WO2022168287A1 - 基板収納容器及びフィルタ部 - Google Patents

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WO2022168287A1
WO2022168287A1 PCT/JP2021/004426 JP2021004426W WO2022168287A1 WO 2022168287 A1 WO2022168287 A1 WO 2022168287A1 JP 2021004426 W JP2021004426 W JP 2021004426W WO 2022168287 A1 WO2022168287 A1 WO 2022168287A1
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substrate storage
filter
opening
lid
valve body
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PCT/JP2021/004426
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English (en)
French (fr)
Inventor
貴立 小山
Original Assignee
ミライアル株式会社
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Publication date
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    • B65D81/00—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents
    • B65D81/18—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents providing specific environment for contents, e.g. temperature above or below ambient
    • B65D81/20—Containers, packaging elements, or packages, for contents presenting particular transport or storage problems, or adapted to be used for non-packaging purposes after removal of contents providing specific environment for contents, e.g. temperature above or below ambient under vacuum or superatmospheric pressure, or in a special atmosphere, e.g. of inert gas
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
    • F16J15/00—Sealings
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    • F16J15/10—Sealings between relatively-stationary surfaces with solid packing compressed between sealing surfaces with non-metallic packing
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K15/00—Check valves
    • F16K15/14—Check valves with flexible valve members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container used when storing, storing, transporting, and transporting substrates such as semiconductor wafers, and a filter unit provided in the substrate storage container.
  • Patent Document 1 As a substrate storage container for storing a substrate made of a semiconductor wafer and transporting it in a process in a factory, a container body and a lid have been conventionally known (for example, Patent Document 1: ⁇ See Patent Document 2).
  • One end of the container body has an opening peripheral edge formed with a container body opening.
  • the other end of the container body has a closed cylindrical wall.
  • a substrate storage space is formed in the container body.
  • the substrate storage space is formed by being surrounded by walls, and is capable of storing the substrate.
  • the lid is attachable to and detachable from the opening rim and can close the opening of the container body.
  • the lateral substrate support portions are provided on the wall portion so as to form a pair within the substrate storage space. When the opening of the container main body is not closed by the lid, the side substrate supporting portion can support the edges of the substrates while the adjacent substrates are spaced apart from each other by a predetermined distance and arranged side by side.
  • a front retainer is provided in a portion of the lid that faces the substrate storage space when the opening of the container body is closed.
  • the front retainer can support the edge of the substrate when the opening of the container body is closed by the lid.
  • a back side substrate supporting portion is provided on the wall portion so as to form a pair with the front retainer.
  • the far side substrate supporting portion can support the edge of the substrate.
  • the container body is provided with a check valve.
  • gas is purged from the outside of the container main body to the substrate storage space with an inert gas such as nitrogen or dry air from which moisture has been removed (1% or less) (hereinafter referred to as purge gas).
  • purge gas an inert gas such as nitrogen or dry air from which moisture has been removed (1% or less)
  • the check valve prevents the gas filled in the substrate storage space by gas purging from leaking out.
  • the check valve is provided with a filter, which removes particles, organic substances, moisture, etc., contained in the gas flowing through the filter from the outside of the container body.
  • valve operation When the valve (valve element) that makes up the check valve reciprocates in the cylinder that makes up the check valve, the valve operation may be affected by the variation in the clearance between the cylinder inner diameter and the valve outer diameter, which are molded products. may become unstable. Moreover, in the case of the configuration having such a valve, the structure of the valve becomes complicated. Further, when the valve body is supported by the tapered valve seat, the seal may become unstable due to axial vibration of the valve body. In addition, as the structure of the valve becomes complicated, the number of places where sealing members are required increases.
  • the present invention includes a cylindrical wall portion having an opening peripheral portion formed with a container main body opening at one end portion and a cylindrical wall portion closed at the other end portion, and a substrate can be accommodated by the inner surface of the wall portion.
  • a container body in which a substrate storage space communicating with the container body opening is formed; a lid that is attachable to and detachable from the opening peripheral portion and capable of closing the container body opening; , the lid can contact the lid and the opening peripheral edge, and is interposed between the opening peripheral edge and the lid and comes into close contact with the opening peripheral edge and the lid, whereby the lid a seal member closing the opening of the container main body together with the body; an air passage allowing communication between the substrate storage space and the space outside the container main body; a filter arranged in the air passage; and the air passage.
  • the filter part is and the housing includes a filter portion sealing member that airtightly seals the air passage to the outside of the housing, and a valve body capable of opening and closing the air passage, wherein the valve body is supported by a hinge structure. It relates to a substrate storage container.
  • the filter portion sealing member and the valve body are integrally formed. Moreover, it is preferable that the valve body is rotatable with respect to the filter part sealing member by a hinge structure. Moreover, it is preferable to provide a biasing member that biases the valve body to a state in which the air passage is closed.
  • the biasing member is configured by a spring.
  • the valve body has an engaging portion that is engaged with an end portion of the spring.
  • the spring is made of resin.
  • a cylindrical wall portion having an opening peripheral portion formed with a container main body opening portion at one end portion and a cylindrical wall portion closed at the other end portion, and a substrate can be accommodated by the inner surface of the wall portion.
  • a container body having a substrate storage space communicating with the container body opening; a lid that is attachable to and detachable from the opening peripheral portion and capable of closing the container body opening; It is attached and can abut on the lid and the opening peripheral edge, and is interposed between the opening peripheral edge and the lid and comes into close contact with the opening peripheral edge and the lid, a filter unit provided in a substrate storage container, the filter unit comprising: a sealing member that closes the opening of the container body together with the lid, the air path allowing communication between the substrate storage space and a space outside the container body; , a filter arranged in the air passage, and a housing forming the air passage, arranged in the container body, and through the filter, between a space outside the container body and the substrate storage space.
  • Gas can pass through the housing, and the housing includes a filter portion sealing member that airtightly seals the air passage with respect to the outside of the housing, and a valve body that can open and close the air passage, wherein the valve body is It relates to a filter part supported by a hinge structure.
  • the filter portion sealing member and the valve body are integrally formed. Moreover, it is preferable that the valve body is rotatable with respect to the filter part sealing member by a hinge structure. Moreover, it is preferable to provide a biasing member that biases the valve body to a state in which the air passage is closed.
  • the biasing member is configured by a spring.
  • the valve body has an engaging portion that is engaged with an end portion of the spring.
  • the spring is made of resin.
  • a substrate storage container and a filter section thereof in which the operation of the valve is stable, the structure of the valve is simple, the seal is stable, and the number of locations requiring sealing members can be reduced. be able to.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view showing a state in which a plurality of substrates W are stored in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention
  • Fig. 2 is an upper perspective view showing a container body 2 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention
  • Fig. 2 is a bottom perspective view showing a container body 2 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention
  • 1 is a side sectional view showing a container body 2 of a substrate storage container 1 according to a first embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is a cross-sectional perspective view showing a state in which the valve body portion 863 of the air supply filter portion 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is at the communication blocking position;
  • FIG. 3 is a cross-sectional perspective view showing a state in which a valve body portion 863 of the air supply filter portion 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is in a communication position;
  • FIG. 3 is an exploded perspective view showing an air supply filter portion 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention;
  • FIG. 4 is a cross-sectional perspective view showing a state in which a valve body portion 863 of the exhaust filter portion 90 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is in a communication blocking position;
  • FIG. 4 is a cross-sectional perspective view showing a state in which a valve body portion 863 of the exhaust filter portion 90 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is in a communication position;
  • FIG. 11 is a cross-sectional perspective view showing a state in which a valve body portion 863A of the air supply filter portion 80A of the substrate storage container 1 according to the second embodiment of the present invention is in a communication blocking position;
  • FIG. 11 is a cross-sectional perspective view showing a state in which a valve body portion 863A of the air supply filter portion 80A of the substrate storage container 1 according to the second embodiment of the present invention is in a communicating position;
  • FIG. 8 is an exploded perspective view showing an air supply filter portion 80A of the substrate storage container 1 according to the second embodiment of the present invention;
  • FIG. 11 is a cross-sectional perspective view showing a state in which a valve body portion 863A of the exhaust filter portion 90A of the substrate storage container 1 according to the second embodiment of the present invention is in a communication blocking position;
  • FIG. 11 is a cross-sectional perspective view showing a state in which a valve body portion 863A of the exhaust filter portion 90A of the substrate storage container 1 according to the second embodiment of the present invention is in a communicating position;
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a state in which a plurality of substrates W are stored in a substrate storage container 1.
  • FIG. 2 is an upper perspective view showing the container body 2 of the substrate storage container 1.
  • FIG. 3 is a bottom perspective view showing the container body 2 of the substrate storage container 1.
  • FIG. 4 is a side sectional view showing the container body 2 of the substrate storage container 1.
  • the direction from the container body 2 to the lid body 3 described later is defined as the forward direction D11, and the opposite direction is defined as the rearward direction D12, These are collectively defined as the front-rear direction D1.
  • the direction from the lower wall 24 to the upper wall 23 is defined as an upward direction D21, and the opposite direction is defined as a downward direction D22.
  • the direction from the second side wall 26 to the first side wall 25 described later is defined as the left direction D31, and the opposite direction is defined as the right direction D32. are collectively defined as a left-right direction D3. Arrows indicating these directions are illustrated in the main drawings.
  • the substrates W (see FIG. 1) stored in the substrate storage container 1 are disk-shaped silicon wafers, glass wafers, sapphire wafers, etc., and are thin for industrial use.
  • the substrate W in this embodiment is a silicon wafer with a diameter of 300 mm.
  • the substrate storage container 1 stores substrates W made of silicon wafers as described above, and is used as a process container for transporting in a process in a factory. It is used as a shipping container for transporting substrates by transportation means such as transportation means, and is composed of a container body 2 and a lid 3 .
  • the container body 2 includes a substrate support plate-like portion 5 as a side substrate support portion and a back side substrate support portion 6 (see FIG. 2, etc.). It has a front retainer (not shown).
  • the container body 2 has a cylindrical wall 20 with a container body opening 21 formed at one end and a closed other end.
  • a substrate storage space 27 is formed in the container body 2 .
  • the substrate storage space 27 is formed by being surrounded by the wall portion 20 .
  • a substrate support plate-like portion 5 is arranged in a portion of the wall portion 20 that forms the substrate storage space 27 .
  • a plurality of substrates W can be stored in the substrate storage space 27 as shown in FIG.
  • the substrate support plate-like portions 5 are provided on the wall portion 20 so as to form a pair within the substrate storage space 27 .
  • the substrate supporting plate portion 5 abuts on the edges of the plurality of substrates W, thereby separating the adjacent substrates W at a predetermined interval. It is possible to support the edges of a plurality of substrates W in parallel with each other.
  • a rear substrate support portion 6 is formed integrally with the substrate support plate-shaped portion 5 and provided.
  • the back side substrate support portion 6 (see FIG. 2, etc.) is provided in the wall portion 20 so as to form a pair with a front retainer (not shown) described later in the substrate storage space 27 .
  • the back side substrate supporting portion 6 can support the rear portion of the edge portions of the plurality of substrates W by coming into contact with the edge portions of the plurality of substrates W when the container main body opening portion 21 is closed by the lid 3. is.
  • the lid 3 is attachable to and detachable from an opening peripheral portion 28 (FIG. 1, etc.) that forms the container body opening 21 and can close the container body opening 21 .
  • a front retainer (not shown) is provided at a portion of the lid 3 that faces the substrate storage space 27 when the container main body opening 21 is closed by the lid 3 .
  • the front retainer is arranged inside the board storage space 27 so as to form a pair with the back side board support portion 6 .
  • the front retainer can support the front portions of the edges of the plurality of substrates W by coming into contact with the edges of the plurality of substrates W when the container body opening 21 is closed by the lid 3 .
  • the front retainer supports a plurality of substrates W in cooperation with the inner substrate support portion 6 when the container main body opening 21 is closed by the lid 3, thereby keeping the adjacent substrates W at a predetermined distance. They are held in a state of being spaced apart and arranged side by side.
  • the substrate storage container 1 is made of a resin such as a plastic material.
  • the resin material include polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyetherketone, and polybutylene.
  • Thermoplastic resins such as terephthalate, polyetheretherketone, and liquid crystal polymer, and alloys thereof can be mentioned.
  • conductive substances such as carbon fibers, carbon powders, carbon nanotubes, and conductive polymers are selectively added. Further, it is also possible to add glass fiber, carbon fiber, or the like in order to increase rigidity.
  • FIG. 5 is a cross-sectional perspective view showing a state in which the valve body portion 863 of the air supply filter portion 80 of the substrate storage container 1 is in the communication blocking position.
  • FIG. 6 is a cross-sectional perspective view showing a state in which the valve body portion 863 of the air supply filter portion 80 of the substrate storage container 1 is in the communicating position.
  • FIG. 7 is an exploded perspective view showing the air supply filter portion 80 of the substrate storage container 1.
  • FIG. 8 is a cross-sectional perspective view showing a state in which the valve body portion 863 of the exhaust filter portion 90 of the substrate storage container 1 is at the communication blocking position.
  • FIG. 9 is a cross-sectional perspective view showing a state in which the valve body portion 863 of the exhaust filter portion 90 of the substrate storage container 1 is in the communication position.
  • the wall portion 20 of the container body 2 has a back wall 22, an upper wall 23, a lower wall 24, a first side wall 25 and a second side wall 26.
  • the inner wall 22, the upper wall 23, the lower wall 24, the first side wall 25, and the second side wall 26 are made of the material described above and are integrally formed.
  • the first side wall 25 and the second side wall 26 face each other, and the upper wall 23 and the lower wall 24 face each other.
  • the rear end of the upper wall 23 , the rear end of the lower wall 24 , the rear end of the first side wall 25 , and the rear end of the second side wall 26 are all connected to the inner wall 22 .
  • the front end of the upper wall 23, the front end of the lower wall 24, the front end of the first side wall 25, and the front end of the second side wall 26 form an opening peripheral edge 28 that forms the container body opening 21 having a substantially rectangular shape.
  • the opening peripheral edge 28 is provided at one end of the container body 2 , and the inner wall 22 is located at the other end of the container body 2 .
  • the outer shape of the container body 2 formed by the outer surface of the wall portion 20 is box-shaped.
  • the inner surface of the wall portion 20, that is, the inner surface of the back wall 22, the inner surface of the upper wall 23, the inner surface of the lower wall 24, the inner surface of the first side wall 25, and the inner surface of the second side wall 26, is a substrate storage space surrounded by these. 27 is formed.
  • a container main body opening 21 formed in an opening peripheral portion 28 communicates with a substrate storage space 27 that is surrounded by a wall portion 20 and formed inside the container main body 2 .
  • a maximum of 25 substrates W can be stored in the substrate storage space 27 .
  • latch engaging recesses 231A and 231B recessed outward of the substrate storage space 27 are provided in the upper wall 23 and the lower wall 24 and in the vicinity of the opening peripheral edge 28. , 241A and 241B are formed. A total of four latch engagement recesses 231A, 231B, 241A, and 241B are formed near the left and right ends of the upper wall 23 and the lower wall 24, respectively.
  • ribs 235 are integrally formed with the upper wall 23 on the outer surface of the upper wall 23 . Ribs 235 increase the rigidity of container body 2 .
  • a top flange 236 is fixed to the central portion of the upper wall 23 . The top flange 236 is a member that is hung and suspended in the substrate storage container 1 when suspending the substrate storage container 1 in an AMHS (automatic wafer transfer system), a PGV (wafer substrate carrier), or the like.
  • a bottom plate 244 is fixed to the lower wall 24 as shown in FIG.
  • the bottom plate 244 has a substantially rectangular plate shape arranged to face substantially the entire bottom surface that constitutes the outer surface of the bottom wall 24 , and is fixed to the bottom wall 24 .
  • the two through-holes in the front part of the lower wall 24 are exhaust holes 243 for discharging the gas inside the container body 2
  • the two through-holes in the rear part are the container body 2 .
  • An air supply filter portion 80 as an additional component is arranged in the through hole as the air supply hole 242 , and an exhaust filter portion 90 is arranged in the through hole as the exhaust hole 243 . That is, the gas flow paths inside the air supply filter section 80 and the exhaust filter section 90 form part of the air passage 801 that allows the substrate storage space 27 and the space outside the container body 2 to communicate with each other.
  • the air supply filter portion 80 and the exhaust filter portion 90 are arranged on the wall portion 20 , and the air supply filter portion 80 and the exhaust filter portion 90 are separated from the space outside the container body 2 . Gas can pass between it and the substrate storage space 27 .
  • the air supply filter part 80 communicates with the internal space of the gas ejection nozzle part disposed in the rear part of the substrate storage space 27 of the container body 2 , and the air supply filter part 80 passes through the internal space of the gas ejection nozzle part.
  • the purge gas supplied to the substrate storage space 27 is supplied to the substrate storage space 27 .
  • the air supply filter portion 80 includes an inner opening forming portion 81 as a filter portion housing, a first housing portion 82, a pressing portion 83, a second housing portion 84, and a filter 85. , a seal valve portion 86, and a spring 87 as an urging member.
  • the inner opening forming portion 81, the first housing portion 82, the pressing portion 83, and the second housing portion 84 are configured as separate bodies configured by separate and independent parts. Therefore, the inner opening forming portion 81 , the first housing portion 82 and the second housing portion 84 are configured separately from the pressing portion 83 .
  • the air passage 801 having the valve element accommodating chamber for accommodating the seal valve portion 86 is formed by the filter portion housing composed of the inner opening forming portion 81, the first housing portion 82, the pressing portion 83, and the second housing portion 84.
  • an air passage 801 is formed which allows communication between the substrate storage space 27 and the space outside the container body 2 .
  • gas can pass from the space outside the container body 2 to the substrate storage space 27 through the filter 85 .
  • the inner opening forming portion 81 has a disk shape.
  • the central portion of the inner opening forming portion 81 has a circular protruding portion 811 that protrudes in the upward direction D21.
  • a peripheral edge portion of the inner opening forming portion 81 has a flat annular peripheral edge portion 812 .
  • a large number of through holes 806 are formed in the circular protrusion 811 radially from the center of the circular protrusion 811 .
  • a large number of through-holes 806 constitute the air passage 801 . Openings at upper ends of the large number of through holes 806 form substrate storage space side openings 807 that open to the substrate storage space 27 and are connected to the substrate storage space 27 . Therefore, the air passage 801 has an opening 807 on the substrate storage space side.
  • the first housing portion 82 has a cylindrical portion 821, an end flange portion 822 and an end plate portion 823.
  • the tubular portion 821 has a cylindrical shape, and a disk-shaped end plate portion 823 is integrally formed and connected to the upper end portion of the tubular portion 821 .
  • a male screw portion is threaded on the side surface (outer peripheral surface) of the cylindrical portion 821 .
  • a small flange portion 824 is integrally formed with the cylindrical portion 821 at a side portion of the cylindrical portion 821 and above the male screw portion.
  • the end flange portion 822 is formed integrally with the tubular portion 821 at the upper end portion of the tubular portion 821 above the portion of the tubular portion 821 where the small flange portion 824 exists.
  • the end flange portion 822 has a protrusion 825 extending in the upward direction D21.
  • the end flange portion 822 is fixed to the annular peripheral edge portion 812 by welding the projecting portion 825 and the portion of the annular peripheral edge portion 812 where the recessed portion 815 is formed in the inner opening forming portion 81 .
  • the first housing portion 82 is connected to the inner opening forming portion 81 in a coaxial positional relationship with the inner opening forming portion 81 .
  • the second housing portion 84 has a cylindrical portion 841 , an end inwardly projecting portion 842 and an end axially projecting portion 843 .
  • Cylindrical portion 841 has a cylindrical shape.
  • the inner diameter of the tubular portion 841 is larger than the outer diameter of the tubular portion 821 of the first housing portion 82 .
  • the first housing portion 82 is arranged coaxially with the tubular portion 841 of the second housing portion 84 in the space formed by the inner peripheral surface of the tubular portion 841 of the second housing portion 84 . It is
  • a female screw portion is threaded on the inner peripheral surface of the tubular portion 841 .
  • the male threaded portion of the cylindrical portion 821 of the first housing portion 82 is screwed into the female threaded portion.
  • the second housing part 84 is fixed to the first housing part 82 .
  • the end inward projecting portion 842 is formed integrally with the lower end portion of the tubular portion 841 .
  • the end inward projecting portion 842 projects radially inwardly of the cylindrical portion 841 from the lower end portion of the cylindrical portion 841 and has an annular plate shape.
  • the end axial protrusion 843 protrudes downward D22 from the lower surface of the peripheral edge of the end inward protrusion 842 and has an annular shape.
  • the upper surface of the end inward projecting portion 842 constitutes a valve seat against which a later-described valve body portion 863 of the seal valve portion 86 abuts.
  • the end portion of the end portion inward projecting portion 842 on the radially inner side of the cylindrical portion 841 is a through hole that communicates between the valve body accommodating chamber that accommodates the seal valve portion 86 in the air passage 801 and the space outside the container body 2 . 803 is formed.
  • the end portion of the end inward projecting portion 842 forming the through hole 803 constitutes a tubular nozzle portion 848 extending downward in FIG. 5 and having an enlarged inner diameter.
  • a rib portion 846 is provided that protrudes outward from the cylindrical portion 841 from the end axially projecting portion 843 .
  • Four rib portions 846 are provided at equal intervals in the circumferential direction of the cylindrical portion 841 .
  • the pressing portion 83 has a cylindrical portion 831 and an external projecting portion 832 .
  • Cylindrical portion 831 has a cylindrical shape.
  • the inner peripheral surface of the tubular portion 831 forms the air passage 801 .
  • the outer projecting portion 832 has a cylindrical shape with a short axial length.
  • An annular groove is formed coaxially with the outer protrusion 832 in the upper end surface of the outer protrusion 832 shown in FIG. 5, and an O-ring 88 is fitted in the annular groove.
  • the O-ring 88 is in contact with the lower surface of the end plate-shaped portion 823 of the first housing portion 82, and air-tightly seals between the external projecting portion 832 and the end plate-shaped portion 823, so that the filter portion housing is closed.
  • a filter portion sealing member is configured to airtightly seal the air passage 801 to the outside of the filter portion housing.
  • the seal valve portion 86 is made of an elastically deformable material. , silicon rubber, polypropylene, or the like is used.
  • the seal valve portion 86 has a disk-shaped outer shape, and a C-shaped groove 861 is formed in a positional relationship coaxial with the disk-shaped outer shape.
  • a portion of the seal valve portion 86 outside the C-shaped groove 861 constitutes a seal portion 862
  • a portion of the seal valve portion 86 inside the C-shaped groove 861 constitutes a disk-shaped valve body portion 863 .
  • the seal portion 862 is sandwiched between the upper surface of the end inward projecting portion 842 and the lower end portion of the cylindrical portion 831 in FIG.
  • the seal valve portion 86 is a portion where the seal portion 862 and the valve body portion 863 are not separated by the C-shaped groove 861, and the seal portion 862 and the valve body portion 863 are integrally molded and connected. It has a hinge. With this configuration, the valve body portion 863 is supported by the seal portion 862 with a hinge structure. That is, the valve body portion 863 is rotatable with respect to the seal portion 862 by bending the integrally connected portion with respect to the seal portion 862 .
  • valve body portion 863 When the purge gas is supplied to the nozzle portion 848, the pressure of the purge gas pushes the valve body portion 863 upward in FIG. 6, the valve body portion 863 is separated from the upper surface of the end inward projecting portion 842 serving as a valve seat and accommodates the seal valve portion 86 in the air passage 801. It is in a communication position where the substrate storage space 27 and the space outside the container body 2 are communicated with each other in the valve body storage chamber.
  • valve body portion 863 is not bent with respect to the seal portion 862 at the integrally connected portion (hinge portion).
  • the valve body portion 863 abuts against the upper surface of the end inward projecting portion 842 as a valve seat to block the air passage 801 and accommodate the seal valve portion 86 in the air passage 801.
  • it is in a communication blocking position for blocking communication between the substrate housing space 27 and the space outside the container body 2 .
  • the exhaust filter portion 90 includes an inner opening forming portion 81 as a filter portion housing, a first housing portion 82, a pressing portion 83, a second housing portion 84, a filter 85, It has a seal valve portion 86 and a spring 87 as an urging member.
  • the exhaust filter section 90 is different from the air supply filter section 80 in that the pressing section 83 is positioned upside down.
  • the O-ring 88 comes into contact with the end inward projecting portion 842 to airtightly seal between the end inward projecting portion 842 and the external projecting portion 832 .
  • the seal valve portion 86 is arranged above the pressing portion 83 . Accordingly, the seal portion 862 of the seal valve portion 86 is sandwiched between the upper end portion of the tubular portion 831 and the lower surface of the end plate portion 823 in FIG.
  • a filter portion sealing member is configured to air-tightly seal the air passage 801 to the outside of the filter portion housing.
  • valve body portion 863 is bent with respect to the seal portion 862, so that the valve body portion 863 is bent as shown in FIG. separates from the lower surface of the end plate-shaped portion 823 as a valve seat and communicates the substrate storage space 27 with the space outside the container body 2 in the valve body storage chamber that stores the seal valve portion 86 in the air passage 801 . in a communicating position.
  • the valve body portion 863 is not bent with respect to the seal portion 862, so that the valve body portion 863, as shown in FIG.
  • the air passage 801 is blocked by contacting the lower surface of the end plate-shaped portion 823 as a seat, and the substrate storage space 27 and the outside of the container main body 2 are separated from the substrate storage space 27 in the valve body accommodation chamber that accommodates the seal valve portion 86 in the air passage 801 . It is in a communication blocking position that blocks communication with the space.
  • the substrate support plate-shaped portions 5 are provided on the first side wall 25 and the second side wall 26 respectively, and are arranged in the container main body in the substrate storage space 27 so as to form a pair in the left-right direction D3. 2. Specifically, as shown in FIG. 2 and the like, the substrate support plate-shaped portions 5 are provided on the first side wall 25 and the second side wall 26 respectively, and are arranged in the container main body in the substrate storage space 27 so as to form a pair in the left-right direction D3. 2. Specifically, as shown in FIG.
  • the plate portion 51 has a plate-like substantially arc shape.
  • a total of 50 plate portions 51 are provided on each of the first side wall 25 and the second side wall 26, 25 each in the vertical direction D2.
  • Adjacent plate portions 51 are arranged in a parallel positional relationship with an interval of 10 mm to 12 mm in the vertical direction D2.
  • the 25 plate portions 51 provided on the first side wall 25 and the 25 plate portions 51 provided on the second side wall 26 have a positional relationship in which they face each other in the left-right direction D3.
  • Protrusions 511 and 512 are provided on the upper surface of the plate portion 51 .
  • the substrate W supported by the plate portion 51 contacts only the projecting ends of the protrusions 511 and 512 and does not contact the plate portion 51 on its surface.
  • the substrate support plate-like portion 5 having such a configuration allows the substrates W adjacent to each other among the plurality of substrates W to be separated from each other by a predetermined interval and in a parallel positional relationship. can support the edge of the
  • the back side substrate support portion 6 has a back side edge support portion 60 .
  • the back side edge support portion 60 is integrally formed with the container body 2 at the rear end portion of the plate portion 51 of the substrate support plate portion 5 .
  • the back side edge support portions 60 are provided in a number corresponding to each substrate W that can be stored in the substrate storage space 27, specifically 25 pieces.
  • the far side edge support portions 60 arranged on the first side wall 25 and the second side wall 26 have a positional relationship in which they form a pair with a front retainer, which will be described later, in the front-rear direction D1.
  • the inner edge support part 60 supports the edge of the substrate W by pinching it.
  • the lid 3 has a substantially rectangular shape that substantially matches the shape of the opening peripheral portion 28 of the container body 2 .
  • the lid 3 is attachable to and detachable from the opening rim 28 of the container body 2 .
  • the lid 3 is surrounded by the opening rim 28 .
  • the opening 21 of the container body can be closed.
  • An annular seal member 4 is attached to the surface facing the surface of the formed stepped portion (seal surface 281 ) so as to encircle the outer peripheral edge of the lid 3 .
  • the sealing member 4 is arranged so as to encircle the lid 3 .
  • the sealing member 4 is made of various thermoplastic elastomers such as elastically deformable polyester-based and polyolefin-based elastomers, fluororubber, silicon rubber, and the like.
  • the sealing member 4 When the lid 3 is attached to the opening peripheral portion 28, the sealing member 4 is sandwiched between the sealing surface 281 (see FIG. 1) of the container body 2 and the inner surface of the lid 3 and is elastically deformed. That is, the sealing member 4 is interposed between the lid 3 and the container body 2, so that the lid 3 and the container body 2 are separated from each other without contacting each other.
  • the opening 21 can be closed.
  • the substrate W By removing the lid 3 from the opening peripheral portion 28 , the substrate W can be taken in and out of the substrate storage space 27 inside the container body 2 .
  • a latch mechanism is provided in the lid body 3 .
  • the latch mechanism is provided near both left and right ends of the lid 3, and as shown in FIG. and two lower latch portions 32B, 32B that can protrude downward from the lower side of the .
  • the two upper latch portions 32A, 32A are arranged near the left and right ends of the upper side of the lid 3, and the two lower latch portions 32B, 32B are arranged near the left and right ends of the lower side of the lid 3. .
  • An operation part 33 is provided on the outer surface of the lid body 3 .
  • the upper latch portions 32A, 32A and the lower latch portions 32B, 32B can be projected from the upper side and the lower side of the lid 3, and can be projected from the upper side and the lower side. It can be in a non-protruding state.
  • the upper latch portions 32A, 32A protrude upward from the upper side of the lid 3 to engage with the latch engaging recesses 231A, 231B of the container body 2, and the lower latch portions 32B, 32B extend from the lower side of the lid 3.
  • the lid body 3 is fixed to the opening peripheral edge portion 31 of the container body 2 by protruding downward from the container body 2 and engaging with the latch engaging recesses 241A and 241B of the container body 2 .
  • a concave portion (not shown) recessed outward (forward direction D11) of the storage space 27 is formed inside the lid 3 (on the side of the lid 3 in the rear direction D12 in FIG. 1).
  • a front retainer (not shown) is fixed to the recess (not shown) and the portion of the lid 3 outside the recess.
  • the front retainer (not shown) has a front retainer board receiving portion (not shown).
  • the front retainer board receiving portions (not shown) are arranged two by two so as to form a pair at a predetermined interval in the left-right direction. Twenty-five pairs of the front retainer board receiving portions, which are arranged in pairs in this manner, are arranged in parallel in the vertical direction.
  • the front retainer substrate receiving portion holds and supports the edge of the substrate W. As shown in FIG.
  • the air passage 801 that allows communication between the substrate storage space 27 and the space outside the container body 2 , the filter 85 arranged in the air passage 801 , and the filter part housing (inner opening) forming the air passage 801 It has a forming portion 81, a first housing portion 82, a holding portion 83, and a second housing portion 84), is arranged in the container body 2, and connects the space outside the container body 2 and the substrate storage space 27 through the filter 85.
  • a seal portion 862 as a filter portion sealing member that airtightly seals the channel 801 from the outside of the filter portion housing
  • a valve body portion 863 as a valve body that can open and close the air passage 801.
  • the valve body portion 863 is supported by a hinge structure.
  • valve body portion 863 does not reciprocate within the cylinder that constitutes the check valve, so there is no problem of variations in the clearance between the inner diameter of the cylinder and the outer diameter of the valve, which are molded products. Therefore, the operation of the valve body portion 863 can be stabilized. Further, since it is not necessary to support the valve body portion 863 with a tapered valve seat, the seal is not destabilized due to shaft vibration of the valve body. Therefore, it is possible to stabilize the sealing by the valve body portion 863 . In addition, since the configuration of the valve body portion 863 can be simplified, it is possible to reduce the number of locations where sealing members are required.
  • sealing portion 862 as the filter portion sealing member and the valve body portion 863 as the valve body are formed integrally.
  • the valve body portion 863 is rotatable with respect to the seal portion 862 by a hinge structure. With this configuration, it is possible to simplify the configuration of the valve configured by the valve body portion 863 .
  • FIG. 10 is a cross-sectional perspective view showing a state in which the valve body portion 863A of the air supply filter portion 80A of the substrate storage container 1 is at the communication blocking position.
  • FIG. 11 is a cross-sectional perspective view showing a state in which the valve body portion 863A of the air supply filter portion 80A of the substrate storage container 1 is in the communication position.
  • 12 is an exploded perspective view showing the air supply filter portion 80A of the substrate storage container 1.
  • FIG. FIG. 13 is a cross-sectional perspective view showing a state in which the valve body portion 863A of the exhaust filter portion 90A of the substrate storage container 1 is at the communication blocking position.
  • FIG. 14 is a cross-sectional perspective view showing a state in which the valve body portion 863A of the exhaust filter portion 90A of the substrate storage container 1 is in the communication position.
  • the spring supporting portion 8632A is provided in the valve body portion 863A of the air supply filter portion 80A and the exhaust filter portion 90A, and the spring 87A is provided. Differs from one embodiment. Since the configuration other than this is the same as that of the first embodiment, the same reference numerals are given to the same members, and the description thereof is omitted.
  • the spring support portion 8632A has a cylindrical shape having a coaxial positional relationship with the disk-shaped valve body portion 863A surrounded by the C-shaped groove 861, and is formed integrally with the valve body portion 863A. ing.
  • One end of the spring 87A is arranged in the spring support portion 8632A so as to surround the spring support portion 8632A, and the one end of the spring 87A is in contact with the upper surface 8631 of the valve body portion 863A.
  • the other end of the spring 87A is in contact with the end plate portion 823 in the air supply filter portion 80A as shown in FIGS. As shown in FIG. 14, it abuts against the end inward protrusion 842 .
  • the spring 87A constitutes a biasing member that biases the valve body portion 863A to the communication blocking position where the air passage 801 is closed.
  • the spring support portion 8632A constitutes a locking portion locked to one end of the spring 87A.
  • the spring 87A is made of resin, and specifically, made of PEEK (polyetheretherketone), for example.
  • the substrate storage container 1 and the filter portion (the air supply filter portion 80A and the exhaust filter portion 90A) according to the present embodiment configured as described above the following effects can be obtained.
  • a biasing member that biases the valve body portion 863A as a valve body to the closed state of the air passage 801 is provided, and the biasing member is composed of the spring 87A.
  • valve body portion 863A has a spring support portion 8632A as a locking portion that is locked to the end of the spring 87A. With this configuration, it is possible to prevent the end portion of the spring 87A from being displaced from the valve body portion 863A.
  • the spring 87A is made of resin. With this configuration, it is possible to prevent the material of the spring 87A from adversely affecting the gas flowing through the ventilation path 801 of the filter section (air supply filter section 80A, exhaust filter section 90A).
  • the configurations of the substrate storage container, the air supply filter unit, and the exhaust filter unit are the same as those of the substrate storage container 1, the air supply filter units 80 and 80A, and the exhaust filter units 90 and 90A in this embodiment.
  • a spring that prevents the position of the spring 87A from shifting with respect to the end plate-shaped portion 823 and the end inwardly projecting portion 842 is provided at the portion of the end plate-shaped portion 823 and the end inwardly projecting portion 842 that the spring 87A abuts.
  • a fixed part may be provided.
  • the spring 87A is made of resin, it is not limited to this configuration.
  • the spring may be made of metal.
  • the shape of the container main body and the lid, the number and dimensions of the substrates that can be accommodated in the container main body are the shapes of the container main body 2 and the lid 3 in this embodiment, and the number and dimensions of the substrates W that can be accommodated in the container main body 2.
  • the substrate W in this embodiment is a silicon wafer with a diameter of 300 mm, it is not limited to this value.
  • the back side substrate support portion has a back side edge support portion 60 formed integrally with the container body 2 at the rear end portion of the plate portion 51 of the substrate support plate portion 5 .
  • the back side substrate supporting portion may not be formed integrally with the container body, but may be formed separately.
  • the two through-holes in the front part of the lower wall 24 are the exhaust holes 243 for discharging the gas inside the container body 2, and the two through-holes in the rear part are the container body.
  • 2 is the air supply hole 242 for supplying gas to the inside of the device 2, the configuration is not limited to this.
  • at least one of the two through holes in the front portion of the lower wall may be an air supply hole for supplying gas to the inside of the container body.

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Abstract

容器本体と、蓋体と、シール部材と、基板収納空間と容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、通気路に配置されたフィルタ８５と、通気路を形成するハウジング８１、８２、８３、８４と、を有し、容器本体に配置され、フィルタ８５を通して容器本体の外部の空間と基板収納空間との間で気体が通過可能なフィルタ部８０と、を備え、フィルタ部８０は、ハウジング８１、８２、８３、８４において、通気路をハウジング８１、８２、８３、８４の外部に対して気密にシールするフィルタ部シール部材８６２と、通気路を開閉可能な弁体８６３と、を備え、弁体８６３はヒンジ構造により支持される基板収納容器である。

Description

基板収納容器及びフィルタ部
　本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器及び当該基板収納容器に設けられるフィルタ部に関する。
　半導体ウェーハからなる基板を収納して、工場内の工程において搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（例えば、特許文献１～特許文献２参照）。
　容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、基板の縁部を支持可能である。
　蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、基板を保持する。
　また、容器本体には、逆止弁が設けられている。逆止弁を通して、容器本体の外部から基板収納空間へ、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）で、ガスパージが行われる。逆止弁は、ガスパージにより基板収納空間に充填されたガスが、漏れ出ることを防止する。また、逆止弁にはフィルタが設けられており、フィルタは、容器本体の外部からフィルタを通して流入する気体に含まれるパーティクル、有機物、水分等を除去する。
特開２０１９－２１７３５号公報 特開２０１９－２１７３６号公報
　逆止弁を構成するバルブ（弁体）が、逆止弁を構成する筒内で往復運動する場合には、成形品である筒内径とバルブ外径と間のクリアランスのバラツキにより、バルブの動作が不安定になることがある。また、このようなバルブを有する構成である場合には、バルブの構造が複雑になる。また、弁体をテーパ形状の弁座で受ける場合には、弁体の軸ブレによりシールが不安定になることがある。また、バルブの構造が複雑化することにより、シール部材が必要な箇所が多くなる。
　本発明は、バルブの動作が安定し、バルブの構造が簡単であり、シールが安定し、シール部材が必要な箇所を少なくすることが可能な、基板収納容器及び当該フィルタ部を提供することを目的とする。
　本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体に取り付けられ、前記蓋体及び前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部及び前記蓋体に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を閉塞するシール部材と、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、前記通気路を形成するハウジングと、を有し、前記容器本体に配置され、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間と前記基板収納空間との間で気体が通過可能なフィルタ部と、を備え、前記フィルタ部は、前記ハウジングにおいて、前記通気路を前記ハウジングの外部に対して気密にシールするフィルタ部シール部材と、前記通気路を開閉可能な弁体と、を備え、前記弁体はヒンジ構造により支持される基板収納容器に関する。
　また、前記フィルタ部シール部材と前記弁体とは一体成形されて構成されていることが好ましい。また、前記弁体は、ヒンジ構造により前記フィルタ部シール部材に対して回動可能であることが好ましい。また、前記弁体を、前記通気路を閉じた状態へ付勢する付勢部材を備えることが好ましい。
　また、前記付勢部材は、ばねにより構成されていることが好ましい。また、前記弁体は、前記ばねの端部に係止される係止部を有することが好ましい。また、前記ばねは樹脂により構成されることが好ましい。
　また、本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体に取り付けられ、前記蓋体及び前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部及び前記蓋体に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を閉塞するシール部材と、を備える基板収納容器に設けられるフィルタ部であって、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、前記通気路を形成するハウジングと、を有し、前記容器本体に配置され、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間と前記基板収納空間との間で気体が通過可能であり、前記ハウジングにおいて、前記通気路を前記ハウジングの外部に対して気密にシールするフィルタ部シール部材と、前記通気路を開閉可能な弁体と、を備え、前記弁体はヒンジ構造により支持されるフィルタ部に関する。
　また、前記フィルタ部シール部材と前記弁体とは一体成形されて構成されていることが好ましい。また、前記弁体は、ヒンジ構造により前記フィルタ部シール部材に対して回動可能であることが好ましい。また、前記弁体を、前記通気路を閉じた状態へ付勢する付勢部材を備えることが好ましい。
　また、前記付勢部材は、ばねにより構成されていることが好ましい。また、前記弁体は、前記ばねの端部に係止される係止部を有することが好ましい。また、前記ばねは樹脂により構成されることが好ましい。
　本発明によれば、バルブの動作が安定し、バルブの構造が簡単であり、シールが安定し、シール部材が必要な箇所を少なくすることが可能な、基板収納容器及び当該フィルタ部を提供することができる。
本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の給気用フィルタ部８０の弁体部８６３が連通遮断位置にある状態を示す断面斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の給気用フィルタ部８０の弁体部８６３が連通位置にある状態を示す断面斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の給気用フィルタ部８０を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の排気用フィルタ部９０の弁体部８６３が連通遮断位置にある状態を示す断面斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の排気用フィルタ部９０の弁体部８６３が連通位置にある状態を示す断面斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の給気用フィルタ部８０Ａの弁体部８６３Ａが連通遮断位置にある状態を示す断面斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の給気用フィルタ部８０Ａの弁体部８６３Ａが連通位置にある状態を示す断面斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の給気用フィルタ部８０Ａを示す分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の排気用フィルタ部９０Ａの弁体部８６３Ａが連通遮断位置にある状態を示す断面斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の排気用フィルタ部９０Ａの弁体部８６３Ａが連通位置にある状態を示す断面斜視図である。
　以下、本実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
　図１は、基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。図３は、基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。図４は、基板収納容器１の容器本体２を示す側方断面図である。
　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
　また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
　図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられたり、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図２等参照）とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としての図示しないフロントリテーナを備えている。
　容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
　基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。
　奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述する図示しないフロントリテーナと対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図示しないフロントリテーナは、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナは、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
　フロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナは、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。
　基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
　以下、各部について、詳細に説明する。
　図５は、基板収納容器１の給気用フィルタ部８０の弁体部８６３が連通遮断位置にある状態を示す断面斜視図である。図６は、基板収納容器１の給気用フィルタ部８０の弁体部８６３が連通位置にある状態を示す断面斜視図である。図７は、基板収納容器１の給気用フィルタ部８０を示す分解斜視図である。図８は、基板収納容器１の排気用フィルタ部９０の弁体部８６３が連通遮断位置にある状態を示す断面斜視図である。図９は、基板収納容器１の排気用フィルタ部９０の弁体部８６３が連通位置にある状態を示す断面斜視図である。
　図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
　図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
　図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
　下壁２４には、図３に示すように、ボトムプレート２４４が固定されている。ボトムプレート２４４は、下壁２４の外面を構成する下面の略全面に対向して配置される略長方形状の板状を有しており、下壁２４に固定されている。
　図３に示すように、下壁２４の四隅には、２種類の貫通孔である給気孔２４２と排気孔２４３が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２である。
　給気孔２４２としての貫通孔には、付加部品としての給気用フィルタ部８０が配置されており、排気孔２４３としての貫通孔には、排気用フィルタ部９０が配置されている。即ち、給気用フィルタ部８０及び排気用フィルタ部９０の内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路８０１の一部を構成する。また、給気用フィルタ部８０と排気用フィルタ部９０とは、壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部８０と排気用フィルタ部９０とにおいては、容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能である。給気用フィルタ部８０は、容器本体２の基板収納空間２７の後部に配置された気体噴出ノズル部の内部空間に連通しており、気体噴出ノズル部の内部空間を通して、給気用フィルタ部８０に供給されたパージガスは、基板収納空間２７へ供給されるように構成されている。
　図５～図７に示すように給気用フィルタ部８０は、フィルタ部ハウジングとしての内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、押え部８３、及び、第２ハウジング部８４と、フィルタ８５と、シール弁部８６と、付勢部材としてのバネ８７と、を有している。内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、押え部８３、及び、第２ハウジング部８４は、それぞれ別個独立した部品により構成された別体で構成されている。従って、内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、及び、第２ハウジング部８４は、押え部８３とは別体で構成されている。また、内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、押え部８３、第２ハウジング部８４により構成されるフィルタ部ハウジングによって、シール弁部８６を収容する弁体収容室を有する通気路８０１であって、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路８０１が形成される。給気用フィルタ部８０においては、フィルタ８５を通して容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ気体を通過可能である。
　図７に示すように、内側開口形成部８１は、円盤形状を有している。図５に示すように、内側開口形成部８１の中央部分は、上方向Ｄ２１へ突出する円形状突出部８１１を有している。内側開口形成部８１の周縁の部分は、平板状の環状周縁部８１２を有している。図５に示すように、円形状突出部８１１には、円形状突出部８１１の中心から放射状に、多数の貫通孔８０６が形成されている。多数の貫通孔８０６は、通気路８０１を構成する。多数の貫通孔８０６の上端における開口は、基板収納空間２７へ開口して基板収納空間２７に接続された基板収納空間側開口８０７を形成する。従って、通気路８０１は、基板収納空間側開口８０７を有している。
　図５に示すように、第１ハウジング部８２は、筒状部８２１と端部フランジ部８２２と端部板状部８２３を有している。筒状部８２１は、円筒形状を有しており、筒状部８２１の上端部には、円盤形状の端部板状部８２３が一体成形されて接続されている。筒状部８２１の側面（外周面）には、雄ネジ部が螺刻されている。筒状部８２１の側面の部分であって雄ネジ部よりも上方の部分には、小フランジ部８２４が筒状部８２１と一体成形されて設けられている。端部フランジ部８２２は、小フランジ部８２４が存在する筒状部８２１の部分よりも上方の筒状部８２１の上端部に、筒状部８２１と一体成形されて設けられている。端部フランジ部８２２は、上方向Ｄ２１へ延びる突部８２５を有している。突部８２５と、内側開口形成部８１において凹部８１５が形成された環状周縁部８１２の部分とが、溶着されることにより、端部フランジ部８２２は、環状周縁部８１２に固定されている。これにより、第１ハウジング部８２は、内側開口形成部８１と同軸的な位置関係で、内側開口形成部８１に接続されている。
　図５に示すように、第２ハウジング部８４は、筒状部８４１と、端部内方突出部８４２と、端部軸方向突出部８４３とを有している。筒状部８４１は、円筒形状を有している。筒状部８４１の内径は、第１ハウジング部８２の筒状部８２１の外径よりも大きい。これにより、第１ハウジング部８２は、第２ハウジング部８４の筒状部８４１の内周面により形成される空間内に、第２ハウジング部８４の筒状部８４１と同軸的な位置関係で配置されている。
　筒状部８４１の内周面には、雌ネジ部が螺刻されている。雌ネジ部には、第１ハウジング部８２の筒状部８２１の雄ネジ部が螺合する。これにより、第２ハウジング部８４は、第１ハウジング部８２に固定される。端部内方突出部８４２は、筒状部８４１の下端部に一体成形されて設けられている。端部内方突出部８４２は、筒状部８４１の下端部から、筒状部８４１の半径方向内方へ突出しており、環状の板状を有している。端部軸方向突出部８４３は、端部内方突出部８４２の周縁部の下面から下方向Ｄ２２へ突出しており、環状を有している。端部内方突出部８４２の上面は、シール弁部８６の後述の弁体部８６３が当接する弁座を構成する。
　筒状部８４１の半径方向内方における端部内方突出部８４２の端部は、通気路８０１におけるシール弁部８６を収容する弁体収容室と容器本体２の外部の空間とを連通する貫通孔８０３を形成する。貫通孔８０３を形成している端部内方突出部８４２の端部の部分は、図５において下方向に延びて内径が拡径する筒状のノズル部８４８を構成する。また、図６等に示すように、端部軸方向突出部８４３から筒状部８４１の外方へ向かって突出するリブ部８４６が設けられている。リブ部８４６は、筒状部８４１の周方向へ等間隔で４つ設けられている。
　図５に示すように、押え部８３は、筒状部８３１と外部突出部８３２とを有している。筒状部８３１は、円筒形状を有している。筒状部８３１の内周面は、通気路８０１を形成する。
　外部突出部８３２は、軸方向の長さの短い円柱形状を有している。図５に示す外部突出部８３２の上端面には、外部突出部８３２と同軸的に環状の溝が形成させており、当該環状の溝には、Ｏリング８８が嵌め込まれている。Ｏリング８８は、第１ハウジング部８２の端部板状部８２３の下面に当接しており、外部突出部８３２と端部板状部８２３との間を気密にシールすることにより、フィルタ部ハウジングにおいて、通気路８０１をフィルタ部ハウジングの外部に対して気密にシールするフィルタ部シール部材を構成する。
　図５、図７に示すように、シール弁部８６は、弾性変形可能な材料により構成されており、具体的には、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製、ポリプロピレン等が用いられる。
　シール弁部８６は、外形が円盤形状を有しており、円盤形状の当該外形と同軸的な位置関係で、Ｃ字状の溝８６１が形成されている。シール弁部８６におけるＣ字状の溝８６１の外側の部分はシール部８６２を構成し、シール弁部８６におけるＣ字状の溝８６１の内側の部分は円盤形状の弁体部８６３を構成する。シール部８６２は、図５における端部内方突出部８４２の上面と、筒状部８３１の下端部との間に挟まれており、端部内方突出部８４２と筒状部８３１との間を気密のシールすることにより、フィルタ部ハウジングにおいて、通気路８０１をフィルタ部ハウジングの外部に対して気密にシールするフィルタ部シール部材を構成する。
　シール弁部８６は、シール部８６２と弁体部８６３とがＣ字状の溝８６１により分けられておらず、シール部８６２と弁体部８６３とが一体成形されて接続されている部分であるヒンジ部を有している。この構成により、弁体部８６３は、シール部８６２によってヒンジ構造により支持されている。即ち、弁体部８６３は、当該一体的に接続されている部分においてシール部８６２に対して折り曲げられることにより、シール部８６２に対して回動可能である。
　ノズル部８４８にパージガスが供給されることにより、パージガスの圧力により弁体部８６３が図５の上方向へ押され、当該一体的に接続されている部分（ヒンジ部）において、シール部８６２に対して弁体部８６３が折り曲げられることにより、図６に示すように、弁体部８６３は、弁座としての端部内方突出部８４２の上面から離れて、通気路８０１におけるシール弁部８６を収容する弁体収容室において基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通する連通位置にある。
　逆に、ノズル部８４８にパージガスが供給されていないときには、当該一体的に接続されている部分（ヒンジ部）において、シール部８６２に対して弁体部８６３が折り曲げられていない状態とされることにより、図５に示すように、弁体部８６３は、弁座としての端部内方突出部８４２の上面に当接して通気路８０１を遮断して、通気路８０１におけるシール弁部８６を収容する弁体収容室において基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通を遮断する連通遮断位置にある。
　図８、図９に示すように排気用フィルタ部９０は、フィルタ部ハウジングとしての内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、押え部８３、及び、第２ハウジング部８４と、フィルタ８５と、シール弁部８６と、付勢部材としてのバネ８７と、を有している。排気用フィルタ部９０は、押え部８３が上下逆の位置関係とされている点において、給気用フィルタ部８０とは異なる。
　これに伴い、Ｏリング８８は、端部内方突出部８４２に当接して、端部内方突出部８４２と外部突出部８３２との間を気密にシールする。また、シール弁部８６は、押え部８３の上側に配置される。これに伴い、シール弁部８６のシール部８６２は、図８における筒状部８３１上端部と端部板状部８２３の下面との間に挟まれており、筒状部８３１と端部板状部８２３との間を気密のシールすることにより、フィルタ部ハウジングにおいて、通気路８０１をフィルタ部ハウジングの外部に対して気密にシールするフィルタ部シール部材を構成する。
　また、シール部８６２と弁体部８６３とが一体成形されて接続されている部分において、シール部８６２に対して弁体部８６３が折り曲げられることにより、図９に示すように、弁体部８６３は、弁座としての端部板状部８２３の下面から離れて、通気路８０１におけるシール弁部８６を収容する弁体収容室において基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通する連通位置にある。逆に、当該一体的に接続されている部分において、シール部８６２に対して弁体部８６３が折り曲げられていない状態とされることにより、図８に示すように、弁体部８６３は、弁座としての端部板状部８２３の下面に当接して通気路８０１を遮断して、通気路８０１におけるシール弁部８６を収容する弁体収容室において基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通を遮断する連通遮断位置にある。
　基板支持板状部５は、図２等に示すように、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内において容器本体２に設けられている。具体的には、図４等に示すように、基板支持板状部５は、板部５１を有している。
　板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ～１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。
　また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
　このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
　図４に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、容器本体２と一体成形されて構成されている。
　奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナと対をなすような位置関係を有している。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、奥側端縁支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
　図１に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、開口周縁部２８によって取り囲まれる位置関係で、容器本体開口部２１を閉塞可能である。
　蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、蓋体３の外周縁部を一周するように、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、蓋体３を一周するように配置されている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等である。
　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、容器本体２のシール面２８１（図１参照）と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形する。即ち、蓋体３と容器本体２との間にシール部材４が介在することにより、蓋体３と開口周縁部２８とが互いに当接せずに離間した状態で、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
　蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
　蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ａが蓋体３の上辺から上方向へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂ、３２Ｂが蓋体３の下辺から下方向へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部３１に固定される。
　蓋体３の内側（図１における蓋体３の後方向Ｄ１２の側）においては、収納空間２７の外方（前方向Ｄ１１）へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。
　フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向に２５対並列した状態で設けられている。収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
　上記構成の本実施形態に係る基板収納容器１、フィルタ部（給気用フィルタ部８０、排気用フィルタ部９０）によれば、以下のような効果を得ることができる。
　前述のように、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路８０１と、通気路８０１に配置されたフィルタ８５と、通気路８０１を形成するフィルタ部ハウジング（内側開口形成部８１、第１ハウジング部８２、押え部８３、及び、第２ハウジング部８４）と、を有し、容器本体２に配置され、フィルタ８５を通して容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能なフィルタ部（給気用フィルタ部８０、排気用フィルタ部９０）と、を備え、給気用フィルタ部８０、排気用フィルタ部９０は、フィルタ部ハウジングにおいて、通気路８０１をフィルタ部ハウジングの外部に対して気密にシールするフィルタ部シール部材としてのシール部８６２と、通気路８０１を開閉可能な弁体としての弁体部８６３と、を備え、弁体部８６３はヒンジ構造により支持される。
　上記構成により、弁体部８６３が、逆止弁を構成する筒内で往復運動しないため、成形品である筒内径とバルブ外径と間のクリアランスのバラツキの問題は生じない。このため、弁体部８６３の動作を安定させることが可能となる。また、弁体部８６３をテーパ形状の弁座で受ける必要がないため、弁体の軸ブレによりシールが不安定になることは生じない。このため、弁体部８６３によるシールを安定させることが可能となる。また、弁体部８６３の構成を簡単にすることが可能となるため、シール部材が必要な箇所を少なくすることが可能となる。
　また、フィルタ部シール部材としてのシール部８６２と弁体としての弁体部８６３とは一体成形されて構成されている。そして、弁体部８６３は、ヒンジ構造によりシール部８６２に対して回動可能である。この構成により、弁体部８６３により構成されるバルブの構成を簡単にすることが可能となる。
　次に、本発明の第２実施形態について、図面を参照しながら説明する。図１０は、基板収納容器１の給気用フィルタ部８０Ａの弁体部８６３Ａが連通遮断位置にある状態を示す断面斜視図である。図１１は、基板収納容器１の給気用フィルタ部８０Ａの弁体部８６３Ａが連通位置にある状態を示す断面斜視図である。図１２は、基板収納容器１の給気用フィルタ部８０Ａを示す分解斜視図である。図１３は、基板収納容器１の排気用フィルタ部９０Ａの弁体部８６３Ａが連通遮断位置にある状態を示す断面斜視図である。図１４は、基板収納容器１の排気用フィルタ部９０Ａの弁体部８６３Ａが連通位置にある状態を示す断面斜視図である。
　第２実施形態は、給気用フィルタ部８０Ａ、排気用フィルタ部９０Ａの弁体部８６３Ａに、ばね支持部８６３２Ａが設けられている点と、ばね８７Ａが設けられている点と、において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については第１実施形態と同様であるため、同一の部材については、同一の符号を付して、説明を省略する。
　ばね支持部８６３２Ａは、Ｃ字状の溝８６１に取り囲まれた円盤形状の弁体部８６３Ａと同軸的な位置関係を有する円筒形状を有しており、弁体部８６３Ａと一体成形されて設けられている。ばね支持部８６３２Ａには、ばね８７Ａの一端部がばね支持部８６３２Ａを取り巻くように配置されており、ばね８７Ａの一端部は、弁体部８６３Ａの上面８６３１に当接している。ばね８７Ａの他端部は、給気用フィルタ部８０Ａにおいては、図１０、図１１に示すように、端部板状部８２３に当接しており、排気用フィルタ部９０Ａにおいては、図１３、図１４に示すように、端部内方突出部８４２に当接している。
　ばね８７Ａは、弁体部８６３Ａを、通気路８０１を閉じた状態である連通遮断位置へ付勢する付勢部材を構成する。ばね支持部８６３２Ａは、ばね８７Ａの一端部に係止される係止部を構成する。ばね８７Ａは樹脂により構成されており、具体的には、例えば、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）により構成されている。
　上記構成の本実施形態に係る基板収納容器１、フィルタ部（給気用フィルタ部８０Ａ、排気用フィルタ部９０Ａ）によれば、以下のような効果を得ることができる。
　前述のように、弁体としての弁体部８６３Ａを、通気路８０１を閉じた状態へ付勢する付勢部材を備えており、付勢部材は、ばね８７Ａにより構成されている。上記構成により、弁体部８６３Ａによるシール性の向上を図ることが可能となる。また、弁体部８６３Ａにより構成されるバルブの開閉回数による、弁体部８６３Ａの部材のヘタリによるシール性の低下を抑えることができる。
　また、弁体部８６３Ａは、ばね８７Ａの端部に係止される係止部としてのばね支持部８６３２Ａを有する。この構成により、弁体部８６３Ａに対するばね８７Ａの端部の位置ずれを防止することが可能となる。
　また、ばね８７Ａは、樹脂により構成される。この構成により、フィルタ部（給気用フィルタ部８０Ａ、排気用フィルタ部９０Ａ）の通気路８０１を流れる気体に、ばね８７Ａの材料により悪影響を与えることを防止できる。
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
　例えば、基板収納容器、給気用フィルタ部、排気用フィルタ部の各部の構成は、本実施形態における基板収納容器１、給気用フィルタ部８０、８０Ａ、排気用フィルタ部９０、９０Ａの各部の構成に限定されない。例えば、ばね８７Ａが当接する端部板状部８２３、端部内方突出部８４２の部分には、端部板状部８２３、端部内方突出部８４２に対するばね８７Ａの位置がずれることを防止するばね固定部が設けられていてもよい。これにより、弁体部８６３が連通位置と連通遮断位置との間を動く際に、端部板状部８２３、端部内方突出部８４２に対するばね８７Ａの位置がずれることを防止することが可能となる。
また、ばね８７Ａは、樹脂により構成されていたが、この構成に限定されない。例えば、ばねは、金属により構成されていてもよい。
　また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板の枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。
　また、奥側基板支持部は、本実施形態では基板支持板状部５の板部５１の後端部に、容器本体２と一体成形されて構成された奥側端縁支持部６０を有していたが、この構成に限定されない。例えば、奥側基板支持部は、容器本体と一体成形されて構成されておらず、別体として構成されてもよい。
　また、本実施形態では、下壁２４の前部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部の気体を排出するための排気孔２４３であり、後部の２箇所の貫通孔は、容器本体２の内部に気体を給気するための給気孔２４２であったが、この構成に限定されない。例えば、下壁の前部の２箇所の貫通孔の少なくとも１つについても、容器本体の内部に気体を給気するための給気孔としてもよい。
１　基板収納容器
２　容器本体
３　蓋体
４　シール部材
２０　壁部
２１　容器本体開口部
２７　基板収納空間
２８　開口周縁部
８０　給気用フィルタ部
８１　内側開口形成部（ハウジング、フィルタ部ハウジング）
８２　第１ハウジング部（ハウジング、フィルタ部ハウジング）
８３　押え部（ハウジング、フィルタ部ハウジング）
８４　第２ハウジング部（ハウジング、フィルタ部ハウジング）
８５　フィルタ
８７Ａ　バネ（付勢部材）
９０　排気用フィルタ部
８０１　通気路
８６２　シール部（シール部材）
８６３　弁体部（弁体）
８６３２Ａ　ばね支持部（係止部）
Ｗ　基板

Claims (14)

  1. 　一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    　前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    　前記蓋体に取り付けられ、前記蓋体及び前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部及び前記蓋体に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を閉塞するシール部材と、
    　前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、前記通気路を形成するハウジングと、を有し、前記容器本体に配置され、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間と前記基板収納空間との間で気体が通過可能なフィルタ部と、を備え、
    　前記フィルタ部は、
    　　前記ハウジングにおいて、前記通気路を前記ハウジングの外部に対して気密にシールするフィルタ部シール部材と、
    　　前記通気路を開閉可能な弁体と、を備え、前記弁体はヒンジ構造により支持される基板収納容器。
  2. 　前記フィルタ部シール部材と前記弁体とは一体成形されて構成されている請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記弁体は、ヒンジ構造により前記フィルタ部シール部材に対して回動可能である請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
  4. 　前記弁体を、前記通気路を閉じた状態へ付勢する付勢部材を備える請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
  5. 　前記付勢部材は、ばねにより構成されている請求項４に記載の基板収納容器。
  6. 　前記弁体は、前記ばねの端部に係止される係止部を有する請求項５に記載の基板収納容器。
  7. 　前記ばねは樹脂により構成される請求項５又は請求項６に記載の基板収納容器。
  8. 　一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    　前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    　前記蓋体に取り付けられ、前記蓋体及び前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部及び前記蓋体に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を閉塞するシール部材と、を備える基板収納容器に設けられるフィルタ部であって、
    　前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、前記通気路を形成するハウジングと、を有し、前記容器本体に配置され、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間と前記基板収納空間との間で気体が通過可能であり、
    　前記ハウジングにおいて、前記通気路を前記ハウジングの外部に対して気密にシールするフィルタ部シール部材と、
    　前記通気路を開閉可能な弁体と、を備え、前記弁体はヒンジ構造により支持されるフィルタ部。
  9. 　前記フィルタ部シール部材と前記弁体とは一体成形されて構成されている請求項８に記載のフィルタ部。
  10. 　前記弁体は、ヒンジ構造により前記フィルタ部シール部材に対して回動可能である請求項８又は請求項９に記載のフィルタ部。
  11. 　前記弁体を、前記通気路を閉じた状態へ付勢する付勢部材を備える請求項８～請求項１０のいずれかに記載のフィルタ部。
  12. 　前記付勢部材は、ばねにより構成されている請求項１１に記載のフィルタ部。
  13. 　前記弁体は、前記ばねの端部に係止される係止部を有する請求項１２に記載のフィルタ部。
  14. 　前記ばねは樹脂により構成される請求項１２又は請求項１３に記載のフィルタ部。
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