JP7257418B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
図1は、基板収納容器1を示す正面図である。図2は、基板収納容器1を示す平面図である。図3は、基板収納容器1において、レチクルポッドRPが容器本体2に固定されている様子を示す側方断面図(図2のA-A線に沿った側方断面図)である。図4は、基板収納容器1において、レチクルポッドRPが容器本体2に固定されている様子を示す断面斜視図(図2のA-A線に沿った断面斜視図)である。
また、基板収納容器1の容器本体2は、蓋体3と共に基板を収納するために用いられることが可能であり、基板は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における容器本体2及び蓋体3に収納可能な基板は、直径300mmのシリコンウェーハである。
図1~図4に示すように、容器本体2の壁部20は、奥壁22と上壁23と下壁24と第1側壁25と第2側壁26とを有する。奥壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25、及び第2側壁26は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
なお、図5、図6等の断面図においては、レチクルポッドRPの断面の図示を省略している。
図5は、基板収納容器1において、レチクルポッドRPが容器本体2に固定されていない様子を示す側方断面図である。図6は、基板収納容器1において、レチクルポッドRPが容器本体2に固定されていない様子を示す断面斜視図である。
前述のように、下壁24には、容器本体2に対する被収容物としてのレチクルポッドRPの位置決めをする位置決め部としてのポッド載置部50が設けられ、上壁23には、レチクルポッドRPの上部を下壁24の方向へ押圧する下方押圧部60が設けられ、蓋体3は、容器本体開口部21を閉塞するときに、下方押圧部60にレチクルポッドRPの上部を下壁24の方向へ押圧させる。
また、レチクルポッドRPを収容する容器として基板収納容器1を用いたため、レチクルポッドRPを収納する容器としての寸法も適しており、基板収納容器1を搬送するための自動搬送装置も標準的に存在するため、スムーズにレチクルポッドRPを搬送する工程へ投入できる。
例えば、本実施形態においては、容器本体、蓋体は、直径が300mmのシリコンウェーハを収納可能な基板収納容器の容器本体2、蓋体3により構成されたが、これに限定されない。レチクルポッドRPを収容可能であればどのような容器でもよく、例えば、基板収納容器を模した構造の容器、即ち、一端部にポッド収容空間に連通する容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞されているような構造の容器により構成されても良い。
また、本実施形態においては、被収容物は、レチクルポッドRPであったが、これに限定されない。
また、基板収納容器の各部の構成は、本実施形態における基板収納容器1の各部の構成に限定されない。
2 容器本体
3 蓋体
4 シール部材
20 壁部
21 容器本体開口部
22 奥壁
23 上壁
24 下壁
25 第1側壁
26 第2側壁
27 ポッド収容空間
28 開口周縁部
50 ポッド載置部(位置決め部)
60 下方押圧部
61 押圧部支持部
63 先端部押圧部
64 押圧部駆動部
304 フック形状部
615 板状当接部
647 フック形状部
RP レチクルポッド
Claims (7)
- 被収容物を収容可能なポッド収容空間が内部に形成され、一端部に前記ポッド収容空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記開口周縁部によって取り囲まれる位置関係で前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記蓋体に取り付けられ、前記蓋体及び前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部及び前記蓋体に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を閉塞するシール部材と、を備え、
前記容器本体は、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有する壁部を有し、前記奥壁によって前記壁部の他端部が閉塞され、前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成され、
前記下壁には、前記容器本体に対する前記被収容物の位置決めをする位置決め部が設けられ、
前記上壁には、前記被収容物の上部を、前記下壁の方向へ移動して下方向へ押下げる力により前記下壁の方向へ押圧する下方押圧部が設けられ、
前記蓋体は、前記容器本体開口部を閉塞するときに、前記下方押圧部に前記被収容物の上部を前記下壁の方向へ押圧させ、
前記下方押圧部は、
前記被収容物の上部に当接して前記被収容物を前記下壁の方向へ押圧する先端部押圧部と、
前記先端部押圧部に連結され前記蓋体の移動に伴い移動可能な押圧部駆動部と、を備え、
前記押圧部駆動部は、前記蓋体が前記奥壁の方向へ移動するときに、水平方向に対して所定の角度をなす斜め上方向へ移動可能である基板収納容器。 - 前記蓋体は、前記下方押圧部が係合可能な押圧部被係合部を有し、前記容器本体開口部を閉塞するときに、前記押圧部被係合部が前記下方押圧部に係合して、前記下方押圧部に前記被収容物の上部を前記下壁の方向へ押圧させる請求項1に記載の基板収納容器。
- 前記蓋体の前記押圧部被係合部と、前記押圧部被係合部に係合する前記下方押圧部の駆動部係合部とは、互いに係合し合うフック形状を有している請求項2に記載の基板収納容器。
- 前記下方押圧部は、
前記被収容物の上部に当接して前記被収容物を前記下壁の方向へ押圧する先端部押圧部と、
前記先端部押圧部に連結され前記蓋体の移動に伴い移動可能な押圧部駆動部と、
前記蓋体が前記容器本体開口部を閉塞していないときに、前記先端部押圧部を被収容物から離間した状態とするように前記押圧部駆動部を付勢する付勢部材と、を備える請求項1に記載の基板収納容器。 - 前記先端部押圧部の上部が前記押圧部駆動部によって前記奥壁の方向へ押されることにより、前記先端部押圧部の下部は、前記奥壁側から容器本体開口部側へ移動し、前記被収容物の上部に当接し、前記被収容物の上部を前記下壁の方向へ押圧する請求項1~請求項4のいずれかに記載の基板収納容器。
- 前記壁部を構成する材料は、シクロオレフィンポリマーにより構成されている請求項1~請求項5のいずれかに記載の基板収納容器。
- 前記ポッド収容空間と前記容器本体の外部の空間とを連通可能な通気路を有する請求項1~請求項6のいずれかに記載の基板収納容器。
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