KR20230036071A - 기판수납용기 - Google Patents

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KR20230036071A
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지아키 마쓰토리
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미라이얼 가부시키가이샤
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Abstract

용기본체와, 용기본체 개구부에 대하여 착탈이 가능하며, 용기본체 개구부를 폐쇄 가능한 뚜껑체와, 용기본체 또는 뚜껑체에 부착되는 부품(81)을 구비하고, 부품(81)과 용기본체 또는 뚜껑체 또는 그 외의 부품(82, 83)의 접속부분은 압입에 의해 위치결정이 이루어지고 서로 고정되어서 구성된 압입고정부(8101, 8201)와, 임펄스 용착에 의하여 형성되고 압입고정부(8101, 8201)에 있어서의 위치결정 및 고정을 유지하는 임펄스 용착부(8102, 8202)를 구비하는 기판수납용기이다.

Description

기판수납용기
본 발명은, 반도체 웨이퍼(半導體 wafer) 등으로 이루어지는 기판을 수납, 보관, 반송(搬送), 수송(輸送) 등을 할 때에 사용되는 기판수납용기(基板收納容器)에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼로 이루어지는 기판을 수납하여 반송하기 위한 기판수납용기로서는, 용기본체(容器本體)와 뚜껑체(蓋體)를 구비하는 구성의 것이 종래부터 알려져 있다(특허문헌1∼2참조).
용기본체는, 일단부(一端部)에 용기본체 개구부가 형성되고, 타단부(他端部)가 폐쇄된 통모양의 벽부(壁部)를 구비한다. 용기본체 내(內)에는 기판수납공간이 형성되어 있다. 기판수납공간은 벽부에 의해 둘러싸여지게 형성되어 있어 복수의 기판을 수납할 수 있다. 뚜껑체는 용기본체 개구부에 대하여 착탈(着脫)이 가능하며, 용기본체 개구부를 폐쇄할 수 있다.
뚜껑체부분으로서 용기본체 개구부를 폐쇄하고 있을 때에 기판수납공간과 대향하는 부분에는, 프론트 리테이너(front retainer)가 설치되어 있다. 프론트 리테이너는, 뚜껑체에 의해 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 복수의 기판 가장자리부를 지지할 수 있다. 또한, 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 하여, 후방측 기판지지부가 벽부에 설치되어 있다. 후방측 기판지지부는 복수의 기판 가장자리부를 지지할 수 있다. 후방측 기판지지부는, 뚜껑체에 의해 용기본체 개구부가 폐쇄되어 있을 때에, 프론트 리테이너와 협동하여 복수의 기판을 지지함으로써, 인접하는 기판 사이를 소정의 간격으로 이간(離間)시켜서 배열된 상태로 복수의 기판을 홀딩한다.
특허문헌1 : 일본국 특허공표 특표2005-530331호 공보 특허문헌2 : 일본국 공개특허 특개2018-113298호 공보
기판수납용기에 있어서는, 복수의 열가소성 수지부품((熱可塑性 樹脂部品)이 용기본체 등에 고정되어서 사용되는 것이 많고, 그 고정의 방법으로서는, 스냅방식(snap 方式), 끼워맞춤(압입(壓入)), 나사고정 등의 체결이 이루어져 왔다. 그러나, 기판수납용기에 대한 진동, 외력, 세정(洗淨)에 의한 급격한 온도변화(팽창·수축) 등에 의하여, 상기 고정에 있어서의 “느슨해짐·풀어짐”이 생길 우려가 있다.
이에 대하여는, 열가소성 수지의 특성을 살리어 용착(溶着)하여 고정하는 방법이 있다. 그 방법으로서는 초음파용착을 사용하는 것이 가능하다. 즉, 용기본체에 대한 열가소성 수지부품의 접합부에 초음파진동과 압력을 가하는 것에 의하여 접합이 이루어진다.
그러나, 초음파용착의 최대의 문제점은, 용착에 의해 접합된 부위에서 파티클(particle)이 발생하는 것이다. 구체적으로는, 초음파의 진동에 의한 마찰에 의하여, 용융(溶融)하는 전단계(前段階)에서 미세한 수지분(樹脂粉)이 발생한다. 수지분은 용융부의 표면 또는 주위에 부착되어 있는 상태가 된다. 그 상태에서, 수지분은 용이하게 탈락(脫落)하여 파티클이 된다. 또한, 용융 후에 용융부의 주위에 있어서는 표면이 거친 상태가 되고, 이 거친 표면의 부분이 탈락하여 파티클이 된다. 이렇게 파티클이 발생하는 것은, 앞으로도 미세화(微細化)가 진행되는 반도체칩을 생산하는 데에는 치명적 문제가 된다.
기판수납용기의 외측(外側)에 초음파용착을 하였을 경우이더라도, 기판수납용기를 세정하여 건조할 때에, 기판수납용기의 내측(內側)으로 파티클이 돌아 들어갈 가능성이 매우 높고, 또한 세정장치의 오염으로도 연결된다. 이 때문에, 기판수납용기의 내측, 외측의 어느 쪽에 초음파용착을 하는 경우를 막론하고 파티클에 의한 악영향의 우려가 있다.
또한, 초음파용착을 실시하기 위하여 초음파진동을 가할 필요가 있지만, 예를 들어 압입에 의하여, 용착시키는 부품 상호간의 위치결정을 한 상태에서는, 초음파진동은 발생하지 않는다. 이 때문에, 용착시키는 부품 상호간의 위치결정을 느슨하게 해 둘 필요가 있다. 그 결과 위치결정 정밀도가 저하된다. 또한, 초음파진동을 가하는 때는, 용착시키는 부품 상호간에 하중을 가하기 때문에 부품이 변형될 우려가 있다.
본 발명은, 초음파용착이 이루어지지 않고 제조되어, 파티클의 발생이 억제될 수 있고, 부품의 위치결정 정밀도가 저하되는 것이 억제된 기판수납용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 일단부(一端部)에 용기본체 개구부가 형성된 개구주연부(開口周緣部)를 구비하고, 타단부(他端部)가 폐쇄된 통모양의 벽부를 구비하고, 복수의 기판을 수납 가능하며 상기 용기본체 개구부와 연통(連通)하는 기판수납공간이 상기 벽부의 내면에 의하여 형성된 용기본체와,
상기 용기본체 개구부에 대하여 착탈이 가능하며, 상기 용기본체 개구부를 폐쇄 가능한 뚜껑체와,
상기 용기본체 또는 상기 뚜껑체에 부착되는 부품을
구비하고,
상기 부품과 상기 용기본체 또는 상기 뚜껑체 또는 그 외의 상기 부품의 접속부분은,
압입에 의해 위치결정이 이루어지고 서로 고정되어서 구성된 압입고정부와,
임펄스 용착(impulse 溶着)에 의하여 형성되고, 상기 압입고정부에 있어서의 위치결정 및 고정을 유지하는 임펄스 용착부를
구비하는 기판수납용기에 관한 것이다.
또한, 상기 압입고정부는, 볼록모양부재와, 상기 볼록모양부재가 삽입되는 피삽입부로 구성되고,
상기 볼록모양부재의 기부(基部)가 상기 피삽입부의 선단측부(先端側部)에 압입되어 위치결정되어 고정되고, 상기 볼록모양부재의 기부와 상기 피삽입부의 선단측부는 상기 압입고정부를 구성하고, 상기 볼록모양부재의 선단측부가 상기 피삽입부의 기부에 임펄스 용착되고, 상기 볼록모양부재의 선단측부와 상기 피삽입부의 기부는 상기 임펄스 용착부를 구성하는
것이 바람직하다.
또한, 상기 압입고정부는, 볼록모양부재와, 상기 볼록모양부재가 삽입되는 피삽입부로 구성되고,
상기 볼록모양부재가 상기 피삽입부에 압입되어 위치결정되어 고정되고, 상기 볼록모양부재와 상기 피삽입부는 상기 압입고정부를 구성하고,
상기 볼록모양부재의 선단측부는, 상기 임펄스 용착부를 구성하지 않고, 상기 볼록모양부재는 다른 그 외의 부분이 상기 임펄스 용착부를 구성하는
것이 바람직하다.
또한, 상기 용기본체는, 후방벽, 상벽, 하벽 및 1쌍의 측벽을 구비하는 벽부를 구비하고, 상기 후방벽에 의해 상기 벽부의 타단부가 폐쇄되고, 상기 상벽의 일단부, 상기 하벽의 일단부 및 상기 측벽의 일단부에 의해 상기 용기본체 개구부가 형성되고,
상기 부품은, 상기 하벽에 고정되어서 상기 하벽과 함께 상기 용기본체의 바닥부를 구성하는 보텀 플레이트(bottom plate)인
것이 바람직하다.
또한, 상기 기판수납공간과 상기 용기본체의 외부의 공간을 연통 가능하게 한 통기로(通氣路)와,
상기 통기로에 유입된 기체를 상기 기판수납공간으로 공급하는 복수의 개구부를 구비하는 기체분출 노즐부를
구비하고,
상기 기체분출 노즐부는 서로 접속되는 복수의 상기 부품에 의해 구성되고, 복수의 상기 부품의 접속부분은 상기 압입고정부와 상기 임펄스 용착부를 구비하는
것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 초음파용착이 이루어지지 않고 제조되어, 파티클의 발생이 억제되고, 부품의 위치결정 정밀도가 저하되는 것이 억제된 기판수납용기를 제공하는 것이 가능하다.
[도1] 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)에 복수의 기판(W)이 수납된 상태를 나타내는 분해 사시도이다.
[도2] 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 상방 사시도(上方 斜視圖)이다.
[도3] 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 하방 사시도(下方 斜視圖)이다.
[도4] 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 측방 단면도이다.
[도5] 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 돌출부(8)를 나타내는 사시도이다.
[도6] 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 돌출부(8)를 나타내는 분해 사시도이다.
[도7] 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판수납용기(1)의 돌출부(8)의 돌출부 유로 뚜껑부(82)를 나타내는 분해 사시도이다.
[도8] 도5의 A-A 선을 따른 단면도이다.
[도9] 본 발명의 제2실시형태에 관한 기판수납용기(1A)의 용기본체(2A)를 나타내는 저면도이다.
[도10] 본 발명의 제2실시형태에 관한 기판수납용기(1A)의 용기본체(2A)를 나타내는 분해 사시도이다.
[도11] 본 발명의 제2실시형태에 관한 기판수납용기(1A)의 용기본체(2A)의 하벽(24A)과 보텀 플레이트(244A)의 접속부분을 나타내는 확대 사시도이다.
[도12] 본 발명의 제2실시형태에 관한 기판수납용기(1A)의 용기본체(2A)의 하벽(24A)과 보텀 플레이트(244A)의 접속부분을 나타내는 확대 단면도이다.
[도13] 본 발명의 제3실시형태에 관한 기판수납용기의 용기본체의 하벽(24A)과 보텀 플레이트(244A)의 접속부분을 나타내는 확대 단면도이다.
이하에서, 제1실시형태에 의한 기판수납용기(1)에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도1은 기판수납용기(1)에 복수의 기판(W)이 수납된 상태를 나타내는 분해 사시도이다. 도2는 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 상방 사시도이다. 도3은 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 하방 사시도이다. 도4는 기판수납용기(1)의 용기본체(2)를 나타내는 측방 단면도이다. 도5는 기판수납용기(1)의 돌출부(8)를 나타내는 사시도이다. 도6은 기판수납용기(1)의 돌출부(8)를 나타내는 분해 사시도이다. 도7은 기판수납용기(1)의 돌출부(8)의 돌출부 유로 뚜껑부(82)를 나타내는 분해 사시도이다. 도8은 도5의 A-A 선을 따른 단면도이다.
여기에서, 설명의 편의상, 후술하는 용기본체(2)로부터 뚜껑체(3)를 향하는 방향(도1에 있어서 우상에서 좌하로 향하는 방향)을 전방향(D11)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 후방향(D12)으로 정의하고, 이들을 합쳐서 전후방향(D1)으로 정의한다. 또한, 후술하는 하벽(24)으로부터 상벽(23)을 향하는 방향(도1에 있어서 상측방향)을 상측방향(D21)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 하측방향(D22)으로 정의하고, 이들을 합쳐서 상하방향(D2)으로 정의한다. 또한, 후술하는 제2측벽(26)으로부터 제1측벽(25)을 향하는 방향(도1에 있어서 우하로부터 좌상으로 향하는 방향)을 좌측방향(D31)으로 정의하고, 그 반대의 방향을 우측방향(D32)으로 정의하고, 이들을 합쳐서 좌우방향(D3)으로 정의한다. 주요한 도면에는, 이들의 방향을 나타내는 화살표를 도면에 나타내고 있다.
또한, 기판수납용기(1)에 수납되는 기판(W)(도1 참조)은, 원반모양의 실리콘 웨이퍼, 글라스 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등으로서, 산업에 사용되는 얇은 것이다. 본 실시형태에 있어서의 기판(W)은 직경 300mm의 실리콘 웨이퍼이다.
도1에 나타나 있는 바와 같이, 기판수납용기(1)는, 상술한 바와 같은 실리콘 웨이퍼로 이루어지는 기판(W)을 수납하여 공장내의 공정에 있어서 반송하는 공정내 용기로서 사용되거나, 육상 운송수단·항공 운송수단·해상 운송수단 등의 수송수단에 의해 기판을 수송하기 위한 출하용기로서 사용되기도 하는 것으로서, 용기본체(2)와 뚜껑체(3)로 구성된다. 용기본체(2)는, 측방 기판지지부로서의 기판지지 판상부(5)와, 후방측 기판지지부(6)(도2 등 참조)를 구비하고 있고, 뚜껑체(3)는, 뚜껑측 기판지지부로서 도면에 나타나 있지 않은 프론트 리테이너를 구비하고 있다.
용기본체(2)는, 일단부에 용기본체 개구부(21)가 형성되고, 타단부가 폐쇄된 통모양의 벽부(20)를 구비한다. 용기본체(2) 내에는 기판수납공간(27)이 형성되어 있다. 기판수납공간(27)은 벽부(20)에 의해 둘러싸여지게 형성되어 있다. 벽부(20)의 부분으로서 기판수납공간(27)을 형성하고 있는 부분에는 기판지지 판상부(5)가 배치되어 있다. 기판수납공간(27)에는, 도1에 나타나 있는 바와 같이, 복수의 기판(W)을 수납할 수 있다.
기판지지 판상부(5)는, 기판수납공간(27) 내에 있어서 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 기판지지 판상부(5)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있지 않을 때에, 복수의 기판(W) 가장자리부에 접함으로써, 인접하는 기판(Ｗ) 상호간을 소정의 간격으로 이간시켜서 배열된 상태로 복수의 기판(W) 가장자리부를 지지할 수 있다. 기판지지 판상부(5)의 후방측에는, 후방측 기판지지부(6)가 기판지지 판상부(5)와 일체로 성형되어서 설치되어 있다.
후방측 기판지지부(6)(도2 등 참조)는, 기판수납공간(27) 내에 있어서 후술하는 도면에 나타나 있지 않은 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 벽부(20)에 설치되어 있다. 후방측 기판지지부(6)는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 복수의 기판(W) 가장자리부에 접함으로써, 복수의 기판(W) 가장자리부의 후부(後部)를 지지할 수 있다.
뚜껑체(3)는, 용기본체 개구부(21)를 형성하는 개구주연부(28)(도1 등)에 대하여 착탈이 가능하여, 용기본체 개구부(21)를 폐쇄할 수 있다. 도면에 나타나 있지 않은 프론트 리테이너는, 뚜껑체(3)의 부분으로서 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에 기판수납공간(27)과 대향하는 부분에 설치되어 있다. 도면에 나타나 있지 않은 프론트 리테이너는, 기판수납공간(27)의 내부에 있어서 후방측 기판지지부(6)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
도면에 나타나 있지 않은 프론트 리테이너는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 복수의 기판(W) 가장자리부에 접함으로써 복수의 기판(W) 가장자리부의 전방부를 지지할 수 있다. 도면에 나타나 있지 않은 프론트 리테이너는, 뚜껑체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐쇄되어 있을 때에, 후방측 기판지지부(6)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써 인접하는 기판(Ｗ) 상호간을 소정의 간격으로 이간시켜서 배열된 상태로 지지한다.
기판수납용기(1)는, 플라스틱재 등의 수지로 구성되어 있고, 특별히 설명이 없는 경우에는, 그 재료의 수지로서는, 예를 들면, 폴리카보네이트, 시클로올레핀폴리머, 폴리에테르이미드, 폴리에테르케톤, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르에테르케톤, 액정 폴리머와 같은 열가소성 수지나 이들의 알로이 등을 들 수 있다. 이들의 성형재료(成形材料)의 수지에는, 도전성(導電性)을 부여하는 경우에는, 카본 섬유, 카본파우더, 카본나노튜브, 도전성 폴리머 등의 도전성물질이 선택적으로 첨가된다. 또한, 강성(剛性)을 증가시키기 위하여 유리섬유나 탄소섬유 등을 첨가할 수도 있다.
이하에서, 각 부(部)에 관하여 상세하게 설명한다.
도1에 나타나 있는 바와 같이, 용기본체(2)의 벽부(20)는, 후방벽(22)과 상벽(23)과 하벽(24)과 제1측벽(25)과 제2측벽(26)을 구비한다. 후방벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제1측벽(25) 및 제2측벽(26)은, 상기한 재료에 의해 구성되어 있고, 일체로 성형되어서 구성되어 있다.
제1측벽(25)과 제2측벽(26)은 대향하고 있고, 상벽(23)과 하벽(24)은 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단(後端), 하벽(24)의 후단, 제1측벽(25)의 후단 및 제2측벽(26)의 후단은, 모두 후방벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단(前端), 하벽(24)의 전단, 제1측벽(25)의 전단 및 제2측벽(26)의 전단은, 대략 직4각형 모양을 한 용기본체 개구부(21)를 형성하는 개구주연부(28)를 구성한다.
개구주연부(28)는 용기본체(2)의 일단부에 설치되어 있고, 후방벽(22)은 용기본체(2)의 타단부에 위치하고 있다. 벽부(20)의 외면(外面)에 의하여 형성되는 용기본체(2)의 외형은 상자모양이다. 벽부(20)의 내면(內面), 즉, 후방벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제1측벽(25)의 내면 및 제2측벽(26)의 내면은, 이들에 의해 둘러싸여진 기판수납공간(27)을 형성하고 있다. 개구주연부(28)에 형성된 용기본체 개구부(21)는, 벽부(20)에 의해 둘러싸여져 용기본체(2)의 내부에 형성된 기판수납공간(27)과 연통하고 있다. 기판수납공간(27)에는 최대로 25매의 기판(W)을 수납할 수 있다.
도1에 나타나 있는 바와 같이, 상벽(23) 및 하벽(24)의 부분으로서, 개구주연부(28)의 근방부분에는, 기판수납공간(27)의 외방(外方)을 향하여 오목하게 들어간 래치결합 오목부(latch 結合 凹部)(231A, 231B, 241A, 241B)가 형성되어 있다. 래치결합 오목부(231A, 231B, 241A, 241B)는, 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부 근방에 1개씩, 합계 4개가 형성되어 있다.
도1에 나타나 있는 바와 같이, 상벽(23)의 외면에 있어서는, 리브(rib)(235)가 상벽(23)과 일체로 성형되어서 설치되어 있다. 리브(235)는 용기본체(2)의 강성을 높인다. 또한, 상벽(23)의 중앙부에는, 톱플랜지(top flange)(236)가 고정된다. 톱플랜지(236)는, ＡＭＨＳ(자동 웨이퍼 반송시스템), ＰＧＶ(웨이퍼 기판 반송대차) 등에 있어서 기판수납용기(1)를 매어달 때에, 기판수납용기(1)에 있어서 걸어서 매어달 수 있는 부분이 되는 부재이다.
도3에 나타나 있는 바와 같이, 하벽(24)의 4개 구석에는, 통기로(210)(도5 등 참조)로서, 2종류의 관통구멍인 급기구멍(242)과 배기구멍(243)이 형성되어 있다. 본 실시형태에 있어서는, 하벽(24) 전방부의 2군데의 관통구멍은 용기본체(2) 내부의 기체를 배출하기 위한 배기구멍(243)이고, 후부의 2군데의 관통구멍은 용기본체(2)의 내부로 기체를 급기하기 위한 급기구멍(242)이다. 급기구멍(242)으로서의 관통구멍에는 급기용 필터부(90)가 배치되어 있고, 배기구멍(243)으로서의 관통구멍에는 배기용 필터부(91)가 배치되어 있다. 따라서, 급기용 필터부(90) 및 배기용 필터부(91) 내부의 기체의 유로(流路)는, 기판수납공간(27)과 용기본체(2)의 외부의 공간을 연통 가능하게 한 통기로(210)의 일부를 구성한다. 또한, 급기용 필터부(90)와 배기용 필터부(91)는 벽부(20)에 배치되어 있고, 급기용 필터부(90)와 배기용 필터부(91)에 있어서는, 용기본체(2)의 외부의 공간과 기판수납공간(27) 사이로 기체가 통과할 수 있다.
기판지지 판상부(5)는, 제1측벽(25) 및 제2측벽(26)에 각각 일체로 성형되어서 설치되어 있고, 좌우방향(D3)에 있어서 쌍을 이루도록 하여 기판수납공간(27) 내에 설치되어 있다. 구체적으로는, 도4 등에 나타나 있는 바와 같이, 기판지지 판상부(5)는 판부(板部)(51)를 구비하고 있다.
판부(51)는 판모양의 대략 활모양을 구비하고 있다. 판부(51)는, 제1측벽(25)과 제2측벽(26) 각각에, 상하방향(D2)으로 25매씩 계 50매가 설치되어 있다. 인접하는 판부(51)는, 상하방향(D2)에 있어서 10mm∼12mm 간격으로 서로 이간하여 평행한 위치관계로 배치되어 있다. 또한, 가장 위에 위치하는 판부(51)의 상방에는, 판부(51)와 평행하게 판모양의 부재(59)가 한 매 더 배치되어 있지만, 이는 가장 위에 위치하여 기판수납공간(27) 내에 삽입되는 기판(W)에 대하여, 상기 삽입할 때에 가이드의 역할을 하는 부재이다.
또한, 제1측벽(25)에 설치된 25매의 판부(51)와, 제2측벽(26)에 설치된 25매의 판부(51)는, 서로 좌우방향(D3)에 있어서 대향하는 위치관계를 구비하고 있다. 또한, 50매의 판부(51) 및 판부(51)와 평행한 판모양의 가이드의 역할을 하는 부재(59)는, 하벽(24)의 내면과 평행한 위치관계를 구비하고 있다. 도2 등에 나타나 있는 바와 같이, 판부(51)의 상면(上面)에는 볼록부(511, 512)가 설치되어 있다. 판부(51)에 지지된 기판(W)은, 볼록부(511, 512)의 돌출단에만 접촉되고, 면(面)으로 판부(51)에 접촉되지 않는다.
이러한 구성의 기판지지 판상부(5)는, 복수의 기판(W) 중에서 인접하는 기판(Ｗ) 상호간을, 소정의 간격으로 이간한 상태로 또한 서로 평행한 위치관계로 한 상태로, 복수의 기판(W) 가장자리부를 지지할 수 있다.
도4에 나타나 있는 바와 같이, 후방측 기판지지부(6)는 후방측 가장자리 지지부(60)를 구비하고 있다. 후방측 가장자리 지지부(60)는, 기판지지 판상부(5)의 판부(51)의 후단부에, 용기본체(2)와 일체로 성형되어서 구성되어 있다.
후방측 가장자리 지지부(60)는, 기판수납공간(27)에 수납이 가능한 기판(W)의 1장 마다 대응된 개수로서, 구체적으로는 25개가 설치되어 있다. 제1측벽(25) 및 제2측벽(26)에 배치된 후방측 가장자리 지지부(60)는, 전후방향(D1)에 있어서, 후술하는 프론트 리테이너와 쌍을 이루도록 위치관계를 구비하고 있다. 기판수납공간(27) 내에 기판(W)이 수납되고 뚜껑체(3)가 닫힘으로써, 후방측 가장자리 지지부(60)는 기판(W) 가장자리부의 가장자리를 협지(挾持)하여 지지한다.
도2 등에 나타나 있는 바와 같이, 후방벽(22)은 기체분출 노즐부로서의 돌출부(8)를 구비하고 있다. 돌출부(8)는, 도5, 도6에 나타내는 돌출부 본체부(81)와, 도6에 나타내는 돌출부 본체부의 전체면을 덮고 돌출부 본체부에 고정되는 돌출부 유로 뚜껑부(82) 및 돌출부 노즐 뚜껑부(83)를 구비하고 있고, 용기본체(2)에 부착되는 부품을 구성하고 있다. 이러한 돌출부(8)는, 도2에 나타나 있는 바와 같이, 2개로 쌍을 이루고 있고, 리브모양으로 용기본체 개구부(21)를 향하여 돌출하여, 평행하게 후방벽(22)의 상단부로부터 하단부에 이르기까지 연장되어 있다. 즉, 돌출부(8)는 중공(中空)의 기둥모양을 구비하고 있다. 돌출부(8)는, 기판수납공간(27)과 용기본체(2)의 외부의 공간을 연통 가능하게 한 통기로(210)로 유입된 기체를, 기판수납공간(27)으로 공급하는 복수의 개구부(802)와, 복수의 개구부(802)로부터 균일화된 유량으로 기체를 유출이 가능하게 하는 기체유량 균일화부를 구비한다.
기체유량 균일화부는, 구체적으로는, 기판수납공간(27)과 용기본체(2)의 외부의 공간을 연통 가능하게 한 통기로(210)와, 개구부(802) 사이에 형성된 분기로(分岐路)로서, 상기 통기로(210)로부터의 기체의 흐름을 분기되게 하는 분기로(801)를 구비하고 있다.
통기로(210)의 상측방향(D21)으로 연장되는 수직방향 연장부(213)의 상단부와 개구부(802) 사이에는, 통기로(210)로부터의 퍼지가스(purge gas)의 흐름을 분기시켜서 기체유량 균일화부를 구성하는 분기로(8011)가 형성되어 있다. 구체적으로는, 도6에 나타나 있는 바와 같이, 돌출부 본체부(81)는 1개의 유입구(811)를 구비하고 있다. 돌출부 본체부(81)의 전방향(D11)에는 분기벽부(812)가 형성되어 있다.
분기벽부(812)에 의해 분기되어진 각각의 흐름의 퍼지가스 하류측에는, 토출구(814)(도6 참조)가 형성되어 있다.
마찬가지로, 개구부(802)에 이르기까지, 토출구(814) 및 토출구(814)와 대향하는 분기벽부(812)가 퍼지가스의 유로를 형성하고 있고, 이 퍼지가스의 유로는, 마치 토너먼트 전(tournament 戰)의 대진표와 같은 형상을 구비한다. 본 실시형태에서, 퍼지가스는, 유입구(811)로부터 개구부(802)까지 사이에 3회 분기되어져서, 개구부(802)로부터 용기본체 개구부(21)를 향하여 유출된다. 또한, 최하류에 위치하고 있는 토출구(814)와 대향하는 돌출부 본체부(81) 부분은, 분기벽부(812)을 구비하고 있지 않다.
또한, 돌출부(8)는 세정액 유입 저해부(洗淨液 流入 沮害部)를 구비하고 있다. 세정액 유입 저해부는, 도5에 나타나 있는 바와 같이, 개구부(802)의 근방, 더 구체적으로는 개구부(802)의 상측 및 하측에서, 각각 전방향(D11)으로 진행함에 따라서 하측방향(D22)으로 경사지는 경사처마(傾斜庇)(815)에 의해 구성되어 있다. 경사처마(815)는 서로 평행하게 연장되어 있다. 경사처마(815)는, 용기본체(2)를 세정할 때에, 개구부(802)의 근방에 있어서 개구부(802)로부터 통기로(210)측에 대한 세정액의 유입을 저지한다.
돌출부 본체부(81)와 돌출부 유로 뚜껑부(82) 및 돌출부 노즐 뚜껑부(83)와의 접속부분은, 압입에 의해 위치결정이 이루어지고 서로 고정되어서 구성된 압입고정부와, 임펄스 용착에 의하여 형성되고 압입고정부에 있어서의 위치결정 및 고정을 유지하는 임펄스 용착부를 구비하고 있다.
구체적으로는, 도8에 나타내는 돌출부 본체부(81)의, 분기로(801)가 형성된 부분인 기체유량 균일화부를 구성하는 부분의 상단부의 개구(開口)를 막도록, 돌출부 유로 뚜껑부(82)가 돌출부 본체부(81)의 상단부의 개구로 압입되고, 돌출부 본체부(81)에 대한 돌출부 유로 뚜껑부(82)의 위치결정이 이루어져서, 돌출부 본체부(81)와 돌출부 유로 뚜껑부(82)가 서로 고정되어 있다.
즉, 돌출부 유로 뚜껑부(82)의 개구의 형상을 구비하는 부분의 선단측부(하측단부(8201))에는, 돌출부 본체부(81)에 설치되어 핀(pin)과 같이 도8의 상측방향으로 돌출하는 핀모양부재(8102)를 구비하는 볼록모양부재의 기부(8101)의 부분이 압입에 의해 결합되어 있다. 이와 같이, 압입에 의한 결합에 의하여 위치결정이 이루어지고 서로 고정되어 있는 부분은, 압입고정부를 구성한다. 또한, 돌출부 유로 뚜껑부(82)의 개구의 형상을 구비하는 부분의 기부(상측부(8202))에는, 핀모양부재(8102)가 삽입되고, 상측부(8202)와 핀모양부재(8102)는 임펄스 용착되어 임펄스 용착부를 구성한다.
또한, 도8에 나타내는 돌출부 본체부(81)의, 개구부(802)가 형성되고 경사처마(815)가 형성된 부분의 상단부의 개구를 막도록, 돌출부 노즐 뚜껑부(83)가 설치되어 있다. 돌출부 본체부(81)와 돌출부 노즐 뚜껑부(83)는, 돌출부 본체부(81)와 돌출부 유로 뚜껑부(82)의 고정과 동일하게, 압입고정부와 임펄스 용착부에 의하여 고정되어 있다.
도1에 나타나 있는 바와 같이, 뚜껑체(3)는 용기본체(2)의 개구주연부(28)의 형상과 대략 일치하는 대략 직4각형모양을 구비하고 있다. 뚜껑체(3)는 용기본체(2)의 개구주연부(28)에 대하여 착탈이 가능하고, 개구주연부(28)에 뚜껑체(3)가 장착됨으로써, 뚜껑체(3)는 개구주연부(28)에 의해 둘러싸여지는 위치관계로 용기본체 개구부(21)를 폐쇄할 수 있다.
뚜껑체(3)의 내면(도1에 나타내는 뚜껑체(3)의 뒷편의 면)으로서, 뚜껑체(3)가 용기본체 개구부(21)를 폐쇄하고 있을 때의 개구주연부(28)의 바로 후방향(D12)의 위치에 형성된 단차부분(段差部分)의 면(밀봉면(281))과 대향하는 면에는, 뚜껑체(3)의 외주 가장자리부를 일주(一周)하도록, 환상(環狀)의 밀봉부재(4)가 부착되어 있다. 밀봉부재(4)는 뚜껑체(3)를 일주하도록 배치되어 있다. 밀봉부재(4)는, 탄성으로 변형이 가능한 폴리에스테르계, 폴리올레핀계 등 각종 열가소성 엘라스토머, 불소 고무제, 실리콘 고무제 등이다.
뚜껑체(3)가 개구주연부(28)에 장착되었을 때에, 밀봉부재(4)는, 용기본체(2)의 밀봉면(281)(도1 참조)과 뚜껑체(3)의 내면에 의하여 끼워져 탄성변형된다. 즉, 뚜껑체(3)와 용기본체(2) 사이에 밀봉부재(4)가 삽입됨으로써, 뚜껑체(3)와 개구주연부(28)가 서로 접촉하지 않고 이간된 상태로, 뚜껑체(3)는 용기본체 개구부(21)를 폐쇄할 수 있다. 개구주연부(28)로부터 뚜껑체(3)가 분리됨으로써, 용기본체(2) 내의 기판수납공간(27)에 대하여 기판(W)을 출납할 수 있게 된다.
뚜껑체(3)에는 래치기구(latch 機構)가 설치되어 있다. 래치기구는, 뚜껑체(3)의 좌우 양단부 근방에 설치되어 있고, 도1에 나타나 있는 바와 같이, 뚜껑체(3)의 상변(上邊)으로부터 상측방향으로 돌출이 가능한 2개의 상측 래치부(32A, 32A)와, 뚜껑체(3)의 하변(下邊)으로부터 하측방향으로 돌출이 가능한 2개의 하측 래치부(32B, 32B)를 구비하고 있다. 2개의 상측 래치부(32A, 32A)는 뚜껑체(3)의 상변의 좌우 양단부 근방에 배치되어 있고, 2개의 하측 래치부(32B, 32B)는 뚜껑체(3)의 하변의 좌우 양단부 근방에 배치되어 있다.
뚜껑체(3)의 외면(外面)에 있어서는 조작부(33)가 설치되어 있다. 조작부(33)를 뚜껑체(3)의 앞측에서 조작함으로써, 상측 래치부(32A, 32A), 하측 래치부(32B, 32B)를 뚜껑체(3)의 상변, 하변으로부터 돌출시킬 수 있거나, 또한 상변, 하변으로부터 돌출시키지 않는 상태로 하는 것이 가능하게 된다. 상측 래치부(32A, 32A)가 뚜껑체(3)의 상변으로부터 상측방향으로 돌출하여 용기본체(2)의 래치결합 오목부(231A, 231B)에 결합되고, 또한 하측 래치부(32B, 32B)가 뚜껑체(3)의 하변으로부터 하측방향으로 돌출하여 용기본체(2)의 래치결합 오목부(241A, 241B)에 결합됨으로써, 뚜껑체(3)는 용기본체(2)의 개구주연부(31)에 고정된다.
뚜껑체(3)의 내측(도1에 있어서의 뚜껑체(3)의 후방향(D12)측)에는, 수납공간(27)의 외방(外方)(전방향(D11))으로 오목하게 들어간 오목부(도면에는 나타나지 않음)가 형성되어 있다. 오목부(도면에는 나타나지 않음) 및 오목부 외측의 뚜껑체(3) 부분에는, 프론트 리테이너(도면에는 나타나지 않음)가 고정되어서 설치되어 있다.
프론트 리테이너(도면에는 나타나지 않음)는 프론트 리테이너 기판받침부(도면에는 나타나지 않음)를 구비하고 있다. 프론트 리테이너 기판받침부(도면에는 나타나지 않음)는, 좌우방향으로 소정의 간격으로 이간하여 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치되어 있다. 이렇게 쌍을 이루도록 하여 2개씩 배치된 프론트 리테이너 기판받침부는, 상하방향으로 25대 배열된 상태로 설치되어 있다. 수납공간(27) 내에 기판(W)이 수납되고 뚜껑체(3)가 닫힘으로써, 프론트 리테이너 기판받침부는 기판(W) 가장자리부의 가장자리를 협지하여 지지한다.
상기 구성의 본 실시형태에 관한 기판수납용기(1)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
상기한 바와 같이, 돌출부 본체부(81)와 그 외의 부품인 돌출부 유로 뚜껑부(82) 및 돌출부 노즐 뚜껑부(83)와의 접속부분은, 압입에 의해 위치결정이 이루어지고 서로 고정되어서 구성된 압입고정부와, 임펄스 용착에 의하여 형성되고 압입고정부에 있어서의 위치결정 및 고정을 유지하는 임펄스 용착부를 구비한다.
상기 구성에 의하여 위치결정 정밀도를 정하는 압입을 실시한 후에, 풀림방지의 용융고정을 임펄스 용착에 의하여 실시하기 때문에, 안정적으로 생산되고 위치 정밀도가 높은 기판수납용기(1)로 하는 것이 가능하게 된다. 또한, 임펄스 용착에 의해 물리적으로 가열하여 코킹(caulking)을 실시하고, 냉각하기 때문에 먼지 발생을 방지할 수 있다. 또한, 부품 상호간이나 용기본체에 하중을 걸 필요가 없기 때문에, 부품에 변형이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 깨끗하고 또한 치수 정밀도가 높은 기판수납용기(1)로 하는 것이 가능하게 된다.
또한, 핀모양부재(8102)를 구비하는 볼록모양부재의 기부(8101)가 피삽입부의 선단측부로서의 하측단부(8201)에 압입되어 위치결정되고 고정되어, 기부(8101)와 하측단부(8201)는 압입고정부를 구성하고, 선단측부인 핀모양부재(8102)가 피삽입부의 기부인 상측부(8202)에 임펄스 용착되어, 핀모양부재(8102)와 상측부(8202)는 임펄스 용착부를 구성한다.
상기 구성에 의하여, 핀모양부재(8102)와 그 기부(8101)로 임펄스 용착부와 압입고정부를 구성하는 것이 가능하고, 또한 하측단부(8201)와 그 기부인 상측부(8202)로 압입고정부와 임펄스 용착부를 구성하는 것이 가능하기 때문에, 압입고정부와 임펄스 용착부를 작은 스페이스(space)에서 콤팩트(compact)하게 구성하는 것이 가능하게 된다.
또한, 기체분출 노즐부로서의 돌출부(8)는, 서로 접속되는 복수의 부품인 돌출부 본체부(81)와, 그 외의 부품인 돌출부 유로 뚜껑부(82)와, 돌출부 노즐 뚜껑부(83)로 구성되고, 돌출부 본체부(81)와, 돌출부 유로 뚜껑부(82), 돌출부 노즐 뚜껑부(83)의 접속부분은, 압입고정부와 임펄스 용착부를 구비한다. 이에 따라, 돌출부(8)를 깨끗하고 또한 치수 정밀도가 높은 기체분출 노즐부로 하는 것이 가능하게 된다.
다음에, 본 발명의 제2실시형태에 대하여, 도면을 참조하면서 설명한다. 도9는 기판수납용기(1A)의 용기본체(2A)를 나타내는 저면도이다. 도10은 기판수납용기(1A)의 용기본체(2A)를 나타내는 분해 사시도이다. 도11은 기판수납용기(1A)의 용기본체(2A)의 하벽(24A)과 보텀 플레이트(244A)의 접속부분을 나타내는 확대 사시도이다. 도12는 기판수납용기(1A)의 용기본체(2A)의 하벽(24A)과 보텀 플레이트(244A)의 접속부분을 나타내는 확대 단면도로서, 도9의 Ｃ-C 선을 따른 단면도이다.
제2실시형태에서는, 압입고정부와 임펄스 용착부로 구성되는 접속부분에 의해 용기본체(2A)에 접속되는 부품이 다르게 된다. 이외의 구성에 관하여는 제1실시형태와 동일하기 때문에, 동일의 부재에 대하여는 동일한 부호를 붙여서 설명을 생략한다.
하벽(24A)에는, 도9에 나타나 있는 바와 같이, 보텀 플레이트(244A)가 고정되어 있다. 보텀 플레이트(244A)는, 하벽(24A)의 외면을 구성하는 하면의 중앙부에서, 하벽(24A) 좌우의 전단부 및 하벽(24A) 후단부의 좌우방향에 있어서의 중앙부를 향하여 각각 연장되고, 또한 상기 하벽(24A) 후단부의 좌우방향에 있어서의 중앙을 향하여 연장되고 있는 부분의 도중(途中)의 부분이, 좌우방향을 향하여 각각 연장되는 형상을 구비하는 판모양의 부재에 의해 구성되어 있다. 하벽(24A)과 보텀 플레이트(244A)의 접속부분은, 압입에 의해 위치결정이 이루어지고 서로 고정되어서 구성된 압입고정부와, 임펄스 용착에 의하여 형성되고 압입고정부에 있어서의 위치결정 및 고정을 유지하는 임펄스 용착부를 구비하고 있다.
구체적으로는, 보텀 플레이트(244A)의 주연부(周緣部)로서, 상기한 바와 같이 각각 연장되고 있는 부분의 단부는, 상측방향(D21)(도10∼도12에 있어서의 하측방향)으로 돌출하는 원통형상의 상방돌출부(245A)를 구비하고 있다. 상방돌출부(245A)의 선단측부(상측단부(2451A))에는, 하벽(24A)으로부터 하측방향으로 돌출되어 일체로 성형되어서 설치된 고정용 하방돌출부(246A)의 핀과 같이 도12의 상측방향으로 돌출되는 핀모양부재(2462A)를 구비하는 볼록모양부재의 기부(2461A)의 부분이 압입에 의해 결합되어 있다. 이와 같이, 압입에 의한 결합에 의하여 위치결정이 이루어지고 서로 고정되어 있는 부분은 압입고정부를 구성한다.
또한, 도12에 나타나 있는 바와 같이, 상방돌출부(245A)의 기부(하측부(2452A))의 내부에는 관통구멍이 형성되어 있다. 상기 관통구멍에는 핀모양부재(2462A)가 삽입되고, 하측부(2452A)와 핀모양부재(2462A)는 임펄스 용착되어 임펄스 용착부를 구성한다. 임펄스 용착후의 핀모양부재(2462A)는, 도12에 있어서 2점쇄선으로 나타내는 형상을 구비하고 있다.
상기 구성의 본 실시형태에 관한 기판수납용기에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
상기한 바와 같이, 압입고정부와 임펄스 용착부에 의해 접속부분이 구성되고, 용기본체(2A)에 고정되는 부품은, 하벽(24A)에 고정되어서 하벽과 함께 용기본체(2A)의 바닥부를 구성하는 보텀 플레이트(244A)이다. 이 구성에 의하여, 보텀 플레이트(244A)가 고정된 용기본체(2A)를 깨끗하고, 또한 치수 정밀도가 높은 용기본체로 하는 것이 가능하게 된다.
다음에, 본 발명의 제3실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도13은, 기판수납용기의 용기본체의 하벽(24A)과 보텀 플레이트(244A)의 접속부분을 나타내는 확대 단면도로서, 도9의 Ｂ-B 선을 따른 단면도이다.
제3실시형태에서는, 압입고정부와 임펄스 용착부로 구성되는 접속부분에 의해 용기본체에 접속되는 부품이 다르게 된다. 이외의 구성에 관하여는 제2실시형태와 동일하기 때문에, 동일의 부재에 대하여는 동일한 부호를 붙여 설명을 생략한다.
하벽(24A)에는, 도13에 나타나 있는 바와 같이, 보텀 플레이트(244A)가 고정되어 있다. 하벽(24A)과 보텀 플레이트(244A)의 접속부분은, 압입에 의해 위치결정이 이루어지고 서로 고정되어서 구성된 압입고정부와, 임펄스 용착에 의하여 형성되고 압입고정부에 있어서의 위치결정 및 고정을 유지하는 임펄스 용착부를 구비하고 있다.
구체적으로는, 보텀 플레이트(244A)는, 상측방향(D21)(도13에 있어서의 하측방향)으로 돌출하는 원통형상의 상방돌출부(245B)를 구비하고 있다. 상방돌출부(245B)의 선단측부(상측단부(2451B))에는, 하벽(24A)으로부터 하측방향으로 돌출되어 일체로 성형되어서 설치된 고정용 하방돌출부(246B)의 도13의 상측방향으로 돌출되는 원기둥모양부재(2461B)가 압입에 의해 결합되어 있다. 이와 같이 압입에 의한 결합에 의하여, 위치결정이 이루어지고 서로 고정되어 있는 부분은 압입고정부를 구성한다.
또한, 상방돌출부(245B)를 구비하고 있는 보텀 플레이트(244A) 부분과 다른 그 외의 부분(2452B)에는 관통구멍이 형성되어 있다. 상기 관통구멍에는, 고정용 하방돌출부(246B)가 설치되어 있는 하벽(24A) 부분과 다른 그 외의 부분에 설치된 핀모양부재(2462B)가 삽입되고, 그 외의 부분(2452B)과 핀모양부재(2462B)는 임펄스 용착되어 임펄스 용착부를 구성한다. 임펄스 용착후의 핀모양부재(2462B)는, 도13에 있어서 2점쇄선으로 나타내는 형상을 구비하고 있다.
상기 구성의 본 실시형태에 관한 기판수납용기에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
상기한 바와 같이, 원기둥모양부재(2461B)의 선단측부는, 임펄스 용착부를 구성하지 않고, 원기둥모양부재(2461B)와 다른 그 외의 부분인 핀모양부재(2462B)가 임펄스 용착부를 구성한다. 이 구성에 의하여, 압입고정부와 임펄스 용착부를 서로 다른 부분에 있어서 구성하기 때문에, 설계의 자유도를 높여지는 기판수납용기로 하는 것이 가능하게 된다.
본 발명은, 상기한 실시형태에 한정되지 않고, 특허청구범위에 기재된 기술적 범위에 있어서 변형이 가능하다.
예를 들면, 용기본체 및 뚜껑체의 형상, 용기본체에 수납이 가능한 기판의 매수나 치수는, 본 실시형태에 있어서의 용기본체(2) 및 뚜껑체(3)의 형상, 용기본체(2)에 수납이 가능한 기판(W)의 매수나 치수에 한정되지 않는다. 또한, 본 실시형태에 있어서의 기판(W)은, 직경 300mm의 실리콘 웨이퍼이었지만, 이 치수로 한정되지 않는다.
또한, 예를 들면, 본 실시형태에 있어서는, 용기본체와, 용기본체에 부착되는 부품인 보텀 플레이트(244A)의 접속부분은, 압입고정부와 임펄스 용착부를 구비하고 있었다. 또한, 용기본체에 부착되는 부품인 돌출부 본체부(81)와, 그 외의 부품인 돌출부 유로 뚜껑부(82), 돌출부 노즐 뚜껑부(83)의 접속부분은, 압입고정부와 임펄스 용착부를 구비하고 있었지만, 이들의 구성에 한정되지 않는다. 부품이 뚜껑체에 부착되는 부품이더라도 좋고, 이 경우에는, 상기 부품과 뚜껑체의 접속부분은 압입고정부와 임펄스 용착부을 구비하고 있어도 좋다.
또한, 후방측 기판지지부는, 본 실시형태에서는 기판지지 판상부(5)의 판부(51)의 후단부에, 용기본체(2)와 일체로 성형되어서 구성된 후방측 가장자리 지지부(60)를 구비하고 있었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 후방측 기판지지부는, 용기본체와 일체로 성형되어서 구성되고 있지 않고, 별개로서 구성되더라도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 하벽(24) 전방부의 2군데의 관통구멍은 용기본체(2) 내부의 기체를 배출하기 위한 배기구멍(243)이고, 후부의 2군데의 관통구멍은 용기본체(2)의 내부에 기체를 급기하기 위한 급기구멍(242)이었지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 예를 들면, 하벽 전방부의 2군데의 관통구멍의 적어도 하나에 대하여, 용기본체의 내부로 기체를 급기하기 위한 급기구멍으로 하여도 좋다.
1 기판수납용기
2 용기본체
3 뚜껑체
8 돌출부(부품, 기체분출 노즐부)
20 벽부
21 용기본체 개구부
22 후방벽
23 상벽
24 하벽
25 제1측벽
26 제2측벽
27 기판수납공간
28 개구주연부
210 통기로
244A 보텀 플레이트(부품)
802 개구부
2451A 상측단부(압입고정부, 피삽입부)
2451B 상측단부(압입고정부, 피삽입부)
2452A 하측부(임펄스 용착부, 피삽입부)
2452B 그 외의 부분(임펄스 용착부, 피삽입부)
2461A 기부(압입고정부, 볼록모양부재)
2461B 원기둥모양부재(압입고정부, 볼록모양부재)
2462A 핀모양부재(임펄스 용착부, 볼록모양부재)
2462B 핀모양부재(임펄스 용착부, 볼록모양부재)
8101 기부(압입고정부, 볼록모양부재)
8102 핀모양부재(임펄스 용착부, 볼록모양부재)
8201 하측단부(압입고정부, 피삽입부)
8202 상측부(임펄스 용착부, 피삽입부)
W 기판

Claims (5)

  1. 일단부(一端部)에 용기본체 개구부가 형성된 개구주연부(開口周緣部)를 구비하고, 타단부(他端部)가 폐쇄된 통모양의 벽부(壁部)를 구비하고, 복수의 기판을 수납 가능하며 상기 용기본체 개구부(容器本體 開口部)와 연통(連通)하는 기판수납공간(基板收納空間)이 상기 벽부의 내면에 의하여 형성된 용기본체와,
    상기 용기본체 개구부에 대하여 착탈(着脫)이 가능하며, 상기 용기본체 개구부를 폐쇄 가능한 뚜껑체와,
    상기 용기본체 또는 상기 뚜껑체에 부착되는 부품을
    구비하고,
    상기 부품과 상기 용기본체 또는 상기 뚜껑체 또는 그 외의 상기 부품의 접속부분은,
    압입(壓入)에 의한 위치결정이 이루어지고 서로 고정되어서 구성된 압입고정부와,
    임펄스 용착(impulse 溶着)에 의하여 형성되고, 상기 압입고정부에 있어서의 위치결정 및 고정을 유지하는 임펄스 용착부를
    구비하는 기판수납용기.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 압입고정부는, 볼록모양부재와, 상기 볼록모양부재가 삽입되는 피삽입부로 구성되고,
    상기 볼록모양부재의 기부(基部)가 상기 피삽입부의 선단측부(先端側部)에 압입되어 위치결정되어 고정되고, 상기 볼록모양부재의 기부와 상기 피삽입부의 선단측부는 상기 압입고정부를 구성하고, 상기 볼록모양부재의 선단측부가 상기 피삽입부의 기부에 임펄스 용착되고, 상기 볼록모양부재의 선단측부와 상기 피삽입부의 기부는 상기 임펄스 용착부를 구성하는
    기판수납용기.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 압입고정부는, 볼록모양부재와, 상기 볼록모양부재가 삽입되는 피삽입부로 구성되고,
    상기 볼록모양부재가 상기 피삽입부에 압입되어 위치결정되어 고정되고, 상기 볼록모양부재와 상기 피삽입부는 상기 압입고정부를 구성하고,
    상기 볼록모양부재의 선단측부는, 상기 임펄스 용착부를 구성하지 않고, 상기 볼록모양부재와는 다른 그 외의 부분이 기 임펄스 용착부를 구성하는
    기판수납용기.
  4. 제1항 내지 제3항 중의 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 용기본체는, 후방벽, 상벽, 하벽 및 1쌍의 측벽을 구비하는 벽부를 구비하고, 상기 후방벽에 의해 상기 벽부의 타단부(他端部)가 폐쇄되고, 상기 상벽의 일단부(一端部), 상기 하벽의 일단부 및 상기 측벽의 일단부에 의해 상기 용기본체 개구부가 형성되고,
    상기 부품은, 상기 하벽에 고정되어서 상기 하벽과 함께 상기 용기본체의 바닥부를 구성하는 보텀 플레이트(bottom plate)인
    기판수납용기.
  5. 제1항 내지 제3항 중의 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 기판수납공간과 상기 용기본체의 외부의 공간을 연통 가능하게 한 통기로(通氣路)와,
    상기 통기로에 유입된 기체를 상기 기판수납공간으로 공급하는 복수의 개구부를 구비하는 기체분출 노즐부를
    구비하고,
    상기 기체분출 노즐부는 서로 접속되는 복수의 상기 부품에 의해 구성되고, 복수의 상기 부품의 접속부분은 상기 압입고정부와 상기 임펄스 용착부를 구비하는
    기판수납용기.
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