WO2015132910A1 - 基板収納容器及び基板収納容器用のフィルタ部 - Google Patents

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WO2015132910A1
WO2015132910A1 PCT/JP2014/055659 JP2014055659W WO2015132910A1 WO 2015132910 A1 WO2015132910 A1 WO 2015132910A1 JP 2014055659 W JP2014055659 W JP 2014055659W WO 2015132910 A1 WO2015132910 A1 WO 2015132910A1
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WO
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plate
substrate storage
container
wall
filter
Prior art date
Application number
PCT/JP2014/055659
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English (en)
French (fr)
Inventor
貴立 小山
Original Assignee
ミライアル株式会社
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
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    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67389—Closed carriers characterised by atmosphere control
    • H01L21/67393—Closed carriers characterised by atmosphere control characterised by the presence of atmosphere modifying elements inside or attached to the closed carrierl
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped

Definitions

  • the present invention is used as an in-process container for storing a substrate made of a semiconductor wafer and transporting it in a process in a factory, and a shipping container for transporting a substrate by means of transportation such as land transportation means, air transportation means, sea transportation means, etc.
  • the present invention relates to a substrate storage container and a filter unit for the substrate storage container.
  • a substrate storage container for storing a substrate made of a semiconductor wafer and transporting it in a process in a factory, a structure including a container main body and a lid is known.
  • the container body has a cylindrical wall part in which an opening part of the container body is formed at one end and the other end is closed.
  • a substrate storage space is formed in the container body.
  • the substrate storage space is formed by being surrounded by a wall portion, and can store a plurality of substrates.
  • the lid can be attached to and detached from the container body opening, and the container body opening can be closed.
  • a front retainer is provided in a portion of the lid that faces the substrate storage space when the container main body opening is closed.
  • the front retainer can support the edges of the plurality of substrates when the container main body opening is closed by the lid.
  • the back substrate support portion is provided on the wall portion so as to be paired with the front retainer.
  • the back side substrate support part can support the edges of a plurality of substrates.
  • a check valve is provided on the container body. Gas purge is performed with dry air from which inert gas such as nitrogen or moisture has been removed (1% or less) from the outside of the container body to the substrate storage space through the check valve.
  • the check valve prevents the gas filled in the substrate storage space by gas purge from leaking (see Patent Documents 1 to 5).
  • Patent No. 3202991 Japanese Patent No. 4204302 Patent No. 4201583 Patent No. 5241607 JP 2007-533166 A Patent No. 3202991
  • the check valve when the check valve is provided, it is possible to prevent the gas filled in the substrate storage space from leaking out of the substrate storage space.
  • the inside of the substrate storage space temporarily becomes a negative pressure with respect to the space outside the container main body.
  • the valve in the check valve, the valve is urged by the urging member, but the urging force by the urging member is stronger than the temporary negative pressure. Therefore, the check valve remains closed. For this reason, there arises a problem that particles flow into the substrate storage space from between the container main body opening and the lid.
  • the present invention is a cylindrical wall portion having a container body opening formed at one end and the other end closed, and has a back wall, an upper wall, a lower wall, and a pair of side walls.
  • a lid capable of closing the portion, a ventilation path capable of communicating with the substrate storage space and a space outside the container body, and having a plate-shaped member storage chamber; a filter disposed in the ventilation path; and the ventilation
  • a filter portion housing forming a path and the plate-shaped member accommodating chamber, And a filter part that is disposed on the lower wall and allows gas to pass from the space outside the container main body to the substrate storage space through the filter, and the plate-like member storage chamber includes the plate-like member.
  • a flow blocking position for blocking the flow of gas from the substrate storage space to the space outside the container body, and a position different from the flow blocking position and from the space outside the container body to the substrate.
  • a plate-like member that can move between a shifted position that allows gas to flow into the storage space is disposed, and the front and back surfaces of the plate-like member intersect with the direction connecting the upper wall and the lower wall.
  • the plate-like member has a positional relationship, and when the lower wall is located at the lower part and the upper wall is located at the upper part in the container body, the plate-like member can be moved to the flow blocking position by its own weight.
  • the plate member can be moved to the shifted position. preferable.
  • the plate-like member can be moved to the shifted position by a negative pressure generated in the substrate storage space with respect to the space outside the container main body when injected into the passage.
  • the plate-like member is movable to the shifted position by the weight of the plate-like member when the back wall is located at the lower part and the container body opening is located at the upper part in the container body. Preferably there is.
  • the plate-shaped member accommodating chamber is located in a portion of the ventilation path on the side of the space outside the container main body with respect to the filter.
  • the portion of the filter housing that forms the plate member housing chamber has a guide portion, and the plate member engages with the guide portion and is displaced from the position shifted by the guide portion. It is preferable to have a guided portion that guides movement between the positions.
  • the guided portion has a central protrusion protruding from the center of the back surface of the plate-like member, and the guide portion is formed in the filter portion housing and the central protrusion insertion through which the central protrusion is inserted. It is preferable to have a hole.
  • the central projection insertion through hole has a shape that increases in diameter from the flow blocking position toward the shifted position, and the central projection portion follows the shape in which the central projection insertion through hole increases in diameter. It is preferable to have a shape that expands the diameter.
  • the guided portion has a peripheral edge portion of the plate-like member, and the guide portion has a peripheral edge contact surface that is formed in the filter portion housing and can contact the peripheral edge portion of the plate-like member. It is preferable.
  • the plate-like member has a disc shape
  • the peripheral edge contact surface has a truncated cone shape whose diameter increases from the flow blocking position toward the shifted position.
  • the said plate-shaped member has the plate-shaped member side elastic member fixed to the peripheral part of the said plate-shaped member over the perimeter of the peripheral part of the said plate-shaped member,
  • the said plate-shaped member is in the said distribution
  • the back surface of the plate-like member abuts on the filter unit housing via an elastic member disposed so as to surround the periphery of the air passage. It is preferable to block the gas flow from the substrate storage space to the space outside the container main body in the air passage by closing the air passage.
  • the back surface of the plate-like member is in contact with a portion of the filter portion housing that forms the air passage when the plate-like member is in the flow blocking position, thereby closing the air passage.
  • the flow of gas from the storage space to the space outside the container main body is blocked, and when the plate-like member is in the shifted position, the filter member housing is spaced apart from the portion of the filter part housing that forms the ventilation path.
  • gas can flow from the space outside the container main body to the substrate housing space, and the plate-like member projects from the surface to form the air passage.
  • the surface of the plate-like member and the filter portion by contacting the surface protrusion with a portion of the filter portion housing that forms the ventilation path.
  • the flow path of gas is formed between the Ujingu.
  • the present invention also provides a cylindrical wall portion having a container main body opening formed at one end and the other end closed, and has a back wall, an upper wall, a lower wall, and a pair of side walls.
  • a filter unit for a substrate storage container which is disposed on the lower wall of the substrate storage container, and capable of passing gas from the outside of the container main body to the substrate storage space.
  • the substrate storage space can communicate with the space outside the container body.
  • a filter portion housing that forms a ventilation path that is a ventilation path and has a plate-shaped member accommodation chamber, a filter that is disposed in the ventilation path, and a plate-shaped member that is disposed in the plate-shaped member accommodation chamber,
  • the plate-like member is a position different from the flow cut-off position in the plate-like member containing chamber, and a flow cut-off position for blocking gas flow from the substrate storage space to a space outside the container body.
  • the plate-like member has a positional relationship that intersects with the direction of connection, and the plate-like member is configured to flow by the weight of the plate-like member when the lower wall is located at the lower portion and the upper wall is located at the upper portion in the container body. It can be moved to the blocking position It relates to a filter unit for the plate storage container.
  • the plate member can be moved to the shifted position. preferable.
  • the plate-like member can be moved to the shifted position by a negative pressure generated in the substrate storage space with respect to the space outside the container main body when injected into the passage.
  • the plate-like member is movable to the shifted position by the weight of the plate-like member when the back wall is located at the lower part and the container body opening is located at the upper part in the container body. Preferably there is.
  • the present invention it is possible to provide a substrate storage container and a filter portion for the substrate storage container that suppress particles from flowing into the substrate storage space from between the container main body opening and the lid.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 5B when the plate-like member 84 of the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is in the flow blocking position.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG.
  • FIG. 5B when the plate-like member 84 of the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is in a position displaced by nitrogen purge.
  • the plate-like member 84 of the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is displaced by the rear wall 22 being positioned in the lower part and the container main body opening 21 being positioned in the upper part in the container body 2.
  • FIG. 5C is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG.
  • the plate-like member 84 of the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is such that the back wall 22 is located in the lower part and the container body opening 21 is located in the upper part in the container body 2.
  • 5B is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 5B when the cylindrical member 84 is not in contact with the lid-like portion 812 and is in a shifted position. It is a disassembled perspective view which shows 80A of filter parts of the substrate storage container 1 which concerns on 2nd Embodiment of this invention. It is sectional drawing which shows the 1st housing 81A of the filter part 80A of the substrate storage container 1 which concerns on 2nd Embodiment of this invention. It is sectional drawing which shows the filter part 80B of the board
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an exploded perspective view showing a state in which the substrate W is stored in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is an upper perspective view showing the container body 2 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a lower perspective view showing the container body 2 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5A is an upper perspective view showing the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5B is a plan view showing the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is an exploded perspective view showing the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is an upper perspective view showing the plate-like member 84 of the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 5B when the plate-like member 84 of the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is in the flow blocking position.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 5B when the plate-like member 84 of the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is in a position displaced by nitrogen purge.
  • FIG. 5B is a plan view showing the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 shows the plate-like member 84 of the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention, in which the back wall 22 is located at the bottom and the container body opening 21 is located at the top in the container body 2.
  • FIG. 5B is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 5B when the position is shifted.
  • FIG. 11 shows that the plate-like member 84 of the filter unit 80 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention is such that the back wall 22 is located at the bottom and the container body opening 21 is located at the top in the container body 2.
  • 5B is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 5B when the plate-like member 84 is not in contact with the lid-like portion 812 and is in a shifted position.
  • a direction from the container body 2 described later to the lid 3 is defined as the front direction D11, and the opposite direction is defined as the rear direction D12. These are defined as the front-rear direction D1.
  • a direction (upward direction in FIG. 1) from the lower wall 24 to the upper wall 23, which will be described later, is defined as an upward direction D21, the opposite direction is defined as a downward direction D22, and these are defined as a vertical direction D2.
  • a direction from the second side wall 26 to be described later to the first side wall 25 is defined as the left direction D31, and the opposite direction is defined as the right direction D32. Is defined as the left-right direction D3.
  • the substrate W (see FIG. 2) stored in the substrate storage container 1 is a disk-shaped silicon wafer, glass wafer, sapphire wafer, or the like, and is a thin one used in the industry.
  • the substrate W in this embodiment is a silicon wafer having a diameter of 300 mm to 450 mm.
  • the substrate storage container 1 is used as an in-process container for storing a substrate W made of a silicon wafer as described above and transporting it in a process in a factory.
  • the container body 2 has a cylindrical wall portion 20 in which a container body opening 21 is formed at one end and the other end is closed.
  • a substrate storage space 27 is formed in the container body 2.
  • the substrate storage space 27 is formed so as to be surrounded by the wall portion 20.
  • the substrate support plate-shaped portion 5 is disposed in a portion of the wall portion 20 that forms the substrate storage space 27. As shown in FIG. 2, a plurality of substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate-like portion 5 is provided on the wall portion 20 so as to form a pair in the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate-like portion 5 abuts the edges of the plurality of substrates W to separate the adjacent substrates W at a predetermined interval.
  • the edges of the plurality of substrates W can be supported in a state where they are aligned in parallel.
  • a back side substrate support part (not shown) is provided on the back side of the substrate support plate-like part 5.
  • the back substrate support (not shown) is provided on the wall 20 so as to be paired with a front retainer (not shown) in the substrate storage space 27.
  • the back substrate support (not shown) abuts the edges of the plurality of substrates W, thereby The rear part can be supported.
  • the lid 3 can be attached to and detached from the opening peripheral edge 28 (FIG. 1 and the like) forming the container body opening 21 and can close the container body opening 21.
  • the front retainer (not shown) is provided in a portion of the lid 3 that faces the substrate storage space 27 when the container main body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the front retainer (not shown) is disposed inside the substrate storage space 27 so as to be paired with the back side substrate support portion (not shown).
  • the front retainer (not shown) supports the front part of the edges of the plurality of substrates W by contacting the edges of the plurality of substrates W when the container body opening 21 is closed by the lid 3. Is possible.
  • the front retainer (not shown) supports the plurality of substrates W in cooperation with the back side substrate support portion (not shown) when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • a plurality of substrates W are held in a state in which adjacent substrates W are separated from each other at a predetermined interval and arranged in parallel.
  • the wall portion 20 of the container body 2 includes a back wall 22, an upper wall 23, a lower wall 24, a first side wall 25, and a second side wall 26.
  • the back wall 22, the upper wall 23, the lower wall 24, the first side wall 25, and the second side wall 26 are made of a plastic material or the like. In the first embodiment, they are integrally formed of polycarbonate.
  • the first side wall 25 and the second side wall 26 face each other, and the upper wall 23 and the lower wall 24 face each other.
  • the rear end of the upper wall 23, the rear end of the lower wall 24, the rear end of the first side wall 25, and the rear end of the second side wall 26 are all connected to the back wall 22.
  • the front end of the upper wall 23, the front end of the lower wall 24, the front end of the first side wall 25, and the front end of the second side wall 26 have a positional relationship facing the back wall 22 and have a substantially rectangular shape. Opening peripheral edge portion 28 is formed.
  • the opening peripheral edge 28 is provided at one end of the container main body 2, and the back wall 22 is located at the other end of the container main body 2.
  • the outer shape of the container body 2 formed by the outer surface of the wall portion 20 is box-shaped.
  • the inner surface of the wall portion 20, that is, the inner surface of the back wall 22, the inner surface of the upper wall 23, the inner surface of the lower wall 24, the inner surface of the first side wall 25, and the inner surface of the second side wall 26 are surrounded by these. 27 is formed.
  • the container main body opening 21 formed in the opening peripheral edge portion 28 is surrounded by the wall portion 20 and communicates with the substrate storage space 27 formed in the container main body 2. A maximum of 25 substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • a latch engaging recess that is recessed toward the outside of the substrate storage space 27 in a portion of the upper wall 23 and the lower wall 24 and in the vicinity of the opening peripheral edge portion 28.
  • 231A, 231B, 241A, 241B are formed.
  • a total of four latch engaging recesses 231A, 231B, 241A, 241B are formed near the left and right ends of the upper wall 23 and the lower wall 24, one each.
  • a flange fixing portion 234 and ribs 235A and 235B are provided integrally with the upper wall 23.
  • the flange fixing portion 234 is disposed at the center portion of the upper wall 23.
  • a top flange 236 is fixed to the flange fixing portion 234.
  • the top flange 236 is disposed at the center of the upper wall 23.
  • the top flange 236 is a member that is a portion that is hung and suspended in the substrate storage container 1 when the substrate storage container 1 is suspended in an AMHS (automatic wafer conveyance system), a PGV (wafer substrate conveyance cart), or the like.
  • a plurality of ribs 235A extend from the top flange 236 in the left front direction and the right front direction, respectively. Further, a plurality of ribs 235B extend from the top flange 236 in the front direction D11, and a plurality of ribs 235B extend from the top flange 236 in the rear direction D12.
  • through holes 245 are formed at the four corners of the lower wall 24.
  • a female screw portion is screwed into the portion of the lower wall 24 that forms the through hole 245.
  • a filter unit 80 is disposed in the through hole 245.
  • the filter unit 80 includes a first housing 81 and a second housing 82 as filter unit housings, a filter 83, and a plate-like member 84.
  • the filter unit 80 can pass gas from the space outside the container body 2 to the substrate storage space 27 through the filter 83.
  • the first housing 81 has a cylindrical portion 811 and a lid portion 812.
  • One end (lower end) of the cylindrical portion 811 has an opening.
  • a space inside the cylindrical portion 811 formed by the inner peripheral surface of the cylindrical portion 811 constitutes a ventilation path 801 that allows the substrate storage space 27 and the space outside the container body 2 to communicate with each other.
  • a large number of first housing-side uneven portions 813 are provided on the other end surface of the cylindrical portion 811 in an annular shape so as to go around the other end of the cylindrical portion 811.
  • a male screw portion 814 is provided on the peripheral surface of the cylindrical portion 811, and the male screw portion 814 is screwed into a female screw portion (not shown) of the through hole 245 of the lower wall 24.
  • the portion in the vicinity of the other end of the cylindrical portion 811 is closed by a lid-shaped portion 812 formed integrally with the cylindrical portion 811. Therefore, as shown in FIG. 6, the upper surface 816 of the lid-like portion 812 is at a position lowered by one step with respect to the other end surface 815 of the cylindrical portion 811.
  • the lid-shaped portion 812 has a disk shape.
  • a large number of through holes 803 are formed in the central portion of the lid-like portion 812.
  • a large number of through holes 803 form a ventilation path 801.
  • a central protrusion insertion through hole 806 as a guide portion is formed at the center of the lid-like portion 812.
  • the central protrusion insertion through-hole 806 has a truncated cone shape whose diameter increases toward a position shifted from the flow blocking position.
  • the second housing 82 has a disk shape.
  • a large number of through holes 805 are formed in the central portion of the second housing 82. As shown in FIG. 8, a large number of through holes 805 constitute an air passage 801.
  • a large number of second housing side uneven portions 823 are provided in an annular shape so as to make a full circle around the periphery of the lower surface of the second housing 82.
  • the second housing 82 is welded and fixed to the first housing 81 with the second housing side uneven portion 823 engaged with the first housing side uneven portion 813.
  • the lower surface 822 of the second housing 82, the upper surface 816 see FIG.
  • a plate-shaped member accommodating chamber 804 (see FIG. 8) is formed by the cylindrical wall portion 817 extending to the end. That is, the first housing 81 and the second housing 82 form an air passage 801 having a plate-shaped member accommodating chamber 804, and a lid-shaped portion 812 as a part of the filter portion housing that forms the plate-shaped member accommodating chamber 804. Has the aforementioned guide portion.
  • the filter 83 has a disk shape.
  • the filter 83 is fixed to a portion of the second housing 82 radially inward of the second housing 82 with respect to the second housing side uneven portion 823 provided in an annular shape.
  • the filter 83 is a ventilation path 801 and is disposed at a position between the plate-shaped member storage chamber 804 and the through hole 805, and the plate-shaped member storage chamber 804 is a space outside the container body 2 than the filter 83. It is located in the portion of the air passage 801 on the side.
  • the filter 83 prevents particles and the like from passing through the through hole 805 formed in the second housing 82.
  • the plate-like member 84 has a positional relationship in which the front surface 841 and the back surface 842 of the plate-like member 84 intersect with each other in the direction connecting the upper wall 23 and the lower wall 24. It is disposed in the member storage chamber 804. Therefore, the front surface 841 and the back surface 842 of the plate-like member 84 do not have a positional relationship parallel to the direction connecting the upper wall 23 and the lower wall 24.
  • the plate member 84 has a disk shape.
  • the center of the back surface 842 (lower surface) of the plate-like member 84 has a mounting cone shape whose diameter decreases as the distance from the plate-like member 84 increases, and serves as a guided portion protruding from the center of the back surface 842 of the plate-like member 84.
  • Center protrusion 843 In other words, the central protrusion 843 has a head cone shape that expands in diameter following the shape in which the central protrusion insertion through-hole 806 expands in diameter.
  • the central protrusion 843 is inserted into the central protrusion insertion through-hole 806 from the lid-shaped portion 812 of the first housing 81 forming the central protrusion insertion through-hole 806 or from the central protrusion insertion through-hole 806. It is inserted into the central protrusion insertion through-hole 806 so as to be movable in the pulling-out direction.
  • the plate-shaped member accommodating chamber 804 is widely configured with respect to the dimensions of the plate-shaped member 84.
  • the plate member 84 is freely movable within a predetermined range in the plate member housing chamber 804. That is, the plate-like member 84 is a position in the plate-like member storage chamber 804 that is different from a later-described flow cut-off position that blocks the flow of gas from the substrate storage space 27 to the space outside the container body 2 and a flow cut-off position. Thus, it can move between a position that will be described later and that allows gas to flow from the space outside the container body 2 to the substrate storage space 27.
  • the plate-like member 84 and the central protrusion 843 as the guided part are guided by the central protrusion insertion through-hole 806 as the guide part between a shifted position and a flow blocking position described later.
  • the plate member 84 has a plurality of rectangular surface protrusions 844 that protrude upward from the surface 841 of the plate member 84.
  • the surface protrusion 844 can abut on the back surface 822 (lower surface) of the second housing 82 as a part of the filter unit housing forming the ventilation path 801 via the filter 83.
  • the plate-like member 84 is made of any of PC (polycarbonate), PBT (polybutylene terephthalate), PP (polypropylene), and PEEK (polyether ether ketone).
  • the lid 3 has a substantially rectangular shape that substantially matches the shape of the opening peripheral edge 28 of the container body 2.
  • the lid 3 can be attached to and detached from the opening peripheral edge 28 of the container main body 2, and the lid 3 can close the container main body opening 21 by attaching the lid 3 to the opening peripheral edge 28. .
  • It is the inner surface of the lid 3 (the surface on the back side of the lid 3 shown in FIG. 1), at the position in the rearward direction D12 of the opening peripheral edge 28 when the lid 3 closes the container main body opening 21.
  • An annular seal member 4 is attached to the surface facing the formed stepped portion surface (seal surface 281).
  • the seal member 4 is made of various types of thermoplastic elastomers such as polyester and polyolefin that can be elastically deformed, fluorine rubber, and silicon rubber.
  • the seal member 4 is arranged so as to go around the outer peripheral edge of the lid 3.
  • the seal member 4 When the lid 3 is attached to the opening peripheral edge 28, the seal member 4 is sandwiched between the seal surface 281 and the inner surface of the lid 3 and elastically deformed, and the lid 3 seals the container main body opening 21. Shuts down in a closed state. By removing the lid 3 from the opening peripheral edge 28, the substrate W can be taken into and out of the substrate storage space 27 in the container body 2.
  • the lid 3 is provided with a latch mechanism.
  • the latch mechanism is provided in the vicinity of both left and right end portions of the lid 3, and as shown in FIG. 1, the two upper latch portions 32 ⁇ / b> A that can project in the upward direction D ⁇ b> 21 from the upper side of the lid 3, And two lower latch portions (not shown) that can project in the downward direction D22 from the lower side.
  • the two upper latch portions 32 ⁇ / b> A are disposed in the vicinity of the left and right ends of the upper side of the lid 3, and the two lower latch portions are disposed in the vicinity of the left and right ends of the lower side of the lid 3.
  • An operation unit 33 is provided on the outer surface of the lid 3.
  • the upper latch portion 32A and the lower latch portion (not shown) can be protruded from the upper and lower sides of the lid 3, and from the upper and lower sides. It can be made the state which does not project.
  • the upper latch portion 32A protrudes in the upward direction D21 from the upper side of the lid body 3 and engages with the latch engagement recesses 231A and 231B of the container body 2, and the lower latch portion (not shown) of the lid body 3
  • the lid 3 is fixed to the opening peripheral edge portion 28 of the container body 2 by projecting in the downward direction D22 from the lower side and engaging with the latch engagement recesses 241A and 241B of the container body 2.
  • a recess (not shown) that is recessed outward from the substrate storage space 27 is formed inside the lid 3.
  • a front retainer (not shown) is fixedly provided on the concave portion (not shown) and the lid 3 outside the concave portion.
  • the front retainer (not shown) has a front retainer substrate receiving portion (not shown).
  • Two front retainer substrate receiving portions (not shown) are arranged in pairs so as to form a pair with a predetermined interval in the left-right direction D3.
  • the front retainer substrate receiving portions arranged in pairs so as to form a pair in this way are provided in a state where 25 pairs are juxtaposed in the vertical direction D2.
  • the front retainer substrate receiving portion sandwiches and supports the edge of the edge of the substrate W.
  • the air passage 801 is communicated / blocked by the filter unit 80 as follows.
  • the lower wall 24 is located at the lower part and the upper wall 23 is located at the upper part in the container body 2.
  • the front surface 841 and the back surface 842 of the plate-shaped member 84 have a positional relationship that intersects the direction connecting the upper wall 23 and the lower wall 24.
  • the plate-like member 84 can move to the distribution blocking position by its own weight.
  • the central protrusion 843 as the guided portion is engaged with the central protrusion insertion through-hole 806 as the guide portion. For this reason, no gas is injected into the ventilation path 801 from the lower end of the first housing 81, and the substrate storage space 27 is negative with respect to the space outside the container body 2 with the plate-like member 84 as a boundary.
  • the plate-like member 84 and the central protrusion 843 are guided to the flow blocking position by the central protrusion insertion through-hole 806 as shown in FIG.
  • the flow blocking position means a position where the back surface 842 of the plate-like member 84 closes the through hole 803 of the lid-like portion 812 and blocks the flow of gas from the substrate storage space 27 to the space outside the container body 2. To do.
  • the plate member 84 can move to a shifted position. Specifically, when a gas purge is performed in which dry air from which an inert gas such as nitrogen or moisture has been removed (1% or less) is injected from the lower end of the first housing 81 into the air passage 801, the substrate storage space. 27 becomes a negative pressure with respect to the space outside the container body 2.
  • the plate-like member 84 is freely movable within a predetermined range in the plate-like member accommodation chamber 804, so that it does not flow into the plate-like member accommodation chamber 804 from the through hole 803 of the first housing 81.
  • the active gas or the dry air lifts and separates upward from the lid-like portion 812 that is a portion of the first housing 81 that forms the air passage 801, and opens the air passage 801.
  • the position where the plate-shaped member 84 is lifted corresponds to a shifted position, and when the plate-shaped member 84 is in the shifted position, the plate-shaped member 84 is at a position different from the flow blocking position.
  • the surface protrusion 844 contacts the second housing 82 forming the ventilation path 801 via the filter 83, so that the height of the surface protrusion 844 is increased between the surface 841 of the plate member 84 and the second housing 82.
  • a gas flow path is formed. Thereby, gas can flow from the space outside the container body 2 to the substrate storage space 27.
  • the substrate storage space 27 instantaneously becomes negative pressure with respect to the space outside the container main body 2.
  • the plate-like member 84 floats upward as shown in FIG. 9 due to the atmosphere flowing into the plate-like member accommodating chamber 804 from the through hole 803 of the first housing 81.
  • the position where the plate-shaped member 84 is lifted corresponds to a shifted position, and when the plate-shaped member 84 is in the shifted position, the plate-shaped member 84 is at a position different from the distribution blocking position, and the container body The gas can flow from the external space 2 to the substrate storage space 27.
  • the back wall 22 is positioned at the lower part and the container main body opening 21 is at the upper part in the container body 2. It is located in and is opened upward.
  • the central protrusion 843 is removed from the central protrusion insertion through hole 806 by the central protrusion insertion through hole 806 along the shape in which the diameter of the central protrusion insertion through hole 806 is increased. The movement is guided in a direction toward the position deviated from the distribution blocking position. Accordingly, as shown in FIG.
  • the plate-like member 84 is disposed away from the lid-like portion 812 of the first housing 81 to open the through-hole 803 of the first housing 81 and shifted. In some cases, as shown in FIG. 11, the back surface 842 of the plate-like member 84 is not in contact with the lid-like portion 812 and is disposed at a shifted position.
  • the substrate storage container 1 is a cylindrical wall portion 20 in which a container body opening 21 is formed at one end and the other end is closed, and includes a back wall 22, an upper wall 23, a lower wall 24, And an end of the upper wall 23, an end of the lower wall 24, and a wall 20 having a container body opening 21 formed by one end of the side wall, and an inner surface of the upper wall 23.
  • the lid 3 that can be attached to and detached from the main body opening 21 and can close the container main body opening 21, the substrate storage space 27, and the space outside the container main body 2 can communicate with each other, and the plate-like member storage chamber 804.
  • a filter 83 disposed in the air passage 801.
  • a first housing 81 and a second housing 82 as filter unit housings that form the air passage 801 and the plate-shaped member accommodating chamber 804, and are disposed on the lower wall 24 and pass through the filter 83 to the outside of the container body 2.
  • a filter unit 80 that allows gas to pass from the space to the substrate storage space 27.
  • the flow blocking position that blocks the flow of gas from the substrate storage space 27 to the space outside the container body 2 in the plate-shaped member storage chamber 804 is different from the flow blocking position.
  • a plate-like member 84 that is movable between a position outside the container main body 2 and a shifted position that allows gas to flow into the substrate storage space 27 is disposed, and a front surface 841 and a back surface 842 of the plate-like member 84 are
  • the upper wall 23 and the lower wall 24 have a positional relationship that intersects the direction connecting the upper wall 23 and the lower wall 24.
  • the plate-like member 84 can be moved to the flow blocking position by the weight of the plate-like member 84. Can do. Further, with the plate-like member 84 as a boundary, when the substrate storage space 27 becomes negative with respect to the space outside the container body 2, the plate-like member 84 can be moved to a shifted position. Moreover, since the filter part 80 can be comprised by simple structure, it is possible to make the dimension in the axial direction of the cylindrical part of the 1st housing 81 small.
  • the plate-like member 84 can be moved to a shifted position due to the negative pressure generated in the substrate storage space 27 with respect to the space outside the container body 2. Further, in the container main body 2, when the back wall 22 is located at the lower part and the container main body opening 21 is located at the upper part, the plate-like member 84 can be moved to a position displaced by the weight of the plate-like member 84. .
  • the plate-shaped member accommodating chamber 804 is located in a portion of the ventilation path 801 on the side of the space outside the container body 2 with respect to the filter 83. With this configuration, particles that have flowed into the plate-like member storage chamber 804 can be captured by the filter 83, and particles can be prevented from flowing into the substrate storage space 27. Furthermore, particles generated by the contact between the plate-like member 84 and the first housing 81 and the second housing 82 as the plate-like member 84 moves can be captured by the filter 83.
  • the portion of the filter housing that forms the plate member housing chamber 804 has a guide portion, and the plate member 84 has a guided portion.
  • the guided portion has a central protrusion 843 that protrudes from the center of the back surface 842 of the plate-like member 84, and the guide portion is formed in the first housing 811 as a filter portion housing, and the central protrusion 843.
  • the central protrusion 843 as the guided portion engages with the central protrusion insertion through-hole 806 as the guide portion, and the guided portion between the position displaced by the guide portion and the flow blocking position can be obtained with a simple configuration.
  • the movement of the part can be guided.
  • the central protrusion insertion through hole 806 has a shape that increases in diameter toward a position shifted from the flow blocking position, and the central protrusion 843 increases in diameter following the shape in which the central protrusion insertion through hole 806 increases in diameter.
  • the back surface 842 of the plate-like member 84 abuts against the lid-like portion 812 of the first housing 81 as a part of the filter portion housing that forms the ventilation passage 801 when the plate-like member 84 is in the flow blocking position.
  • By closing 801 the flow of gas from the substrate storage space 27 to the space outside the container body 2 is blocked, and the first housing 81 that forms the air passage 801 when the plate-like member 84 is in a shifted position.
  • By opening the air passage 801 away from the lid-like portion 812 gas can flow from the space outside the container body 2 to the substrate storage space 27, and the plate-like member 84 protrudes from the surface 841 and passes through the air passage.
  • a surface protrusion 844 capable of abutting against the second housing 82 as a part of the filter portion housing forming 801 is provided.
  • the surface protrusion 844 comes into contact with the second housing 82 as a part of the filter housing that forms the air passage 801, so that the gas flow between the surface 841 of the plate-like member 84 and the second housing 82 can be achieved.
  • a path can be formed.
  • FIG. 12 is an exploded perspective view showing the filter portion 80A of the substrate storage container 1 according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view showing the first housing 81A of the filter portion 80A of the substrate storage container 1 according to the second embodiment of the present invention.
  • the substrate storage container according to the second embodiment differs from the substrate storage container 1 according to the first embodiment in that an elastic member 817A is provided between the plate-shaped member 84 and the first housing 81A. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the substrate storage container 1 according to the first embodiment, the same configuration as each configuration in the first embodiment is denoted by the same reference numeral and description thereof is omitted.
  • an elastic that goes around the peripheral edge so as to surround the periphery of a large number of through holes 803 as the air passages 801 (see FIG. 8 and the like).
  • a member insertion groove 818A is formed.
  • An elastic member 817A is fitted in the elastic member insertion groove 818A, and the elastic member 817A is disposed so as to surround the periphery of a large number of through holes 803 as the air passages 801.
  • the elastic member 817A has an annular shape and is made of rubber. The upper part of the elastic member 817A protrudes upward from the elastic member insertion groove 818A.
  • the plate-like member 84 When the plate-like member 84 is in the flow blocking position, the upper portion of the elastic member 817A abuts on the back surface 842 (see FIG. 7 and the like) of the plate-like member 84. As a result, the back surface 842 of the plate-like member 84 contacts and closes the lid-like portion 812A of the first housing 81A as the filter portion housing via the elastic member 817A and closes the container body 2 from the substrate storage space 27 in the ventilation path 801. Block the flow of gas to the outside space.
  • the effect of blocking the ventilation in the ventilation path 801 by the plate-like member 84 can be further enhanced and ensured.
  • FIG. 14 is a cross-sectional view showing the filter portion 80B of the substrate storage container 1 according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 15 is an exploded perspective view showing the first housing 81B of the filter unit 80B of the substrate storage container 1 according to the third embodiment of the present invention.
  • the point that the plate-like member 84B does not have the central protrusion 843 and the point that the cylindrical part 811B of the first housing 81B has the guide part are the first. Different from the substrate storage container 1 according to the embodiment. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the substrate storage container 1 according to the first embodiment, the same configuration as each configuration in the first embodiment is denoted by the same reference numeral and description thereof is omitted.
  • the plate-like member 84B has a disk shape that does not have the central protrusion 843.
  • the guided portion has a peripheral edge portion 845 of the plate-like member 84B.
  • the inner peripheral surface of the cylindrical portion 811B of the first housing 81B, the portion from the other end surface 815 of the cylindrical portion 811B to the lid-shaped portion 812, is a peripheral portion contactable with the peripheral portion of the plate-like member 84B.
  • a contact surface 817B is formed.
  • the peripheral edge contact surface 817B has a truncated cone shape whose diameter increases toward a position shifted from the flow blocking position, that is, in the upward direction D21.
  • the peripheral portion 845 of the plate-like member 84B as the guided portion is engaged with the peripheral portion contact surface 817B as the guide portion. can do. Accordingly, the movement between the shifted position of the plate-like member 84B and the flow blocking position can be guided by the peripheral edge contact surface 817B as the guide portion.
  • FIG. 16 is a cross-sectional view showing a filter portion 80C of the substrate storage container 1 according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 17 is an upper perspective view showing a plate-like member 84C of the filter portion 80C of the substrate storage container 1 according to the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view showing a plate-like member 84C of the filter portion 80C of the substrate storage container 1 according to the fourth embodiment of the present invention. In FIG. 18, the plate-like member 84C is displayed upside down with respect to the state shown in FIG.
  • the point that the plate-like member 84C has the plate-like member-side elastic member 844C and the point that the plate-like member 84C does not have the central protrusion 843 are described in the first embodiment. This is different from the substrate storage container 1 according to the above. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the substrate storage container 1 according to the first embodiment, the same configuration as each configuration in the first embodiment is denoted by the same reference numeral and description thereof is omitted.
  • the plate-like member 84 ⁇ / b> C has a disk shape that does not have the central protrusion 843 (see FIG. 7). Twelve through-holes 846C are formed at equal intervals in the circumferential direction of the peripheral edge at the peripheral edge of the plate-like member 84C.
  • the plate-like member-side elastic member 844C is composed of a protrusion 847C and an annular portion 848C, and is integrally formed of rubber.
  • the protrusion 847C is located on the upper portion of the annular portion 848C and protrudes upward from the annular portion 848C. Twelve protrusions 847C are formed at equal intervals in the circumferential direction of the annular portion 848C.
  • Each of the protrusions 847C passes through the through-holes 846C at the peripheral edge of the plate-like member 84C one by one and protrudes upward from the upper surface 841C of the plate-like member 84C.
  • the annular portion 848C is fixed over the entire circumference of the peripheral portion of the lower surface which is the back surface 842C of the plate-like member 84C.
  • the plate-like member 84C when the plate-like member 84C is in the flow blocking position, the plate-like member-side elastic member 844C comes into contact with the portion of the lid-like portion 812 around the numerous through holes 803 constituting the ventilation path 801.
  • the plate member 84 ⁇ / b> C can reliably and effectively block the gas flow from the substrate storage space 27 to the space outside the container body 2 in the plate member storage chamber 804.
  • the same effect as that obtained from the elastic member 817A in the second embodiment can be obtained by the annular portion 848C. Further, the projection 847C can provide the same effect as that obtained from the surface projection 844.
  • FIG. 19 is an upper perspective view showing a plate-like member 84D of the filter part of the substrate storage container 1 according to the fifth embodiment of the present invention.
  • FIG. 20 is a cross-sectional view showing a plate-like member 84D of the filter portion of the substrate storage container 1 according to the fifth embodiment of the present invention.
  • the substrate storage container according to the fifth embodiment differs from the substrate storage container 1 according to the fourth embodiment in that the plate-like member side elastic member 844D is fixed to the periphery of the plate-like member 84D. Since the configuration other than this is the same as the configuration of the substrate storage container 1 according to the fourth embodiment, the same configuration as each configuration in the fourth embodiment is denoted by the same reference numeral, and the description thereof is omitted.
  • a through hole is not formed in the peripheral portion of the plate member 84D.
  • the inner peripheral surface of the annular portion 848D of the plate-like member-side elastic member 844D has a groove 846D formed so as to go around the annular portion 848D.
  • the peripheral edge of the plate member 84D is inserted into the groove 846D.
  • plate-shaped member side elastic member 844D is being fixed to the peripheral part of plate-shaped member 84D.
  • the protrusion 847D of the plate-like member side elastic member 844D is formed longer than the protrusion 847C of the plate-like member side elastic member 844C in the fourth embodiment in the circumferential direction of the annular portion 848D of the plate-like member side elastic member 844D.
  • the annular portion 848D of the plate-like member-side elastic member 844D abuts on the lid-like portion 812 of the first housing 81 when the plate-like member 84D is in the flow blocking position.
  • the protrusion 847D of the plate-like member-side elastic member 844D can contact the inner peripheral surface of the first housing 81 or the second housing 82 when the plate-like member 84D is in a shifted position. With this configuration, the plate-like member side elastic member 844D can be easily fixed to the plate-like member 84D.
  • the configuration of the filter unit is not limited to the configuration of the filter units 80, 80A, 80B, and 80C in the present embodiment.
  • the filter 83 in the filter unit 80 is fixed to the second housing 82, but is not limited to this configuration.
  • the filter 83 may be configured to be sandwiched between the first housing 81 and the second housing 82.
  • the configuration of the guide portion and the guided portion is not limited to the configuration of the guide portion and the guided portion in the present embodiment.
  • the shape of the container body and the lid, the number of the substrates W that can be stored in the container body, and the dimensions thereof are the shape of the container body 2 and the lid 3 in the present embodiment, and the substrate W that can be stored in the container body 2. It is not limited to the number of sheets and dimensions.
  • Substrate storage container 2 Container body 3 Lid 5 Substrate support plate-like part (side board support part) 6 Back side substrate support 7 Front retainer (lid side substrate support) 20 Wall portion 21 Container body opening 22 Back wall 23 Upper wall 24 Lower wall 25 First side wall (side wall) 26 Second side wall (side wall) 27 Substrate storage space 27 28 Opening peripheral edge 80 Filter part 81 First housing (filter part housing) 82 Second housing (filter housing) 83 Filter 84 Plate-like member 801 Air passage 804 Plate-like member accommodating chamber 806 Center protrusion insertion through hole (guide portion) 817A Elastic member 817B Peripheral portion contact surface 841 Front surface 842 Back surface 843 Central protrusion (guided portion) 844 surface protrusion 844C plate-like member side elastic member 845 peripheral edge W substrate

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Abstract

　基板収納容器のフィルタ部（８０）の板状部材収容室（８０４）には、板状部材収容室（８０４）において、基板収納空間から容器本体の外部の空間への気体の流通を遮断する流通遮断位置と、流通遮断位置とは異なる位置であって容器本体の外部の空間から基板収納空間へ気体を流通可能とするずれた位置との間で移動可能な板状部材（８４）が配置されている。板状部材（８４）の表面及び裏面は、上壁と下壁とを結ぶ方向に交差する位置関係を有する。板状部材（８４）は、容器本体において下壁が下部に位置し上壁が上部に位置しているときには、板状部材（８４）の自重により流通遮断位置へ移動可能である。

Description

基板収納容器及び基板収納容器用のフィルタ部
　本発明は、半導体ウェーハからなる基板を収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられると共に、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられる基板収納容器及び基板収納容器用のフィルタ部に関する。
　半導体ウェーハからなる基板を収納して、工場内の工程において搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。
　容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。
　蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
　また、容器本体には、逆止弁が設けられている。逆止弁を通して、容器本体の外部から基板収納空間へ、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエアで、ガスパージが行われる。逆止弁により、ガスパージにより基板収納空間に充填されたガスが、漏れ出ることを防止する（特許文献１～５参照）。
特許第４２０４３０２号 特許第４２０１５８３号 特許第５２４１６０７号 特開２００７－５３３１６６号公報 特許第３２０２９９１号
　前述のように、逆止弁が設けられている場合には、基板収納空間に充填されたガスが基板収納空間から漏れ出ることを防止することは可能である。しかし、容器本体開口部を閉塞している蓋体を容器本体開口部から取り外す際には、基板収納空間内が容器本体の外部の空間に対して一時的に負圧になる。このとき、前述のような逆止弁を有する構成では、逆止弁においては、付勢部材によって弁が付勢されているが、付勢部材による付勢力は、一時的な負圧よりも強いため、逆止弁は閉じたままである。このため、容器本体開口部と蓋体との間から基板収納空間へ、パーティクルが流入するという問題が生ずる。
　本発明は、容器本体開口部と蓋体との間から基板収納空間へパーティクルが流入することを抑える基板収納容器及び基板収納容器用のフィルタ部を提供することを目的とする。
　本発明は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能であり板状部材収容室を有する通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、前記通気路及び前記板状部材収容室を形成するフィルタ部ハウジングと、を有し、前記下壁に配置され、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ気体を通過可能なフィルタ部と、を備え、前記板状部材収容室には、前記板状部材収容室において、前記基板収納空間から前記容器本体の外部の空間への気体の流通を遮断する流通遮断位置と、前記流通遮断位置とは異なる位置であって前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ気体を流通可能とするずれた位置との間で移動可能な板状部材が配置され、前記板状部材の表面及び裏面は、前記上壁と前記下壁とを結ぶ方向に交差する位置関係を有し、前記板状部材は、前記容器本体において前記下壁が下部に位置し前記上壁が上部に位置しているときには、前記板状部材の自重により前記流通遮断位置へ移動可能である基板収納容器に関する。
　また、前記板状部材を境界として、前記基板収納空間が前記容器本体の外部の空間に対して負圧になったときに、前記板状部材は、前記ずれた位置に移動可能であることが好ましい。
　また、前記容器本体開口部を閉塞している前記蓋体が前記容器本体開口部から取り外されるときに、又は、前記板状部材を境界として前記容器本体の外部の空間の側から気体が前記通気路に注入されたときに、前記容器本体の外部の空間に対して前記基板収納空間において生ずる負圧により、前記板状部材は、前記ずれた位置に移動可能であることが好ましい。
　また、前記板状部材は、前記容器本体において前記奥壁が下部に位置し前記容器本体開口部が上部に位置しているときに、前記板状部材の自重により前記ずれた位置へ移動可能であることが好ましい。
　また、前記板状部材収容室は、前記フィルタよりも前記容器本体の外部の空間の側の前記通気路の部分に位置していることが好ましい。
　また、前記板状部材収容室を形成する前記フィルタ部ハウジングの部分は、ガイド部を有し、前記板状部材は、前記ガイド部に係合し前記ガイド部によって前記ずれた位置と前記流通遮断位置との間の移動が案内される被ガイド部を有することが好ましい。
　また、前記被ガイド部は、前記板状部材の裏面の中央から突出する中央突起部を有し、前記ガイド部は、前記フィルタ部ハウジングに形成され前記中央突起部が挿入される中央突起挿入貫通孔を有することが好ましい。
　また、前記中央突起挿入貫通孔は、前記流通遮断位置から前記ずれた位置へ向かって拡径する形状を有し、前記中央突起部は、前記中央突起挿入貫通孔の拡径する形状に倣って拡径する形状を有することが好ましい。
　また、前記被ガイド部は、前記板状部材の周縁部を有し、前記ガイド部は、前記フィルタ部ハウジングに形成され前記板状部材の周縁部に当接可能な周縁部当接面を有することが好ましい。
　また、前記板状部材は、円盤形状を有し、前記周縁部当接面は、前記流通遮断位置から前記ずれた位置へ向かって拡径する載頭円錐形状を有することが好ましい。
　また、前記板状部材は、前記板状部材の周縁部の全周にわたって前記板状部材の周縁部に固定された板状部材側弾性部材を有し、前記板状部材が前記流通遮断位置にあるときに、前記板状部材側弾性部材が前記通気路の周囲の前記フィルタ部ハウジングの部分に当接することが好ましい。
　また、前記板状部材が前記流通遮断位置にあるときには、前記板状部材の裏面は、前記通気路の周囲を取囲むように配置された弾性部材を介して前記フィルタ部ハウジングに当接して前記通気路を塞ぎ、前記通気路における前記基板収納空間から前記容器本体の外部の空間への気体の流通を遮断することが好ましい。
　また、前記板状部材の裏面は、前記板状部材が前記流通遮断位置にあるときに、前記通気路を形成する前記フィルタ部ハウジングの部分に当接して前記通気路を塞ぐことにより、前記基板収納空間から前記容器本体の外部の空間への気体の流通を遮断し、前記板状部材が前記ずれた位置にあるときに、前記通気路を形成する前記フィルタ部ハウジングの部分から離間して前記通気路を開放することにより、前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ気体を流通可能とし、前記板状部材は、前記表面から突出して前記通気路を形成する前記フィルタ部ハウジングの部分に当接可能な表面突起を有し、前記通気路を形成する前記フィルタ部ハウジングの部分に前記表面突起が当接することにより、前記板状部材の表面と前記フィルタ部ハウジングとの間に気体の流路が形成されることが好ましい。
　また、本発明は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、を備える基板収納容器の前記下壁に配置され、前記容器本体の外部から前記基板収納空間へ気体を通過可能な基板収納容器用のフィルタ部であって、前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路であって板状部材収容室を有する通気路を形成するフィルタ部ハウジングと、前記通気路に配置されたフィルタと、前記板状部材収容室に配置された板状部材と、を備え、前記板状部材は、前記板状部材収容室において、前記基板収納空間から前記容器本体の外部の空間への気体の流通を遮断する流通遮断位置と、前記流通遮断位置とは異なる位置であって前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ気体を流通可能とするずれた位置との間で移動可能であり、前記板状部材の表面及び裏面は、前記上壁と前記下壁とを結ぶ方向に交差する位置関係を有し、前記板状部材は、前記容器本体において前記下壁が下部に位置し前記上壁が上部に位置しているときには、前記板状部材の自重により前記流通遮断位置へ移動可能である基板収納容器用のフィルタ部に関する。
　また、前記板状部材を境界として、前記基板収納空間が前記容器本体の外部の空間に対して負圧になったときに、前記板状部材は、前記ずれた位置に移動可能であることが好ましい。
　また、前記容器本体開口部を閉塞している前記蓋体が前記容器本体開口部から取り外されるときに、又は、前記板状部材を境界として前記容器本体の外部の空間の側から気体が前記通気路に注入されたときに、前記容器本体の外部の空間に対して前記基板収納空間において生ずる負圧により、前記板状部材は、前記ずれた位置に移動可能であることが好ましい。
　また、前記板状部材は、前記容器本体において前記奥壁が下部に位置し前記容器本体開口部が上部に位置しているときに、前記板状部材の自重により前記ずれた位置へ移動可能であることが好ましい。
　本発明によれば、容器本体開口部と蓋体との間から基板収納空間へ、パーティクルが流入することを抑える基板収納容器及び基板収納容器用のフィルタ部を提供することができる。
本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０を示す上方斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０を示す平面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０の板状部材８４を示す上方斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０の板状部材８４が流通遮断位置にあるときの、図５ＢのＡ－Ａ線に沿った断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０の板状部材８４が、窒素パージによりずれた位置にあるときの、図５ＢのＡ－Ａ線に沿った断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０の板状部材８４が、容器本体２において奥壁２２が下部に位置し容器本体開口部２１が上部に位置することにより、ずれた位置にあるときの、図５ＢのＡ－Ａ線に沿った断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０の板状部材８４が、容器本体２において奥壁２２が下部に位置し容器本体開口部２１が上部に位置することにより、板状部材８４が蓋状部８１２に当接していない、ずれた位置にあるときの、図５ＢのＡ－Ａ線に沿った断面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ａを示す分解斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ａの第１ハウジング８１Ａを示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ｂを示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ｂの第１ハウジング８１Ｂを示す分解斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ｃを示す断面図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ｃの板状部材８４Ｃを示す上方斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ｃの板状部材８４Ｃを示す断面図である。 本発明の第５実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部の板状部材８４Ｄを示す上方斜視図である。 本発明の第５実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部の板状部材８４Ｄを示す断面図である。
　以下、本発明の第１実施形態による基板収納容器１及び基板収納容器用のフィルタ部８０について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す上方斜視図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す下方斜視図である。図５Ａは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０を示す上方斜視図である。
　図５Ｂは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０を示す平面図である。図６は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０を示す分解斜視図である。図７は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０の板状部材８４を示す上方斜視図である。図８は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０の板状部材８４が流通遮断位置にあるときの、図５ＢのＡ－Ａ線に沿った断面図である。図９は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０の板状部材８４が、窒素パージによりずれた位置にあるときの、図５ＢのＡ－Ａ線に沿った断面図である。
　図１０は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０の板状部材８４が、容器本体２において奥壁２２が下部に位置し容器本体開口部２１が上部に位置することにより、ずれた位置にあるときの、図５ＢのＡ－Ａ線に沿った断面図である。図１１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０の板状部材８４が、容器本体２において奥壁２２が下部に位置し容器本体開口部２１が上部に位置することにより、板状部材８４が蓋状部８１２に当接していない、ずれた位置にあるときの、図５ＢのＡ－Ａ線に沿った断面図である。
　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。
　また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図２参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ～４５０ｍｍのシリコンウェーハである。
　図１～図２に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられると共に、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられるものであり、容器本体２と、蓋体３と、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部（図示せず）と、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ（図示せず）とを有している。
　容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図２に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
　基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部（図示せず）が設けられている。
　奥側基板支持部（図示せず）は、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ（図示せず）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部（図示せず）と対をなすように配置されている。
　フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。
　図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。
　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
　図１、図２に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
　図１～図３に示すように、上壁２３の外面においては、フランジ固定部２３４及びリブ２３５Ａ、２３５Ｂが、上壁２３と一体成形されて設けられている。フランジ固定部２３４は、上壁２３の中央部に配置されている。フランジ固定部２３４には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、上壁２３の中央部に配置されている。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
　リブ２３５Ａは、トップフランジ２３６から左前方向、右前方向にそれぞれ複数本延びている。また、リブ２３５Ｂは、トップフランジ２３６から前方向Ｄ１１に複数本延びており、また、トップフランジ２３６から後方向Ｄ１２に複数本延びている。
　図１～図４に示すように、下壁２４の四隅には、貫通孔２４５が形成されている。貫通孔２４５を形成している下壁２４の部分には、雌ネジ部が螺刻されている。貫通孔２４５には、フィルタ部８０が配置されている。図６に示すようにフィルタ部８０は、フィルタ部ハウジングとしての第１ハウジング８１及び第２ハウジング８２と、フィルタ８３と、板状部材８４とを有している。フィルタ部８０は、フィルタ８３を通して容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ気体を通過可能である。
　図８等に示すように、第１ハウジング８１は、円筒状部８１１と蓋状部８１２とを有している。円筒状部８１１の一端部（下端部）は開口を有している。円筒状部８１１の内周面により形成されている円筒状部８１１の内部の空間は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能とする通気路８０１を構成する。図６に示すように、円筒状部８１１の他端面には、円筒状部８１１の他端を一周するように環状に、多数の第１ハウジング側凹凸部８１３が設けられている。円筒状部８１１の周面には、雄ネジ部８１４が設けられており、雄ネジ部８１４は、下壁２４の貫通孔２４５の雌ネジ部（図示せず）に螺合する。
　円筒状部８１１の他端近傍の部分は、円筒状部８１１と一体成形された蓋状部８１２によって塞がれている。従って、図６に示すように、円筒状部８１１の他端面８１５に対して蓋状部８１２の上面８１６は、一段下がった位置にある。蓋状部８１２は、円盤形状を有している。蓋状部８１２の中央部分には、多数の貫通孔８０３が形成されている。多数の貫通孔８０３は、通気路８０１を構成する。また、蓋状部８１２の中央には、ガイド部としての中央突起挿入貫通孔８０６が形成されている。中央突起挿入貫通孔８０６は、流通遮断位置からずれた位置へ向かって拡径する載頭円錐形状を有している。
　第２ハウジング８２は、円盤形状を有している。第２ハウジング８２の中央部分には、多数の貫通孔８０５が形成されている。図８に示すように多数の貫通孔８０５は、通気路８０１を構成する。また、第２ハウジング８２の下面の周縁近傍の部分には、周縁近傍の部分一周するように環状に、多数の第２ハウジング側凹凸部８２３が設けられている。第２ハウジング側凹凸部８２３が第１ハウジング側凹凸部８１３に係合した状態で、第２ハウジング８２は、第１ハウジング８１に溶着されて固定されている。第２ハウジング８２の下面８２２と、第１ハウジング８１の蓋状部８１２の上面８１６（図６参照）と、第１ハウジング８１の蓋状部８１２の上面８１６から円筒状部８１１の他端面８１５に至るまで延びる円筒状の壁部８１７とにより、板状部材収容室８０４（図８参照）が形成されている。即ち、第１ハウジング８１及び第２ハウジング８２は、板状部材収容室８０４を有する通気路８０１を形成しており、板状部材収容室８０４を形成するフィルタ部ハウジングの部分としての蓋状部８１２は、前述のガイド部を有している。
　フィルタ８３は、円盤形状を有している。フィルタ８３は、環状に設けられた第２ハウジング側凹凸部８２３よりも第２ハウジング８２の半径方向内方の第２ハウジング８２の部分に固定されている。フィルタ８３は、通気路８０１であって板状部材収容室８０４と貫通孔８０５との間の位置に配置されており、板状部材収容室８０４は、フィルタ８３よりも容器本体２の外部の空間の側の通気路８０１の部分に位置している。フィルタ８３は、第２ハウジング８２に形成された貫通孔８０５をパーティクル等が通過することを阻止する。
　図７～図１１に示すように、板状部材８４は、板状部材８４の表面８４１及び裏面８４２が上壁２３と下壁２４とを結ぶ方向に交差する位置関係を有して、板状部材収容室８０４に配置されている。従って、板状部材８４の表面８４１及び裏面８４２は、上壁２３と下壁２４とを結ぶ方向に平行の位置関係を有してはいない。板状部材８４は、円盤形状を有している。板状部材８４の裏面８４２（下面）の中央には、板状部材８４から遠ざかるにつれて縮径する載頭円錐形状を有して、板状部材８４の裏面８４２の中央から突出する被ガイド部としての中央突起部８４３を有している。即ち、中央突起部８４３は、中央突起挿入貫通孔８０６の拡径する形状に倣って拡径する載頭円錐形状を有している。中央突起部８４３は、中央突起挿入貫通孔８０６を形成している第１ハウジング８１の蓋状部８１２の部分に対して、中央突起挿入貫通孔８０６に挿入する方向又は中央突起挿入貫通孔８０６から引き抜かれる方向へ移動可能に、中央突起挿入貫通孔８０６に挿入されている。
　また、板状部材８４の寸法に対して板状部材収容室８０４は広く構成されている。このため、板状部材８４は、板状部材収容室８０４内の所定の範囲において、自由に移動可能である。即ち、板状部材８４は、板状部材収容室８０４において、基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間への気体の流通を遮断する後述の流通遮断位置と、流通遮断位置とは異なる位置であって容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ気体を流通可能とする後述のずれた位置との間で移動可能である。この際、板状部材８４及び被ガイド部としての中央突起部８４３は、ガイド部としての中央突起挿入貫通孔８０６によって、後述するずれた位置と流通遮断位置との間の移動が案内される。
　図７に示すように板状部材８４は、板状部材８４の表面８４１から上方へ突出する複数の矩形の表面突起８４４を有している。表面突起８４４は、板状部材８４の周縁において周縁の周方向に等間隔で１２個存在しており、板状部材８４の表面８４１に一体成形されて設けられている。表面突起８４４は、通気路８０１を形成するフィルタ部ハウジングの部分としての第２ハウジング８２の裏面８２２（下面）に、フィルタ８３を介して当接可能である。板状部材８４は、ＰＣ（ポリカーボネート）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）のうちのいずれかにより構成されている。
　図１等に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
　蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
　蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部（図示せず）が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
　蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。
　フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
　上述のような基板収納容器１において、フィルタ部８０による通気路８０１の連通／遮断は、以下のとおりに行われる。
　工場内の工程において基板収納容器１が工程内容器として用いられているときには、容器本体２において下壁２４は下部に位置し上壁２３は上部に位置している。このとき、フィルタ部８０においては、板状部材８４の表面８４１及び裏面８４２は、上壁２３と下壁２４とを結ぶ方向に交差する位置関係を有しているため、板状部材８４は、板状部材８４の自重により流通遮断位置へ移動可能である。
　即ち、板状部材８４においては、ガイド部としての中央突起挿入貫通孔８０６に被ガイド部としての中央突起部８４３が係合している。このため、第１ハウジング８１の下端部から通気路８０１内にガスが注入されておらず、また、板状部材８４を境界として、基板収納空間２７が容器本体２の外部の空間に対して負圧になっていないときには、板状部材８４及び中央突起部８４３は、これらの自重により、図８に示すように、中央突起挿入貫通孔８０６によって流通遮断位置に案内され、流通遮断位置に配置される。流通遮断位置とは、板状部材８４の裏面８４２が蓋状部８１２の貫通孔８０３を塞ぎ、基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間への気体の流通を遮断する位置のことを意味する。
　板状部材８４を境界として、基板収納空間２７が容器本体２の外部の空間に対して負圧になったときには、板状部材８４は、ずれた位置に移動可能である。具体的には、第１ハウジング８１の下端部から通気路８０１内に、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエアが注入されるガスパージが行われたときには、基板収納空間２７は、容器本体２の外部の空間に対して負圧になる。
　このとき、板状部材８４は、板状部材収容室８０４内の所定の範囲において、自由に移動可能であるため、第１ハウジング８１の貫通孔８０３から板状部材収容室８０４内に流入する不活性ガスあるいはドライエアによって、図９に示すように、通気路８０１を形成する第１ハウジング８１の部分である蓋状部８１２から上方へ浮き上がり離間して、通気路８０１を開放する。このように板状部材８４が浮き上がった位置は、ずれた位置に相当し、板状部材８４がずれた位置にあるときには、板状部材８４は、流通遮断位置とは異なる位置にある。このとき、通気路８０１を形成する第２ハウジング８２に表面突起８４４がフィルタ８３を介して当接することにより、板状部材８４の表面８４１と第２ハウジング８２との間に、表面突起８４４の高さ分の気体の流路が形成される。これにより、容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ気体が流通可能である。
　また、容器本体開口部２１を閉塞している蓋体３が容器本体開口部２１から取り外されるときにも、基板収納空間２７は、容器本体２の外部の空間に対して瞬間的に負圧になる。このときにも、第１ハウジング８１の貫通孔８０３から板状部材収容室８０４内に流入する大気によって、板状部材８４は、図９に示すように上方へ浮き上がる。このように板状部材８４が浮き上がった位置は、ずれた位置に相当し、板状部材８４がずれた位置にあるときには、板状部材８４は、流通遮断位置とは異なる位置にあり、容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ気体が流通可能である。
　陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として基板収納容器１が用いられるときには、容器本体２において奥壁２２が下部に位置し容器本体開口部２１が上部に位置して上方へ向かって開口している。このときには、板状部材８４においては、中央突起挿入貫通孔８０６の拡径する形状に沿って、中央突起部８４３は中央突起挿入貫通孔８０６によって、中央突起挿入貫通孔８０６から抜ける方向、即ち、流通遮断位置からずれた位置へ向かう方向へ、移動が案内される。これにより板状部材８４は、図１０に示すように、第１ハウジング８１の蓋状部８１２から離れて第１ハウジング８１の貫通孔８０３を開放し、ずれた位置に配置される。また場合によっては、図１１に示すように、板状部材８４の裏面８４２が蓋状部８１２に当接していない、ずれた位置に配置される。
　上記構成の第１実施形態に係る基板収納容器１及び基板収納容器用のフィルタ部８０によれば、以下のような効果を得ることができる。
　上述のように基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部２０であって、奥壁２２、上壁２３、下壁２４、及び一対の側壁２５、２６を有し上壁２３の一端部、下壁２４の一端部、及び側壁の一端部によって容器本体開口部２１が形成された壁部２０を備え、上壁２３の内面、下壁２４の内面、側壁の内面、及び奥壁２２の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能であり板状部材収容室８０４を有する通気路８０１と、通気路８０１に配置されたフィルタ８３と、通気路８０１及び板状部材収容室８０４を形成するフィルタ部ハウジングとしての第１ハウジング８１及び第２ハウジング８２と、を有し、下壁２４に配置され、フィルタ８３を通して容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ気体を通過可能なフィルタ部８０と、を備える。
　板状部材収容室８０４には、板状部材収容室８０４において、基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間への気体の流通を遮断する流通遮断位置と、流通遮断位置とは異なる位置であって容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ気体を流通可能とするずれた位置との間で移動可能な板状部材８４が配置され、板状部材８４の表面８４１及び裏面８４２は、上壁２３と下壁２４とを結ぶ方向に交差する位置関係を有する。
　この構成により、容器本体２において下壁２４が下部に位置し上壁２３が上部に位置しているときには、板状部材８４を、板状部材８４の自重により流通遮断位置へ移動可能とすることができる。また、板状部材８４を境界として、基板収納空間２７が容器本体２の外部の空間に対して負圧になったときに、板状部材８４を、ずれた位置に移動可能とすることができる。また、簡単な構成によりフィルタ部８０を構成することができるため、第１ハウジング８１の円筒形状部の軸方向における寸法を小さくすることが可能である。
　より具体的には、容器本体開口部２１を閉塞している蓋体３が容器本体開口部２１から取り外されるときに、又は、板状部材８４を境界として容器本体２の外部の空間の側から気体が通気路８０１に注入されたときに、容器本体２の外部の空間に対して基板収納空間２７において生ずる負圧により、板状部材８４を、ずれた位置に移動可能とすることができる。また、容器本体２において奥壁２２が下部に位置し容器本体開口部２１が上部に位置しているときに、板状部材８４を、板状部材８４の自重によりずれた位置へ移動可能である。
　また、板状部材収容室８０４は、フィルタ８３よりも容器本体２の外部の空間の側の通気路８０１の部分に位置している。この構成により、板状部材収容室８０４に流入したパーティクルをフィルタ８３で捕捉することができ、パーティクルが基板収納空間２７内に流入することを防止することができる。更に、板状部材８４の移動に伴い、板状部材８４と第１ハウジング８１及び第２ハウジング８２との当接により生じたパーティクルをフィルタ８３で捕捉することができる。
　また、板状部材収容室８０４を形成するフィルタ部ハウジングの部分は、ガイド部を有し、板状部材８４は、被ガイド部を有する。具体的には、被ガイド部は、板状部材８４の裏面８４２の中央から突出する中央突起部８４３を有し、ガイド部は、フィルタ部ハウジングとしての第１ハウジング８１１に形成され中央突起部８４３が挿入される中央突起挿入貫通孔８０６を有する。
　この構成により、簡単な構成により、被ガイド部としての中央突起部８４３がガイド部としての中央突起挿入貫通孔８０６に係合し、ガイド部によってずれた位置と流通遮断位置との間の被ガイド部の移動が案内されるようにすることができる。
　また、中央突起挿入貫通孔８０６は、流通遮断位置からずれた位置へ向かって拡径する形状を有し、中央突起部８４３は、中央突起挿入貫通孔８０６の拡径する形状に倣って拡径する形状を有する。この構成により、板状部材８４の流通遮断位置からずれた位置への移動を容易にすることができる。
　板状部材８４の裏面８４２は、板状部材８４が流通遮断位置にあるときに、通気路８０１を形成するフィルタ部ハウジングの部分としての第１ハウジング８１の蓋状部８１２に当接して通気路８０１を塞ぐことにより、基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間への気体の流通を遮断し、板状部材８４がずれた位置にあるときに、通気路８０１を形成する第１ハウジング８１の蓋状部８１２から離間して通気路８０１を開放することにより、容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ気体を流通可能とし、板状部材８４は、表面８４１から突出して通気路８０１を形成するフィルタ部ハウジングの部分としての第２ハウジング８２に当接可能な表面突起８４４を有する。
　この構成により、通気路８０１を形成するフィルタ部ハウジングの部分としての第２ハウジング８２に表面突起８４４が当接することにより、板状部材８４の表面８４１と第２ハウジング８２との間に気体の流路を形成することができる。
　次に、本発明の第２実施形態による基板収納容器及び基板収納容器用フィルタ部８０Ａについて図１２、図１３を参照しながら説明する。図１２は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ａを示す分解斜視図である。図１３は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ａの第１ハウジング８１Ａを示す断面図である。
　第２実施形態による基板収納容器は、弾性部材８１７Ａが板状部材８４と第１ハウジング８１Ａとの間に設けられている点において、第１実施形態による基板収納容器１とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
　第１ハウジング８１Ａの蓋状部８１２Ａ（図１３参照）の周縁部には、通気路８０１（図８等参照）としての多数の貫通孔８０３の周囲を取囲むように、周縁部を一周する弾性部材挿入溝８１８Ａが形成されている。弾性部材挿入溝８１８Ａには、弾性部材８１７Ａが嵌め込まれており、弾性部材８１７Ａは、通気路８０１としての多数の貫通孔８０３の周囲を取囲むように配置されている。弾性部材８１７Ａは環状を有しており、ゴムにより構成されている。弾性部材８１７Ａの上部は、弾性部材挿入溝８１８Ａから上方へ突出している。板状部材８４が流通遮断位置にあるときには、弾性部材８１７Ａの上部は、板状部材８４の裏面８４２（図７等参照）に当接する。これにより、板状部材８４の裏面８４２は、弾性部材８１７Ａを介してフィルタ部ハウジングとしての第１ハウジング８１Ａの蓋状部８１２Ａに当接して塞ぎ、通気路８０１における基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間への気体の流通を遮断する。
　このような構成により、板状部材８４による通気路８０１における通気の遮断の効果をより高め且つより確実にすることができる。
　次に、本発明の第３実施形態による基板収納容器及び基板収納容器用フィルタ部８０Ｂについて図１４、図１５を参照しながら説明する。図１４は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ｂを示す断面図である。図１５は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ｂの第１ハウジング８１Ｂを示す分解斜視図である。
　第３実施形態による基板収納容器においては、板状部材８４Ｂが中央突起部８４３を有していない点と、第１ハウジング８１Ｂの円筒状部８１１Ｂがガイド部を有している点と、において第１実施形態による基板収納容器１とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
　板状部材８４Ｂは、中央突起部８４３を有していない円盤形状を有している。また、被ガイド部は板状部材８４Ｂの周縁部８４５を有している。第１ハウジング８１Ｂの円筒状部８１１Ｂの内周面であって、円筒状部８１１Ｂの他端面８１５から蓋状部８１２までの部分は、板状部材８４Ｂの周縁部に当接可能な周縁部当接面８１７Ｂを構成する。周縁部当接面８１７Ｂは、流通遮断位置からずれた位置へ向かって、即ち、上方向Ｄ２１に向かって拡径する載頭円錐形状を有する。
　このような構成により、板状部材８４Ｂが中央突起部８４３を有していなくても、被ガイド部としての板状部材８４Ｂの周縁部８４５がガイド部としての周縁部当接面８１７Ｂに係合することができる。これにより、ガイド部としての周縁部当接面８１７Ｂによって、板状部材８４Ｂのずれた位置と流通遮断位置との間の移動が案内されるように構成することができる。
　次に、本発明の第４実施形態による基板収納容器及び基板収納容器用フィルタ部８０Ｃについて図１６～図１８を参照しながら説明する。図１６は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ｃを示す断面図である。図１７は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ｃの板状部材８４Ｃを示す上方斜視図である。図１８は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部８０Ｃの板状部材８４Ｃを示す断面図である。図１８において、板状部材８４Ｃは、図１７に示す状態に対して上下反転させて表示されている。
　第４実施形態による基板収納容器においては、板状部材８４Ｃが板状部材側弾性部材８４４Ｃを有する点と、板状部材８４Ｃが中央突起部８４３を有していない点と、において第１実施形態による基板収納容器１とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
　図１７に示すように、板状部材８４Ｃは、中央突起部８４３（図７参照）を有していない円盤形状を有している。板状部材８４Ｃの周縁部には、貫通孔８４６Ｃが周縁部の周方向に等間隔で１２個形成されている。板状部材側弾性部材８４４Ｃは、突部８４７Ｃと環状部８４８Ｃとにより構成され、ゴムにより一体成形されて構成されている。突部８４７Ｃは環状部８４８Ｃの上部に位置しており、環状部８４８Ｃから上方に突出する。突部８４７Ｃは、環状部８４８Ｃの周方向に等間隔で１２個形成されている。突部８４７Ｃは、それぞれ板状部材８４Ｃの周縁部の貫通孔８４６Ｃを１つずつ貫通しており、板状部材８４Ｃの上面８４１Ｃよりも上方へ突出している。これにより、環状部８４８Ｃは、板状部材８４Ｃの裏面８４２Ｃである下面の周縁部の全周にわたって固定されている。
　この構成により、板状部材８４Ｃが流通遮断位置にあるときに、板状部材側弾性部材８４４Ｃは、通気路８０１を構成する多数の貫通孔８０３の周囲の蓋状部８１２の部分に当接する。この結果、板状部材８４Ｃは、板状部材収容室８０４において、基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間への気体の流通を確実且つ効果的に遮断することができる。
　また、環状部８４８Ｃにより第２実施形態における弾性部材８１７Ａから得られる効果と同様の効果を得ることができる。また、突部８４７Ｃにより、表面突起８４４から得られる効果と同様の効果を得ることができる。
　次に、本発明の第５実施形態による基板収納容器及び基板収納容器用フィルタ部について図１９、図２０を参照しながら説明する。図１９は、本発明の第５実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部の板状部材８４Ｄを示す上方斜視図である。図２０は、本発明の第５実施形態に係る基板収納容器１のフィルタ部の板状部材８４Ｄを示す断面図である。
　第５実施形態による基板収納容器においては、板状部材側弾性部材８４４Ｄが板状部材８４Ｄの周縁に固定されている点において第４実施形態による基板収納容器１とは異なる。これ以外の構成については、第４実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第４実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
　板状部材８４Ｄの周縁部には、貫通孔は形成されていない。板状部材側弾性部材８４４Ｄの環状部８４８Ｄの内周面は、図２０に示すように、環状部８４８Ｄを一周するように形成された溝８４６Ｄを有している。溝８４６Ｄには板状部材８４Ｄの周縁が挿入されている。これにより、板状部材側弾性部材８４４Ｄは、板状部材８４Ｄの周縁部に固定されている。板状部材側弾性部材８４４Ｄの突部８４７Ｄは、板状部材側弾性部材８４４Ｄの環状部８４８Ｄの周方向において第４実施形態における板状部材側弾性部材８４４Ｃの突部８４７Ｃよりも長く形成されている。板状部材側弾性部材８４４Ｄの環状部８４８Ｄは、板状部材８４Ｄが流通遮断位置にあるときに第１ハウジング８１の蓋状部８１２に当接する。板状部材側弾性部材８４４Ｄの突部８４７Ｄは、板状部材８４Ｄがずれた位置にあるときに、第１ハウジング８１の内周面や第２ハウジング８２に当接可能である。この構成により、板状部材側弾性部材８４４Ｄを容易に板状部材８４Ｄに固定することができる。
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
　例えば、フィルタ部の構成は、本実施形態におけるフィルタ部８０、８０Ａ、８０Ｂ、８０Ｃの構成に限定されない。本実施形態では、例えば、フィルタ部８０においてフィルタ８３は、第２ハウジング８２に固定されていたが、この構成に限定されない。例えば、フィルタ８３は、第１ハウジング８１と第２ハウジング８２に挟まれるように構成されていてもよい。同様に、例えば、ガイド部及び被ガイド部の構成は、本実施形態におけるガイド部及び被ガイド部の構成に限定されない。
　また、容器本体及び蓋体の形状や、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。
１　　基板収納容器
２　　容器本体
３　　蓋体
５　　基板支持板状部（側方基板支持部）
６　　奥側基板支持部
７　　フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
２０　　壁部
２１　　容器本体開口部
２２　　奥壁
２３　　上壁
２４　　下壁
２５　　第１側壁（側壁）
２６　　第２側壁（側壁）
２７　　基板収納空間２７
２８　　開口周縁部
８０　　フィルタ部
８１　　第１ハウジング（フィルタ部ハウジング）
８２　　第２ハウジング（フィルタ部ハウジング）
８３　　フィルタ
８４　　板状部材
８０１　　通気路
８０４　　板状部材収容室
８０６　　中央突起挿入貫通孔（ガイド部）
８１７Ａ　　弾性部材
８１７Ｂ　　周縁部当接面
８４１　　表面
８４２　　裏面
８４３　　中央突起部（被ガイド部）
８４４　　表面突起
８４４Ｃ　　板状部材側弾性部材
８４５　　周縁部
Ｗ　　基板

Claims (17)

  1. 　一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    　前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能であり板状部材収容室を有する通気路と、前記通気路に配置されたフィルタと、前記通気路及び前記板状部材収容室を形成するフィルタ部ハウジングと、を有し、前記下壁に配置され、前記フィルタを通して前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ気体を通過可能なフィルタ部と、を備え、
    　前記板状部材収容室には、前記板状部材収容室において、前記基板収納空間から前記容器本体の外部の空間への気体の流通を遮断する流通遮断位置と、前記流通遮断位置とは異なる位置であって前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ気体を流通可能とするずれた位置との間で移動可能な板状部材が配置され、
    　前記板状部材の表面及び裏面は、前記上壁と前記下壁とを結ぶ方向に交差する位置関係を有し、
    　前記板状部材は、前記容器本体において前記下壁が下部に位置し前記上壁が上部に位置しているときには、前記板状部材の自重により前記流通遮断位置へ移動可能である基板収納容器。
  2. 　前記板状部材を境界として、前記基板収納空間が前記容器本体の外部の空間に対して負圧になったときに、前記板状部材は、前記ずれた位置に移動可能である請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記容器本体開口部を閉塞している前記蓋体が前記容器本体開口部から取り外されるときに、又は、前記板状部材を境界として前記容器本体の外部の空間の側から気体が前記通気路に注入されたときに、前記容器本体の外部の空間に対して前記基板収納空間において生ずる負圧により、前記板状部材は、前記ずれた位置に移動可能である請求項２に記載の基板収納容器。
  4. 　前記板状部材は、前記容器本体において前記奥壁が下部に位置し前記容器本体開口部が上部に位置しているときに、前記板状部材の自重により前記ずれた位置へ移動可能である請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
  5. 　前記板状部材収容室は、前記フィルタよりも前記容器本体の外部の空間の側の前記通気路の部分に位置している請求項１～請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
  6. 　前記板状部材収容室を形成する前記フィルタ部ハウジングの部分は、ガイド部を有し、
    　前記板状部材は、前記ガイド部に係合し前記ガイド部によって前記ずれた位置と前記流通遮断位置との間の移動が案内される被ガイド部を有する請求項１～請求項５のいずれかに記載の基板収納容器。
  7. 　前記被ガイド部は、前記板状部材の裏面の中央から突出する中央突起部を有し、
    　前記ガイド部は、前記フィルタ部ハウジングに形成され前記中央突起部が挿入される中央突起挿入貫通孔を有する請求項６に記載の基板収納容器。
  8. 　前記中央突起挿入貫通孔は、前記流通遮断位置から前記ずれた位置へ向かって拡径する形状を有し、
    　前記中央突起部は、前記中央突起挿入貫通孔の拡径する形状に倣って拡径する形状を有する請求項７に記載の基板収納容器。
  9. 　前記被ガイド部は、前記板状部材の周縁部を有し、
    　前記ガイド部は、前記フィルタ部ハウジングに形成され前記板状部材の周縁部に当接可能な周縁部当接面を有する請求項６に記載の基板収納容器。
  10. 　前記板状部材は、円盤形状を有し、
    　前記周縁部当接面は、前記流通遮断位置から前記ずれた位置へ向かって拡径する載頭円錐形状を有する請求項９に記載の基板収納容器。
  11. 　前記板状部材は、前記板状部材の周縁部の全周にわたって前記板状部材の周縁部に固定された板状部材側弾性部材を有し、前記板状部材が前記流通遮断位置にあるときに、前記板状部材側弾性部材が前記通気路の周囲の前記フィルタ部ハウジングの部分に当接する請求項１～請求項１０のいずれかに記載の基板収納容器。
  12. 　前記板状部材が前記流通遮断位置にあるときには、前記板状部材の裏面は、前記通気路の周囲を取囲むように配置された弾性部材を介して前記フィルタ部ハウジングに当接して前記通気路を塞ぎ、前記通気路における前記基板収納空間から前記容器本体の外部の空間への気体の流通を遮断する請求項１～請求項１１のいずれかに記載の基板収納容器。
  13. 　前記板状部材の裏面は、前記板状部材が前記流通遮断位置にあるときに、前記通気路を形成する前記フィルタ部ハウジングの部分に当接して前記通気路を塞ぐことにより、前記基板収納空間から前記容器本体の外部の空間への気体の流通を遮断し、前記板状部材が前記ずれた位置にあるときに、前記通気路を形成する前記フィルタ部ハウジングの部分から離間して前記通気路を開放することにより、前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ気体を流通可能とし、
    　前記板状部材は、前記表面から突出して前記通気路を形成する前記フィルタ部ハウジングの部分に当接可能な表面突起を有し、
    　前記通気路を形成する前記フィルタ部ハウジングの部分に前記表面突起が当接することにより、前記板状部材の表面と前記フィルタ部ハウジングとの間に気体の流路が形成される請求項１～請求項１２のいずれかに記載の基板収納容器。
  14. 　一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    を備える基板収納容器の前記下壁に配置され、前記容器本体の外部から前記基板収納空間へ気体を通過可能な基板収納容器用のフィルタ部であって、
    　前記基板収納空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路であって板状部材収容室を有する通気路を形成するフィルタ部ハウジングと、
    　前記通気路に配置されたフィルタと、
    　前記板状部材収容室に配置された板状部材と、を備え、
    　前記板状部材は、前記板状部材収容室において、前記基板収納空間から前記容器本体の外部の空間への気体の流通を遮断する流通遮断位置と、前記流通遮断位置とは異なる位置であって前記容器本体の外部の空間から前記基板収納空間へ気体を流通可能とするずれた位置との間で移動可能であり、
    　前記板状部材の表面及び裏面は、前記上壁と前記下壁とを結ぶ方向に交差する位置関係を有し、
    　前記板状部材は、前記容器本体において前記下壁が下部に位置し前記上壁が上部に位置しているときには、前記板状部材の自重により前記流通遮断位置へ移動可能である基板収納容器用のフィルタ部。
  15. 　前記板状部材を境界として、前記基板収納空間が前記容器本体の外部の空間に対して負圧になったときに、前記板状部材は、前記ずれた位置に移動可能である請求項１４に記載の基板収納容器用のフィルタ部。
  16. 　前記容器本体開口部を閉塞している前記蓋体が前記容器本体開口部から取り外されるときに、又は、前記板状部材を境界として前記容器本体の外部の空間の側から気体が前記通気路に注入されたときに、前記容器本体の外部の空間に対して前記基板収納空間において生ずる負圧により、前記板状部材は、前記ずれた位置に移動可能である請求項１５に記載の基板収納容器用のフィルタ部。
  17. 　前記板状部材は、前記容器本体において前記奥壁が下部に位置し前記容器本体開口部が上部に位置しているときに、前記板状部材の自重により前記ずれた位置へ移動可能である請求項１４～請求項１６のいずれかに記載の基板収納容器用のフィルタ部。
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