JP7041144B2 - 半導体基板を搬送および大気圧下で保管するための輸送用密閉容器の気密性を制御する装置および方法 - Google Patents
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Description
- 開口部を有する剛性ケーシングと、
- 開口部を閉じるための取り外し可能なドアと、
- 少なくとも2つの通気口とを備えており、
前記制御装置は、前記輸送用密閉容器に連結するようになっている少なくとも1つのインターフェースを備えることを特徴としており、前記インターフェースは、
- 少なくとも2つの接続ヘッドを備えており、少なくとも1つの接続ヘッドは、前記輸送用密閉容器の通気口に係合するようになっている測定ヘッドによって形成されており、前記測定ヘッドは、
- 貫通して開口している少なくとも1つの開口を有する突出端部片と、
- 前記突出端部片を囲む周縁シール要素と、
- 前記インターフェースの接続ヘッドに連結している前記輸送用密閉容器の全ての前記通気口とを備えている。
- 少なくとも1つの前記周縁シール要素は、弾性を有しており、前記輸送用密閉容器が前記インターフェースに連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形しており、
- 少なくとも1つの前記ブラインドシール要素は、弾性を有しており、前記輸送用密閉容器が前記インターフェースに連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形しており、
- 前記インターフェースは、前記輸送用密閉容器を固定するようになっている少なくとも1つの固定手段を備えており、
- 前記インターフェースは、前記輸送用密閉容器を位置決めし、かつ保持するようになっている位置決め手段を備えており、
- 前記位置決め手段は、前記インターフェースのプレートから突出している3つのセンタリングピンを備えており、
- 前記センタリングピンは、前記輸送用密閉容器の底部に形成された3つの相補的なキャビティに係合するようになっており、
- 前記接続ヘッドは、移動可能であり、
- 前記インターフェース(20)は、気密性を制御するために、前記接続ヘッド(23、24)を引き込み位置と突出位置との間で動かすようになっている少なくとも1つのヘッドアクチュエータ(33)をさらに備えており、
- 前記ヘッドアクチュエータのストロークは、0.5mmより大きくなっており、
- 前記接続ヘッドは、固定され、前記インターフェースから突出しており、
- 圧縮されていない状態または変形されていない状態の前記周縁シール要素および前記ブラインドシール要素は、前記位置決め手段の端部を超えて前記インターフェースのプレートから突出しており、
- 少なくとも1つの前記周縁シール要素および/または前記ブラインドシール要素は、吸着カップ、リングシール、リップシールまたはベローであり、
- 前記インターフェースは、2つの測定ヘッドと2つの閉塞ヘッドとを備えており、
- 前記制御装置は、測定ヘッドの端部片に接続された少なくとも1つの測定ラインを備えており、前記測定ラインは、流量制御装置および/または圧力センサを備えており、
- 前記測定ラインは、前記測定ヘッドからの分岐として取り付けられた少なくとも1つの較正された自己制御開口と、前記測定ラインの前記流量制御装置および前記圧力センサを、それらを前記測定ヘッドから隔離させながら、少なくとも1つの較正された前記自己制御開口と連通させるための三方弁とを備えており、
- 前記制御装置は、測定ヘッドの前記端部片に接続されたサンプリングラインを備えており、前記サンプリングラインは、サンプリングポンプを備えており、
- 前記制御装置は、測定ヘッドの前記端部片に接続された較正ラインを備えており、前記較正ラインは、少なくとも1つの較正された較正開口を備えている。
- 少なくとも1つの前記周縁シール要素は、前記輸送用密閉容器が前記インターフェースに連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形しており、
- 少なくとも1つの前記ブラインドシール要素は、前記輸送用密閉容器が前記インターフェースに連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形しており、
- 制御されたガス流を、前記インターフェースに連結された前記輸送用密閉容器の通気口に係合している測定ヘッドに接続された測定ラインに注入し、その後注入を停止し、前記測定ライン内の圧力降下を測定しており、
- 前記測定ラインの経時的な圧力変化を測定しながら、前記インターフェースに連結された前記輸送用密閉容器の通気口に係合している測定ヘッドに接続された測定ラインに、一定のガス流を注入しており、
- 前記制御方法は、前記インターフェースに連結された前記輸送用密閉容器の通気口に係合している測定ヘッドに接続された測定ラインに、所定の初期圧力を設定する予備的調整ステップを含んでおり、
- 前記制御方法は、較正された漏れを発生させるために、前記インターフェースに連結された前記輸送用密閉容器の通気口に係合している測定ヘッドによって、較正ラインを前記輸送用密閉容器に接続させて、かつ、前記インターフェースに連結された前記輸送用密閉容器の通気口に係合している測定ヘッドに接続された測定ラインで、圧力を測定する較正ステップを含んでおり、
- 前記制御方法は、前記測定ヘッドから隔離させながら、前記測定ヘッドから分岐として取り付けられた較正された自己制御開口を備えた測定ラインにおいて、圧力を測定し、前記較正された自己制御開口を前記流量制御装置および前記測定ラインの前記圧力センサと連通している自己制御ステップを含んでいる。
2 輸送用密閉容器
3 半導体基板
4 ケーシング
4a 底部
5 開口部
6 ドア
7 周縁シール
8 通気口(吸気口)
9 通気口(排気口)
10 粒子フィルター
11 吸気側逆止弁
12 開口
13 可動シャッター
14 弾性部材
15 排気側逆止弁
16a、16b、16c キャビティ
20 インターフェース
21 位置決め手段
21a、21b、21c センタリングピン
22 固定用フィンガー(固定手段)
23 測定ヘッド
24 閉塞ヘッド
25 プレート
26 ロックキー
29 端部片
30 開口
31 周縁シール要素
32 ブラインドシール要素
33 ヘッドアクチュエータ
34 ホール
39 パイプ
40 測定ライン
41 流量制御装置
42 圧力センサ
43a 粒子フィルター
43b 減圧器
44 サンプリングポンプ
44a 仕切弁
46 自己制御開口
47 三方弁
48 較正開口
49 サンプリングライン
50 較正ライン
100 制御方法
101 自己制御ステップ
102 較正ステップ
103 予備的調整ステップ
104 圧力上昇ステップ
105 圧力降下ステップ
P0 初期圧力
Claims (18)
- 半導体基板(3)を搬送および大気圧下で保管するための少なくとも1つの輸送用密閉容器(2)の気密性を制御するための装置(1)であって、前記輸送用密閉容器(2)は、少なくとも2つの通気口(8、9)を備えている制御装置(1)において、
前記制御装置(1)は、前記輸送用密閉容器(2)に連結するようになっている少なくとも1つのインターフェース(20)を備えており、
前記インターフェース(20)は、
- 少なくとも2つの接続ヘッド(23、24)を備えており、少なくとも1つの接続ヘッドは、前記輸送用密閉容器(2)の通気口(8)に係合するようになっている測定ヘッド(23)によって形成されており、
前記測定ヘッド(23)は、
- 貫通して開口している少なくとも1つの開口(30)を有する突出端部片(29)と、
- 前記突出端部片(29)を囲む周縁シール要素(31)と、
- 前記インターフェース(20)の接続ヘッド(23、24)に連結している前記輸送用密閉容器(2)の全ての前記通気口(8、9)とを備えており、
さらに前記制御装置(1)は、
前記測定ヘッド(23)の端部片(29)に接続された少なくとも1つの測定ライン(40)を備えており、前記測定ライン(40)は、流量制御装置(41)および/または圧力センサ(42)を備えており、
前記測定ライン(40)は、前記測定ヘッド(23)からの分岐として取り付けられた少なくとも1つの制限開口(46)と、前記測定ライン(40)の前記流量制御装置(41)および前記圧力センサ(42)を、それらを前記測定ヘッド(23)から隔離させながら、少なくとも1つの前記制限開口(46)と連通させるための三方弁(47)とを備えていることを特徴とする制御装置(1)。 - 少なくとも1つの接続ヘッドは、前記輸送用密閉容器(2)の通気口(9)を塞ぐようになっているブラインドシール要素(32)を備えている閉塞ヘッド(24)によって形成されており、前記輸送用密閉容器(2)の全ての前記通気口(8、9)は、測定ヘッド(23)によって係合されているか、または閉塞ヘッド(24)によって塞がれていることを特徴とする請求項1に記載の制御装置(1)。
- 前記測定ヘッド(23)は、前記輸送用密閉容器(2)の通気口(8)に係合するようになっており、前記通気口(8)に吸気側逆止弁(11)を備えている場合、前記吸気側逆止弁(11)を押し戻すことを特徴とする請求項1または2に記載の制御装置(1)。
- 少なくとも1つの前記周縁シール要素(31)は、弾性を有しており、前記輸送用密閉容器(2)が前記インターフェース(20)に連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形していることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の制御装置(1)。
- 前記インターフェース(20)は、前記輸送用密閉容器(2)を固定するようになっている少なくとも1つの固定手段(22、26)を備えていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の制御装置(1)。
- 前記測定ヘッド(23、24)は移動可能であり、前記インターフェース(20)は、気密性を制御するために、前記接続ヘッド(23、24)を引き込み位置と突出位置との間で動かすようになっている少なくとも1つのヘッドアクチュエータ(33)をさらに備えていることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の制御装置(1)。
- 前記接続ヘッド(23、24)は、固定され、前記インターフェース(20)から突出していることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の制御装置(1)。
- 前記周縁シール要素(31)は、吸着カップを備えていることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の制御装置(1)。
- 前記インターフェース(20)は、2つの測定ヘッド(23)と2つの閉塞ヘッド(2
4)とを備えていることを特徴とする請求項2に記載の制御装置(1)。 - 前記測定ヘッド(23)の前記端部片(29)に接続されたサンプリングライン(49)を備えており、前記サンプリングライン(49)は、サンプリングポンプ(44)を備えていることを特徴とする請求項1に記載の制御装置(1)。
- 測定ヘッド(23)の前記端部片(29)に接続された較正ライン(50)を備えており、前記較正ライン(50)は、少なくとも1つの制限開口(48)を備えていることを特徴とする請求項10項に記載の制御装置(1)。
- 請求項1~11のいずれか1項に記載の制御装置(1)によって、半導体基板(3)を搬送および大気圧下で保管するための少なくとも1つの輸送用密閉容器(2)の気密性を制御する方法(100)であって、輸送用密閉容器(2)は、前記輸送用密閉容器(2)の全ての前記通気口(8、9)が前記インターフェース(20)の接続ヘッド(23、24)に連結されるように、前記制御装置(1)のインターフェース(20)に連結されており、少なくとも1つの接続ヘッド(23)は、前記輸送用密閉容器(2)の通気口(8、9)に係合している測定ヘッド(23)によって形成されていることを特徴とする制御方法(100)。
- 前記輸送用密閉容器(2)の全ての前記通気口(8、9)は、前記インターフェース(20)の測定ヘッド(23)によって係合されているか、閉塞ヘッド(24)によって塞がれており、閉塞ヘッド(24)によって形成された少なくとも1つの接続ヘッド(24)は、前記輸送用密閉容器(2)の通気口(9)を塞いでいることを特徴とする請求項12に記載の制御方法(100)。
- 少なくとも1つの前記周縁シール要素(31)は、前記輸送用密閉容器(2)が前記インターフェース(20)に連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形していることを特徴とする請求項12または13に記載の制御方法(100)。
- 制御されたガス流を、前記インターフェース(20)に連結された前記輸送用密閉容器(2)の通気口(8)に係合している測定ヘッド(23)に接続された測定ライン(40)に注入し、その後注入を停止し、前記測定ライン(40)内の圧力降下を測定することを特徴とする請求項12から14のいずれか1項に記載の制御方法(100)。
- 前記測定ライン(40)の経時的な圧力変化を測定しながら、前記インターフェース(20)に連結された前記輸送用密閉容器(2)の通気口(8)に係合している測定ヘッド(23)に接続された測定ライン(40)に一定のガス流を注入することを特徴とする請求項15に記載の制御方法(100)。
- 前記インターフェース(20)に連結された前記輸送用密閉容器(2)の通気口(8)に係合している測定ヘッド(23)に接続された測定ライン(40)に、所定の初期圧力(P0)を設定する予備的調整ステップ(103)を含むことを特徴とする請求項12から16のいずれか1項に記載の制御方法(100)。
- 較正された漏れを発生させるために、前記インターフェース(20)に連結された前記輸送用密閉容器(2)の通気口(8)に係合している測定ヘッド(23)によって、較正ライン(50)を前記輸送用密閉容器(2)に接続させて、かつ、前記インターフェース(20)に連結された前記輸送用密閉容器(2)の通気口(8)に係合している測定ヘッド(23)に接続された測定ライン(40)で、圧力を測定する較正ステップ(102)を含むことを特徴とする請求項12から17のいずれか1項に記載の制御方法(100)。
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