JP2018198332A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
Description
容器本体の内部両側に、基板を水平に支持する複数の支持片を対向させて設け、この複数の支持片を容器本体の上下方向に所定の間隔で配列し、
パージユニットを中空に形成し、このパージユニットを容器本体の内部後方に立て設けてその正面を容器本体の正面方向に向け、このパージユニットの正面にパーガス用の吹出口を設けるとともに、この吹出口を、容器本体の複数の支持片に水平に支持された基板と同じ高さに設けて基板の周縁部後方に対向させ、
パージユニットの吹出口から吹き出たパージガスを、基板の周縁部後方に衝突させて上下に分流し、この上下に分流したパージガスを基板の表裏両面に沿わせて容器本体の正面方向に流すようにしたことを特徴としている。
また、容器本体の複数の支持片の配列数に応じ、パージユニットの正面高さ方向に複数の吹出口を並べ設けることができる。
また、パージユニットの吹出口を、基板の周縁部後方の端面、あるいは基板の表面と周縁部後方の端面とが形成する角部付近に隙間を介して対向させることもできる。
請求項4記載の発明によれば、吹出口から吹き出た不活性ガスを、基板の周縁部後方の端面に衝突させて上下に分流したり、あるいは基板の表面と周縁部後方の端面とが形成する角部に衝突させて上下に分流することが可能となる。
このような容器本体1は、蓋体開閉装置に位置決めして搭載され、開口した正面に蓋体11が圧入して嵌合された状態でパージされたり、EFEM(Equipment Front End Module)に併設された蓋体開閉装置に位置決めして搭載され、この蓋体開閉装置により正面からシール状態の蓋体11が取り外された後、正面が開口した状態でパージされたりする。
表面プレート13は、横長の正面矩形に形成され、補強用や取付用のリブ、螺子孔等が複数配設される。この表面プレート13の両側部には、施錠機構20用の操作孔がそれぞれ穿孔される。
2 底板
4 支持片
6 背面壁
7 取付孔
11 蓋体
20 施錠機構
30 給気バルブ(給気部材)
50 パージユニット
51 導通管
52 導出部
53 ユニット本体
54 正面壁(正面)
55 吹出口
56 メンブレンフィルタ
57 パージボックス
58 パージプレート(正面)
59 パージ空間
60 導通路
61 導出路
62 分岐路
63 吹出口
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (5)
- 複数枚の基板を上下方向に並べて収納可能なフロントオープンボックスの容器本体と、この容器本体の外部から内部後方にパージガスを供給可能な給気部材と、この給気部材からのパージガスを容器本体の内部後方から正面方向に供給可能なパージユニットとを備えた基板収納容器であって、
容器本体の内部両側に、基板を水平に支持する複数の支持片を対向させて設け、この複数の支持片を容器本体の上下方向に所定の間隔で配列し、
パージユニットを中空に形成し、このパージユニットを容器本体の内部後方に立て設けてその正面を容器本体の正面方向に向け、このパージユニットの正面にパーガス用の吹出口を設けるとともに、この吹出口を、容器本体の複数の支持片に水平に支持された基板と同じ高さに設けて基板の周縁部後方に対向させ、
パージユニットの吹出口から吹き出たパージガスを、基板の周縁部後方に衝突させて上下に分流し、この上下に分流したパージガスを基板の表裏両面に沿わせて容器本体の正面方向に流すようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 基板をφ300mmあるいはφ450mmの半導体ウェーハとし、パージガスを不活性ガスあるいはドライエアとした請求項1記載の基板収納容器。
- 容器本体の複数の支持片の配列数に応じ、パージユニットの正面高さ方向に複数の吹出口を並べ設けた請求項1又は2記載の基板収納容器。
- パージユニットの吹出口を、基板の周縁部後方の端面、あるいは基板の表面と周縁部後方の端面とが形成する角部付近に隙間を介して対向させた請求項1、2、又は3記載の基板収納容器。
- パージユニットは、容器本体の底部後方の給気部材に連通されるパージガス用の導通部材と、この導通部材の導出部から導出したパージガスを容器本体の正面方向に吹き出す中空のユニット本体とを含み、導通部材の導出部をユニット本体に設け、ユニット本体を容器本体の背面壁の内面寄りに立て設けてユニット本体の正面を容器本体の正面方向に向け、このユニット本体の正面に、パージガス用の複数の吹出口を設けるとともに、吹出口を、容器本体の複数の支持片に水平に支持された基板と同じ高さに設けて基板の周縁部後方に対向させ、ユニット本体の内部正面に、濾過用のメンブレンフィルタを貼着した請求項1ないし4のいずれかに記載の基板収納容器。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110917875A (zh) * | 2019-11-28 | 2020-03-27 | 国家电投集团远达环保工程有限公司重庆科技分公司 | 防积灰烟气导流叶片、装置和方法 |
WO2023175743A1 (ja) * | 2022-03-15 | 2023-09-21 | 株式会社日立ハイテク | 真空処理装置 |
JP7458442B2 (ja) | 2021-06-30 | 2024-03-29 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | 基板容器システム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003168728A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器 |
US20040182472A1 (en) * | 2003-03-20 | 2004-09-23 | Ravinder Aggarwal | Front opening unified pod |
JP2011187712A (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器及びその搬送設備 |
JP2013513951A (ja) * | 2009-12-10 | 2013-04-22 | インテグリス・インコーポレーテッド | 微小環境中に均一に分布した浄化ガスを得るための多孔質バリア |
-
2018
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003168728A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 精密基板収納容器 |
US20040182472A1 (en) * | 2003-03-20 | 2004-09-23 | Ravinder Aggarwal | Front opening unified pod |
JP2013513951A (ja) * | 2009-12-10 | 2013-04-22 | インテグリス・インコーポレーテッド | 微小環境中に均一に分布した浄化ガスを得るための多孔質バリア |
JP2011187712A (ja) * | 2010-03-09 | 2011-09-22 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器及びその搬送設備 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110917875A (zh) * | 2019-11-28 | 2020-03-27 | 国家电投集团远达环保工程有限公司重庆科技分公司 | 防积灰烟气导流叶片、装置和方法 |
CN110917875B (zh) * | 2019-11-28 | 2021-08-27 | 国家电投集团远达环保工程有限公司重庆科技分公司 | 防积灰烟气导流叶片、装置和方法 |
JP7458442B2 (ja) | 2021-06-30 | 2024-03-29 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | 基板容器システム |
WO2023175743A1 (ja) * | 2022-03-15 | 2023-09-21 | 株式会社日立ハイテク | 真空処理装置 |
JP7512520B2 (ja) | 2022-03-15 | 2024-07-08 | 株式会社日立ハイテク | 真空処理装置 |
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