JP6450156B2 - ガスパージ用フィルタ - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態によるガスパージ用フィルタ80について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係るガスパージ用フィルタ80が収納容器1に取り付けられ、基板Wが収納された様子を示す分解斜視図である。図2は、本発明の第1実施形態に係るガスパージ用フィルタ80が収納容器1に取り付けられた様子を示す下方斜視図である。図3(A)は、本発明の第1実施形態に係るガスパージ用フィルタ80を示す上方斜視図である。図3(B)は、本発明の第1実施形態に係るガスパージ用フィルタ80を示す下方斜視図である。図4は、本発明の第1実施形態に係るガスパージ用フィルタ80を示す分解斜視図である。図5は、本発明の第1実施形態に係るガスパージ用フィルタ80を収納容器1に取り付けた部分を示す断面図である。図6は、図5におけるガスパージ用フィルタ先端部406の近傍を拡大した断面図である。
図1等に示すように、容器本体2の壁部20は、奥壁22と上壁23と下壁24と第1側壁25と第2側壁26とを有する。奥壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25、及び第2側壁26は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
工場内の工程において収納容器1が工程内容器として用いられているときには、容器本体2において下壁24は下部に位置し上壁23は上部に位置している。この収納容器1のガスパージ用フィルタ80を用いたガスパージの方法は、蓋体3で容器本体2の容器本体開口部21を塞いで行う場合と、収納容器1から蓋体3を外した状態で行う場合の2通りがある。以下、蓋体3で容器本体2を塞いだ状態での説明を行う。
パージポート800とガスパージ用フィルタ80との当接時の気密性を確実に取るためには、弾性体のパッド300が有用である。しかし、パッド300が弾性体であるため、この弾性体のパッド300にパージガスが接触すると、パッド300の含まれる水分や収納物である基板に悪影響を及ぼす物質がパージガス中に含まれ、それが収納容器1の収納空間27に放出されてしまう。そのため、ガスパージの目的である、収納容器1の収納空間内の水分(湿度)の低下を阻害する可能性があるが、本実施形態においては、パージガスが通過する通気空間中に、弾性体が介在することがないので、ガスパージ中にパッド300から放出される水分や基板に悪影響を及ぼす物質を収納容器1内の収納空間27に放出することがなく、収納容器1内の収納空間27を低湿度でクリーンな環境を提供することができる。
次に、本発明の第2実施形態によるガスパージ用フィルタ80Aについて図7(A)と図7(B)を参照しながら説明する。図7(A)は、本発明の第2実施形態に係るガスパージ用フィルタ80Aのガスパージ用フィルタ先端部406Aの近傍を拡大した断面図で、パージポート800と当接する前の状態を示す図である。図7(B)は、本発明の第2実施形態に係るガスパージ用フィルタ80Aのガスパージ用フィルタ先端部406Aの近傍を拡大した断面図で、パージポート800と当接した状態を示す図である。
次に、本発明の第3実施形態によるガスパージ用フィルタ80Bについて図8(A)と図8(B)を参照しながら説明する。図8(A)は、本発明の第3実施形態に係るガスパージ用フィルタ80Bのガスパージ用フィルタ先端部406Bの近傍を拡大した断面図で、パージポート800と当接する前の状態を示す図である。図8(B)は、本発明の第3実施形態に係るガスパージ用フィルタ80Bのガスパージ用フィルタ先端部406Bの近傍を拡大した断面図で、パージポート800と当接した状態を示す図である。
次に、本発明の第4実施形態によるガスパージ用フィルタ80C、80Dについて図9から図11を参照しながら説明する。図9は、本発明の第4実施形態に係るガスパージ用フィルタ80Cを示す分解斜視図である。図10は、本発明の第4実施形態に係るガスパージ用フィルタ80Cの給気用のガスパージ用フィルタの断面図である。図11は、本発明の第4実施形態に係るガスパージ用フィルタ80Dの排気用のガスパージ用フィルタの断面図である。
2 容器本体
3 蓋体
24 下壁
45 貫通孔(アクセス開口)
80、80A、80B、80C、80D ガスパージ用フィルタ
90 フィルタハウジング
100、100C 第1ハウジング
101、101C 上部第1ハウジング
102、102C 下部第1ハウジング
103 ノズル部
105 パッド当接部
106、106C ノズル先端部
110 通気空間
111 上部通気空間
112 下部通気空間
113 ノズル部通気空間
120 収納空間側開口
121 収納空間外側開口
150 フィルタ体
200 第2ハウジング
210 第2ハウジング押え部
300、300A、300B、300C パッド
305 パッド内側先端部
306、306A 306B、306C パッド外側先端部
307A、307B パッド外側先端変形部
310、310A、310B パッド内径凸部
400C 内部ハウジング
406、406A、406B、406C ガスパージ用フィルタ先端部
500C、500D 作動部材(逆止弁機構)
501C バネ
502C 弁体
800、800B パージポート
801、801B パージガス流通路
802、802B パージポート先端部
803B パージポート環状凸部
W 基板
Claims (4)
- 一端部に容器本体開口部を有した容器本体と前記容器本体開口部に対して着脱可能であり前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体により内部に収納空間が形成された収納容器に前記容器本体あるいは前記蓋体の少なくともどちらか一方に形成された前記収納容器の外部の空間と前記収納空間を連通可能なアクセス開口に取り付けられるガスパージ用フィルタにおいて、
前記収納容器の外部の空間の気体と前記収納空間の気体を通気可能な通気空間を有するフィルタハウジングと、
前記フィルタハウジングの前記収納空間の外側に形成され前記通気空間の一部を形成するノズル部の外周面を覆うように形成されたパッドを有し、
前記フィルタハウジングは熱可塑性樹脂により形成され、
前記パッドは弾性体により形成され、
前記ノズル部の先端部で前記収納空間の外側方向に形成されたノズル先端部と、前記パッドの先端部で前記収納空間の外側方向に形成されたパッド外側先端部とから構成されるガスパージ用フィルタ先端部において、
前記収納容器の内部のガスをパージするためのガスパージ装置のパージポートが前記ガスパージ用フィルタ先端部に当接し、ガスパージが実行される際に、前記ノズル先端部の位置が、前記ガスパージ用フィルタ先端部に当接する前記パッド外側先端部の位置と同一、あるいは前記収納空間の外側方向に突出し、
前記パージポートが前記ガスパージ用フィルタ先端部に当接する前において、
前記パッド外側先端部の位置が、前記ノズル先端部の位置と同一、あるいは前記収納空間の外側方向に突出していることを特徴とするガスパージ用フィルタ。 - 前記パージポートが前記ガスパージ用フィルタ先端部に当接する前において、
前記ノズル先端部の位置が、前記パッド外側先端部の位置よりも前記収納空間の外側方向に突出していることを特徴とする請求項1に記載のガスパージ用フィルタ。 - 前記パッドが単体の状態における前記パッド外側先端部の内径の形状は、前記ノズル先端部の外径よりも小さいことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のガスパージ用フィルタ。
- 前記フィルタハウジングの前記通気空間に、気体の流通方向を一定方向に制限する逆止弁機構を有することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のガスパージ用フィルタ。
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