WO2022009430A1 - 基板収納容器 - Google Patents

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WO2022009430A1
WO2022009430A1 PCT/JP2020/027104 JP2020027104W WO2022009430A1 WO 2022009430 A1 WO2022009430 A1 WO 2022009430A1 JP 2020027104 W JP2020027104 W JP 2020027104W WO 2022009430 A1 WO2022009430 A1 WO 2022009430A1
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press
wall
lid
convex member
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千明 松鳥
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ミライアル株式会社
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Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container used for storing, storing, transporting, transporting, etc. a substrate made of a semiconductor wafer or the like.
  • Patent Documents 1 and 2 As a substrate storage container for storing and transporting a substrate made of a semiconductor wafer, a container having a container body and a lid has been conventionally known (see Patent Documents 1 and 2).
  • the container body has a cylindrical wall portion in which an opening portion of the container body is formed at one end and the other end is closed.
  • a substrate storage space is formed in the container body.
  • the board storage space is formed by being surrounded by a wall portion, and can store a plurality of boards.
  • the lid can be attached to and detached from the container body opening, and the container body opening can be closed.
  • a front retainer is provided in the part of the lid that faces the board storage space when the opening of the container body is closed.
  • the front retainer can support the edges of the plurality of substrates when the container body opening is closed by the lid.
  • a back board support portion is provided on the wall portion so as to be paired with the front retainer.
  • the back board support portion can support the edges of a plurality of boards.
  • thermoplastic resin parts are often fixed to the container body and used, and the fixing method includes snapping, fitting (press-fitting), screwing, and the like. It has been broken. However, there is a possibility that "looseness / detachment” may occur in the fixing due to vibration, external force, sudden temperature change (expansion / contraction) due to cleaning, etc. with respect to the substrate storage container.
  • thermoplastic resin there is a method of welding and fixing by taking advantage of the characteristics of the thermoplastic resin.
  • ultrasonic welding can be used. That is, the bonding is performed by applying ultrasonic vibration and pressure to the bonding portion of the thermoplastic resin component with respect to the container body.
  • the biggest problem with ultrasonic welding is that particles are generated from the parts joined by welding. Specifically, fine resin powder is generated in the stage before melting due to friction caused by ultrasonic vibration. The resin powder is in a state of being attached to the surface or the periphery of the molten portion. In that state, the resin powder easily falls off and becomes particles. Further, after melting, the surface becomes rough around the melted portion, and the rough surface portion falls off to become particles. The generation of particles in this way poses a fatal problem in the production of semiconductor chips that will continue to be miniaturized.
  • the present invention has an opening peripheral portion in which a container body opening is formed at one end, and has a tubular wall portion in which the other end is closed, and a plurality of substrates can be stored by the inner surface of the wall portion.
  • a container body having a substrate storage space that communicates with the container body opening, a lid that is removable from the container body opening and can close the container body opening, and the container body.
  • the press-fitting fixing portion is provided with a component to be attached to the lid, and the connection portion between the component and the container body or the lid or other components is positioned by press-fitting and fixed to each other.
  • the present invention relates to a substrate storage container including an impulse welding portion formed by impulse welding and maintaining positioning and fixing in the press-fit fixing portion.
  • the press-fitting fixing portion is composed of a convex member and an inserted portion into which the convex member is inserted, and the base portion of the convex member is press-fitted into the tip end side portion of the inserted portion and positioned.
  • the base portion of the convex member and the tip end side portion of the inserted portion form the press-fitting fixing portion
  • the tip end side portion of the convex member is impulse welded to the base portion of the inserted portion. It is preferable that the tip side portion of the convex member and the base portion of the inserted portion form the impulse welded portion.
  • the press-fitting fixing portion is composed of a convex member and an inserted portion into which the convex member is inserted, and the convex member is press-fitted into the inserted portion, positioned and fixed, and the convex member is inserted.
  • the shaped member and the inserted portion form the press-fitting fixing portion, the tip side portion of the convex member does not form the impulse welding portion, and other portions different from the convex member are described above. It is preferable to form an impulse welded portion.
  • the container body has a wall portion having a back wall, an upper wall, a lower wall, and a pair of side walls, and the other end portion of the wall portion is closed by the back wall, and one end portion of the upper wall.
  • the container body opening is formed by one end of the lower wall and one end of the side wall, and the component is a bottom plate fixed to the lower wall and forming the bottom of the container body together with the lower wall. Is preferable.
  • a ventilation path capable of communicating the substrate storage space and the space outside the container body, a gas ejection nozzle portion having a plurality of openings for supplying the gas flowing into the ventilation path to the substrate storage space, and a gas ejection nozzle portion.
  • the gas ejection nozzle portion is composed of a plurality of the components connected to each other, and the connecting portion of the plurality of components has the press-fitting fixing portion and the impulse welding portion.
  • the present invention it is possible to provide a substrate storage container that is manufactured without ultrasonic welding, suppresses the generation of particles, and suppresses the deterioration of the positioning accuracy of parts.
  • FIG. 5 is an exploded perspective view showing a state in which a plurality of substrates W are stored in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention. It is an upper perspective view which shows the container body 2 of the substrate storage container 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention. It is a lower perspective view which shows the container main body 2 of the substrate storage container 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention. It is a side sectional view which shows the container main body 2 of the substrate storage container 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention. It is a perspective view which shows the protrusion 8 of the substrate storage container 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention.
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a state in which a plurality of substrates W are stored in the substrate storage container 1.
  • FIG. 2 is an upward perspective view showing the container body 2 of the substrate storage container 1.
  • FIG. 3 is a downward perspective view showing the container body 2 of the substrate storage container 1.
  • FIG. 4 is a side sectional view showing the container main body 2 of the substrate storage container 1.
  • FIG. 5 is a perspective view showing the protruding portion 8 of the substrate storage container 1.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view showing the protruding portion 8 of the substrate storage container 1.
  • FIG. 7 is an exploded perspective view showing the protruding portion flow path lid portion 82 of the protruding portion 8 of the substrate storage container 1.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG.
  • the direction from the container body 2 to the lid 3 (the direction from the upper right to the lower left in FIG. 1) is defined as the front direction D11, and the opposite direction is defined as the rear direction D12. These are collectively defined as the front-back direction D1.
  • the direction from the lower wall 24 to the upper wall 23 (upward in FIG. 1), which will be described later, is defined as the upward direction D21, and the opposite direction is defined as the downward direction D22, which are collectively referred to as the vertical direction D2.
  • the direction from the second side wall 26 to the first side wall 25 (the direction from the lower right to the upper left in FIG. 1), which will be described later, is defined as the left direction D31, and the opposite direction is defined as the right direction D32. Is also defined as the left-right direction D3.
  • the main drawings show arrows pointing in these directions.
  • the substrate W (see FIG. 1) stored in the substrate storage container 1 is a disk-shaped silicon wafer, a glass wafer, a sapphire wafer, or the like, and is a thin one used in industry.
  • the substrate W in this embodiment is a silicon wafer having a diameter of 300 mm.
  • the substrate storage container 1 is used as an in-process container for accommodating a substrate W made of a silicon wafer as described above and transporting it in a process in a factory, or is used as an in-process container, land transportation means, air transportation means, and sea transportation. It is used as a shipping container for transporting a substrate by a transportation means such as a means, and is composed of a container body 2 and a lid 3.
  • the container body 2 includes a substrate support plate-shaped portion 5 as a side substrate support portion and a back side substrate support portion 6 (see FIG. 2 and the like), and the lid body 3 serves as a lid side substrate support portion. It has a front retainer (not shown).
  • the container body 2 has a cylindrical wall portion 20 having a container body opening 21 formed at one end and a closed end.
  • a substrate storage space 27 is formed in the container body 2.
  • the board storage space 27 is formed by being surrounded by the wall portion 20.
  • a substrate support plate-shaped portion 5 is arranged in a portion of the wall portion 20 that forms the substrate storage space 27. As shown in FIG. 1, a plurality of boards W can be stored in the board storage space 27.
  • the board support plate-shaped portion 5 is provided on the wall portion 20 so as to form a pair in the board storage space 27.
  • the substrate support plate-shaped portion 5 abuts on the edges of a plurality of substrates W to separate adjacent substrates W from each other at predetermined intervals. It is possible to support the edges of a plurality of substrates W in a parallel state.
  • the back-side board support portion 6 is provided integrally molded with the board support plate-shaped portion 5.
  • the back side board support portion 6 (see FIG. 2 and the like) is provided on the wall portion 20 so as to be paired with a front retainer (not shown) described later in the board storage space 27.
  • the back-side substrate support portion 6 can support the rear portions of the edges of the plurality of substrates W by abutting against the edges of the plurality of substrates W. Is.
  • the lid 3 is removable from the opening peripheral edge 28 (FIG. 1 and the like) forming the container body opening 21, and the container body opening 21 can be closed.
  • the front retainer (not shown) is provided in a portion of the lid 3 that faces the substrate storage space 27 when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the front retainer (not shown) is arranged so as to be paired with the back board support portion 6 inside the board storage space 27.
  • the front retainer (not shown) can support the front portion of the edge portion of the plurality of substrates W by abutting on the edge portion of the plurality of substrates W when the container body opening 21 is closed by the lid body 3. ..
  • the front retainer (not shown) supports the plurality of substrates W in cooperation with the back-side substrate support portion 6 when the container body opening 21 is closed by the lid 3, thereby supporting the adjacent substrates W with each other. It is held in a parallel state by separating it at a predetermined interval.
  • the substrate storage container 1 is made of a resin such as a plastic material, and unless otherwise specified, the resin of the material may be, for example, polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyetherketone, or polybutylene.
  • Thermoplastic resins such as terephthalate, polyetheretherketone, and liquid crystal polymers, and their alloys can be mentioned.
  • a conductive substance such as carbon fiber, carbon powder, carbon nanotubes, or a conductive polymer is selectively added to the resin of these molding materials. It is also possible to add glass fiber, carbon fiber or the like in order to increase the rigidity.
  • the wall portion 20 of the container main body 2 has a back wall 22, an upper wall 23, a lower wall 24, a first side wall 25, and a second side wall 26.
  • the back wall 22, the upper wall 23, the lower wall 24, the first side wall 25, and the second side wall 26 are made of the above-mentioned materials, and are integrally molded.
  • the first side wall 25 and the second side wall 26 face each other, and the upper wall 23 and the lower wall 24 face each other.
  • the rear end of the upper wall 23, the rear end of the lower wall 24, the rear end of the first side wall 25, and the rear end of the second side wall 26 are all connected to the back wall 22.
  • the front end of the upper wall 23, the front end of the lower wall 24, the front end of the first side wall 25, and the front end of the second side wall 26 form an opening peripheral edge 28 forming a substantially rectangular container body opening 21.
  • the opening peripheral edge 28 is provided at one end of the container body 2, and the back wall 22 is located at the other end of the container body 2.
  • the outer shape of the container body 2 formed by the outer surface of the wall portion 20 is box-shaped.
  • the inner surface of the wall portion 20, that is, the inner surface of the back wall 22, the inner surface of the upper wall 23, the inner surface of the lower wall 24, the inner surface of the first side wall 25, and the inner surface of the second side wall 26 are surrounded by the substrate storage space. 27 is formed.
  • the container body opening 21 formed in the opening peripheral edge portion 28 is surrounded by the wall portion 20 and communicates with the substrate storage space 27 formed inside the container body 2. A maximum of 25 boards W can be stored in the board storage space 27.
  • the latch engaging recesses 231A and 231B recessed outward of the substrate storage space 27. , 241A and 241B are formed.
  • a total of four latch engagement recesses 231A, 231B, 241A, and 241B are formed in the vicinity of the left and right ends of the upper wall 23 and the lower wall 24.
  • a rib 235 is provided integrally with the upper wall 23.
  • the rib 235 increases the rigidity of the container body 2.
  • a top flange 236 is fixed to the central portion of the upper wall 23.
  • the top flange 236 is a member that is hung and suspended in the substrate storage container 1 when the substrate storage container 1 is suspended in AMHS (automatic wafer transfer system), PGV (wafer substrate transfer carriage), or the like.
  • an air supply hole 242 and an exhaust hole 243 are formed as ventilation passages 210 (see FIG. 5 and the like).
  • the two through holes in the front part of the lower wall 24 are the exhaust holes 243 for discharging the gas inside the container body 2
  • the two through holes in the rear part are the container body 2
  • An air supply filter unit 90 is arranged in the through hole as the air supply hole 242, and an exhaust filter unit 91 is arranged in the through hole as the exhaust hole 243.
  • the gas flow path inside the air supply filter unit 90 and the exhaust filter unit 91 constitutes a part of the ventilation path 210 that can communicate the substrate storage space 27 and the space outside the container body 2. Further, the air supply filter unit 90 and the exhaust filter unit 91 are arranged on the wall portion 20, and the air supply filter unit 90 and the exhaust filter unit 91 have a space outside the container body 2. Gas can pass between the substrate storage space 27 and the substrate storage space 27.
  • the board support plate-shaped portion 5 is integrally molded and provided on the first side wall 25 and the second side wall 26, respectively, and is provided in the board storage space 27 so as to form a pair in the left-right direction D3. Specifically, as shown in FIG. 4 and the like, the substrate support plate-shaped portion 5 has a plate portion 51.
  • the plate portion 51 has a plate-like substantially arc shape.
  • a total of 50 plate portions 51 are provided on each of the first side wall 25 and the second side wall 26, 25 in the vertical direction D2.
  • the adjacent plate portions 51 are arranged in a parallel positional relationship so as to be separated from each other at intervals of 10 mm to 12 mm in the vertical direction D2.
  • another plate-shaped member 59 is arranged in parallel with the plate portion 51, which is located at the top and is inside the board storage space 27. It is a member that acts as a guide for the substrate W to be inserted into the substrate W.
  • the 25 plate portions 51 provided on the first side wall 25 and the 25 plate portions 51 provided on the second side wall 26 have a positional relationship facing each other in the left-right direction D3.
  • the 50 plate portions 51 and the member 59 acting as a plate-shaped guide parallel to the plate portions 51 have a positional relationship parallel to the inner surface of the lower wall 24.
  • convex portions 511 and 512 are provided on the upper surface of the plate portion 51. The substrate W supported by the plate portion 51 contacts only the protruding ends of the convex portions 511 and 512, and does not contact the plate portion 51 on the surface.
  • the substrate support plate-shaped portion 5 having such a configuration has a plurality of substrates W in a state in which adjacent substrates W among the plurality of substrates W are separated from each other at a predetermined interval and have a parallel positional relationship with each other. It is possible to support the edge of.
  • the back side substrate support portion 6 has a back side edge support portion 60.
  • the back end edge support portion 60 is formed by being integrally molded with the container main body 2 at the rear end portion of the plate portion 51 of the substrate support plate-shaped portion 5.
  • the number of the back end edge support portions 60 corresponding to each of the substrates W that can be stored in the substrate storage space 27, specifically 25, is provided.
  • the rear end edge support portions 60 arranged on the first side wall 25 and the second side wall 26 have a positional relationship such as pairing with a front retainer described later in the front-rear direction D1.
  • the substrate W is housed in the substrate storage space 27, and the lid 3 is closed, so that the rear end edge support portion 60 sandwiches and supports the edge portion of the edge portion of the substrate W.
  • the back wall 22 has a protruding portion 8 as a gas ejection nozzle portion.
  • the protrusion 8 covers the entire surface of the protrusion main body 81 shown in FIGS. 5 and 6 and the protrusion main body shown in FIG. 6, and is fixed to the protrusion main body. It has a nozzle lid portion 83 and constitutes a component to be attached to the container body 2.
  • such protrusions 8 are paired with each other, and protrude toward the container body opening 21 in a rib shape, and run parallel from the upper end to the lower end of the back wall 22. It is extended. That is, the protruding portion 8 has a hollow columnar shape.
  • the protrusion 8 has a plurality of openings 802 and a plurality of openings 802 that supply the gas that has flowed into the ventilation path 210 capable of communicating the substrate storage space 27 and the space outside the container body 2 to the substrate storage space 27. It has a gas flow rate equalizing unit that allows gas to flow out at a uniform flow rate.
  • the gas flow rate equalizing portion is a branch path formed between a ventilation path 210 capable of communicating the substrate storage space 27 and the space outside the container body 2 and the opening 802. It has a branch path 801 that branches the flow of gas from the ventilation path 210.
  • the flow of purge gas from the ventilation passage 210 is branched to form a branch passage 8011 forming a gas flow rate equalizing portion. Is formed.
  • the protrusion main body 81 has one inflow port 811.
  • a branch wall portion 812 is provided in the front direction D11 of the protruding portion main body portion 81.
  • a discharge port 814 (see FIG. 6) is formed on the downstream side of the purge gas of each flow branched by the branch wall portion 812.
  • the discharge port 814 and the branch wall portion 812 facing the discharge port 814 form a flow path for the purge gas up to the opening 802, and the flow path for the purge gas is as if it were a winning match in a tournament match. It has the shape shown in the table.
  • the purge gas is branched three times between the inflow port 811 and the opening 802, and flows out from the opening 802 toward the container body opening 21.
  • the portion of the protruding portion main body portion 81 facing the discharge port 814 located at the most downstream does not have the branch wall portion 812.
  • the protruding portion 8 has a cleaning liquid inflow inhibition portion.
  • the cleaning liquid inflow obstructing portion is an inclined eave that inclines in the vicinity of the opening 802, more specifically, on the upper side and the lower side of the opening 802, in the downward direction D22 as it advances toward the forward direction D11, respectively. It is composed of 815.
  • the slanted eaves 815 extend parallel to each other. When cleaning the container body 2, the inclined eaves 815 block the inflow of the cleaning liquid from the opening 802 to the ventilation path 210 side in the vicinity of the opening 802.
  • the connecting portion between the protruding portion main body portion 81, the protruding portion flow path lid portion 82, and the protruding portion nozzle lid portion 83 is formed by impulse welding and a press-fitting fixing portion that is positioned by press-fitting and is fixed to each other. It is provided with an impulse welded portion for maintaining positioning and fixing in the press-fitting and fixing portion.
  • the protrusion flow path lid of the protrusion main body 81 shown in FIG. 8 is closed at the upper end of the portion constituting the gas flow rate equalizing portion, which is the portion where the branch path 801 is formed.
  • the portion 82 is press-fitted into the opening at the upper end of the protruding portion main body 81, the protruding portion flow path lid 82 is positioned with respect to the protruding main body 81, and the protruding main body 81 and the protruding flow path lid 82 are positioned. And are fixed to each other.
  • the tip side portion (lower end portion 8201) of the portion having the shape of the opening of the protruding portion flow path lid portion 82 protrudes upward in FIG. 8 like a pin provided on the protruding portion main body portion 81.
  • the portion of the base portion 8101 of the convex member having the pin-shaped member 8102 is fitted by press fitting. In this way, the portions that are positioned and fixed to each other by fitting by press-fitting form a press-fitting fixing portion.
  • a pin-shaped member 8102 is inserted into the base portion (upper portion 8202) of the portion having the shape of the opening of the protruding portion flow path lid portion 82, and the upper portion 8202 and the pin-shaped member 8102 are impulse welded. It constitutes an impulse welded portion.
  • the protrusion nozzle lid portion 83 is provided so as to close the opening at the upper end of the portion of the protrusion main body 81 shown in FIG. 8 in which the opening 802 is formed and the inclined eaves 815 are provided.
  • the projecting portion main body portion 81 and the projecting portion nozzle lid portion 83 are fixed by the press-fitting fixing portion and the impulse welding portion in the same manner as the fixing of the projecting portion main body portion 81 and the projecting portion flow path lid portion 82.
  • the lid 3 has a substantially rectangular shape that substantially matches the shape of the opening peripheral edge 28 of the container body 2.
  • the lid 3 is removable from the opening peripheral edge 28 of the container body 2, and when the lid 3 is attached to the opening peripheral edge 28, the lid 3 is surrounded by the opening peripheral edge 28 in a positional relationship. ,
  • the container body opening 21 can be closed.
  • the inner surface of the lid 3 (the back surface of the lid 3 shown in FIG. 1) at the position of D12 in the immediate rear direction of the opening peripheral edge 28 when the lid 3 closes the container body opening 21.
  • An annular seal member 4 is attached to the surface of the formed step portion facing the surface (seal surface 281) so as to go around the outer peripheral edge portion of the lid 3.
  • the seal member 4 is arranged so as to go around the lid 3.
  • the sealing member 4 is made of various thermoplastic elastomers such as polyester-based and polyolefin-based, which are elastically deformable, made of fluororubber, silicon rubber, and the like.
  • the seal member 4 When the lid 3 is attached to the opening peripheral edge 28, the seal member 4 is elastically deformed by being sandwiched between the seal surface 281 (see FIG. 1) of the container body 2 and the inner surface of the lid 3. That is, the seal member 4 is interposed between the lid 3 and the container body 2, so that the lid 3 and the opening peripheral edge 28 are separated from each other without contacting each other, and the lid 3 is separated from the container body 3.
  • the opening 21 can be closed.
  • the substrate W By removing the lid 3 from the opening peripheral edge portion 28, the substrate W can be taken in and out of the substrate storage space 27 in the container main body 2.
  • the lid 3 is provided with a latch mechanism.
  • the latch mechanism is provided in the vicinity of both left and right ends of the lid 3, and as shown in FIG. 1, two upper latch portions 32A and 32A that can project upward from the upper side of the lid 3 and the lid 3 It includes two lower latch portions 32B and 32B that can project downward from the lower side.
  • the two upper latch portions 32A and 32A are arranged near the left and right ends of the upper side of the lid 3, and the two lower latch portions 32B and 32B are arranged near the left and right ends of the lower side of the lid 3. .
  • An operation unit 33 is provided on the outer surface of the lid 3.
  • the upper latch portions 32A and 32A and the lower latch portions 32B and 32B can be projected from the upper side and the lower side of the lid body 3, and also from the upper side and the lower side. It can be in a state where it does not protrude.
  • the upper latch portions 32A and 32A project upward from the upper side of the lid 3 to engage with the latch engaging recesses 231A and 231B of the container body 2, and the lower latch portions 32B and 32B are the lower sides of the lid 3.
  • the lid 3 is fixed to the opening peripheral edge portion 31 of the container body 2 by protruding downward from the container body 2 and engaging with the latch engaging recesses 241A and 241B of the container body 2.
  • a recess (not shown) recessed to the outside (front direction D11) of the storage space 27 is formed.
  • a front retainer (not shown) is fixedly provided in the recess (not shown) and the portion of the lid 3 outside the recess.
  • the front retainer (not shown) has a front retainer board receiving portion (not shown).
  • Two front retainer substrate receiving portions (not shown) are arranged in pairs in the left-right direction at predetermined intervals.
  • the front retainer substrate receiving portions which are arranged in pairs in this way, are provided in a state of 25 pairs in parallel in the vertical direction.
  • the substrate W is housed in the storage space 27, and the lid 3 is closed, so that the front retainer substrate receiving portion sandwiches and supports the edge of the edge portion of the substrate W.
  • the connecting portion between the protruding portion main body portion 81, the protruding portion flow path lid portion 82, and the protruding portion nozzle lid portion 83, which are other parts, is positioned by press fitting and fixed to each other. It includes a press-fitting and fixing portion and an impulse welding portion formed by impulse welding to maintain positioning and fixing in the press-fitting and fixing portion.
  • the base portion 8101 of the convex member having the pin-shaped member 8102 is press-fitted into the lower end portion 8201 as the tip side portion of the inserted portion, positioned and fixed, and the base portion 8101 and the lower end portion 8201 are separated from each other.
  • the press-fitting fixing portion is formed, the pin-shaped member 8102 which is the tip side portion is impulse welded to the upper portion 8202 which is the base portion of the inserted portion, and the pin-shaped member 8102 and the upper portion 8202 form an impulse welding portion.
  • the pin-shaped member 8102 and its base 8101 can form an impulse welded portion and a press-fit fixing portion, and the lower end portion 8201 and its base upper portion 8202 are press-fit-fixed. Since the portion and the impulse welded portion can be configured, the press-fitting and fixing portion and the impulse welded portion can be compactly configured in a small space.
  • the protruding portion 8 as the gas ejection nozzle portion includes a protruding portion main body portion 81 which is a plurality of parts connected to each other, a protruding portion flow path lid portion 82 which is another component, and a protruding portion nozzle lid portion 83.
  • the connecting portion between the protruding portion main body portion 81, the protruding portion flow path lid portion 82, and the protruding portion nozzle lid portion 83 has a press-fitting fixing portion and an impulse welding portion. This makes it possible to make the protruding portion 8 a clean gas ejection nozzle portion with high dimensional accuracy.
  • FIG. 9 is a bottom view showing the container body 2A of the substrate storage container 1A.
  • FIG. 10 is an exploded perspective view showing the container body 2A of the substrate storage container 1A.
  • FIG. 11 is an enlarged perspective view showing a connection portion between the lower wall 24A of the container body 2A of the substrate storage container 1A and the bottom plate 244A.
  • FIG. 12 is an enlarged cross-sectional view showing a connection portion between the lower wall 24A of the container body 2A of the substrate storage container 1A and the bottom plate 244A, and is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG.
  • the parts connected to the container body 2A differ depending on the connecting portion composed of the press-fitting fixing portion and the impulse welding portion. Since the other configurations are the same as those in the first embodiment, the same members are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
  • a bottom plate 244A is fixed to the lower wall 24A.
  • the bottom plate 244A extends from the central portion of the lower surface constituting the outer surface of the lower wall 24A toward the left and right front ends of the lower wall 24A and the central portion in the left-right direction of the rear end portion of the lower wall 24A, respectively.
  • the middle portion of the rear end portion of the lower wall 24A extending toward the center in the left-right direction is composed of a plate-shaped member having a shape extending in the left-right direction.
  • connection portion between the lower wall 24A and the bottom plate 244A is formed by a press-fitting fixing portion that is positioned by press-fitting and fixed to each other, and an impulse welding portion that is formed by impulse welding to maintain positioning and fixing in the press-fitting fixing portion. And have.
  • the peripheral portions of the bottom plate 244A each of which extends as described above, have a cylindrical upward protrusion that protrudes upward D21 (downward in FIGS. 10 to 12). It has a portion 245A.
  • the tip side portion (upper end portion 2451A) of the upper protruding portion 245A is integrally molded so as to project downward from the lower wall 24A, and is provided in the upward direction of FIG.
  • the portion of the base portion 2461A of the convex member having the protruding pin-shaped member 2462A is fitted by press fitting. In this way, the portions that are positioned and fixed to each other by fitting by press-fitting form a press-fitting fixing portion.
  • a through hole is formed inside the base portion (lower portion 2452A) of the upward protruding portion 245A.
  • a pin-shaped member 2462A is inserted into the through hole, and the lower portion 2452A and the pin-shaped member 2462A are impulse welded to form an impulse welded portion.
  • the pin-shaped member 2462A after impulse welding has a shape shown by a two-dot chain line in FIG.
  • the substrate storage container according to the present embodiment having the above configuration, the following effects can be obtained.
  • the parts fixed to the container body 2A whose connection part is composed of the press-fitting fixing part and the impulse welding part, are fixed to the lower wall 24A and together with the lower wall form the bottom plate of the container body 2A. It is 244A.
  • the container body 2A to which the bottom plate 244A is fixed can be made into a clean container body with high dimensional accuracy.
  • FIG. 13 is an enlarged cross-sectional view showing a connection portion between the lower wall 24A of the container body of the substrate storage container and the bottom plate 244A, and is a cross-sectional view taken along the line BB of FIG.
  • the parts connected to the container body differ depending on the connecting portion composed of the press-fitting fixing portion and the impulse welding portion. Since the other configurations are the same as those in the second embodiment, the same members are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
  • a bottom plate 244A is fixed to the lower wall 24A.
  • the connection portion between the lower wall 24A and the bottom plate 244A is formed by a press-fitting fixing portion that is positioned by press-fitting and fixed to each other, and an impulse welding portion that is formed by impulse welding to maintain positioning and fixing in the press-fitting fixing portion. And have.
  • the bottom plate 244A has a cylindrical upward protrusion 245B that protrudes upward D21 (downward in FIG. 13).
  • a columnar column protruding downward from the lower wall 24A and integrally formed to be provided so as to project upward in FIG.
  • the member 2461B is fitted by press fitting. In this way, the portions that are positioned and fixed to each other by fitting by press-fitting form a press-fitting fixing portion.
  • a through hole is formed in another portion 2452B different from the portion of the bottom plate 244A having the upward protruding portion 245B.
  • a pin-shaped member 2462B provided in a portion different from the portion of the lower wall 24A provided with the fixing downward protrusion 246B is inserted into the through hole, and the other portion 2452B and the pin-shaped member 2462B are inserted. Is impulse welded and constitutes an impulse welded portion.
  • the pin-shaped member 2462B after impulse welding has a shape shown by a two-dot chain line in FIG.
  • the tip side portion of the columnar member 2461B does not form an impulse welded portion
  • the pin-shaped member 2462B which is another portion different from the columnar member 2461B, constitutes an impulse welded portion.
  • the shapes of the container body and the lid, the number and dimensions of the substrates that can be stored in the container body are the shapes of the container body 2 and the lid 3 in the present embodiment, and the number and dimensions of the substrates W that can be stored in the container body 2.
  • the substrate W in the present embodiment is a silicon wafer having a diameter of 300 mm, but the value is not limited to this.
  • connection portion between the container body and the bottom plate 244A which is a component attached to the container body
  • the connecting portion between the protruding portion main body 81 which is a component attached to the container main body
  • the protruding portion flow path lid 82, and the protruding nozzle lid 83 which are other parts
  • the component may be a component attached to the lid, and in this case, the connection portion between the component and the lid may be provided with a press-fitting fixing portion and an impulse welding portion.
  • the back side substrate support portion has a back end edge support portion 60 formed by being integrally molded with the container main body 2 at the rear end portion of the plate portion 51 of the substrate support plate-shaped portion 5.
  • the back substrate support portion is not integrally molded with the container body, but may be configured as a separate body.
  • the two through holes in the front part of the lower wall 24 are the exhaust holes 243 for discharging the gas inside the container body 2, and the two through holes in the rear part are the container body.
  • the air supply hole 242 for supplying gas to the inside of No. 2 is not limited to this configuration.
  • at least one of the two through holes at the front of the lower wall may also be an air supply hole for supplying gas to the inside of the container body.

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Abstract

容器本体と、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、容器本体又は蓋体に取り付けられる部品８１と、を備え、部品８１と容器本体又は蓋体又は他の部品８２、８３との接続部分は、圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部８１０１、８２０１と、インパルス溶着により形成され、圧入固定部８１０１、８２０１における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部８１０２、８２０２と、を備える基板収納容器である。

Description

基板収納容器
　本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
　半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（特許文献１～２参照）。
　容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。
　蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
特表２００５－５３０３３１号公報 特開２０１８－１１３２９８号公報
　基板収納容器においては、複数の熱可塑性樹脂部品が容器本体等に固定されて使用されることが多く、その固定の方法としては、スナップ方式、嵌め合わせ（圧入）、ネジ留め等の締結が行われてきた。しかし、基板収納容器に対する振動、外力、洗浄による急激な温度変化（膨張・収縮）等により、当該固定における“緩み・外れ”が生ずるおそれがある。
　これに対しては、熱可塑性樹脂の特性を生かし、溶着して固定する方法がある。その方法としては、超音波溶着を用いることが可能である。即ち、容器本体に対する熱可塑性樹脂部品の接合部に超音波振動と圧力を加えることにより、接合が行われる。
　しかし、超音波溶着の最大の問題点は、溶着により接合した部位からパーティクルが発生することである。具体的には、超音波の振動による摩擦により、溶融する前段階において細かな樹脂粉が発生する。樹脂粉は、溶融部の表面又は周囲に付着している状態になる。その状態では、樹脂粉は容易に脱落してパーティクルとなる。また、溶融後、溶融部の周囲においては、表面が粗い状態となり、この粗い表面の部分が脱落してパーティクルとなる。このようにパーティクルが発生することは、今後も微細化が進む半導体チップを生産する上では、致命的問題となる。
　基板収納容器の外側に超音波溶着をした場合であっても、基板収納容器を洗浄し乾燥する際に、基板収納容器の内側にパーティクルが回り込む可能性が非常に高く、また、洗浄装置の汚染にも繋がる。このため、基板収納容器の内側、外側のいずれに超音波溶着する場合を問わず、パーティクルによる悪影響のおそれがある。
　また、超音波溶着を行うために超音波振動を与える必要があるが、例えば圧入により、溶着させる部品同士の位置決めをした状態では、超音波振動は発生しない。このため、溶着させる部品同士の位置決めを緩くしておく必要がある。その結果、位置決め精度が低下する。また、超音波振動を与える際には、溶着させる部品同士に荷重を加えるため、部品が変形するおそれがある。
　本発明は、超音波溶着が行われずに製造され、パーティクルの発生が抑えられ、部品の位置決め精度が低下することが抑えられた基板収納容器を提供することを目的とする。
　本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記容器本体又は前記蓋体に取り付けられる部品と、を備え、前記部品と前記容器本体又は前記蓋体又は他の前記部品との接続部分は、圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、インパルス溶着により形成され、前記圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備える基板収納容器に関する。
　また、前記圧入固定部は、凸状部材と、前記凸状部材が挿入される被挿入部とにより構成され、前記凸状部材の基部が前記被挿入部の先端側部に圧入され位置決めされて固定されて、前記凸状部材の基部と前記被挿入部の先端側部とは前記圧入固定部を構成し、前記凸状部材の先端側部が前記被挿入部の基部にインパルス溶着されて、前記凸状部材の先端側部と前記被挿入部の基部とは前記インパルス溶着部を構成することが好ましい。
　また、前記圧入固定部は、凸状部材と、前記凸状部材が挿入される被挿入部とにより構成され、前記凸状部材が前記被挿入部に圧入され位置決めされて固定されて、前記凸状部材と前記被挿入部とは前記圧入固定部を構成し、前記凸状部材の先端側部は、前記インパルス溶着部を構成しておらず、前記凸状部材とは異なる他の部分が前記インパルス溶着部を構成することが好ましい。
　また、前記容器本体は、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有する壁部を有し、前記奥壁によって前記壁部の他端部が閉塞され、前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成され、前記部品は、前記下壁に固定されて前記下壁と共に前記容器本体の底部を構成するボトムプレートであることが好ましい。
　また、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に流入した気体を前記基板収納空間に供給する複数の開口部を有する気体噴出ノズル部と、を備え、前記気体噴出ノズル部は、互いに接続される複数の前記部品により構成され、複数の前記部品の接続部分は、前記圧入固定部と、前記インパルス溶着部とを有することが好ましい。
　本発明によれば、超音波溶着が行われずに製造され、パーティクルの発生が抑えられ、部品の位置決め精度が低下することが抑えられた基板収納容器を提供することが可能である。
本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の突出部８を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の突出部８を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の突出部８の突出部流路蓋部８２を示す分解斜視図である。 図５のＡ－Ａ線に沿った断面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａの容器本体２Ａを示す底面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａの容器本体２Ａを示す分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａの容器本体２Ａの下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１Ａの容器本体２Ａの下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大断面図である。 本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の容器本体の下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大断面図である。
　以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
　図１は、基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。図３は、基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。図４は、基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。図５は、基板収納容器１の突出部８を示す斜視図である。図６は、基板収納容器１の突出部８を示す分解斜視図である。図７は、基板収納容器１の突出部８の突出部流路蓋部８２を示す分解斜視図である。図８は、図５のＡ－Ａ線に沿った断面図である。
　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
　また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
　図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図２等参照）とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としての図示しないフロントリテーナを備えている。
　容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
　基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。
　奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述する図示しないフロントリテーナと対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図示しないフロントリテーナは、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。図示しないフロントリテーナは、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
　図示しないフロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。図示しないフロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。
　基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
　以下、各部について、詳細に説明する。
　図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
　図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
　図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
　図３に示すように、下壁２４の四隅には、通気路２１０（図５等参照）として、２種類の貫通孔である給気孔２４２と排気孔２４３が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２である。給気孔２４２としての貫通孔には、給気用フィルタ部９０が配置されており、排気孔２４３としての貫通孔には、排気用フィルタ部９１が配置されている。従って、給気用フィルタ部９０及び排気用フィルタ部９１の内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路２１０の一部を構成する。また、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９１とは、壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部９０と排気用フィルタ部９１とにおいては、容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能である。
　基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ一体成形されて設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に設けられている。具体的には、図４等に示すように、基板支持板状部５は、板部５１を有している。
　板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ～１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方には、もう一枚板部５１と平行に板状の部材５９が配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。
　また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と平行な板状のガイドの役割をする部材５９は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図２等に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
　このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
　図４に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、容器本体２と一体成形されて構成されている。
　奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナと対をなすような位置関係を有している。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、奥側端縁支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
　図２等に示すように、奥壁２２は、気体噴出ノズル部としての突出部８を有している。突出部８は、図５、図６に示す突出部本体部８１と、図６に示す突出部本体部の全面を覆い、突出部本体部に固定される突出部流路蓋部８２及び突出部ノズル蓋部８３と、を有しており、容器本体２に取り付けられる部品を構成している。このような突出部８は、図２に示すように２つで対をなしており、リブ状に容器本体開口部２１へ向って突出し、平行に奥壁２２の上端部から下端部に至るまで延びている。即ち、突出部８は中空の柱状を有している。突出部８は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路２１０に流入した気体を、基板収納空間２７に供給する複数の開口部８０２と、複数の開口部８０２から均一化された流量で気体を流出可能とする気体流量均一化部と、を有する。
　気体流量均一化部は、具体的には、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路２１０と、開口部８０２との間に形成された分岐路であって、当該通気路２１０からの気体の流れを分岐させる分岐路８０１を有している。
　通気路２１０の上方向Ｄ２１へ延びる垂直方向延出部２１３の上端部と開口部８０２との間には、通気路２１０からのパージガスの流れを分岐させ気体流量均一化部を構成する分岐路８０１１が形成されている。具体的には、図６に示すように、突出部本体部８１は、１つの流入口８１１を有している。突出部本体部８１の前方向Ｄ１１には、分岐壁部８１２が設けられている。
　分岐壁部８１２によって分岐されたそれぞれの流れのパージガスの下流側には、吐出口８１４（図６参照）が形成されている。
　同様に、開口部８０２に至るまで、吐出口８１４及び吐出口８１４に対向する分岐壁部８１２がパージガスの流路を形成しており、このパージガスの流路は、あたかも、勝ち残り式トーナメント戦の対戦表のような形状を有する。本実施形態では、パージガスは、流入口８１１から開口部８０２までの間に３回分岐されて、開口部８０２から容器本体開口部２１へ向って流出される。なお、最下流に位置している吐出口８１４に対向する突出部本体部８１の部分は、分岐壁部８１２を有していない。
　また、突出部８は、洗浄液流入阻害部を有している。洗浄液流入阻害部は、図５に示すように、開口部８０２の近傍、より具体的には、開口部８０２の上側及び下側に、それぞれ前方向Ｄ１１へ進むにつれて下方向Ｄ２２に傾斜する傾斜庇８１５により構成されている。傾斜庇８１５は、互いに平行に延びている。傾斜庇８１５は、容器本体２を洗浄する際に、開口部８０２の近傍において開口部８０２から通気路２１０側への洗浄液の流入を阻む。
　突出部本体部８１と、突出部流路蓋部８２及び突出部ノズル蓋部８３との接続部分は、圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、インパルス溶着により形成され、圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備えている。
　具体的には、図８に示す突出部本体部８１の、分岐路８０１が形成された部分である気体流量均一化部を構成する部分の上端部の開口を塞ぐように、突出部流路蓋部８２が突出部本体部８１の上端部の開口に圧入されて、突出部本体部８１に対する突出部流路蓋部８２の位置決めがなされて、突出部本体部８１と突出部流路蓋部８２とが互いに固定されている。
　即ち、突出部流路蓋部８２の開口の形状を有する部分の先端側部（下側端部８２０１）には、突出部本体部８１に設けられたピンのように図８の上方向へ突出するピン状部材８１０２を有する凸状部材の基部８１０１の部分が圧入により嵌合している。このように、圧入による嵌合により、位置決めがなされて互いに固定されている部分は、圧入固定部を構成する。また、突出部流路蓋部８２の開口の形状を有する部分の基部（上側部８２０２）には、ピン状部材８１０２が挿入され、上側部８２０２とピン状部材８１０２とは、インパルス溶着されておりインパルス溶着部を構成する。
　また、図８に示す突出部本体部８１の、開口部８０２が形成され傾斜庇８１５が設けられた部分の上端部の開口を塞ぐように、突出部ノズル蓋部８３が設けられている。突出部本体部８１と突出部ノズル蓋部８３とは、突出部本体部８１と突出部流路蓋部８２との固定と同様に、圧入固定部とインパルス溶着部とによって固定されている。
　図１に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、開口周縁部２８によって取り囲まれる位置関係で、容器本体開口部２１を閉塞可能である。
　蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、蓋体３の外周縁部を一周するように、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、蓋体３を一周するように配置されている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等である。
　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、容器本体２のシール面２８１（図１参照）と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形する。即ち、蓋体３と容器本体２との間にシール部材４が介在することにより、蓋体３と開口周縁部２８とが互いに当接せずに離間した状態で、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
　蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
　蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａが蓋体３の上辺から上方向へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂが蓋体３の下辺から下方向へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部３１に固定される。
　蓋体３の内側（図１における蓋体３の後方向Ｄ１２の側）においては、収納空間２７の外方（前方向Ｄ１１）へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。
　フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向に２５対並列した状態で設けられている。収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
　上記構成の本実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　前述のように、突出部本体部８１と、他の部品である突出部流路蓋部８２、突出部ノズル蓋部８３との接続部分は、圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、インパルス溶着により形成され、圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備える。
　上記構成により、位置決め精度を決める圧入を行った後に、外れ防止の溶融固定をインパルス溶着により行うため、安定的に生産される位置精度が高い基板収納容器１とすることが出来る。更に、インパルス溶着により物理的に加熱してカシメを行い、冷却するため、発塵を防止することが可能となる。また、部品同士や、容器本体に荷重をかける必要が無いため、部品に変形が発生することを防止することが可能となる。このため、クリーンで且つ寸法精度が高い基板収納容器１とすることが可能となる。
　また、ピン状部材８１０２を有する凸状部材の基部８１０１が、被挿入部の先端側部としての下側端部８２０１に圧入され位置決めされて固定されて、基部８１０１と下側端部８２０１とは圧入固定部を構成し、先端側部であるピン状部材８１０２が被挿入部の基部である上側部８２０２にインパルス溶着されて、ピン状部材８１０２と上側部８２０２とはインパルス溶着部を構成する。
　上記構成により、ピン状部材８１０２とその基部８１０１とで、インパルス溶着部と圧入固定部とを構成することができ、また、下側端部８２０１とその基部である上側部８２０２とで、圧入固定部とインパルス溶着部とを構成することができるため、圧入固定部とインパルス溶着部とを少ないスペースでコンパクトに構成することが可能となる。
　また、気体噴出ノズル部としての突出部８は、互いに接続される複数の部品である突出部本体部８１と、他の部品である突出部流路蓋部８２と、突出部ノズル蓋部８３とにより構成され、突出部本体部８１と、突出部流路蓋部８２、突出部ノズル蓋部８３との接続部分は、圧入固定部と、インパルス溶着部とを有する。これにより、突出部８を、クリーンで且つ寸法精度が高い気体噴出ノズル部とすることが可能となる。
　次に、本発明の第２実施形態について、図面を参照しながら説明する。図９は、基板収納容器１Ａの容器本体２Ａを示す底面図である。図１０は、基板収納容器１Ａの容器本体２Ａを示す分解斜視図である。図１１は、基板収納容器１Ａの容器本体２Ａの下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大斜視図である。図１２は、基板収納容器１Ａの容器本体２Ａの下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大断面図であり、図９のＣ－Ｃ線に沿った断面図である。
　第２実施形態では、圧入固定部とインパルス溶着部とにより構成される接続部分により容器本体２Ａに接続される部品が異なる。これ以外の構成については第１実施形態と同様であるため、同一の部材については、同一の符号を付して、説明を省略する。
　下壁２４Ａには、図９に示すように、ボトムプレート２４４Ａが固定されている。ボトムプレート２４４Ａは、下壁２４Ａの外面を構成する下面の中央部から、下壁２４Ａの左右の前端部、及び、下壁２４Ａの後端部の左右方向における中央部に向かってそれぞれ延び、且つ、当該下壁２４Ａの後端部の左右方向における中央に向かって延びている部分の途中の部分が、左右方向に向かってそれぞれ延びる形状を有する板状の部材により構成されている。下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分は、圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、インパルス溶着により形成され、圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備えている。
　具体的には、ボトムプレート２４４Ａの周縁部であって、上述のようにそれぞれ延びている部分の端部は、上方向Ｄ２１（図１０～図１２における下方向）に突出する円筒形状の上方突出部２４５Ａを有している。上方突出部２４５Ａの先端側部（上側端部２４５１Ａ）には、下壁２４Ａから下方向に突出して一体成形されて設けられた固定用下方突出部２４６Ａのピンのように図１２の上方向へ突出するピン状部材２４６２Ａを有する凸状部材の基部２４６１Ａの部分が圧入により嵌合している。このように、圧入による嵌合により、位置決めがなされて互いに固定されている部分は、圧入固定部を構成する。
　また、図１２に示すように、上方突出部２４５Ａの基部（下側部２４５２Ａ）の内部には、貫通孔が形成されている。当該貫通孔には、ピン状部材２４６２Ａが挿入され、下側部２４５２Ａとピン状部材２４６２Ａとは、インパルス溶着されておりインパルス溶着部を構成する。インパルス溶着後のピン状部材２４６２Ａは、図１２において二点鎖線で示す形状を有している。
　上記構成の本実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
　前述のように、圧入固定部とインパルス溶着部により接続部分が構成される、容器本体２Ａに固定される部品は、下壁２４Ａに固定されて下壁と共に容器本体２Ａの底部を構成するボトムプレート２４４Ａである。この構成により、ボトムプレート２４４Ａが固定された容器本体２Ａを、クリーンで且つ寸法精度が高い容器本体とすることが可能となる。
　次に、本発明の第３実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１３は、基板収納容器の容器本体の下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分を示す拡大断面図であり、図９のＢ－Ｂ線に沿った断面図である。
　第３実施形態では、圧入固定部とインパルス溶着部とにより構成される接続部分により容器本体に接続される部品が異なる。これ以外の構成については第２実施形態と同様であるため、同一の部材については、同一の符号を付して、説明を省略する。
　下壁２４Ａには、図１３に示すように、ボトムプレート２４４Ａが固定されている。下壁２４Ａとボトムプレート２４４Ａとの接続部分は、圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、インパルス溶着により形成され、圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備えている。
　具体的には、ボトムプレート２４４Ａは、上方向Ｄ２１（図１３における下方向）に突出する円筒形状の上方突出部２４５Ｂを有している。上方突出部２４５Ｂの先端側部（上側端部２４５１Ｂ）には、下壁２４Ａから下方向に突出して一体成形されて設けられた固定用下方突出部２４６Ｂの図１３の上方向へ突出する円柱状部材２４６１Ｂが圧入により嵌合している。このように、圧入による嵌合により、位置決めがなされて互いに固定されている部分は、圧入固定部を構成する。
　また、上方突出部２４５Ｂを有しているボトムプレート２４４Ａの部分とは異なる他の部分２４５２Ｂには、貫通孔が形成されている。当該貫通孔には、固定用下方突出部２４６Ｂが設けられている下壁２４Ａの部分とは異なる他の部分に設けられたピン状部材２４６２Ｂが挿入され、他の部分２４５２Ｂとピン状部材２４６２Ｂとは、インパルス溶着されておりインパルス溶着部を構成する。インパルス溶着後のピン状部材２４６２Ｂは、図１３において二点鎖線で示す形状を有している。
　上記構成の本実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。
　前述のように、円柱状部材２４６１Ｂの先端側部は、インパルス溶着部を構成しておらず、円柱状部材２４６１Ｂとは異なる他の部分であるピン状部材２４６２Ｂがインパルス溶着部を構成する。この構成により、圧入固定部とインパルス溶着部とを異なる部分において構成するため、設計の自由度が高められた基板収納容器とすることが可能となる。
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
　例えば、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板の枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。
　また、例えば、本実施形態においては、容器本体と、容器本体に取り付けられる部品であるボトムプレート２４４Ａとの接続部分は、圧入固定部とインパルス溶着部とを備えていた。また、容器本体に取り付けられる部品である突出部本体部８１と、他の部品である突出部流路蓋部８２、突出部ノズル蓋部８３との接続部分は、圧入固定部とインパルス溶着部とを備えていたが、これらの構成に限定されない。部品が蓋体に取り付けられる部品であってもよく、この場合には、当該部品と蓋体との接続部分は、圧入固定部とインパルス溶着部とを備えていてもよい。
　また、奥側基板支持部は、本実施形態では基板支持板状部５の板部５１の後端部に、容器本体２と一体成形されて構成された奥側端縁支持部６０を有していたが、この構成に限定されない。例えば、奥側基板支持部は、容器本体と一体成形されて構成されておらず、別体として構成されてもよい。
　また、本実施形態では、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２であったが、この構成に限定されない。例えば、下壁の前部の２箇所の貫通孔の少なくとも１つについても、容器本体の内部に気体を給気するための給気孔としてもよい。
１　基板収納容器
２　容器本体
３　蓋体
８　突出部（部品、気体噴出ノズル部）
２０　壁部
２１　容器本体開口部
２２　奥壁
２３　上壁
２４　下壁
２５　第１側壁
２６　第２側壁
２７　基板収納空間
２８　開口周縁部
２１０　通気路
２４４Ａ　ボトムプレート（部品）
８０２　開口部
２４５１Ａ　上側端部（圧入固定部、被挿入部）
２４５１Ｂ　上側端部（圧入固定部、被挿入部）
２４５２Ａ　下側部（インパルス溶着部、被挿入部）
２４５２Ｂ　他の部分（インパルス溶着部、被挿入部）
２４６１Ａ　基部（圧入固定部、凸状部材）
２４６１Ｂ　円柱状部材（圧入固定部、凸状部材）
２４６２Ａ　ピン状部材（インパルス溶着部、凸状部材）
２４６２Ｂ　ピン状部材（インパルス溶着部、凸状部材）
８１０１　基部（圧入固定部、凸状部材）
８１０２　ピン状部材（インパルス溶着部、凸状部材）
８２０１　下側端部（圧入固定部、被挿入部）
８２０２　上側部（インパルス溶着部、被挿入部）
Ｗ　基板
 

Claims (5)

  1. 　一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    　前記容器本体又は前記蓋体に取り付けられる部品と、を備え、
    　前記部品と前記容器本体又は前記蓋体又は他の前記部品との接続部分は、
    　　圧入による位置決めがなされて互いに固定されて構成された圧入固定部と、
    　　インパルス溶着により形成され、前記圧入固定部における位置決め及び固定を維持するインパルス溶着部と、を備える基板収納容器。
  2. 　前記圧入固定部は、凸状部材と、前記凸状部材が挿入される被挿入部とにより構成され、
    　前記凸状部材の基部が前記被挿入部の先端側部に圧入され位置決めされて固定されて、前記凸状部材の基部と前記被挿入部の先端側部とは前記圧入固定部を構成し、前記凸状部材の先端側部が前記被挿入部の基部にインパルス溶着されて、前記凸状部材の先端側部と前記被挿入部の基部とは前記インパルス溶着部を構成する請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記圧入固定部は、凸状部材と、前記凸状部材が挿入される被挿入部とにより構成され、
    　前記凸状部材が前記被挿入部に圧入され位置決めされて固定されて、前記凸状部材と前記被挿入部とは前記圧入固定部を構成し、
    　前記凸状部材の先端側部は、前記インパルス溶着部を構成しておらず、前記凸状部材とは異なる他の部分が前記インパルス溶着部を構成する請求項１に記載の基板収納容器。
  4. 　前記容器本体は、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有する壁部を有し、前記奥壁によって前記壁部の他端部が閉塞され、前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成され、
    　前記部品は、前記下壁に固定されて前記下壁と共に前記容器本体の底部を構成するボトムプレートである請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
  5. 　前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、
    　前記通気路に流入した気体を前記基板収納空間に供給する複数の開口部を有する気体噴出ノズル部と、を備え、
    　前記気体噴出ノズル部は、互いに接続される複数の前記部品により構成され、複数の前記部品の接続部分は、前記圧入固定部と、前記インパルス溶着部とを有する請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
     
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