JP6400534B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
容器本体の内部両側に、基板を水平に支持する複数の支持片を対向させて設けるとともに、この複数の支持片を容器本体の上下方向に所定の間隔で配列し、
パージユニットを中空に形成し、このパージユニットを容器本体の内部後方に立て設けてその正面を容器本体の正面方向に向け、このパージユニットの正面にパーガス用の吹出口を設けるとともに、この吹出口から吹き出たパージガスを、基板の表裏両面のうち、少なくとも表面に沿わせて容器本体の正面方向に流すようにし、パージユニットの吹出口を、複数の支持片に支持された基板よりも高位に位置するよう設け、この吹出口を、複数の支持片に支持された基板の表面方向に2°〜60°の角度で傾斜させたことを特徴としている。
また、パージユニットは、容器本体の底部後方の給気部材に連通されるパージガス用の導通部材と、この導通部材の導出部から導出したパージガスを容器本体の正面方向に吹き出すユニット本体とを含み、導通部材の導出部を、ユニット本体に設け、ユニット本体の容器本体正面に対向する正面に、パージガス用の吹出口を設けることが可能である。
このような容器本体1は、蓋体開閉装置に位置決めして搭載され、開口した正面に蓋体11が圧入して嵌合された状態でパージされたり、EFEM(Equipment Front End Module)に併設された蓋体開閉装置に位置決めして搭載され、この蓋体開閉装置により正面からシール状態の蓋体11が取り外された後、正面が開口した状態でパージされたりする。
表面プレート13は、横長の正面矩形に形成され、補強用や取付用のリブ、螺子孔等が複数配設される。この表面プレート13の両側部には、施錠機構20用の操作孔がそれぞれ穿孔される。
2 底板
4 支持片
6 背面壁
7 取付孔
11 蓋体
20 施錠機構
30 給気バルブ(給気部材)
50 パージユニット
51 導通管
52 導出部
53 ユニット本体
54 正面壁(正面)
55 吹出口
56 メンブレンフィルタ
57 パージボックス
58 パージプレート(正面)
59 パージ空間
60 導通路
61 導出路
62 分岐路
63 吹出口
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (2)
- 複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の外部から内部後方にパージガスを供給可能な給気部材と、この給気部材からのパージガスを容器本体の内部後方から正面方向に供給可能なパージユニットとを備えた基板収納容器であって、
容器本体の内部両側に、基板を水平に支持する複数の支持片を対向させて設けるとともに、この複数の支持片を容器本体の上下方向に所定の間隔で配列し、
パージユニットを中空に形成し、このパージユニットを容器本体の内部後方に立て設けてその正面を容器本体の正面方向に向け、このパージユニットの正面にパーガス用の吹出口を設けるとともに、この吹出口から吹き出たパージガスを、基板の表裏両面のうち、少なくとも表面に沿わせて容器本体の正面方向に流すようにし、パージユニットの吹出口を、複数の支持片に支持された基板よりも高位に位置するよう設け、この吹出口を、複数の支持片に支持された基板の表面方向に2°〜60°の角度で傾斜させたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体の複数の支持片の配列数に応じ、パージユニットの正面高さ方向に複数の吹出口を並べ設けた請求項1記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015134892A JP6400534B2 (ja) | 2015-07-06 | 2015-07-06 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015134892A JP6400534B2 (ja) | 2015-07-06 | 2015-07-06 | 基板収納容器 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018165585A Division JP6695945B2 (ja) | 2018-09-05 | 2018-09-05 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017017264A JP2017017264A (ja) | 2017-01-19 |
JP6400534B2 true JP6400534B2 (ja) | 2018-10-03 |
Family
ID=57828208
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015134892A Active JP6400534B2 (ja) | 2015-07-06 | 2015-07-06 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6400534B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018203384A1 (ja) * | 2017-05-02 | 2018-11-08 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
JP7087357B2 (ja) * | 2017-11-28 | 2022-06-21 | Tdk株式会社 | ポッド及びパージ装置 |
CN112289718A (zh) * | 2019-07-13 | 2021-01-29 | 家登精密工业股份有限公司 | 基板载具及其气体扩散模块 |
KR20230036071A (ko) * | 2020-07-10 | 2023-03-14 | 미라이얼 가부시키가이샤 | 기판수납용기 |
CN111681977B (zh) * | 2020-07-15 | 2024-01-05 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 储片盒吹扫组件和储片盒装置 |
US20220384227A1 (en) * | 2021-05-27 | 2022-12-01 | Entegris, Inc. | Semiconductor substrate carrying container with increased diameter purge ports |
CN117581348A (zh) * | 2021-06-08 | 2024-02-20 | 恩特格里斯公司 | 晶片容器及清洁系统 |
WO2022269718A1 (ja) | 2021-06-21 | 2022-12-29 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3960787B2 (ja) * | 2001-11-30 | 2007-08-15 | 信越ポリマー株式会社 | 精密基板収納容器 |
JP5403555B2 (ja) * | 2010-03-09 | 2014-01-29 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器及びその搬送設備 |
-
2015
- 2015-07-06 JP JP2015134892A patent/JP6400534B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017017264A (ja) | 2017-01-19 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |