JP2019533907A - 半導体基板を搬送および大気圧下で保管するための輸送用密閉容器の気密性を制御する装置および方法 - Google Patents

Abstract

【課題】半導体基板を搬送および大気圧下で保管するための少なくとも１つの輸送用密閉容器の気密性を制御するための装置を提案すること。【解決手段】本発明は、半導体基板（３）を搬送および大気圧下で保管するための少なくとも１つの輸送用密閉容器（２）の気密性を制御するための装置（１）に関する。前記輸送用密閉容器（２）は、開口部（５）を有する剛性ケーシング（４）と、開口部（５）を閉じることができる取り外し可能なドア（６）と、少なくとも２つの通気口（８、９）とを備えている。前記制御装置（１）は、前記輸送用密閉容器（２）に連結するようになっている少なくとも１つのインターフェース（２０）を備えており、前記インターフェース（２０）は、− 少なくとも２つの接続ヘッド（２３、２４）を備えており、少なくとも１つの接続ヘッドは、前記輸送用密閉容器（２）の通気口（８）に係合するようになっている測定ヘッド（２３）によって形成されており、前記測定ヘッド（２３）は、− 貫通して開口している少なくとも１つの開口（３０）を有する突出端部片（２９）と、− 少なくとも１つの前記開口（３０）の上流に配置され、前記端部片（２９）を囲む周縁シール要素（３１）と、− 前記インターフェース（２０）の接続ヘッド（２３、２４）に連結している前記輸送用密閉容器（２）の全ての前記通気口（８、９）とを備えている。本発明は、少なくとも１つの輸送用密閉容器の気密性を制御するための方法にも関する。【選択図】図１

Description

本発明は、半導体基板を搬送および大気圧下で保管するための少なくとも１つの輸送用密閉容器の気密性を制御する装置に関する。本発明はまた、少なくとも１つの輸送用密閉容器の気密性を制御する方法に関する。

半導体製造産業では、半導体ウェハなどの基板をある装置から別の装置に輸送するために、または２つの製造工程の間で基板を保管するために、ＦＯＵＰ（正面開口式一体型容器：Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）などの輸送用密閉容器を使用することができる。これらの輸送用密閉容器には、基板が使用され、かつ輸送されるような環境から隔離された、白い部屋で１つ以上の基板を輸送、かつ保管するために、大気圧下の狭い空間が設けられており、その内部雰囲気は非常に低い汚染レベルに保たれている。これらの輸送用密閉容器は、標準化された構成要素であり、その開閉は、製造装置によって自動的かつ直接的に制御されている。

各輸送用密閉容器は、取り外し可能なドアによって閉じることができる開口部を有する剛性の周縁ケーシングを備えており、ドアシールがドアとケーシングとの間に挿入されている。しかし、輸送用密閉容器は、完全には密閉されていない。なぜなら、密閉容器の内側と外側との間で圧力バランスをとることができるように、通気口（「呼吸口」）がケーシングまたはドアに形成されているからである。

これらの密閉容器内の汚染リスクをさらに減らすために、現時点では、これらの密閉容器の内部雰囲気を定期的にパージすることが推奨されている。

最近の開発では、いくつかの輸送用密閉容器の通気口に逆止弁を配置するようにしており、この逆止弁は、フィルターと直列に取り付けられている。逆止弁は、外部とガスを交換することなく、密閉容器の内部雰囲気内でパージガスのわずかな圧力を維持するために、密閉容器を実質的に密閉したままで閉め切ることができる。

通気口においてこの程度の気密性を増加させることは、ドアの気密性のレベルが重要な要因であることを意味している。これは、ドアの気密性が確保されていないと、フィルター処理されていないガスが輸送用密閉容器に入る恐れがあり、これが基板にとって特に有害となるためである。実際、測定してみると、輸送用密閉容器のドアの気密性のレベルとこれらの密閉容器に保管されている基板の粒子による汚染のレベルとの間に相関関係が確立していた。したがって、ドアの気密性のレベルは、生産効率に直接関係している。しかし、製造過程で気密性を制御することができるような、輸送用密閉容器のドアの気密性を自動的に制御するための既存の手段は存在しない。

したがって、本発明の目的の１つは、半導体基板を搬送および大気圧下で保管するための少なくとも１つの輸送用密閉容器の気密性を製造過程において迅速かつ確実に自動的に制御することができる装置を提案することである。

この目的のために、本発明は、半導体基板を搬送および大気圧下で保管するための少なくとも１つの輸送用密閉容器の気密性を制御するための装置を提案しており、前記輸送用密閉容器は、
− 開口部を有する剛性ケーシングと、
− 開口部を閉じるための取り外し可能なドアと、
− 少なくとも２つの通気口とを備えており、
前記制御装置は、前記輸送用密閉容器に連結するようになっている少なくとも１つのインターフェースを備えることを特徴としており、前記インターフェースは、
− 少なくとも２つの接続ヘッドを備えており、少なくとも１つの接続ヘッドは、前記輸送用密閉容器の通気口に係合するようになっている測定ヘッドによって形成されており、前記測定ヘッドは、
− 貫通して開口している少なくとも１つの開口を有する突出端部片と、
− 前記突出端部片を囲む周縁シール要素と、
− 前記インターフェースの接続ヘッドに連結している前記輸送用密閉容器の全ての前記通気口とを備えている。

こうして、密閉されたままで、かつ標準的なタイプの前記密閉容器を変更することなく、前記輸送用密閉容器の内部雰囲気に外部からアクセスすることによって、前記密閉容器のドアの気密性を制御するために前記制御装置を使用することができる。したがって、閉鎖時における前記輸送用密閉容器の気密性を、前記密閉容器が半導体基板を収容しながら、製造過程において完全に自動化した方法で制御することができる。したがって、気密性は、０．０１リットル／秒から数リットル／秒のコンダクタンスを有する範囲の漏れに対して、数分、例えば５分未満で制御することができる。コンダクタンスは、漏れを生じさせる圧力差に対する漏れ量の比である。

前記測定ヘッドは、前記輸送用密閉容器の通気口に係合するようになっており、前記通気口が吸気側逆止弁を備えている場合は、前記吸気側逆止弁を押し戻している。したがって、前記測定ヘッドを使用して、前記輸送用密閉容器に存在する全ての逆止弁を開くことによって、測定ラインを前記輸送用密閉容器の通気口に接続することができる。ある輸送用密閉容器と別の輸送用密閉容器とでは、弾性部材の剛性が大きな食い違いを示す恐れがあることを考えると、吸気側逆止弁が測定ヘッドによって開かれたままであるという事実は、特に、測定の不確実性を増大させる恐れがある吸気側逆止弁の弾性部材の変動性の影響を受けることなく、制御されたガス流を前記輸送用密閉容器に注入することができる。弁が開いたままであるという事実は、弁が開位置と閉位置との間で不安定な状態にあるときの弁の振動の影響も回避することができる。

少なくとも１つの接続ヘッドは、前記輸送用密閉容器の通気口を塞ぐようになっているブラインドシール要素を備えている閉塞ヘッドによって形成することができ、前記輸送用密閉容器の全ての前記通気口は、測定ヘッドによって係合されているか、または閉塞ヘッドによって塞がれている。

こうして、前記輸送用密閉容器のドアとケーシングとの間に位置するもの以外の全ての可能性のあるガス漏れが制御される、すなわちそれらは塞がれるかまたは測定ヘッドに接続されるかのいずれかである。これにより、輸送用密閉容器の気密性の制御は、輸送用密閉容器のドアを閉めた際の気密性の制御のみを考慮することになる。

制御装置の１つ以上の特徴に応じて、以下の特徴を個別にまたは組み合わせて考慮することができる。
− 少なくとも１つの前記周縁シール要素は、弾性を有しており、前記輸送用密閉容器が前記インターフェースに連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形しており、
− 少なくとも１つの前記ブラインドシール要素は、弾性を有しており、前記輸送用密閉容器が前記インターフェースに連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形しており、
− 前記インターフェースは、前記輸送用密閉容器を固定するようになっている少なくとも１つの固定手段を備えており、
− 前記インターフェースは、前記輸送用密閉容器を位置決めし、かつ保持するようになっている位置決め手段を備えており、
− 前記位置決め手段は、前記インターフェースのプレートから突出している３つのセンタリングピンを備えており、
− 前記センタリングピンは、前記輸送用密閉容器の底部に形成された３つの相補的なキャビティに係合するようになっており、
− 前記接続ヘッドは、移動可能であり、
− 前記インターフェース（２０）は、気密性を制御するために、前記接続ヘッド（２３、２４）を引き込み位置と突出位置との間で動かすようになっている少なくとも１つのヘッドアクチュエータ（３３）をさらに備えており、
− 前記ヘッドアクチュエータのストロークは、０．５ｍｍより大きくなっており、
− 前記接続ヘッドは、固定され、前記インターフェースから突出しており、
− 圧縮されていない状態または変形されていない状態の前記周縁シール要素および前記ブラインドシール要素は、前記位置決め手段の端部を超えて前記インターフェースのプレートから突出しており、
− 少なくとも１つの前記周縁シール要素および／または前記ブラインドシール要素は、吸着カップ、リングシール、リップシールまたはベローであり、
− 前記インターフェースは、２つの測定ヘッドと２つの閉塞ヘッドとを備えており、
− 前記制御装置は、測定ヘッドの端部片に接続された少なくとも１つの測定ラインを備えており、前記測定ラインは、流量制御装置および／または圧力センサを備えており、
− 前記測定ラインは、前記測定ヘッドからの分岐として取り付けられた少なくとも１つの較正された自己制御開口と、前記測定ラインの前記流量制御装置および前記圧力センサを、それらを前記測定ヘッドから隔離させながら、少なくとも１つの較正された前記自己制御開口と連通させるための三方弁とを備えており、
− 前記制御装置は、測定ヘッドの前記端部片に接続されたサンプリングラインを備えており、前記サンプリングラインは、サンプリングポンプを備えており、
− 前記制御装置は、測定ヘッドの前記端部片に接続された較正ラインを備えており、前記較正ラインは、少なくとも１つの較正された較正開口を備えている。

本発明はまた、上述の制御装置によって、半導体基板を搬送および大気圧下で保管するための少なくとも１つの輸送用密閉容器の気密性を制御する方法であって、輸送用密閉容器は、前記輸送用密閉容器の全ての前記通気口が前記インターフェースの接続ヘッドに連結されるように、前記制御装置のインターフェースに連結されており、少なくとも１つの接続ヘッドは、前記輸送用密閉容器の通気口に係合している測定ヘッドによって形成されている制御方法を提案する。

一実施形態によれば、前記輸送用密閉容器の全ての前記通気口は、前記インターフェースの測定ヘッドによって係合されているか、閉塞ヘッドによって塞がれており、閉塞ヘッドによって形成された少なくとも１つの接続ヘッドは、前記輸送用密閉容器の通気口を塞いでいる。

制御方法の１つ以上の特徴に応じて、以下の特徴を個別にまたは組み合わせて考慮することができる。
− 少なくとも１つの前記周縁シール要素は、前記輸送用密閉容器が前記インターフェースに連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形しており、
− 少なくとも１つの前記ブラインドシール要素は、前記輸送用密閉容器が前記インターフェースに連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形しており、
− 制御されたガス流を、前記インターフェースに連結された前記輸送用密閉容器の通気口に係合している測定ヘッドに接続された測定ラインに注入し、その後注入を停止し、前記測定ライン内の圧力降下を測定しており、
− 前記測定ラインの経時的な圧力変化を測定しながら、前記インターフェースに連結された前記輸送用密閉容器の通気口に係合している測定ヘッドに接続された測定ラインに、一定のガス流を注入しており、
− 前記制御方法は、前記インターフェースに連結された前記輸送用密閉容器の通気口に係合している測定ヘッドに接続された測定ラインに、所定の初期圧力を設定する予備的調整ステップを含んでおり、
− 前記制御方法は、較正された漏れを発生させるために、前記インターフェースに連結された前記輸送用密閉容器の通気口に係合している測定ヘッドによって、較正ラインを前記輸送用密閉容器に接続させて、かつ、前記インターフェースに連結された前記輸送用密閉容器の通気口に係合している測定ヘッドに接続された測定ラインで、圧力を測定する較正ステップを含んでおり、
− 前記制御方法は、前記測定ヘッドから隔離させながら、前記測定ヘッドから分岐として取り付けられた較正された自己制御開口を備えた測定ラインにおいて、圧力を測定し、前記較正された自己制御開口を前記流量制御装置および前記測定ラインの前記圧力センサと連通している自己制御ステップを含んでいる。

輸送用密閉容器の気密性を制御する装置と共に、閉位置で表示している吸気側および排気側逆止弁を有する輸送用密閉容器の模式的側断面図の一例である。 図１の輸送用密閉容器のケーシングの底部の模式図である。 輸送用密閉容器の底部の別の例の模式図である。 輸送用密閉容器の底部の別の例の模式図である。 引き込み位置において図１の制御装置のインターフェースを上側から見た図である。 突出位置において、インターフェースの２つの測定ヘッドおよび２つの閉塞ヘッドを有する図３ａと同様の図である。 インターフェースの較正ラインを示している図１と同様の図である。 輸送用密閉容器の気密性を制御する方法の異なるステップを示す図である。 インターフェース上に位置決めされ保持されている図１と同様の輸送用密閉容器を示している図である。 インターフェースに連結されている図６と同様の輸送用密閉容器を示している図である。 図５の方法で行った気密性制御についての経時的な圧力変化を示すグラフである。 別の方法で行った気密性制御において流量を変えないで２つの異なるガス流を注入した場合の経時的な圧力変化を示すグラフである。

本発明の他の特徴および利点は、添付の図面を参照することにより、非限定的な例として提供される以下の説明から明らかになるであろう。

これらの図において、同じ構成要素には、同じ符号を付してある。以下の実施形態は一例である。本明細書は、１以上の実施形態を挙げているが、これは必ずしも各符号が同じ実施形態に関するものであること、または特徴が一つの実施形態にのみ適用可能であることを意味するものではない。異なる実施形態の単純な特徴を組み合わせ、または交換することで、他の実施形態を提供することもできる。

図１は、少なくとも１つの輸送用密閉容器２の気密性を制御するための装置１の一例としての模式的側断面図を示している。

輸送用密閉容器２は、半導体製造工程において、「ウェハ」またはフォトマスクなどの少なくとも１つの半導体基板３の搬送および保管をすることができる。輸送用密閉容器２の内部雰囲気は、大気圧の空気または窒素である。本密閉容器としては、例えば、ＦＯＵＰタイプの標準横方向開口式ボックス（Ｆｒｏｎｔ Ｏｐｅｎｉｎｇ Ｕｎｉｆｉｅｄ Ｐｏｄ）、またはＭＡＣタイプの標準横方向開口式ボックス（Ｍｕｌｔｉ Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ Ｃａｒｒｉｅｒ）、またはＳＭＩＦタイプの底部開口式ボックス（Ｓｔａｎｄａｒｄ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ＩｎｔｅｒＦａｃｅ）、またはＲＳＰタイプのフォトマスク輸送用ボックス（Ｒｅｔｉｃｌｅ ＳＭＩＦ Ｐｏｄ）が該当する。

輸送用密閉容器２は、開口部５を有するプラスチック材料の剛性ケーシング４と、周縁シール７を有する取り外し可能なドア６とを備えており、取り外し可能なドア６は、開口部５を閉じることができる。開口部５は、横方向（図１）または底部に設けてもよい。

輸送用密閉容器２は、少なくとも２つの通気口８、９を備えており、各通気口８、９は、横方向開口式密閉容器の場合には、ケーシング４の底部４ａに形成された開口１２を備えており、底部に開く密閉容器の場合には、ドア６に形成された開口１２を備えている。

各通気口８、９は、開口１２内に配置された粒子フィルター１０を備えており、輸送用密閉容器２への粒子の進入を防止している。

通気口８、９は、フィルター１０を備えた開口１２によって容易に形成することができ、ガス流は、輸送用密閉容器２の各通気口に同時にかつ同様に流入、流出することができる。

輸送用密閉容器２の他の例としては、吸気側逆止弁１１を備える少なくとも１つの通気口８（以下、「吸気口」と呼ぶ）と排気側逆止弁１５を備える少なくとも１つの通気口９（以下、「排気口」と呼ぶ）とを有している。逆止弁１１、１５はそれぞれ、フィルター１０の上流または下流のそれぞれの開口１２に配置されている。

外部大気圧に対して輸送用密閉容器２の内部に余剰のガスがある場合、排気側逆止弁１５が開き、逆に、輸送用密閉容器２の内部が負圧の場合、吸気側逆止弁１１が開く。

パージガスを吸気側逆止弁１１で輸送用密閉容器２に注入することができ、余剰の空気は、排気側逆止弁１５を介して排出することができる。したがって、輸送用密閉容器２の内部雰囲気は、輸送用密閉容器２を開放することなく、また輸送用密閉容器２を部分的に変えることなく、すなわち製造過程においてパージすることができる。

輸送用密閉容器２は、例えば、２つの吸気口８と２つの排気口９とを備える（図２ａ）。４つの吸気口８と排気口９とを輸送用密閉容器２のケーシング４の底部４ａの四隅に配置することができる。横方向開口部５を有する輸送用密閉容器２の場合、排気口９は、例えば、ドア６の最も近い角に配置されている。

他の実施形態も可能である。例えば、横方向開口部５を有する輸送用密閉容器２の場合、輸送用密閉容器２は、単一の吸気口８と単一の排気口９とを備えていてもよく、これらは、例えば、ドア６の近くの底部４ａの２つの角に配置されている（図２ｂ）。別の例によれば、輸送用密閉容器２は、３つの吸気口８と１つの排気口９とを備えており、排気口９は、例えばドア６の近くの隅に配置されている。

実施形態の一例によると、吸気側逆止弁１１は、可動シャッター１３と弾性部材１４とを備えている（図１）。可動シャッター１３は、開位置と開口１２を閉じる閉位置との間で移動可能である。可動シャッター１３は、例えば、開口１２の円筒形のベアリング部分と相補的なディスクを備えている。圧縮ばねなどの弾性部材１４は、可動シャッター１３を閉位置に付勢している。

吸気側逆止弁１１を開くことにより、輸送用密閉容器２の外部から圧力を加えてガスを輸送用密閉容器２に入れることができ、吸気側逆止弁１１の位置は、その上流端と下流端との圧力差によって決められる。輸送用密閉容器２の外圧と内圧との圧力差が吸気側逆止弁の設定閾値より大きい場合、可動シャッター１３は、弾性部材１４に対向して開位置に移動し、ガスは、輸送用密閉容器２に入ることができる。

排気口９は、その開口が輸送用密閉容器２からのガスの排出を可能にしており、排気側逆止弁１５が輸送用密閉容器２の内側に加えられた圧力下で開くという点で、吸気口８とは異なる。したがって、輸送用密閉容器２の内圧と外圧との圧力差が排気側逆止弁の設定閾値よりも大きい場合、可動シャッター１３は、弾性部材１４に対向して開位置に移動し、ガスは、輸送用密閉容器２を出ることができる。

少なくとも１つの吸気口８および少なくとも１つの排気口９の開口１２とフィルター１０とは、同一仕様とすることができる。吸気側逆止弁１１および排気側逆止弁１５の可動シャッター１３および弾性部材１４も、互いに同一仕様とすることができる。吸気側逆止弁１１の可動シャッター１３は、排気側逆止弁１５の可動シャッター１３に対して反転した位置に配置されている。

少なくとも１つの輸送用密閉容器２の気密性制御装置１は、輸送用密閉容器２に連結されるようになっている少なくとも１つのインターフェース２０を備えている。

インターフェース２０は、少なくとも２つの接続ヘッドを備えており、そのうちの少なくとも１つは、輸送用密閉容器２の通気口８の開口１２に係合するようになっている測定ヘッド２３である。接続ヘッドは、すべて測定ヘッド２３とすることができる。

少なくとも１つの接続ヘッドは、閉塞ヘッド２４によって形成されていてもよい。その場合、インターフェース２０は、少なくとも１つの測定ヘッド２３と少なくとも１つの閉塞ヘッド２４とを備えている。

測定ヘッド２３は、貫通して開口している少なくとも１つの開口３０を有する突出端部片２９と、突出端部片２９を囲んでいる、例えば少なくとも１つの開口３０の上流側を囲んでいる周縁シール要素３１とを備えている。少なくとも１つの開口３０は、突出端部片２９の端部と周縁シール要素３１との間に設けられている。

端部片２９は、剛性を有している。それは、例えば金属材料で作られたチューブである。それは、インターフェース２０に連結された輸送用密閉容器２の壁に対して直角となるように、軸方向に突出している。２つの開口３０は、例えば端部片２９の端部から横方向に開口しており、２つの開口３０は、例えば径方向に対向している。

周縁シール要素３１は、端部片２９と周縁シール要素３１に連結された輸送用密閉容器２の通気口８との間で、少なくとも１つの開口３０を介してシールガスを流すことを可能にしている。

周縁シール要素３１は、例えばシリコーンのような弾性材料でできている。周縁シール要素３１は、例えば、吸着カップ（図３ｂ）、リングシール、リップシールまたはベローである。輸送用密閉容器２の重量は、水平プレート２５から突出している吸着カップを十分に変形させることができるので、吸着カップは、非常に良好な気密性を簡単な方法で得ることができる。

周縁シール要素３１は、ＰＥＥＫ材料などの剛性材料から作製することもでき、吸気口８が吸気側逆止弁１１を備えている場合、その気密性は、弾性部材１４の圧縮によってもたらすことができる。

通気口８が吸気側逆止弁１１を備えている場合、測定ヘッド２３は、特に吸気側逆止弁１１の可動シャッター１３を押し戻しながら、輸送用密閉容器２の通気口８の開口１２に係合するようになっており、一方、周縁シール要素３１を圧縮するかまたは少なくとも部分的に変形させている。

したがって、測定ヘッド２３を吸気側逆止弁１１を備えた輸送用密閉容器２の通気口８に係合させると、剛性端部片２９の端部が可動シャッター１３を圧迫してそれを押し戻す。

したがって、密閉されたままで、かつ設置されている全ての吸気側逆止弁１１を開けることによって、測定ヘッド２３を使用して、測定ライン４０を輸送用密閉容器２の通気口８に接続することができる。

閉塞ヘッド２４は、輸送用密閉容器２をインターフェース２０に連結させた場合、輸送用密閉容器２の通気口９を塞ぐように少なくとも部分的に圧縮または変形されるようになっているブラインドシール要素３２を備えている。

ブラインドシール要素３２は、例えば、少なくとも部分的にシリコーンのような弾性材料から作られている。ブラインドシール要素３２は、例えば、吸着カップ（図３ｂ）、リングシール、リップシールまたはベローである。

インターフェース２０は、複数の測定ヘッド２３を備えていてもよく、複数の閉塞ヘッド２４を備えていてもよい。

したがって、図１および図２ａに示す第１の例では、輸送用密閉容器２は、２つの吸気口８と２つの排気口９とを備えており、インターフェース２０は、２つの測定ヘッド２３と２つの閉塞ヘッド２４とを備えている（図３ａおよび図３ｂ）。一つの測定ヘッド２３は、それぞれの吸気口８に係合するようになっており、一つの閉塞ヘッド２４は、それぞれの排気口９を塞ぐようになっている。

さらに、輸送用密閉容器２をインターフェース２０に連結する場合、輸送用密閉容器２のすべての通気口８、９がインターフェース２０に連結される。通気口８、９は、測定ヘッド２３によって係合されるか、または閉塞ヘッド２４によって塞がれるかのいずれかであり、少なくとも１つの測定ヘッド２３は、通気口８に係合している。連結状態では、周縁シール要素３１およびブラインドシール要素３２は、少なくとも部分的に圧縮または変形されてもよい。

こうして、ドア６とケーシング４との間に位置するもの以外の全ての可能性のあるガス漏れが制御される、すなわちそれらは塞がれるかまたは測定ヘッド２３に接続されるかのいずれかである。これにより、輸送用密閉容器２の気密性の制御は、輸送用密閉容器２のドア６を閉めた際の気密性の制御のみを考慮することになる。

さらに、測定ヘッド２３は、気密性を制御している間を通して、設置している全ての吸気側逆止弁１１を開位置に保持することができ、輸送用密閉容器２を部分的に変えることなく、かつ開放することなく輸送用密閉容器２の内部へのアクセスを可能にしている。

インターフェース２０は、輸送用密閉容器２を位置決めし、かつ保持するようになっている位置決め手段２１を備えることもできる。

位置決め手段２１は、例えば、インターフェース２０のプレート２５から突出している３つのセンタリングピン２１ａ、２１ｂ、２１ｃを備えている（図３ｂ）。センタリングピン２１ａ、２１ｂ、２１ｃは、輸送用密閉容器２を位置決めし、かつ保持するために、輸送用密閉容器２の底部４ａに形成された３つの相補的なキャビティ１６ａ、１６ｂ、１６ｃに係合するようになっている（図２ａ）。これはＳＥＭＩ規格による位置決め手段を形成している。自動操作では、輸送用密閉容器２をセンタリングピン２１ａ、２１ｂ、２１ｃ上に降下させ、輸送用密閉容器２をセンタリングピン２１ａ、２１ｂ、２１ｃに接触させて輸送用密閉容器２の降下を停止させることによって、輸送用密閉容器２をインターフェース２０に取り付けることができる。

インターフェース２０は、輸送用密閉容器２を固定するようになっている少なくとも１つの固定手段を備えることもできる。

固定手段は、例えば、待機位置（図３ａ）と固定用フィンガー２２が輸送用密閉容器２を固定する固定位置（図３ｂ）との間で移動可能な固定用フィンガー２２を備えている。固定用フィンガー２２は、例えば並進移動可能である。固定用フィンガー２２は、輸送用密閉容器２を軸方向に保持するための固定位置において、輸送用密閉容器２の底部４ａに形成された相補的形状の保持キャビティ１７（図２ａ）に係合することができる。

インターフェース２０は、本実施形態では横方向開口タイプであるが、異なるタイプの輸送用密閉容器２を保持することができるように、異なる標準化された固定手段を備えていてもよい。

インターフェース２０は、待機位置（図３ａ）と固定位置（図３ｂ）との間で移動可能なロックキー２６を有する固定手段を備えていてもよい。ここで、ロックキー２６は、固定位置において輸送用密閉容器２を固定する。ロックキー２６は、軸方向に移動可能であり、輸送用密閉容器２の底部４ａに形成された相補的な保持キャビティに係合するために、９０°回転して固定位置に入ることができる。

実施形態の一例によれば、少なくとも１つの測定ヘッド２３および少なくとも１つの閉塞ヘッド２４は固定されており、インターフェース２０のプレート２５から突出している。したがって、少なくとも１つの測定ヘッド２３および閉塞ヘッド２４上への輸送用密閉容器２の位置決めは、少なくとも１つの測定ヘッド２３を通気口８に係合させることによって、および少なくとも１つの通気口９を閉塞ヘッド２４で塞ぐことによって、輸送用密閉容器２をインターフェース２０に位置決めし、かつ連結することができる。

インターフェース２０が位置決め手段２１と固定手段２２とを備えており、かつ、周縁シール要素３１およびブラインドシール要素３２が弾性を有している場合、圧縮されていない状態または変形されていない状態の周縁シール要素３１およびブラインドシール要素３２は、位置決め手段２１の端部をわずかに超えてインターフェース２０から突出することができる。したがって、インターフェース２０に輸送用密閉容器２を位置決めおよび固定することにより、少なくとも１つの測定ヘッド２３を通気口８に係合することができ、少なくとも１つの通気口９を閉塞ヘッド２４で塞ぐことができる。

実施形態の別の例によれば、制御装置１は、引き込み位置（図３ａ）と気密性を制御するための突出位置（図３ｂ）との間で、少なくとも１つの測定ヘッド２３および少なくとも１つの閉塞ヘッド２４を動かすようになっているジャッキなどの少なくとも１つのヘッドアクチュエータ３３を備えている。この場合、インターフェース２０は、ヘッドアクチュエータ３３の作動時に輸送用密閉容器２を固定するための固定手段２２を備えていることが好ましい。

ヘッドアクチュエータ３３のストロークｄは、引き込み位置における周縁シール要素３１およびブラインドシール要素３２の位置に依存する。これらの要素は、引き込み位置において、インターフェース２０のプレート２５に形成されたホール３４と同一レベルであってもよく、またはプレート２５の下に位置してもよく、あるいはプレート２５から突き出ていてもよい。

例えば、アクチュエータ３３のストロークｄは、０．５ｍｍより大きくなるように作られていてもよく（図６）、これによって、弾性部材１４のばね定数に関係なく、かつ周縁シール要素３１およびブラインドシール要素３２を少なくとも部分的に圧縮または変形させながら、吸気側逆止弁１１を少なくとも部分的に開くために、引き込み位置でプレート２５と同一レベルにある周縁シール要素３１およびブラインドシール要素３２を、位置決め手段２１を越えて動かすことができる。

制御装置１は、測定ヘッド２３の端部片２９に接続された少なくとも１つの測定ライン４０を備えていてもよい。測定ライン４０は、流量制御装置４１および／または圧力センサ４２を備えている。

流量制御装置４１は、例えば、流量調節可能なマスフローメータである。このマスフローメータは、測定ヘッド２３の端部片２９に開口する測定ライン４０のパイプ３９に、例えば０ｓｃｃｍ〜２０００ｓｃｃｍの範囲内の異なるガス流を制御して注入するために使用することができる。

圧力センサ４２は、例えば、パイプ３９内の０〜１０ミリバールの圧力を測定することができる。

流量制御装置４１は、例えば、端部片２９と圧力調節可能な減圧器４３ｂの下流に配置された粒子フィルター４３ａとの間に配置されている。減圧器４３ｂ自体は、ガス源から流量制御装置４１に向かうガス流れの方向において、パージガス源の下流に配置されている。

流量制御装置４１と圧力センサ４２とは、同じ測定ライン４０上に配置されていてもよい（図１）。制御装置１が２つの測定ヘッド２３を備える場合、流量制御装置４１は、第１の端部片２９に接続された第１の測定ライン４０に取り付けられてもよく、圧力センサ４２は、第２の端部片２９に接続された第２の測定ライン４０に取り付けられてもよい。これらの両方の場合において、流量制御装置４１および／または圧力センサ４２を備えた測定ライン４０は、弁が設けられていない通気口に、または吸気側逆止弁１１を有する吸気口８が設けられていない通気口に係合するようになっている測定ヘッド２３に接続されている。

制御装置１は、測定ヘッド２３に接続されたパイプ内の圧力を下げるために測定ヘッド２３の端部片２９に接続されたサンプリングライン４９を備えていてもよい。

サンプリングライン４９は、小型膜ポンプなどのサンプリングポンプ４４と、仕切弁４４ａとを備えている。サンプリングポンプ４４は、ガスの流れ方向において仕切弁４４ａの下流に取り付けられているので、サンプリングポンプ４４は測定ヘッド２３から隔離することができる。

サンプリングライン４９は、流量制御装置４１および／または圧力センサ４２を備えた測定ライン４０からの分岐として取り付けられてもよい。サンプリングライン４９は、別のラインとすることもできる。サンプリングポンプ４４を備えたサンプリングライン４９は、弁が設けられていない通気口に、または吸気側逆止弁１１を有する吸気口８に、または排気側逆止弁１５を有する排気口９に係合するようになっている測定ヘッド２３に接続してもよい。

サンプリングポンプ４４は、特に輸送用密閉容器２の気密性制御の際に、所望の圧力をより早く設定することができるように、輸送用密閉容器２内の圧力制御を容易にするために使用することができる。

測定ライン４０は、三方弁４７と共に、測定ヘッド２３からの分岐として取り付けられた少なくとも１つの較正された自己制御開口４６を備えていてもよい。較正された自己制御開口４６は、粒子フィルターを備えていてもよい。

三方弁４７は、測定ライン４０を制御する目的で、流量制御装置４１および圧力センサ４２、ならびに存在する場合にはサンプリングライン４９を、それらを測定ヘッド２３から隔離させながら、較正された自己制御開口４６と連通させることができる（図１の矢印Ｆ１）。

三方弁４７は、輸送用密閉容器２の気密性を制御する目的で、流量制御装置４１および圧力センサ４２、ならびに存在する場合にはサンプリングライン４９を、それらを較正された自己制御開口４６から隔離させながら、測定ヘッド２３と連通させることもできる（図１の矢印Ｆ２）。

制御装置１は、測定ヘッド２３の端部片２９に接続された較正ライン５０を備えていてもよく、較正ライン５０は、少なくとも１つの較正された較正開口４８を備えている（図４）。較正された較正開口４８は、粒子フィルターを備えていてもよい。

較正ライン５０は、流量制御装置４１および／または圧力センサ４２を備えた測定ライン４０からの分岐として取り付けられてもよく、ここでは、較正された較正開口４８は、弁の上流に装着される。較正ライン５０は、別のライン、例えばサンプリングライン４９も備えたラインであってもよい。この場合、測定ヘッド２３は、較正ステップ中にのみ、測定ヘッド２３を突出位置に移動させるための専用ヘッドアクチュエータ３３を備えていてもよい。

較正された較正開口４８を備えたこの較正ライン５０は、較正中に弁が開いたままにするために、弁が設けられていない通気口または吸気側逆止弁１１を有する吸気口８に係合するようになっている測定ヘッド２３に接続することができる。

したがって、制御装置１の較正用として、輸送用密閉容器２に較正された漏れを生じさせるために較正ライン５０を使用することができる。

制御装置１は、それぞれの輸送用密閉容器２がそれぞれのインターフェース２０に連結された、複数の輸送用密閉容器２の気密性を同時に制御するための複数のインターフェース２０を備えることができる。

例えば２つの測定ヘッド２３と２つの閉塞ヘッド２４とを備える制御装置１によって、ヘッドアクチュエータ３３をさらに備える制御装置１０によって、輸送用密閉容器２の気密性を制御するための方法１００の一例について説明する（図５）。

制御方法１００は、測定ヘッド２３から隔離されている間に較正された漏れに接続している測定ライン４０において圧力が測定される自己制御ステップ１０１を含むことができる。

この目的のために、測定ライン４０の流量制御装置４１および圧力センサ４２、ならびに存在する場合にはサンプリングポンプ４４は、それらを測定ヘッド２３から隔離させながら、較正された自己制御開口４６と連通している（図１の矢印Ｆ１）。

測定ライン４０の自己制御ステップ１０１は、輸送用密閉容器２が連結されていてもいなくても、いつでも実行することができる。これにより、制御装置１の正しい動作を検証することができ、圧力測定値の判断における誤りを回避することができる。

制御方法１００の以下のステップでは、輸送用密閉容器２をインターフェース２０に連結することが必要である。

この目的のために、例えば、輸送用密閉容器２は、最初にセンタリングピン２１ａ、２１ｂ、２１ｃ上に位置決めされ、固定用フィンガー２２は待機位置にあり、測定ヘッド２３および閉塞ヘッド２４は、引き込み位置にある（図３ａ）。

次に、固定用フィンガー２２を固定位置に移動させて輸送用密閉容器２を固定する（図３ｂおよび図６）。

次に、気密性を制御するために、ヘッドアクチュエータ３３を作動させて、測定ヘッド２３および閉塞ヘッド２４を突出位置に移動させる（図３ｂおよび図７）。

輸送用密閉容器２のそれぞれの通気口８の開口１２における各測定ヘッド２３の係合により、吸気側逆止弁１１の可動シャッター１３が押し戻され、少なくとも部分的に周縁シール要素３１が変形する。

閉塞ヘッド２４のブラインドシール要素３２も、少なくとも部分的に変形しており、それらの各々は、輸送用密閉容器２のそれぞれの通気口９を塞いでいる。

次に、輸送用密閉容器２は、インターフェース２０に連結される。

輸送用密閉容器２の吸気口８および排気口９は、測定ヘッド２３によって係合されているか、閉塞ヘッド２４によって塞がれており、少なくとも１つの測定ヘッド２３は、通気口８に係合されており、周縁シール要素３１およびブラインドシール要素３２は、少なくとも部分的に変形している。

制御方法１００は、較正ステップ１０２を含むことができる。このステップでは、較正ライン５０が測定ヘッド２３によって輸送用密閉容器２に接続されており、較正された漏れを発生させている（図４）。圧力は、インターフェース２０に連結している輸送用密閉容器２の通気口８に係合している測定ヘッド２３に接続している測定ライン４０において測定される。

この較正ステップ１０２は、特に、過圧下における輸送用密閉容器２の変形を考慮することを回避するために、実際の状況におけるデータと比較することによって圧力測定値から推定される漏れの理論値を調整するために特に使用することができる。較正ステップ１０２は、監視装置１の起動時に実行してもよく、その後定期的に実行してもよい。

制御方法１００は、予備的調整ステップ１０３を含むことができる。このステップでは、インターフェース２０に連結している輸送用密閉容器２の通気口８に係合している測定ヘッド２３に接続された測定ライン４０に、所定の初期圧力Ｐ０を設定する。所定の初期圧力Ｐ０は、サンプリングポンプ４４および流量制御装置４１によって設定してもよい。

ここで、同じ輸送用密閉容器２について行った測定は、良好な再現性を示している。次に、異なる輸送用密閉容器２について行った測定を互いに比較して、結果の判断を容易にすることができる。さらに、サンプリングポンプ４４は、迅速かつ容易に所定の初期圧力Ｐ０を制御しており、これにより生産速度の低下を回避している。この予備的調整ステップ１０３は、気密性の新しい制御ごとに繰り返すことができる。

輸送用密閉容器２の気密性の制御は、適切にはいわゆる２つの主要な方法で実行することができる。

第１の方法によれば、輸送用密閉容器２の内部雰囲気は、インターフェース２０に連結された輸送用密閉容器２の通気口８に係合している測定ヘッド２３に、制御されたガス流を注入することによって、過圧下、すなわち大気圧を数ミリバール上回る圧力に設定される（圧力上昇ステップ１０４、図８）。

次に注入を停止し、通気口８に係合している測定ヘッド２３の測定ライン４０における圧力降下を測定する（圧力降下ステップ１０５）。

経時的な圧力降下の曲線は、漏れ量のコンダクタンスを決定するために使用することができる。圧力降下の速度が速くなるにつれて、漏れは、より大きくなる。この方法は敏感であり、０．１リットル／秒のオーダーのような小さい漏れに特に適している。制御期間を通して吸気側逆止弁１１が測定ヘッド２３によって開かれたままなので、経時的な圧力降下の測定を行うことができる。

第２の例によれば、インターフェース２０に連結された輸送用密閉容器２の通気口８内の測定ヘッド２３に一定量のガスを注入し、測定ライン４０における経時的な圧力変化を測定する（図９）。

ガスの注入時間および注入量の関数としての圧力の変化は、漏れ量を決定するために使用することができる。この方法は、数リッター／秒のオーダーのようなより大きい漏れを測定するために使用することができる。

ある輸送用密閉容器２と別の輸送用密閉容器２とでは、弾性部材１４の剛性が大きな食い違いを示す恐れがあることを考えると、吸気側逆止弁１１が測定ヘッド２３によって開放されたままであるという事実は、測定の不確実性を増大させる恐れがある吸気側逆止弁１１の弾性部材１４の変動性の影響を受けることなく、制御されたガス流を注入することができる。弁が開いたままであるという事実は、弁が開位置と閉位置との間で不安定な状態にあるときの弁の振動の影響も回避することができる。

このように、制御装置１を使用して、輸送用密閉容器２を部分的に変えることなく、輸送用密閉容器２の外側から輸送用密閉容器２の内部雰囲気にアクセスすることによって、周縁シール７における輸送用密閉容器２の気密性を制御することができ、このことは、輸送用密閉容器２が逆止弁１１、１５を備えているか否かにかかわらず、輸送用密閉容器２を規格化されたタイプのままで制御することができる。したがって、輸送用密閉容器２が半導体基板３を保管しながら、完全に自動化された方法で、輸送用密閉容器２を製造過程において制御することができる。

１ 制御装置
２ 輸送用密閉容器
３ 半導体基板
４ ケーシング
４ａ 底部
５ 開口部
６ ドア
７ 周縁シール
８ 通気口（吸気口）
９ 通気口（排気口）
１０ 粒子フィルター
１１ 吸気側逆止弁
１２ 開口
１３ 可動シャッター
１４ 弾性部材
１５ 排気側逆止弁
１６ａ、１６ｂ、１６ｃ キャビティ
２０ インターフェース
２１ 位置決め手段
２１ａ、２１ｂ、２１ｃ センタリングピン
２２ 固定用フィンガー（固定手段）
２３ 測定ヘッド
２４ 閉塞ヘッド
２５ プレート
２６ ロックキー
２９ 端部片
３０ 開口
３１ 周縁シール要素
３２ ブラインドシール要素
３３ ヘッドアクチュエータ
３４ ホール
３９ パイプ
４０ 測定ライン
４１ 流量制御装置
４２ 圧力センサ
４３ａ 粒子フィルター
４３ｂ 減圧器
４４ サンプリングポンプ
４４ａ 仕切弁
４６ 自己制御開口
４７ 三方弁
４８ 較正開口
４９ サンプリングライン
５０ 較正ライン
１００ 制御方法
１０１ 自己制御ステップ
１０２ 較正ステップ
１０３ 予備的調整ステップ
１０４ 圧力上昇ステップ
１０５ 圧力降下ステップ
Ｐ０ 初期圧力

Claims (21)

1. 半導体基板（３）を搬送および大気圧下で保管するための少なくとも１つの輸送用密閉容器（２）の気密性を制御するための装置（１）であって、前記輸送用密閉容器（２）は、少なくとも２つの通気口（８、９）を備えている制御装置（１）において、
   前記制御装置（１）は、前記輸送用密閉容器（２）に連結するようになっている少なくとも１つのインターフェース（２０）を備えており、
   前記インターフェース（２０）は、
   − 少なくとも２つの接続ヘッド（２３、２４）を備えており、少なくとも１つの接続ヘッドは、前記輸送用密閉容器（２）の通気口（８）に係合するようになっている測定ヘッド（２３）によって形成されており、
   前記測定ヘッド（２３）は、
   − 貫通して開口している少なくとも１つの開口（３０）を有する突出端部片（２９）と、
   − 前記突出端部片（２９）を囲む周縁シール要素（３１）と、
   − 前記インターフェース（２０）の接続ヘッド（２３、２４）に連結している前記輸送用密閉容器（２）の全ての前記通気口（８、９）とを備えていることを特徴とする制御装置（１）。
2. 少なくとも１つの接続ヘッドは、前記輸送用密閉容器（２）の通気口（９）を塞ぐようになっているブラインドシール要素（３２）を備えている閉塞ヘッド（２４）によって形成されており、前記輸送用密閉容器（２）の全ての前記通気口（８、９）は、測定ヘッド（２３）によって係合されているか、または閉塞ヘッド（２４）によって塞がれていることを特徴とする請求項１に記載の制御装置（１）。
3. 前記測定ヘッド（２３）は、前記輸送用密閉容器（２）の通気口（８）に係合するようになっており、前記通気口（８）に吸気側逆止弁（１１）を備えている場合、前記吸気側逆止弁（１１）を押し戻すことを特徴とする請求項１または２に記載の制御装置（１）。
4. 少なくとも１つの前記周縁シール要素（３１）は、弾性を有しており、前記輸送用密閉容器（２）が前記インターフェース（２０）に連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形していることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の制御装置（１）。
5. 前記インターフェース（２０）は、前記輸送用密閉容器（２）を固定するようになっている少なくとも１つの固定手段（２２、２６）を備えていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の制御装置（１）。
6. 前記測定ヘッド（２３、２４）は移動可能であり、前記インターフェース（２０）は、気密性を制御するために、前記接続ヘッド（２３、２４）を引き込み位置と突出位置との間で動かすようになっている少なくとも１つのヘッドアクチュエータ（３３）をさらに備えていることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の制御装置（１）。
7. 前記接続ヘッド（２３、２４）は、固定され、前記インターフェース（２０）から突出していることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の制御装置（１）。
8. 前記周縁シール要素（３１）は、吸着カップを備えていることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載の制御装置（１）。
9. 前記インターフェース（２０）は、２つの測定ヘッド（２３）と２つの閉塞ヘッド（２４）とを備えていることを特徴とする請求項２に記載の制御装置（１）。
10. 測定ヘッド（２３）の端部片（２９）に接続された少なくとも１つの測定ライン（４０）を備えており、前記測定ライン（４０）は、流量制御装置（４１）および／または圧力センサ（４２）を備えていることを特徴とする請求項１から９のいずれか１項に記載の制御装置（１）。
11. 前記測定ライン（４０）は、前記測定ヘッド（２３）からの分岐として取り付けられた少なくとも１つの較正された自己制御開口（４６）と、前記測定ライン（４０）の前記流量制御装置（４１）および前記圧力センサ（４２）を、それらを前記測定ヘッド（２３）から隔離させながら、少なくとも１つの較正された前記自己制御開口（４６）と連通させるための三方弁（４７）とを備えていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか１項に記載の制御装置（１）。
12. 測定ヘッド（２３）の前記端部片（２９）に接続されたサンプリングライン（４９）を備えており、前記サンプリングライン（４９）は、サンプリングポンプ（４４）を備えていることを特徴とする請求項１０または１１に記載の制御装置（１）。
13. 測定ヘッド（２３）の前記端部片（２９）に接続された較正ライン（５０）を備えており、前記較正ライン（５０）は、少なくとも１つの較正された較正開口（４８）を備えていることを特徴とする請求項１０から１２のいずれか１項に記載の制御装置（１）。
14. 請求項１〜１３のいずれか１項に記載の制御装置（１）によって、半導体基板（３）を搬送および大気圧下で保管するための少なくとも１つの輸送用密閉容器（２）の気密性を制御する方法（１００）であって、輸送用密閉容器（２）は、前記輸送用密閉容器（２）の全ての前記通気口（８、９）が前記インターフェース（２０）の接続ヘッド（２３、２４）に連結されるように、前記制御装置（１）のインターフェース（２０）に連結されており、少なくとも１つの接続ヘッド（２３）は、前記輸送用密閉容器（２）の通気口（８、９）に係合している測定ヘッド（２３）によって形成されていることを特徴とする制御方法（１００）。
15. 前記輸送用密閉容器（２）の全ての前記通気口（８、９）は、前記インターフェース（２０）の測定ヘッド（２３）によって係合されているか、閉塞ヘッド（２４）によって塞がれており、閉塞ヘッド（２４）によって形成された少なくとも１つの接続ヘッド（２４）は、前記輸送用密閉容器（２）の通気口（９）を塞いでいることを特徴とする請求項１４に記載の制御方法（１００）。
16. 少なくとも１つの前記周縁シール要素（３１）は、前記輸送用密閉容器（２）が前記インターフェース（２０）に連結されているときは、少なくとも部分的に圧縮または変形していることを特徴とする請求項１４または１５に記載の制御方法（１００）。
17. 制御されたガス流を、前記インターフェース（２０）に連結された前記輸送用密閉容器（２）の通気口（８）に係合している測定ヘッド（２３）に接続された測定ライン（４０）に注入し、その後注入を停止し、前記測定ライン（４０）内の圧力降下を測定することを特徴とする請求項１４から１６のいずれか１項に記載の制御方法（１００）。
18. 前記測定ライン（４０）の経時的な圧力変化を測定しながら、前記インターフェース（２０）に連結された前記輸送用密閉容器（２）の通気口（８）に係合している測定ヘッド（２３）に接続された測定ライン（４０）に一定のガス流を注入することを特徴とする請求項１４から１７のいずれか１項に記載の制御方法（１００）。
19. 前記インターフェース（２０）に連結された前記輸送用密閉容器（２）の通気口（８）に係合している測定ヘッド（２３）に接続された測定ライン（４０）に、所定の初期圧力（Ｐ０）を設定する予備的調整ステップ（１０３）を含むことを特徴とする請求項１４から１８のいずれか１項に記載の制御方法（１００）。
20. 較正された漏れを発生させるために、前記インターフェース（２０）に連結された前記輸送用密閉容器（２）の通気口（８）に係合している測定ヘッド（２３）によって、較正ライン（５０）を前記輸送用密閉容器（２）に接続させて、かつ、前記インターフェース（２０）に連結された前記輸送用密閉容器（２）の通気口（８）に係合している測定ヘッド（２３）に接続された測定ライン（４０）で、圧力を測定する較正ステップ（１０２）を含むことを特徴とする請求項１４から１９のいずれか１項に記載の制御方法（１００）。
21. 前記測定ヘッド（２３）から隔離させながら、前記測定ヘッド（２３）から分岐として取り付けられた較正された自己制御開口（４６）を備えた測定ライン（４０）において、圧力を測定し、前記較正された自己制御開口（４６）を前記流量制御装置（４１）および前記測定ライン（４０）の前記圧力センサ（４２）と連通している自己制御ステップ（１０１）を含むことを特徴とする請求項１４から２０のいずれか１項に記載の制御方法（１００）。

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