TWI827982B - 基板收納容器及其製造方法以及過濾器部 - Google Patents

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Abstract

一種基板收納容器及其製造方法以及過濾器部。基板收納容器包含過濾器部，過濾器部具有形成氣道的殼體和過濾器，殼體包含外側殼體部和內側殼體部，內側殼體部的至少一部分配置於外側殼體部的內側，並緊固於外側殼體部，內側殼體部在配置於外側殼體部的內側的部位具有外螺紋部，外側殼體部具有與外螺紋部嚙合的內螺紋部，內側殼體部在配置於外側殼體部的內側的部位且是不存在外螺紋部的部位具有第1卡合部，外側殼體部在不存在內螺紋部的部位具有與第1卡合部卡合的第2卡合部，在內側殼體部與外側殼體部的緊固中，第1卡合部和第2卡合部構成為能夠視覺識別。

Description

基板收納容器及其製造方法以及過濾器部
本發明係關於一種在對由半導體晶片等構成的基板進行收納、保管、搬運、輸送等時使用的基板收納容器及其製造方法以及設置於所述基板收納容器的過濾器部。
作為用於收納由半導體晶片構成的基板並在工廠內的製程中搬運基板的基板收納容器，以往已知有包含容器主體和蓋體的結構的基板收納容器。
容器主體的一端部具有形成有容器主體開口部的開口周緣部。容器主體的另一端部具有封閉的筒狀的壁部。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間透過被壁部包圍而形成，能夠收納基板。蓋體能夠相對於開口周緣部拆裝，能夠將容器主體開口部封閉。側方基板支承部以在基板收納空間內成對的方式設置於壁部。側方基板支承部在容器主體開口部未被蓋體封閉時，能夠在使鄰接的基板彼此以規定的間隔分離而排列的狀態下支承基板的邊緣部。
在蓋體的一部分且封閉容器主體開口部時與基板收納空間相對設置的部分設置有前部保持構件(front retainer)。在透過蓋體封閉容器主體開口部時，前部保持構件能夠支承基板的邊緣部。另外，裡側基板支承部以與前部保持構件成對的方式設置於壁部。裡側基板支承部能夠支承基板的邊緣部。在透過蓋體封閉容器主體開口部時，裡側基板支承部與前部保持構件協作來支承基板，從而在使鄰接的基板彼此以規定的間隔分離而排列的狀態下保持基板。
有時基板收納容器包含過濾器部，該過濾器部具有能夠將基板收納空間與容器主體的外部的空間連通的氣道、配置於氣道的過濾器以及形成氣道的殼體，該過濾器部配置於容器主體，能夠使氣體經過過濾器而在容器主體的外部的空間與基板收納空間之間通過(例如參照專利文獻1以及專利文獻2)。例如，所述殼體包含外側殼體部和內側殼體部，該內側殼體部的至少一部分配置於外側殼體部的內側，並且緊固於外側殼體部。內側殼體部在配置於外側殼體部的內側的部位具有外螺紋部，外側殼體部具有與外螺紋部嚙合的內螺紋部。內側殼體部與外側殼體部設定規定的緊固扭矩，透過扭矩扳手緊固。
專利文獻1：日本專利4859065號公報
專利文獻2：日本專利4204302號公報
但是，有時僅透過緊固扭矩的管理無法實現正常的緊固。例如，在擰緊過程中，由於某些不良情況(例如，扭矩扳手的設定扭矩被錯誤地設定得較低的情況、內側殼體部的一部分部位咬住內側殼體部的一部分部位的情況)而無法完成緊固至正常的緊固位置。另外，雖然暫時配置於正常的緊固位置，但是由於某些情況(例如，內側殼體部或者外側殼體部中的一方意外地向鬆動方向旋轉的情況)，有時會鬆開。在這樣的情況下，難以確認是否是正常的緊固位置。
本發明在於提供一種基板收納容器，包含過濾器部，該過濾器部具有能夠將基板收納空間與容器主體的外部的空間連通的氣道、配置於氣道的過濾器以及形成氣道的殼體，在所述殼體具備外側殼體部、以及至少一部分配置於外側殼體部的內側且緊固於外側殼體部的內側殼體部的情況下，能夠容易地確認是否是正常的緊固位置。另外，本發明提供製造所述基板收納容器的基板收納容器的製造方法、以及設置於所述基板收納容器的所述過濾器部。
本發明之一實施例所揭露之基板收納容器包含：容器主體，具有筒狀的壁部，該壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周緣部且另一端部被封閉，利用所述壁部的內表面形成能夠收納基板且與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，能夠相對於所述開口周緣部拆裝，能夠以被所述開口周緣部包圍的位置關係封閉所述容器主體開口部；密封部件，安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體以及所述開口周緣部抵接，透過夾設在所述開口周緣部與所述蓋體之間而與所述開口周緣部以及所述蓋體緊貼地抵接，從而與所述蓋體一起封閉所述容器主體開口部；以及過濾器部，具有能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的氣道、配置於所述氣道的過濾器以及形成所述氣道的殼體，該過濾器部配置於所述容器主體，能夠使氣體經過所述過濾器而在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過，所述殼體包含外側殼體部和內側殼體部，該內側殼體部緊固於所述外側殼體部，該內側殼體部的至少一部分在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側，所述內側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側的部位具有外螺紋部，所述外側殼體部具有與所述外螺紋部嚙合的內螺紋部，所述內側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側的部位且是不存在所述外螺紋部的部位具有第1卡合部，所述外側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下在所述外側殼體部的內側的不存在所述內螺紋部的部位具有與所述第1卡合部卡合的第2卡合部，在所述內側殼體部與所述外側殼體部的緊固中，所述第1卡合部與所述第2卡合部構成為能夠視覺識別。
另外，優選為，所述外側殼體部構成為，在包括所述第2卡合部的範圍且是所述內螺紋部的繞旋轉軸的周狀的範圍內，能夠視覺識別所述第1卡合部和所述第2卡合部。
本發明之一實施例所揭露之基板收納容器的製造方法，製造所述基板收納容器，所述殼體還包含以夾著所述過濾器的狀態接合在所述內側殼體部中的所述基板收納空間側的內側構件，在將所述內側殼體部固定的狀態下，透過使所述外側殼體部旋轉，進行所述內側殼體部與所述外側殼體部的緊固。
本發明之一實施例所揭露之過濾器部，配置於基板收納容器的容器主體，所述基板收納容器包含：所述容器主體，包含筒狀的壁部，該壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周緣部且另一端部被封閉，利用所述壁部的內表面形成能夠收納基板且與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，能夠相對於所述開口周緣部拆裝，能夠以被所述開口周緣部包圍的位置關係封閉所述容器主體開口部；以及密封部件，安裝於所述蓋體，能夠與所述蓋體以及所述開口周緣部抵接，透過夾設在所述開口周緣部與所述蓋體之間而與所述開口周緣部以及所述蓋體緊貼地抵接，從而與所述蓋體一起封閉所述容器主體開口部，所述過濾器部具有配置於能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的氣道的過濾器以及形成所述氣道的殼體，該過濾器部配置於所述容器主體，能夠使氣體經過所述過濾器而在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過，所述殼體包含外側殼體部和內側殼體部，該內側殼體部緊固於所述外側殼體部，該內側殼體部的至少一部分在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側，所述內側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側的部位具有外螺紋部，所述外側殼體部具有與所述外螺紋部嚙合的內螺紋部，所述內側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側的部位且是不存在所述外螺紋部的部位具有第1卡合部，所述外側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下在所述外側殼體部的內側的不存在所述內螺紋部的部位具有與所述第1卡合部卡合的第2卡合部，在所述內側殼體部與所述外側殼體部的緊固中，所述第1卡合部與所述第2卡合部構成為能夠視覺識別。
另外，優選為，所述外側殼體部構成為，在包括所述第2卡合部的範圍且是所述內螺紋部的繞旋轉軸的周狀的範圍內，能夠視覺識別所述第1卡合部和所述第2卡合部。
根據上述實施例所揭露的基板收納容器，包含過濾器部，該過濾器部具有能夠將基板收納空間與容器主體的外部的空間連通的氣道、配置於氣道的過濾器以及形成氣道的殼體，其中，在所述殼體具備外側殼體部、以及至少一部分配置於外側殼體部的內側且緊固於外側殼體部的內側殼體部的情況下，能夠容易地確認是否是正常的緊固位置。另外，本發明提供製造所述基板收納容器的基板收納容器的製造方法、以及所述過濾器部。
以上關於本發明內容的說明及以下實施方式的說明係用以示範與解釋本發明的原理，並且提供本發明的專利申請範圍更進一步的解釋。
以下在實施方式中詳細敘述本發明之實施例之詳細特徵以及優點，其內容足以使任何本領域中具通常知識者瞭解本發明之實施例之技術內容並據以實施，且根據本說明書所揭露之內容、申請專利範圍及圖式，任何本領域中具通常知識者可輕易地理解本發明相關之目的及優點。以下之實施例係進一步詳細說明本發明之觀點，但非以任何觀點限制本發明之範疇。
[基板收納容器1的整體構成]
以下，參照圖式對本實施方式的基板收納容器1進行說明。
圖1是表示在基板收納容器1中收納有多個基板W的樣子的分解立體圖。圖2是表示基板收納容器1的容器主體2的俯視立體圖。圖3是表示基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。圖4是以圖3的A-A線剖切的容器主體2的側方剖視圖。
此處，為了便於說明，將從後述的容器主體2朝向蓋體3的方向(圖1中的從右上朝向左下的方向)定義為前方向D11，將與其相反的方向定義為後方向D12，將它們合起來定義為前後方向D1。另外，將從後述的下壁24朝向上壁23的方向(圖1中的上方)定義為上方向D21，將與其相反的方向定義為下方向D22，將它們合起來定義為上下方向D2。另外，將從後述的第2側壁26朝向第1側壁25的方向(圖1中的從右下朝向左上的方向)定義為左方向D31，將與其相反的方向定義為右方向D32，將它們合起來定義為左右方向D3。在主要的圖式中繪示了表示這些方向的箭頭。
另外，收納於基板收納容器1的基板W(參照圖1)是圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片、藍寶晶片等，是在工業上使用的薄基板。本實施方式中的基板W是直徑300mm的矽晶片。
如圖1~圖4所示，基板收納容器1收納由上述的矽晶片構成的基板W，用作在工廠內的工序中搬運的工序內容器，或者用作用於提供陸運方式、空運方式、海運方式等輸送方式輸送基板的發貨容器，包括容器主體2以及蓋體3。容器主體2包含作為側方基板支承部的基板支承板狀部5以及裡側基板支承部6。蓋體3包含作為蓋體側基板支承部的未繪示的前部保持構件。
容器主體2具有在一端部形成有容器主體開口部21且另一端部被封閉的筒狀的壁部20。在容器主體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27透過由壁部20包圍而形成。在壁部20的一部分且形成基板收納空間27的部分配置有基板支承板狀部5。如圖1所示，在基板收納空間27中能夠收納多個基板W。
基板支承板狀部5在基板收納空間27內成對地設置於壁部20。基板支承板狀部5透過與多個基板W的邊緣部抵接，能夠在使鄰接的基板W彼此以規定的間隔分離而排列的狀態下支承多個基板W的邊緣部。在基板支承板狀部5的裡側，與基板支承板狀部5一體成形地設置有裡側基板支承部6。
裡側基板支承部6在基板收納空間27內以與後述的未繪示的前部保持構件成對的方式設置於壁部20。裡側基板支承部6透過與多個基板W的邊緣部抵接，從而能夠支承多個基板W的邊緣部的後部。
蓋體3能夠相對於形成容器主體開口部21的開口周緣部28拆裝，並能夠將容器主體開口部21封閉。未繪示的前部保持構件設置於蓋體3的一部分且在透過蓋體3封閉容器主體開口部21時與基板收納空間27相對設置的部分。前部保持構件在基板收納空間27的內部以與裡側基板支承部6成對的方式配置。
在透過蓋體3封閉容器主體開口部21時，前部保持構件與多個基板W的邊緣部抵接，由此能夠支承多個基板W的邊緣部的前部。在透過蓋體3封閉容器主體開口部21時，前部保持構件與裡側基板支承部6共同支承多個基板W，由此能夠在使鄰接的基板W彼此以規定的間隔分離而排列的狀態下保持多個基板W。
基板收納容器1由塑膠材料等樹脂構成，在不存在特別說明的情況下，作為其材料的樹脂，例如可以舉出如聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物這樣的熱塑性樹脂及它們的合金等。在對這些成形材料的樹脂賦予導電性的情況下，向這些成形材料的樹脂中選擇性地添加碳纖維、碳粉、碳奈米管、導電性聚合物等導電性物質。另外，為了提高剛性，也可以添加玻璃纖維、碳纖維等。
[容器主體2]
以下，對各部詳細地進行說明。如圖1~圖4所示，容器主體2的壁部20具有後壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25以及第2側壁26。後壁22、上壁23、下壁24、第1側壁25以及第2側壁26由上述的材料構成，並且一體成形地構成。
第1側壁25與第2側壁26相對設置，上壁23與下壁24相對設置。上壁23的後端、下壁24的後端、第1側壁25的後端以及第2側壁26的後端全部與後壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第1側壁25的前端以及第2側壁26的前端構成開口周緣部28，所述開口周緣部28形成呈大致長方形狀的容器主體開口部21。
開口周緣部28設置於容器主體2的一端部，後壁22位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱形。壁部20的內表面、即後壁22的內表面、上壁23的內表面、下壁24的內表面、第1側壁25的內表面以及第2側壁26的內表面形成由它們包圍而成的基板收納空間27。形成於開口周緣部28的容器主體開口部21與由壁部20包圍且形成於容器主體2的內部的基板收納空間27連通。在基板收納空間27中最多能夠收納25張基板W。
在上壁23以及下壁24的一部分且是開口周緣部28的附近的部分，形成有朝向基板收納空間27的外側而凹陷的閂鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B。閂鎖卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23以及下壁24的左右兩端部附近分別各形成有1個，合計形成有4個。
在上壁23的外表面，與上壁23一體成形地設置有肋235。肋235提高容器主體2的剛性。另外，在上壁23的中央部固定有頂部凸緣236。頂部凸緣236是在AMHS(自動晶片搬運系統)、PGV(晶片基板搬運台車)等中懸吊基板收納容器1時成為在基板收納容器1中被勾掛而懸吊的部分的部件。
在下壁24固定有底板244。底板244具有與構成下壁24的外表面的下表面的大致整個面對置配置的大致長方形狀的板狀，固定於下壁24。
在下壁24的四個角附近形成有兩種貫通孔即供氣孔242和排氣孔243。在本實施方式中，下壁24的前部的2處貫通孔是用於排出容器主體2的內部的氣體的排氣孔243，後部的2處貫通孔是用於向容器主體2的內部供給氣體的供氣孔242。
在作為供氣孔242的貫通孔配置有作為附加構件的供氣用過濾器部80，在作為排氣孔243的貫通孔配置有排氣用過濾器部90。即，供氣用過濾器部80以及排氣用過濾器部90的內部的氣體的流道構成能夠將基板收納空間27與容器主體2的外部的空間連通的氣道的一部分。另外，供氣用過濾器部80和排氣用過濾器部90配置於壁部20，在供氣用過濾器部80和排氣用過濾器部90中，氣體能夠在容器主體2的外部的空間與基板收納空間27之間通過。供氣用過濾器部80構成為：與氣體噴出噴嘴部8的內部空間連通，經過氣體噴出噴嘴部8的內部空間供給到供氣用過濾器部80的吹掃氣體被朝向基板收納空間27供給。
[排氣用過濾器部90]
對排氣用過濾器部90詳細進行說明。圖5是表示本發明的實施方式所涉及的基板收納容器1的排氣用過濾器部90的側方剖視圖。圖6是表示本發明的實施方式所涉及的基板收納容器1的排氣用過濾器部90的下方立體圖。圖7是表示本發明的實施方式所涉及的基板收納容器1的排氣用過濾器部90的分解立體圖。圖8是表示排氣用過濾器部90的內側殼體部92的下方立體圖。圖9是表示排氣用過濾器部90的內側殼體部92的側視圖。圖10是表示排氣用過濾器部90的外側殼體部94的俯視圖。圖11是表示以圖10的B-B線剖切的外側殼體部94的側方剖視圖。圖12是針對排氣用過濾器部90表示內側殼體部92與外側殼體部94在周向上的第1位置關係的局部透視側視圖。圖13是針對排氣用過濾器部90表示內側殼體部92與外側殼體部94在周向上的第2位置關係的局部透視側視圖。
如圖5~圖11所示，排氣用過濾器部90具有作為內側構件的內側開口形成部91、內側殼體部92、噴嘴部93、外側殼體部94、過濾器95以及O形環99。這些部件由分別透過單獨獨立的構件構成的分體構成。另外，透過由內側開口形成部91、內側殼體部92、噴嘴部93以及外側殼體部94構成的過濾器部殼體形成能夠將基板收納空間27與容器主體2的外部的空間連通的氣道901。在排氣用過濾器部90中，能夠使氣體經由過濾器95從基板收納空間27朝向容器主體2的外部的空間通過。
如圖7所示，內側開口形成部91具有圓盤形狀。如圖5所示，內側開口形成部91的中央部分具有朝向上方向D21突出的圓形狀突出部911。內側開口形成部91的周緣的部分具有平板狀的環狀周緣部912。如圖7所示，在圓形狀突出部911，從圓形狀突出部911的中心呈放射狀地形成有多個貫通孔906。多個貫通孔906沿著上下方向D2貫通，構成氣道901的一部分。在環狀周緣部912的下表面形成有凹部915。
如圖5~圖9所示，內側殼體部92具有外側筒狀部921、端部凸緣部922、端部板狀部923以及內側筒狀部926。外側筒狀部921具有圓筒形狀，在外側筒狀部921的上端部一體成形地連接有圓盤形狀的端部板狀部923。內側殼體部92在配置於外側殼體部94的內側的部位具有外螺紋部929。詳細地說，在外側筒狀部921的側面(外周面)螺刻有外螺紋部929。內側殼體部92的至少一部分(包括外螺紋部929的部分)配置於外側殼體部94的內側，緊固於外側殼體部94。
在外側筒狀部921的側面的部分且是比外螺紋部929靠上方的部分與外側筒狀部921一體成形地設置有小凸緣部924。端部凸緣部922在比存在小凸緣部924的外側筒狀部921的部分靠上方的外側筒狀部921的上端部與外側筒狀部921一體成形地設置。端部凸緣部922具有朝向上方向D21延伸的突部925。透過將突部925與內側開口形成部91中形成有凹部915的環狀周緣部912的部分熔接，從而將端部凸緣部922固定於環狀周緣部912。也就是說，內側開口形成部91在內側殼體部92中的基板收納空間27側以夾著過濾器95的狀態接合。由此，內側殼體部92以與內側開口形成部91同軸的位置關係與內側開口形成部91連接。另外，接合方法並不限定於熔接，例如也可以是黏接。
如圖8~圖13所示，內側殼體部92在配置於外側殼體部94的內側的部位且是不存在外螺紋部929的部位(例如，從徑向觀察不重疊的部位)具有多個第1卡合部928。第1卡合部928從外側筒狀部921的下端部向下側突出，在周向上分離設置。在本實施方式中，第1卡合部928以大致相等間隔設置有兩個。第1卡合部928具有如下形狀：在向緊固方向移動的情況下容易越過外側殼體部94的第2卡合部948(後述)，但在向鬆動方向移動的情況下難以越過外側殼體部94的第2卡合部948。
內側筒狀部926配置於外側筒狀部921的徑向內側，從端部板狀部923向下延伸，並向比外側筒狀部921的下端部靠下側的位置延伸。內側筒狀部926在由外側殼體部94的筒狀部941(後述)的內周面形成的空間內，以與外側殼體部94的筒狀部941同軸的位置關係配置。內側筒狀部926以及外側筒狀部921形成雙層筒，內側筒狀部926的外側的空間且是外側筒狀部921的內側的空間形成沿著上下方向D2延伸的環狀空間927。
內側筒狀部926的內側的空間904與貫通孔906連通，另一方面，內側筒狀部926的外側的空間且是外側筒狀部921的內側的空間不與貫通孔906連通。因此，內側筒狀部926的內側的空間904構成氣道901的一部分。
過濾器95具有圓盤形狀。過濾器95的周緣部以被內側殼體部92的端部凸緣部922和內側開口形成部91的環狀周緣部912夾持的位置關係相對於端部凸緣部922以及環狀周緣部912固定。由此，過濾器95配置於氣道901。過濾器95阻止顆粒等通過內側開口形成部91的貫通孔906。
如圖5~圖7所示，噴嘴部93具有筒狀部931和外部突出部932。筒狀部931具有圓筒形狀。筒狀部931的下部與底部934一體成形地連接，底部934和外部突出部932透過一體成形而連接。筒狀部931配置成嵌入於內側殼體部92的環狀空間927。筒狀部931的上部的外徑比內側殼體部92的外側筒狀部921的內徑稍小。
外部突出部932具有軸向的長度短的圓筒形狀。外部突出部932的外徑、內徑分別比筒狀部931的外徑、內徑小。在外部突出部932的中央形成有圓柱形狀的貫通孔，該貫通孔構成外部空間側開口903。外部空間側開口903的內徑比內側筒狀部926的下端側的外徑稍大。
在噴嘴部93的一部分且是外部空間側開口903的周圍的部分、即外部突出部932的下端部向氣道901在外部空間側開口903開口的方向亦即下方向D22突出。
噴嘴部93能夠使用例如聚對苯二甲酸丁二醇酯及聚乙烯等樹脂、聚乙烯彈性體及聚烯烴彈性體等彈性體、矽橡膠及氟橡膠等橡膠材料。
如圖5~圖7、圖10、圖11所示，外側殼體部94具有筒狀部941和端部內側突出部942。筒狀部941具有圓筒形狀。筒狀部941的內徑比內側殼體部92的外側筒狀部921的外徑大。由此，內側殼體部92在由外側殼體部94的筒狀部941的內周面形成的空間內以與外側殼體部94的筒狀部941同軸的位置關係配置。
外側殼體部94具有與內側殼體部92的外螺紋部929嚙合的內螺紋部949。詳細地說，在筒狀部941的內周面螺刻有內螺紋部949。內側殼體部92的外側筒狀部921的外螺紋部929與內螺紋部949螺合。由此，外側殼體部94緊固於內側殼體部92而被固定。端部內側突出部942與筒狀部941的下端部一體成形地設置。端部內側突出部942從筒狀部941的下端部向筒狀部941的半徑向內側突出，具有環狀的板狀。在端部內側突出部942的中央形成有圓柱形狀的貫通孔，該貫通孔構成外部空間側開口902。在內側殼體部92與外側殼體部94的緊固完成狀態下，噴嘴部93以及內側殼體部92的內側筒狀部926從外部空間側開口902向下突出。另外，設置有從端部內側突出部942朝向下側突出的肋部946。肋部946在筒狀部941的周向上等間隔地形成有3個。
外側殼體部94在不存在內螺紋部949的部位(例如，從徑向觀察不重疊的部位)具有多個與內側殼體部92的第1卡合部928卡合的第2卡合部948。第2卡合部948在端部內側突出部942的內表面(上表面)以向上側突出的方式設置，在周向上分離。在本實施方式中，第2卡合部948在周向上大致等間隔地設置有6個。
內側殼體部92與下壁24的固定經由裝配於在內側殼體部92的側面形成的槽(在端部凸緣部922與小凸緣部924之間形成的槽)的O形環99進行(參照圖16)。當朝下壁24固定內側殼體部92時，在內側殼體部92與下壁24之間使用O形環99，下壁24與噴嘴部93之間被密封。
在排氣用過濾器部90中，透過構成過濾器部殼體的內側開口形成部91、內側殼體部92、噴嘴部93以及外側殼體部94形成氣道901。更具體而言，氣道901從內側開口形成部91的貫通孔906連接到內側殼體部92的內側筒狀部926的內側的空間904，連接至噴嘴部93的外部空間側開口903、外側殼體部94的外部空間側開口902。
[第1卡合部928與第2卡合部948的卡合以及視覺識別]
接下來，對內側殼體部92的第1卡合部928與外側殼體部94的第2卡合部948的卡合以及視覺識別進行說明。內側殼體部92和外側殼體部94透過以下的行為而緊固。內側殼體部92與外側殼體部94的緊固行為取決於兩部分的相對移動，但是，此處，對內側殼體部92被固定而外側殼體部94相對於內側殼體部92移動的情況進行說明。
在內側殼體部92的內側筒狀部926中外插噴嘴部93。詳細地說，在環狀空間927中插入噴嘴部93的筒狀部931，其中，環狀空間927是內側殼體部92的內側筒狀部926的外側的空間且是外側筒狀部921的內側的空間。在該狀態下的內側殼體部92緊固外側殼體部94。詳細地說，使外側殼體部94的內螺紋部949與內側殼體部92的外螺紋部929螺合。如果逐漸螺合，則外側殼體部94一邊朝上方向D21移動而接近內側殼體部92，一邊以上下方向D2為旋轉軸而旋轉，因此，外側殼體部94的第2卡合部948相對於內側殼體部92的第1卡合部928沿著上下方向D2接近，並在周向(旋轉方向)上抵靠。
在抵靠後，如果繼續使外側殼體部94旋轉，則第2卡合部948依次越過第1卡合部928。如果越過，則第1卡合部928與第2卡合部948能夠卡合。外側殼體部94的緊固扭矩量被管理(設定)，因此，第2卡合部948反覆越過第1卡合部928直至成為不超過設定的規定的扭矩量的範圍的最大扭矩量。然後，發生了最後的越過的第1卡合部928與第2卡合部948的位置關係成為規定的正常緊固(完成)位置=卡合完成位置(實現了牢固的卡合的位置)。
此處，例如如圖10以及圖12所示，一方的第1卡合部928A配置於在周向上鄰接的第2卡合部948B(上游側)與第2卡合部948C(下游側)之間的狀態是正常(合適的)緊固(完成)位置。在擰緊過程中，由於某些不良情況(例如，扭矩扳手的設定扭矩被錯誤地設定得較低的情況、第1卡合部928A咬住上游側的第2卡合部948B的情況)，有時第1卡合部928A不配置在第2卡合部948B與第2卡合部948C之間(不成為正常的緊固位置)。另外，雖然第1卡合部928A暫時配置在第2卡合部948B與第2卡合部948C之間(暫時成為正常的緊固位置)，但是由於某些情況(例如，外側殼體部94意外地向鬆動方向旋轉的情況)，如圖13所示，有時第1卡合部928A配置在第2卡合部948B與其上游側的第2卡合部948A之間(從正常的緊固位置偏離)。另外，在圖12以及圖13中，外側殼體部94用雙點劃線(假想線)表示。但是，難以確認是否是正常的緊固位置。
在本實施方式中，在內側殼體部92與外側殼體部94的緊固中，第1卡合部928與第2卡合部948構成為能夠視覺識別。詳細地說，構成為：外側殼體部94在包括第2卡合部948的範圍且是內螺紋部949的繞旋轉軸的周狀的範圍內，能夠視覺識別第1卡合部928和第2卡合部948。
例如，如果外側殼體部94不透明，則無法從外側殼體部94的外側目視確認其內側，因此無法視覺識別第1卡合部928和第2卡合部948。另外，如果內側殼體部92以及外側殼體部94的雙方透明且顏色以及透明度相同，則難以視覺識別第1卡合部928和第2卡合部948。
與此相對，在本發明的實施方式中，外側殼體部94的筒狀部941是透明或者半透明的。外側殼體部94的第2卡合部948相對於透明或者半透明的筒狀部941而言是有色的，或者透明度低，因而能夠視覺識別。另外，內側殼體部92的第1卡合部928相對於外側殼體部94的第2卡合部948而言顏色(紅色、綠色、藍色等)、透明度不同，因此能夠容易地視覺識別。
[供氣用過濾器部80]
供氣用過濾器部80能夠使氣體經由過濾器(未繪示)從容器主體2的外部的空間向基板收納空間27通過。供氣用過濾器部80與排氣用過濾器部90相比將排氣用的構成變更成吸氣用的構成，基本的構成是相同的。因此，省略具體的說明。
[基板支承板狀部5]
如圖2等所示，基板支承板狀部5分別設置於第1側壁25以及第2側壁26，以沿著左右方向D3成對的方式在基板收納空間27內設置於容器主體2。具體而言，如圖4等所示，基板支承板狀部5具有板部51。
板部51具有板狀的大致弧形狀。板部51在第1側壁25、第2側壁26分別在上下方向D2上各設置有25張合計50張。鄰接的板部51在上下方向D2上以10mm~12mm間隔相互分離並以平行的位置關係配置。
另外，設置於第1側壁25的25張板部51與設置於第2側壁26的25張板部51具有相互在左右方向D3上相對設置的位置關係。在板部51的上表面設置有凸部。被板部51支承的基板W僅與凸部的突出端接觸，不以面與板部51接觸。
這樣的構成的基板支承板狀部5能夠以將多個基板W中的鄰接的基板W彼此以規定的間隔分離的狀態且相互平行的位置關係的狀態，支承多個基板W的邊緣部。
[裡側基板支承部6]
如圖4所示，裡側基板支承部6具有裡側端緣支承部60。裡側端緣支承部60在基板支承板狀部5的板部51的後端部與容器主體2一體成形地構成。
裡側端緣支承部60設置有與在基板收納空間27中能夠收納的每一張基板W對應的個數、具體而言設置有25個。配置於第1側壁25以及第2側壁26的裡側端緣支承部60在前後方向D1上具有與後述的前部保持構件成對的位置關係。在基板收納空間27內收納基板W，透過將蓋體3關閉，從而裡側端緣支承部60支承基板W的邊緣部的端緣。
[蓋體3]
如圖1所示，蓋體3具有與容器主體2的開口周緣部28的形狀大致一致的大致長方形狀。蓋體3能夠相對於容器主體2的開口周緣部28拆裝，透過在開口周緣部28裝配蓋體3，蓋體3能夠以被開口周緣部28包圍的位置關係封閉容器主體開口部21。
在蓋體3的內表面(圖1所示的蓋體3的裡側的面)、且是與在蓋體3封閉容器主體開口部21時形成於開口周緣部28的緊靠後方向D12的位置的臺階的部分的面(密封面281)相對設置的面，以環繞蓋體3的外周邊緣部一周的方式安裝有環狀的密封部件4。密封部件4以環繞蓋體3一周的方式配置。密封部件4是能夠彈性變形的聚酯系、聚烯烴系等各種熱塑性彈性體、氟橡膠製、矽橡膠製等。
在將蓋體3裝配於開口周緣部28時，密封部件4被容器主體2的密封件面281(參照圖1)和蓋體3的內表面夾持而彈性變形。即，透過在蓋體3與容器主體2之間夾設密封部件4，在蓋體3與開口周緣部28相互不抵接而分離的狀態下，蓋體3能夠封閉容器主體開口部21。透過從開口周緣部28卸下蓋體3，能夠相對於容器主體2內的基板收納空間27取出或放入基板W。
在蓋體3中設置有閂鎖機構。閂鎖機構設置在蓋體3的左右兩端部附近，如圖1所示，具備能夠從蓋體3的上邊向上方突出的兩個上側閂鎖部32A、32A以及能夠從蓋體3的下邊向下方突出的兩個下側閂鎖部32B、32B。另外，針對下側閂鎖部32B、32B，在圖1中將蓋體3的一部分剖開來表示。兩個上側閂鎖部32A、32A配置於蓋體3的上邊的左右兩端附近，兩個下側閂鎖部32B、32B配置於蓋體3的下邊的左右兩端附近。
在蓋體3的外表面設置有操作部33。透過從蓋體3的前側對操作部33進行操作，能夠使上側閂鎖部32A、32A、下側閂鎖部32B、32B從蓋體3的上邊、下邊突出，另外，能夠設為不從上邊、下邊突出的狀態。上側閂鎖部32A、32A從蓋體3的上邊向上方突出而與容器主體2的閂鎖卡合凹部231A、231B卡合，並且下側閂鎖部32B、32B從蓋體3的下邊向下方突出而與容器主體2的閂鎖卡合凹部241A、241B卡合，從而蓋體3固定於容器主體2的容器主體開口部21。
在蓋體3的內側(圖1中的蓋體3的後方向D12側)，形成有朝向基板收納空間27的外方(前方向D11)凹陷的凹部(未繪示)。在凹部(未繪示)固定設置有前部保持構件(未繪示)。
前部保持構件(未繪示)具有前部保持構件基板承接部(未繪示)。前部保持構件基板承接部(未繪示)在左右方向上以規定的間隔分離而成對地各配置兩個。這樣成對地各配置兩個的前部保持構件基板承接部以在上下方向上排列25對的狀態設置。透過在基板收納空間27內收納基板W，並將蓋體3關閉，從而前部保持構件基板承接部支承基板W的邊緣部的端緣。
[基板收納容器1的製造方法]
接下來，對本發明的製造方法的實施方式進行說明。圖14是表示以往的製造方法的局部主視剖視圖。圖15是表示本發明的製造方法的實施方式的俯視立體圖。圖16是以圖15的C-C線剖切的剖視圖。
在對本發明的製造方法的實施方式進行說明之前，先對以往的製造方法進行說明。在圖14~圖16中，容器主體2以使下方向D22朝上而上方向D21朝下的方式表示。
如圖14所示，在以往的製造方法中，透過固定夾具J101從上方向D21側固定與內側殼體部92接合的內側開口形成部91。在該狀態下，透過扭矩扳手J103經由緊固夾具J102緊固外側殼體部94，從而進行外側殼體部94相對於內側殼體部92的緊固。在這樣的緊固方法中，有時對內側殼體部92與內側開口形成部91的接合(熔接)部位施加負載，接合部位被破壞而無法完成緊固。
與此相對，在本發明的製造方法的實施方式中，透過在將內側殼體部92固定的狀態下使外側殼體部94旋轉，從而進行內側殼體部92與外側殼體部94的緊固。因此，能夠不對內側殼體部92與內側開口形成部91的接合部位施加負載，而進行外側殼體部94相對於內側殼體部92的緊固。詳細地說，如圖15、圖16所示，透過固定夾具J1從下方向D22側固定內側殼體部92。在該狀態下，透過扭矩扳手J3經由緊固夾具J2緊固外側殼體部94，進行外側殼體部94相對於內側殼體部92的緊固。在該緊固方法中，由於不對內側殼體部92與內側開口形成部91的接合部位施加負載，因此接合部位不會被破壞。另外，加強夾具J4是用於在緊固時不對外側殼體部94施加必要以上的負載的夾具。
[實施方式的效果]
根據上述構成的本實施方式所涉及的基板收納容器1，能夠獲得以下效果。
本實施方式所涉及的基板收納容器1具備：外側殼體部94；以及內側殼體部92，緊固於外側殼體部94，至少一部分在外側殼體部94與內側殼體部92的緊固狀態下配置於外側殼體部94的內側。內側殼體部92在外側殼體部94與內側殼體部92的緊固狀態下配置於外側殼體部94的內側的部位具有外螺紋部929。外側殼體部94具有與外螺紋部929嚙合的內螺紋部949。內側殼體部92在在外側殼體部94與內側殼體部92的緊固狀態下配置於外側殼體部94的內側的部位且是不存在外螺紋部929的部位具有第1卡合部928。外側殼體部94在外側殼體部94與內側殼體部92的緊固狀態下在外側殼體部94的內側的不存在內螺紋部949的部位具有與第1卡合部928卡合的第2卡合部948。在內側殼體部92與外側殼體部94的緊固中，第1卡合部928與第2卡合部948構成為能夠視覺識別。
因此，根據本實施方式所涉及的基板收納容器1，不會因內側殼體部92的外螺紋部929以及外側殼體部94的內螺紋部949的存在而被妨礙，在內側殼體部92與外側殼體部94的緊固中，能夠視覺識別第1卡合部928和第2卡合部948。因此，能夠容易地確認(掌握)第1卡合部928與第2卡合部948未以正常的位置關係配置(未配置於正常的緊固完成位置)而無法進行正常的緊固的情況。
另外，在本實施方式中，外側殼體部94構成為：在包括第2卡合部948的範圍且是內螺紋部949的繞旋轉軸的周狀的範圍內，能夠視覺識別第1卡合部928和第2卡合部948。因此，即便是在第1卡合部928與第2卡合部948不卡合的狀態下，也能夠容易地視覺掌握第1卡合部928與第2卡合部948的位置關係。
根據本實施方式所涉及的基板收納容器1的製造方法，在將內側殼體部92固定的狀態下，使外側殼體部94旋轉，從而進行內側殼體部92與外側殼體部94的緊固。因此，不對內側殼體部92與內側開口形成部91的接合部位施加負載，能夠進行外側殼體部94相對於內側殼體部92的緊固。
[變形例]
本發明並不限定於上述的實施方式，能夠在申請專利範圍所記載的技術範圍內進行變形。
例如，基板收納容器、排氣用過濾器部的各部的構成並不限定於本實施方式中的基板收納容器1、排氣用過濾器部90的各部的構成。在本實施方式中，排氣用過濾器部90具有本發明的特徵之一的“能夠視覺識別第1卡合部與第2卡合部”這樣的構成，但是並不限定於此。供氣用過濾器部80以及/或者排氣用過濾器部90可以具有所述的本發明的特徵之一。
在本實施方式中，內側殼體部92的包括第1卡合部928在內的整體為相同顏色以及透明度，另外，外側殼體部94的包括第2卡合部948在內整體為相同顏色以及透明度，但是並不限定於此。在內側殼體部92中，能夠透過雙色成形等使第1卡合部928具有與其他部分不同的顏色以及透明度。同樣地，在外側殼體部94中，能夠使第2卡合部948具有與其他部分不同的顏色以及透明度。
另外，容器主體以及蓋體的形狀、容器主體中能夠收納的基板的張數、尺寸並不限定於本實施方式中的容器主體2以及蓋體3的形狀、容器主體2中能夠收納的基板W的張數、尺寸。另外，本實施方式中的基板W是直徑300mm的矽晶片，但是並不限定於該值。
另外，裡側基板支承部在本實施方式中在基板支承板狀部5的板部51的後端部具有與容器主體2一體成形地構成的裡側端緣支承部60，但是並不限定於該構成。例如，裡側基板支承部也可以不與容器主體一體成形地構成而分體構成。
另外，在本實施方式中，下壁24的前部的兩處貫通孔是用於排出容器主體2的內部的氣體的排氣孔243，後部的兩處貫通孔是用於向容器主體2的內部供給氣體的供氣孔242，但是並不限定於該構成。例如，下壁的前部的兩處貫通孔中的至少1個也可以是用於向容器主體的內部供給氣體的供氣孔。
雖然本發明以前述之較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習相像技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之專利保護範圍須視本說明書所附之申請專利範圍所界定者為準。
1:基板收納容器 2:容器主體 20:壁部 21:容器主體開口部 22:後壁 23:上壁235:肋 236:頂部凸緣 24:下壁 231A,231B,241A,241B:閂鎖卡合凹部 242:供氣孔 243:排氣孔 244:底板 25:第1側壁 26:第2側壁 27:基板收納空間 28:開口周緣部 281:密封面 3:蓋體 32A,32A:上側閂鎖部 32B,32B:下側閂鎖部 33:操作部 4:密封部件 5:基板支承板狀部 51:板部 6:裡側基板支承部 60:裡側端緣支承部 8:氣體噴出噴嘴部 80:供氣用過濾器部 90:排氣用過濾器部(過濾器部) 91:內側開口形成部(內側構件,殼體的一部分) 911:圓形狀突出部 912:環狀周緣部 915:凹部 92:內側殼體部(殼體的一部分) 921:外側筒狀部 922:端部凸緣部 923:端部板狀部 924:小凸緣部 925:突部 926:內側筒狀部 927:環狀空間 93:噴嘴部(殼體的一部分) 931:筒狀部 932:外部突出部 934:底部 94:外側殼體部(殼體的一部分) 941:筒狀部 942:端部內側突出部 946:肋部 95:過濾器 901:氣道 902:外部空間側開口 903:外部空間側開口 904:空間 906:貫通孔 928,928A:第1卡合部 929:外螺紋部 948,948A,948B,948C:第2卡合部 949:內螺紋部 J101,J1:固定夾具 J102,J2:緊固夾具 J103,J3:扭矩扳手 99:O形環 W:基板 D11:前方向 D12:後方向 D1:前後方向 D21:上方向 D22:下方向 D2:上下方向 D31:左方向 D32:右方向 D3:左右方向
圖1是表示在本發明的實施方式所涉及的基板收納容器1收納有多個基板W的樣子的分解立體圖。 圖2是表示本發明的實施方式所涉及的基板收納容器1的容器主體2的俯視立體圖。 圖3是表示本發明的實施方式所涉及的基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。 圖4是表示以圖3的A-A線剖切的容器主體2的側方剖視圖。 圖5是表示本發明的實施方式所涉及的基板收納容器1的排氣用過濾器部90的側方剖視圖。 圖6是表示本發明的實施方式所涉及的基板收納容器1的排氣用過濾器部90的下方立體圖。 圖7是表示本發明的實施方式所涉及的基板收納容器1的排氣用過濾器部90的分解立體圖。 圖8是表示排氣用過濾器部90的內側殼體部92的下方立體圖。 圖9是表示排氣用過濾器部90的內側殼體部92的側視圖。 圖10是表示排氣用過濾器部90的外側殼體部94的俯視圖。 圖11是以圖10的B-B線剖切的外側殼體部94的側方剖視圖。 圖12是針對排氣用過濾器部90，表示內側殼體部92與外側殼體部94在周向上的第1位置關係的局部透視側視圖。 圖13是針對排氣用過濾器部90，表示內側殼體部92與外側殼體部94在周向上的第2位置關係的局部透視側視圖。 圖14是表示以往的製造方法的局部主視剖視圖。 圖15是表示本發明的製造方法的實施方式的俯視立體圖。 圖16是以圖15的C-C線剖切的剖視圖。
92:內側殼體部(殼體的一部分)
93,932:噴嘴部(殼體的一部分)
94:外側殼體部(殼體的一部分)
928,928A:第1卡合部
929:外螺紋部
931:筒狀部
948,948A,948B,948C:第2卡合部
D2:上下方向
D21:上方向
D22:下方向

Claims (5)

  1. 一種基板收納容器，包含：容器主體，具有筒狀的壁部，所述壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周緣部且另一端部被封閉，且所述容器主體利用所述壁部的內表面形成能夠收納基板且與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，能夠相對於所述開口周緣部拆裝，且所述蓋體能夠以被所述開口周緣部包圍的位置關係封閉所述容器主體開口部；密封部件，安裝於所述蓋體，所述密封部件能夠與所述蓋體以及所述開口周緣部抵接，所述密封部件透過夾設在所述開口周緣部與所述蓋體之間而與所述開口周緣部以及所述蓋體緊貼地抵接，從而與所述蓋體一起封閉所述容器主體開口部；以及過濾器部，具有能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的氣道、配置於所述氣道的過濾器以及形成所述氣道的殼體，所述過濾器部配置於所述容器主體，且所述過濾器部能夠使氣體經過所述過濾器而在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過，其中，所述殼體包含透明或者半透明的外側殼體部和內側殼體部，所述內側殼體部緊固於所述外側殼體部，所述內側殼體部的至少一部分在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側， 所述內側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側的部位具有外螺紋部，所述外側殼體部具有與所述外螺紋部嚙合的內螺紋部，所述內側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側的部位且是不存在所述外螺紋部的部位具有第1卡合部，所述外側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下在所述外側殼體部的內側的不存在所述內螺紋部的部位具有與所述第1卡合部在周向上卡合的第2卡合部，在所述內側殼體部與所述外側殼體部的緊固中，所述第1卡合部與所述第2卡合部構成為能夠透過雙方的顏色或者透明度不同，從而視覺識別。
  2. 如請求項1所述之基板收納容器，其中，所述外側殼體部構成為，在包括所述第2卡合部的範圍且是所述內螺紋部的繞旋轉軸的周狀的範圍內，能夠視覺識別所述第1卡合部和所述第2卡合部。
  3. 一種基板收納容器的製造方法，製造請求項1或請求項2所述的基板收納容器，其中，所述殼體還包含以夾著所述過濾器的狀態接合在所述內側殼體部中的所述基板收納空間側的內側構件，在將所述內側殼體部固定的狀態下，透過使所述外側殼體部旋轉，進行所述內側殼體部與所述外側殼體部的緊固。
  4. 一種過濾器部，用以配置於基板收納容器的容器主體，所述基板收納容器包含：所述容器主體，具有筒狀的壁部，所述壁部在一端部具有形成有容器主體開口部的開口周緣部且另一端部被封閉，且所述容器主體利用所述壁部的內表面形成能夠收納基板且與所述容器主體開口部連通的基板收納空間；蓋體，能夠相對於所述開口周緣部拆裝，且所述蓋體能夠以被所述開口周緣部包圍的位置關係封閉所述容器主體開口部；以及密封部件，安裝於所述蓋體，所述密封部件能夠與所述蓋體以及所述開口周緣部抵接，所述密封部件透過夾設在所述開口周緣部與所述蓋體之間而與所述開口周緣部以及所述蓋體緊貼地抵接，從而與所述蓋體一起封閉所述容器主體開口部，其中，所述過濾器部具有配置於能夠將所述基板收納空間與所述容器主體的外部的空間連通的氣道的過濾器以及形成所述氣道的殼體，所述過濾器部配置於所述容器主體，且所述過濾器部能夠使氣體經過所述過濾器而在所述容器主體的外部的空間與所述基板收納空間之間通過，所述殼體包含透明或者半透明的外側殼體部和內側殼體部，所述內側殼體部緊固於所述外側殼體部，所述內側殼體部的至少一部分在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側，所述內側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側的部位具有外螺紋部， 所述外側殼體部具有與所述外螺紋部嚙合的內螺紋部，所述內側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下配置於所述外側殼體部的內側的部位且是不存在所述外螺紋部的部位具有第1卡合部，所述外側殼體部在所述外側殼體部與所述內側殼體部的緊固狀態下在所述外側殼體部的內側的不存在所述內螺紋部的部位具有與所述第1卡合部在周向上卡合的第2卡合部，在所述內側殼體部與所述外側殼體部的緊固中，所述第1卡合部與所述第2卡合部構成為能夠透過雙方的顏色或者透明度不同，從而視覺識別。
  5. 如請求項4所述之過濾器部，其中，所述外側殼體部構成為，在包括所述第2卡合部的範圍且是所述內螺紋部的繞旋轉軸的周狀的範圍內，能夠視覺識別所述第1卡合部和所述第2卡合部。
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