝向上方向D21突出的圓形突出部811。內側開口形成部81的周向邊緣的部分，具有平板狀的環狀周緣部812。如圖3A所示，在圓形突出部811上從該圓形突出部811的中心呈放射狀地形成有複數個通孔806。複數個通孔806構成氣道801。複數個通孔806的上端的開口，通過向基板收納空間27開口，形成與基板收納空間27連接的基板收納空間側開口807。因此，氣道801具有基板收納空間側開口807。

如圖4所示，第一殼體部82具有筒狀部821、端部凸緣部822以及內側突出部823。筒狀部821具有圓筒形狀。筒狀部821的側面(外周面)上刻有陽螺紋部。在作為筒狀部821的側面的一部分的、比陽螺紋部更靠上方的部分，與筒狀部821一體成形有小凸緣部824。端部凸緣部822與筒狀部821一體成形，設置在比小凸緣部824所在的筒狀部821的部分更靠上方的、筒狀部821的上端部。端部凸緣部822具有朝向上方向D21延伸的突出部825。突出部825與形成於內側開口形成部81的環狀周緣部812 的凹部815通過超聲波被焊接，由此將端部凸緣部822固定在環狀周緣部812上。由此，第一殼體部82以與內側開口形成部81同軸的位置關係與內側開口形成部81連接。

內側突出部823從作為筒狀部821的內周面的一部分的、筒狀部821的軸向上的端部凸緣部822以及小凸緣部824之間的部分，向筒狀部821的半徑方向的內側突出，具有沿著筒狀部821的內周面的環形的板形。具有環形的板形的內側突出部823的中央的開口，構成收容空間側收容室開口805。收容空間側收容室開口805的直徑為14.0mm。

如圖4、圖6所示，噴嘴部83具有筒狀部831以及外部突出部832。筒狀部831具有圓筒形狀。筒狀部831的上部的外徑比第一殼體部82的筒狀部831的內徑略小。由此，噴嘴部83的筒狀部831以與第一殼體部82的筒狀部821同軸的位置關係配置在由第一殼體部82的筒狀部821的內周面形成的空間內。由筒狀部821的內周面形成的閥體收容室804的直徑為18.2mm。

筒狀部831的外周面的下部，具有外徑小的外徑小徑部833。筒狀部831以及外部突出部832通過一體成形與外徑小徑部833連接。外部突出部832具有軸向長度短的圓筒形狀。外部突出部832的外徑、內徑，分別比外徑小徑部833的外徑、內徑小。外部突出部832的上端部的開口構成外部空間側收容室開口803。外部突出部832的下端部的開口構成外部空間側開口802。外部空間側開口802 的直徑為9mm。外部空間側開口802向容器主體2的外部空間露出，並與容器主體2的外部空間連接。形成有外部空間側開口802的外部突出部832的下端部，構成開口周圍突出部834。外部空間側開口802構成氣道801。因此，氣道801具有外部空間側開口802。

如圖4、圖6所示，第二殼體部84具有筒狀部841、端部內側突出部842以及端部軸向突出部843。筒狀部841具有圓筒形狀。筒狀部841的內徑比第一殼體部82的筒狀部841的外徑大。由此，第一殼體部82以與第二殼體部84的筒狀部841同軸的位置關係配置在由第二殼體部84的筒狀部841的內周面形成的空間內。

筒狀部841的內周面上刻有陰螺紋部。第一殼體部82的筒狀部821的陽螺紋部與陰螺紋部螺紋連接。由此，第二殼體部84被固定在第一殼體部82上。端部內側突出部842以與筒狀部841的下端部一體成形的方式設置。端部內側突出部842從筒狀部841的下端部向筒狀部841的半徑方向內側突出，具有沿著筒狀部841的內周面的環形的板狀。端部軸向突出部843從端部內側突出部842的下表面朝向下方向D22突出，具有沿著端部內側突出部842的環狀。此外，如圖3B等所示，設有從端部軸向突出部843向筒狀部841的外側突出的肋部846。肋部846在筒狀部841的周向上以等間隔形成有四個。

作為噴嘴部83的一部分的外部空間側開口802的周圍的部分亦即外部突出部832的下端部，比構成過濾器外廓殼體部的下端部的端部軸向突出部843的下端部更向作為氣道801在外部空間側開口802開口的方向的向下方向D22突出。即，噴嘴部83的開口周圍突出部834，在過濾器部80-1中向最下方突出。換句話說，開口周圍突出部834比作為構成過濾器部殼體的噴嘴部83以外的構件的內側開口形成部81、第一殼體部82以及第二殼體部84的任何一個部分都更向下方突出。

噴嘴部83使用了排氣發生量少的聚碳酸酯。除了聚碳酸酯以外，可以使用環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚醚酮等樹脂。此外，噴嘴部83也可以使用彈性構件。作為彈性構件，例如可以使用聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚乙烯等樹脂、聚乙烯彈性體以及聚烯烴彈性體等彈性體、矽橡膠以及氟橡膠等橡膠材料。噴嘴部83的開口周圍突出部834的下端面實施有表面花紋加工，被粗糙化。

如圖4等所示，在第二殼體部84以及噴嘴部83之間配置有O形環847。O形環847以被夾在第二殼體部84的端部內側突出部842的上表面與臺階部之間的方式配置，所述臺階部形成在噴嘴部83的筒狀部831的上部與外徑小徑部833的連接位置。由此，作為噴嘴部83的一部分的、開口周圍突出部834的附近的部分通過O形環847，被第二殼體部84密封並支承。

在過濾器部80-1中，由構成過濾器部殼體的內側開口形成部81、第一殼體部82、噴嘴部83以及第二殼體部84，形成氣道801。更具體而言，氣道801從內側開口形成部 81的通孔806的基板收納空間側開口807起接著閥體收容室804一直延續到噴嘴部83的外部空間側開口802。閥體收容室804具有外部空間側收容室開口803以及收容空間側收容室開口805。

如圖4、圖6所示，閥體86具有大致圓筒狀。閥體86的一端部被密封壁861封閉。密封壁861的外表面構成密封面862。密封面862具有能以擇一的方式封閉外部空間側收容室開口803以及收容空間側收容室開口805中任意一方的面積。具體地說，密封面862的面積比外部空間側收容室開口803的開口面積以及收容空間側收容室開口805的開口面積中的任意一方都足夠大。因此，在圖4所示的狀態下將閥體86收容在閥體收容室804中的情況下，能夠用密封面862封閉外部空間側收容室開口803，在圖7所示的狀態下將閥體86收容在閥體收容室804中的情況下，可以用密封面862封閉收容空間側收容室開口805。即，閥體收容室804能將閥體86收容在圖4所示的能封閉外部空間側收容室開口803的外部側封閉可能位置以及圖7所示的能封閉收容空間側收容室開口805的內部側封閉可能位置中的任意一方的位置。

如圖6所示，在作為閥體86的一部分的、從閥體86的軸向中央位置到另一端部為止的部分上形成有切口863。切口863在閥體86的周向上以等間隔形成有四個。在閥體86的側面上設有從閥體86的側面朝向閥體86的外側半圓狀地突出的側面凸部864。側面凸部864在閥體86 的側面上從閥體86的一端延伸至另一端。側面凸部864在閥體86的側面上位於相鄰的切口863與切口863之間。

閥體86的軸向上的全長，比上下方向D2上的從噴嘴部83的筒狀部831的上端到噴嘴部83的外徑小徑部833的上端的距離短。側面凸部864的突出端相對於噴嘴部83的筒狀部831的內周面能在噴嘴部83的筒狀部831的軸向上滑動。通過該滑動，閥體86能在密封面862與外徑小徑部833的上端抵接並封閉外部空間側收容室開口803的位置(切斷位置)到閥體86的上端部與第一殼體部82的內側突出部823抵接的位置(最上位置)之間移動。因此，閥體86能在連通位置以及連通切斷位置之間移動，當閥體86位於所述連通位置時，在閥體收容室804中連通基板收納空間27與容器主體2的外部空間，當閥體86位於所述連通切斷位置時，在閥體收容室804中切斷基板收納空間27與容器主體2的外部空間的連通。

此外，如圖4、圖5所示，由於形成有側面凸部864，所以在閥體86的側面與噴嘴部83的筒狀部831的內周面之間，確保了構成氣道801(閥體收容室804的一部分)的空間。此外，因為在閥體86上形成有切口863，所以即使閥體86的上端部與第一殼體部82的內側突出部823抵接時，也能夠確保構成氣道801的空間。考慮吹掃氣體(N₂)對基板收納空間27內的氣體置換的置換效率，氣道801具有能流通40L(升)/分鐘以上的吹掃氣體的寬廣度。具體地說，圖5所示的閥體86與噴嘴部83之間的閥體收容室804(氣道801)部分的面積(在圖5中，閥體86與噴嘴部83之間的未畫剖面線的部分的面積)為69mm2。

過濾器85具有圓盤形狀。過濾器85的周緣部以被第一殼體部82的端部凸緣部822以及內側開口形成部81的環狀周緣部812夾持的位置關係，相對於端部凸緣部822以及環狀周緣部812固定。由此，過濾器85配置在氣道801上。因此，閥體收容室804位於比過濾器85更靠容器主體2的外部空間側的氣道801部分。過濾器85阻止顆粒等通過內側開口形成部81的通孔806。

彈簧87由壓縮彈簧構成。如圖4所示，在構成過濾器部80-1的情況下，彈簧87的下端部與閥體86的密封壁861的內表面抵接。彈簧87的上端部與第一殼體部82的內側突出部823抵接。如圖7所示，在構成過濾器部80-2的情況下，彈簧87的上端部與閥體86的密封壁861的內表面抵接。彈簧87的下端部與噴嘴部83的外部突出部832的上表面抵接。

因此，當閥體86位於外部側封閉可能位置時，彈簧87以使閥體86的密封面862封閉外部空間側收容室開口803的方式對閥體86施加作用力，以阻止氣體從外部空間側收容室開口803向閥體收容室804流入。當閥體86位於內部側封閉可能位置時，彈簧87以使閥體86的密封面862封閉收容空間側收容室開口805的方式對閥體86施加作用力，以阻止氣體從收容空間側收容室開口805向閥體收容室804流入。

作為彈簧87的彈性係數(彈簧常數)，具有0.02kgf/mm以上0.005kgf/mm以下的值。之所以設為0.02kgf/mm以上，是因為在氣體吹掃後，可以將基板收納空間27內的壓力維持為正壓。之所以設為0.005kgf/mm以下，是因為可以在氣體吹掃時利用從外部空間側開口802流入的吹掃氣體的壓力(吹掃壓力)，容易地將閥體86設置在連通位置。此外，當從容器主體開口部21取下封閉容器主體開口部21的蓋體3時，基板收納空間27相對於容器主體2的外部空間成為瞬時負壓。採用如上所述的彈性係數是因為此時也能夠容易地將閥體86設置在連通位置。

如圖1等所示，蓋體3具有與容器主體2的開口周緣部28的形狀大致一致的大致長方形狀。蓋體3相對於容器主體2的開口周緣部28可裝拆，通過在開口周緣部28上安裝蓋體3，蓋體3能封閉容器主體開口部21。在作為蓋體3的內表面(圖1所示的蓋體3裡側的面)的、與在蓋體3封閉容器主體開口部21時在向後方向D12上緊靠開口周緣部28的位置形成的臺階部分的面(密封面281)相對的面上，安裝有環狀的密封構件4。密封構件4由能彈性變形的聚酯系、聚烯烴系等各種熱塑性彈性體、氟橡膠製品、矽橡膠製品等構成。密封構件4以環繞蓋體3的外周緣部一周的方式配置。

當蓋體3安裝到開口周緣部28上時，密封構件4被密封面281以及蓋體3的內表面夾持而彈性變形，蓋體3以密閉的狀態封閉容器主體開口部21。通過從開口周緣部28 取下蓋體3，能相對於容器主體2內的基板收納空間27取放基板W。

在蓋體3上設有插銷機構。如圖1所示，插銷機構設置在蓋體3的左右兩端部附近，具備能從蓋體3的上邊朝向上方向D21突出的兩個上側插銷部32A、32B、以及能從蓋體3的下邊朝向下方向D22突出的兩個下側插銷部(未圖示)。兩個上側插銷部32A、32B分別配置在蓋體3的上邊的左右兩端附近，兩個下側插銷部分別配置在蓋體3的下邊的左右兩端附近。

在蓋體3的外表面上設有操作部33。通過從蓋體3的前側操作部33，可以使上側插銷部32A、32B、下側插銷部(未圖示)分別從蓋體3的上邊、下邊突出，此外，也可以設置為使其不分別從上邊、下邊突出的狀態。通過使上側插銷部32A、32B從蓋體3的上邊朝向上方向D21突出，並與容器主體2的插銷卡合凹部231A、231B卡合，並且使下側插銷部(未圖示)從蓋體3的下邊朝向下方向D22突出，並與容器主體2的插銷卡合凹部241A、241B卡合，蓋體3被固定在容器主體2的開口周緣部28。

在蓋體3的內側，形成有向基板收納空間27的外側凹入的凹部(未圖示)。在凹部(未圖示)以及凹部的外側的蓋體3的部分上，固定設有前部保持構件(未圖示)。

前部保持構件(未圖示)具有前部保持構件基板承接部(未圖示)。前部保持構件基板承接部(未圖示)在左右方向D3上以分開規定的間隔且成對的方式兩個兩個地配置。這種以成對的方式兩個兩個配置的前部保持構件基板承接部，在上下方向D2上以並列的狀態設有25對。通過在基板收納空間27內收納基板W並關閉蓋體3，前部保持構件基板承接部夾持並支承基板W的邊緣部的端部邊緣。

在所述的基板收納容器1中，如下所述地進行過濾器部80-1對氣道801的連通/切斷。首先，進行氣體吹掃時，使噴嘴部83的開口周圍突出部834與向外部空間側開口802供給氣體的氣體供給裝置(未圖示)的供氣噴嘴的氣體供給口開口部抵接。此時，在由內側開口形成部81、第一殼體部82、噴嘴部83以及第二殼體部84構成的過濾器部殼體中，噴嘴部83的開口周圍突出部834最向下方突出。因此，僅有開口周圍突出部834與供氣噴嘴的氣體供給口開口部(未圖示)抵接，作為其他構件的內側開口形成部81、第一殼體部82以及第二殼體部84不與供氣噴嘴的氣體供給口開口部(未圖示)抵接。因此，在開口周圍突出部834與供氣噴嘴的氣體供給口開口部(未圖示)之間難以產生間隙的狀態下，所述部件在安定貼緊的狀態下抵接，維持高密封性的狀態。

接著，從氣體供給裝置(未圖示)的供氣噴嘴的氣體供給口開口部向外部空間側開口802供給吹掃氣體。由此，過濾器部80-1的閥體86反抗彈簧87的作用力，從圖4所示的連通切斷位置向上方移動，成為處於連通位置的狀態。由此，外部空間側收容室開口803成為打開的狀態，吹掃氣體流入閥體收容室804，從閥體收容室804流向收容空間側收容室開口805、基板收納空間側開口807以及通孔806，並向基板收納空間27流入。

伴隨吹掃氣體流入基板收納空間27，基板收納空間27的氣壓上升。由此，過濾器部80-2的閥體86反抗彈簧87的作用力從圖7所示的連通切斷位置向下方移動，成為處於連通位置的狀態。由此，收容空間側收容室開口805成為打開的狀態，被吹掃氣體推出並曾存在於基板收納空間27的空氣，流入閥體收容室804，從閥體收容室804流向外部空間側收容室開口803、外部空間側開口802，並向容器主體2的外部空間流出。

此外，從容器主體開口部21取下封閉容器主體開口部21的蓋體3時，基板收納空間27相對於容器主體2的外部空間成為瞬時負壓。此時，由於從內側開口形成部81的通孔806流入閥體收容室804的大氣，過濾器部80-1的閥體86反抗彈簧87的作用力從圖4所示的連通切斷位置向上方移動，成為處於連通位置的狀態。由此，外部空間側收容室開口803成為打開的狀態，容器主體2的外部空間的空氣流入閥體收容室804，並從閥體收容室804流向收容空間側收容室開口805。而後，通過過濾器85流向基板收納空間側開口807，並向基板收納空間27流入。

此外，當基板收納容器1被空運時，基板收納空間27的氣壓變得高於容器主體2的外部空間的氣壓。此時，過濾器部80-2的閥體86反抗彈簧87的作用力，從圖7所示的連通切斷位置向下方移動，成為處於連通位置的狀態。由此，收容空間側收容室開口805成為打開的狀態，曾經存在於基板收納空間27的空氣流入閥體收容室804，從閥體收容室804流向外部空間側收容室開口803、外部空間側開口802，並向容器主體2的外部空間流出。

與此相對，基板收納容器1的空運結束返回了地面時，基板收納空間27的氣壓變得低於容器主體2的外部空間的氣壓。此時，過濾器部80-1的閥體86反抗彈簧87的作用力，從圖4所示的連通切斷位置向上方移動，成為處於連通位置的狀態。由此，外部空間側收容室開口803成為打開的狀態，容器主體2的外部空間的空氣流入閥體收容室804，從閥體收容室804流向收容空間側收容室開口805。而後，通過過濾器85流向基板收納空間側開口807，並向基板收納空間27流入。

按照所述結構的第一實施方式的基板收納容器1，可以得到以下所述的效果。如上所述，基板收納容器1具備容器主體2、蓋體3、過濾器部80-1、80-2。容器主體2具備在一端部形成有容器主體開口部21、另一端部封閉的筒狀的壁部20，利用壁部20的內表面形成能收納複數個基板W且與容器主體開口部21連通的基板收納空間27。蓋體3相對於容器主體開口部21可裝拆，並能封閉容器主體開口部21。過濾器部80-1、80-2包括：閥體86；氣道801，具有收容閥體86的閥體收容室804，能連通基板收納空間27與容器主體2的外部空間；過濾器85，配置在氣道801上；以及過濾器部殼體，形成氣道801以及閥體收容室804，所述過濾器部80-1、80-2配置於壁部20，能使氣體穿過過濾器85在容器主體2的外部空間以及基板收納空間27之間通過。閥體收容室804構成氣道801的一部分。閥體86能在連通位置以及連通切斷位置之間移動，當閥體處於連通位置時，在閥體收容室804中連通基板收納空間27以及容器主體2的外部空間，當閥體804處於連通切斷位置時，在閥體收容室804中切斷基板收納空間27以及容器主體2的外部空間的連通。氣道801具有：基板收納空間側開口807，與基板收納空間27連接；以及外部空間側開口802，與容器主體2的外部空間連接。過濾器部殼體具有噴嘴部83以及與噴嘴部83分別獨立構成的過濾器外廓殼體部(81、82、84)。噴嘴部83形成外部空間側開口802。作為過濾器外廓殼體部的內側開口形成部81，形成基板收納空間側開口807。作為噴嘴部83的一部分的、外部空間側開口802的周圍的部分具有開口周圍突出部834，所述開口周圍突出部834能與向外部空間側開口802供給氣體的氣體供給口開口部抵接，比過濾器外廓殼體部更向氣道801在外部空間側開口802開口的方向突出。

這樣，由於作為噴嘴部83的一部分的、外部空間側開口802的周圍的部分，能與向外部空間側開口802供給氣體的氣體供給口開口部抵接，並比過濾器外廓殼體部81、82、84更向氣道801在外部空間側開口802開口的方向突出，所以能夠避免例如過濾器外廓殼體部等噴嘴部83以外的部分，與向外部空間側開口802供給氣體的氣體供給口開口部抵接。因此，能夠在開口周圍突出部834以及供氣噴嘴的氣體供給口開口部之間難以產生間隙的狀態下、且在開口周圍突出部834以及供氣噴嘴的氣體供給口開口部安定貼緊的狀態下彼此抵接，能夠在開口周圍突出部834以及供氣噴嘴的氣體供給口開口部之間維持高密封性的狀態。

此外，如上所述，由於過濾器部殼體是與形成外部空間側開口802的噴嘴部83分別獨立構成的，所以能用容易與供氣噴嘴的氣體供給口開口部貼緊的材料構成噴嘴部83。由此，能夠進一步提高開口周圍突出部834以及供氣噴嘴的氣體供給口開口部之間的密封性。

此外，閥體收容室804具有外部空間側收容室開口803以及收容空間側收容室開口805，閥體86具有密封面862，密封面862具有能以擇一的方式封閉外部空間側收容室開口803以及收容空間側收容室開口805中的任意一方的面積。閥體收容室804能夠將閥體86收容在能封閉外部空間側收容室開口803的外部側封閉可能位置或者能封閉收容空間側收容室開口805的內部側封閉可能位置中的任意一方。

通過所述結構，可以根據需要，使用一個閥體86設置在能封閉外部空間側收容室開口803的外部側封閉可能位置或者能封閉收容空間側收容室開口805的內部側封閉可能位置。

此外，具有作為施加作用力構件的彈簧87，當閥體86處於外部側封閉可能位置時，彈簧87以使密封面862封閉外部空間側收容室開口803的方式對閥體86施加作用力，以阻止氣體從外部空間側收容室開口803向閥體收容室804流入；當閥體86處於內部側封閉可能位置時，彈簧87以使密封面862封閉收容空間側收容室開口805的方式對閥體86施加作用力，以阻止氣體從收容空間側收容室開口805向閥體收容室804流入。

通過所述結構，當閥體86處於外部側封閉可能位置時，閥體86能夠維持封閉外部空間側收容室開口803的狀態，能夠抑制填充在基板收納空間27內的吹掃氣體從外部空間側收容室開口803向容器主體2的外部洩漏。此外，當閥體86處於內部側封閉可能位置時，能夠維持封閉收容空間側收容室開口805的狀態，在通過氣體吹掃向基板收納空間27內填充了吹掃氣體、且基板收納空間27內的壓力成為低於規定的壓力之後，能夠抑制基板收納空間27內的吹掃氣體從收容空間側收容室開口805向容器主體2的外部洩漏。

此外，閥體收容室804位於比過濾器85更靠容器主體2的外部空間側的氣道801的部分。通過該結構，能夠防止因在閥體收容室804中閥體86以及噴嘴部83的滑動產生的顆粒等流入基板收納空間27內。

此外，在噴嘴部83的開口周圍突出部834由彈性構件構成的情況下，能夠使噴嘴部83容易與供氣噴嘴的氣體供給口開口部貼緊。由此，能夠進一步提高開口周圍突出部834與供氣噴嘴的氣體供給口開口部之間的密封性。

此外，噴嘴部83的開口周圍突出部834的表面被粗糙化。通過該結構，能夠抑制噴嘴部83的開口周圍突出部834與供氣噴嘴的氣體供給口開口部緊密接觸並黏貼到供氣噴嘴的氣體供給口開口部上。

此外，過濾器外廓殼體部包括：內側開口形成部81，形成基板收納空間側開口807；以及噴嘴部支承部(第一殼體部82、第二殼體部84)，與內側開口形成部81連接，支承作為噴嘴部83的一部分的、開口周圍突出部834的附近的部分。通過該結構，能夠容易地使閥體86相對於閥體收容室804裝拆。此外，即使內側開口形成部81以及第一殼體部82中的任意一方破損時，也能夠容易地更換破損的構件。

接著，參照圖8說明本發明的第二實施方式的基板收納容器。圖8是表示本發明的第二實施方式的基板收納容器的過濾器部80-1A的剖視圖。

在第二實施方式的基板收納容器中，噴嘴部83的外部突出部832A的形狀，與第一實施方式的基板收納容器1的、噴嘴部83的外部突出部832的形狀不同。由於除此以外的結構與第一實施方式的基板收納容器1的結構相同，因此對於以及第一實施方式中的各結構相同的結構，標注相同的圖式標記並省略說明。

噴嘴部83的開口周圍突出部834A，具有向基板收納容器1的外側突出的圓頂形狀。具體地說，開口周圍突出部834A具有比圖4、圖7所示的第一實施方式的開口周圍突出部834更向下方以大致半球形的圓頂狀的方式突出的圓頂狀部835A。因此，開口周圍突出部834A的前端，比第一實施方式的開口周圍突出部834更細地向下方延伸。

按照所述結構的第二實施方式的基板收納容器1，可以得到以下所述的效果。如上所述，噴嘴部83的開口周圍突出部834A，具有向基板收納容器1的外側突出的圓頂形狀。通過該結構，圓頂狀部835A的表面的曲面能夠容易地與供氣噴嘴的氣體供給口開口部(未圖示)貼緊，並且能夠容易地維持所述貼緊的狀態。其結果，能夠使開口周圍突出部834A以及供氣噴嘴的氣體供給口開口部之間維持高密封性的狀態。

接著，參照圖9說明本發明的第三實施方式的基板收納容器。圖9是表示本發明的第三實施方式的基板收納容器1的過濾器部80-1B的剖視圖。

在第三實施方式的基板收納容器1中，噴嘴部83B的結構與第一實施方式的基板收納容器1的噴嘴部83的結構不同。由於其他結構以及第一實施方式的基板收納容器1的結構相同，所以對於以及第一實施方式中的各結構相同的結構，標注相同的圖式標記並省略說明。

噴嘴部83B具有收容室形成部8311以及前端部突出部8312。收容室形成部8311、前端部突出部8312構成噴嘴部83B。前端部突出部8312具有開口周圍突出部834。前端部突出部8312的上部具有切掉前端部突出部8312上部的內周面側部分這樣的內表面側臺階部8313。

收容室形成部8311與前端部突出部8312分別獨立構成，形成閥體收容室804。收容室形成部8311的下部，具有收容室形成部8311的下部的內周面側的部分向下方突出這樣的內表面側凸部8314。通過雙色成形使內表面側凸部8314與內表面側臺階部8313卡合，由此，收容室形成部8311與前端部突出部8312連接並被固定。

按照所述結構的第三實施方式的基板收納容器1，可以得到以下所述的效果。如上所述，噴嘴部83B具有：前端部突出部8312，具有開口周圍突出部834；以及收容室形成部8311，與前端部突出部8312分別獨立構成，與前端部突出部8312連接，形成閥體收容室804。

通過該結構，在噴嘴部83B中，可以用具有彈性的材料構成前端部突出部8312，用沒有彈性或彈性低的材料構成收容室形成部8311。

本發明不限於所述的實施方式，在申請專利範圍中所記載的技術範圍內可以進行變形。例如，噴嘴部83採用了彈性構件，但是不限於此。噴嘴部83的開口周圍突出部834，也可以具有能彈性變形的彈性構件。例如，可以將彈性構件固定在噴嘴部83的開口周圍突出部834的下端面，構成密封面862。

此外，噴嘴部83的開口周圍突出部834的下端面被粗糙化，但是不限於此。例如，噴嘴部83的開口周圍突出部834的下端面也可以具有凹凸。

此外，在第三實施方式中，在收容室形成部8311中，通過雙色成形，收容室形成部8311與前端部突出部8312連接並被固定，但是不限於雙色成形。例如，也可以將由不同的構件構成的收容室形成部8311以及前端部突出部8312彼此固定配合。通過該結構，在前端部突出部8312磨損或破損時，可以在噴嘴部83B中僅更換前端部突出部8312。

此外，過濾器部的結構不限於本實施方式中的過濾器部80-1、80-2的結構。例如，過濾器外廓殼體部由內側開口形成部81、第一殼體部82以及第二殼體部84這三個構件構成，但是不限於此。

此外，在本實施方式中，在容器主體2前部的兩個位置使用了過濾器部80-2，在容器主體2後部的兩個位置使用了過濾器部80-1，但是不限於此。例如，可以在容器主體2的右前部使用過濾器部80-1。

此外，容器主體2以及蓋體的形狀以及容器主體2中能收納的基板W的個數、尺寸，也都不限於本實施方式的容器主體2以及蓋體3的形狀以及容器主體2中能收納的基板W的個數、尺寸。

80-1‧‧‧過濾器部