JP5815959B2 - N2ガスパージ装置におけるノズルユニット - Google Patents
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Description
前記ノズル半球面シール部とノズル凹型半球面シール部の各半球面が同一球面半径Rに形成され、且つノズルの長さLと球面半径Rは2R≒Lとし、ノズルがノズル受け凹型半球面シール部上をノズル回転中心を支点に回転できるように、ノズルとノズル受けに設けられた各Oリング溝の幅は、ノズルの傾き角度に合わせ、Oリングの直径より幅広くするという手段を採用することにより、上記課題を解決した。
図1は従来汎用されているFOUPの斜視図、図2は同FOUPとN2ガス供給側ブリージングフィルターユニットの縦断面図、図3は同残留ガス排気側ブリージングフィルターユニットの縦断面図である。図1〜図3に示すように、FOUP11の底部12には、N2ガス供給側ブリージングフィルターユニット1と残留ガス排気側ブリージングフィルターユニット6が取り付けられている。N2ガス供給側ブリージングフィルターユニット1は、上端開口部2、フィルター3、N2ガス供給側通気開口5を備え、内部にはN2ガス供給時のみ開放するN2ガス供給側シャッター4を備えている。また、排気側ブリージングフィルターユニット6は上端開口部7、フィルター8、残留ガス排気側通気開口10を備え、内部には残留ガス排気時のみ開放する残留ガス排気側シャッター9を備えて形成されている。
2 N2ガス供給側上部開口部
3 N2ガス供給側フィルタ
4 N2ガス供給側シャッター
5 N2ガス供給側通気開口
6 残瑠ガス排気側ブリージングフィルターユニット
7 残瑠ガス排気側上部開口部
8 残瑠ガス排気側フィルタ
9 残瑠ガス排気側シャッター
10 残瑠ガス排気側通気開口
11 FOUP
12 底部
13 ドア
14 ウエハ
15 ウエハ間隙間
16 N2ガスパージ装置
17 FOUP搭載部
18 キネマピン
19 従来のN2ガス供給側ノズル
20 従来の残瑠ガス排気側ノズル
21 N2ガス供給口
22 残瑠ガス排気口
23 電磁バルブ制御盤
24 ケーブル
25 N2ガス
26 残瑠ガス
27 N2ガス供給源
28 排気ダクト
29 従来のN2ガス供給側ノズル先端
30 隙間
31 傾斜角
32 漏洩N2ガス
33 バネ
34 中心のずれ
35 本発明のノズル
36 本発明のノズル先端部
37 本発明のノズル半球面シール部
38 本発明のノズルガス通路
39 本発明のノズルOリング溝
40 本発明のノズルシール部球面半径
41 本発明のノズル長さ
42 本発明のノズル受け
43 本発明のノズル受け凹型半球面シール部
44 本発明のノズル受け凹型シール部球面半径
45 本発明のノズル受けガス通路
46 本発明のノズル受けOリング溝
47 Oリング断面
48 本発明のノズル半球面シール部接触面
49 本発明のノズル受け凹型半球面シール部接触面
50 Oリングからのアウトガス
51 本発明のノズル回転中心
52 本発明のノズルユニット
53 シールゴム
54 酸素濃度計
Claims (1)
- 半導体製造ラインにおいて、FOUP(半導体ウエハ収納容器)をN2ガスパージ装置に搭載するFOUP底部に設けられたブリージングフィルタユニットのN2ガス供給側通気開口と残留ガス排気側通気開口が、N2ガスパージ装置のFOUP搭載部に設けられたN2ガス供給ノズルおよび排気ノズルにそれぞれ連結され、N2ガス供給ノズルよりN2ガスが供給され、排気ノズルにより、FOUP内部の残留ガスが排出され、FOUP内部をN2ガスで充満させるN2ガスパージ装置のN2ガス供給ノズルと排気ノズルを備える一方、上部にブリージングフィルタユニットの通気開口に密着するノズル先端部、下部にノズル半球面シール部を備えると共に、上部と下部をガス通路が貫通した構造のノズルと、上部に前記ノズル半球面シール部を受けて保持するためのノズル受け凹型半球面シール部を備え、且つ中心にガス通路を備えたノズル受け、更に、前記ノズルの可動性を維持したまま、該ノズルをノズル受けに保持すべく、ノズルとノズル受けにOリング溝および保持用Oリングをそれぞれ備えたノズルユニットにおいて、
前記ノズル半球面シール部とノズル凹型半球面シール部の各半球面が同一球面半径Rに形成され、且つノズルの長さLと球面半径Rは2R≒Lとし、ノズルがノズル受け凹型半球面シール部上をノズル回転中心を支点に回転できるように、ノズルとノズル受けに設けられた各Oリング溝の幅は、ノズルの傾き角度に合わせ、Oリングの直径より幅広くすることを特徴とするN2ガスパージ装置におけるノズルユニット。
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