JP6916685B2 - 基板収納容器及びその取扱い方法 - Google Patents
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Description
この方法で使用される吸収体は、容器本体の一対の支持片、あるいは複数対の支持片上方のスロットに収納支持される中空のケースと、このケースに内蔵されて汚染物質を吸収する複数の吸収剤とから構成され、ケースが半導体ウェーハと略同じ大きさの円板形に形成されており、ケースの上下部には、複数の通気孔がそれぞれ穿孔されている。
容器本体が正面の開口したフロントオープンボックスに形成されてその内部両側に一対の支持部が対向して設けられ、この一対の支持部が容器本体の上下方向に多数配列されて多数対の支持部を形成しており、この多数対の支持部が、基板の両側部を水平に支持する複数対の基板用支持部と、機能部材収納治具の両側部を支持する一対の治具用支持部とに分割されており、
機能部材収納治具は、容器本体の一対の治具用支持部に水平に支持される治具と、この治具に収納される機能部材とを含み、治具の蓋体に対向する前部に、蓋体の裏面に接触して治具を容器本体の背面壁方向に押しやることで位置決め固定する弾性部材が設けられ、この弾性部材が、バネ、弾性エラストマー、及び弾性の発泡成形体の少なくともいずれかであることを特徴としている。
また、機能部材収納治具の治具に、貫通孔が設けられるようにすることができる。
また、弾性部材が弾性エラストマーの場合、機能部材収納治具と蓋体との間の距離にバラツキがあっても、弾性エラストマーが変形して機能部材収納治具と蓋体との間の隙間を埋めるので、機能部材収納治具の適切な固定が期待できる。また、容器本体の開口部に蓋体を嵌め合わせると、弾性エラストマーが治具方向に徐々に圧縮されるので、蓋体の嵌め合わせに支障を来すのを阻止することができる。また、弾性部材が弾性の発泡成形体の場合、機能部材収納治具と蓋体との間の距離に多少のバラツキがあっても、発泡成形体が変形して機能部材収納治具と蓋体との間の隙間を埋めるので、機能部材収納治具を適切に固定することが可能となる。さらに、容器本体の開口部に蓋体を嵌め合わせると、発泡成形体がトレイ方向に徐々に変形するので、蓋体による閉鎖に支障を来すのを防ぐことが可能となる。
一対の弾性エラストマー31は、例えば水分を透過しない安価なポリオレフィン系エラストマー、シリコーン系ゴム、フッ素系ゴム等により、それぞれ短い各種柱形、具体的には、蓋体20の蓋本体21裏面に対向する円柱形に成形される。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
弾性の発泡成形体32は、例えばポリオレフィン系樹脂、グリセリン誘導体、及び無機充填剤から主になる発泡成形体用樹脂組成物、ポリスチレン樹脂、ポリプロピレン樹脂等を用いて横長の角棒形に成形され、トレイ11の左右横方向に水平に指向する。その他の部分については、上記実施形態と同様であるので説明を省略する。
2 支持片(支持部)
3 多数対の支持片(多数対の支持部)
4 基板用支持片(基板用支持部)
5 治具用支持片(治具用支持部)
10 機能部材収納治具
11 トレイ(治具)
12 前端部(前部)
13 周壁
16 収納空間
17 通気孔(貫通孔)
18 吸着剤(機能部材)
20 蓋体
21 蓋本体
30 板バネ(弾性部材)
31 弾性エラストマー(弾性部材)
32 発泡成形体(弾性部材)
Claims (4)
- 基板を収納可能な容器本体と、この容器本体に収納される機能部材収納治具と、容器本体の開口部に嵌め合わされて機能部材収納治具に対向する蓋体とを備えた基板収納容器であって、
容器本体が正面の開口したフロントオープンボックスに形成されてその内部両側に一対の支持部が対向して設けられ、この一対の支持部が容器本体の上下方向に多数配列されて多数対の支持部を形成しており、この多数対の支持部が、基板の両側部を水平に支持する複数対の基板用支持部と、機能部材収納治具の両側部を支持する一対の治具用支持部とに分割されており、
機能部材収納治具は、容器本体の一対の治具用支持部に水平に支持される治具と、この治具に収納される機能部材とを含み、治具の蓋体に対向する前部に、蓋体の裏面に接触して治具を容器本体の背面壁方向に押しやることで位置決め固定する弾性部材が設けられ、この弾性部材が、バネ、弾性エラストマー、及び弾性の発泡成形体の少なくともいずれかであることを特徴とする基板収納容器。 - 機能部材収納治具は、治具に吸湿剤、吸着剤、センサ、及び基板よりも幅の狭い別基板の少なくともいずれかが収納される請求項1記載の基板収納容器。
- 機能部材収納治具の治具に、貫通孔が設けられる請求項1又は2記載の基板収納容器。
- 請求項1、2、又は3に記載された基板収納容器の容器本体に、基板と機能部材収納治具とをそれぞれ収納し、容器本体の開口部に蓋体を嵌め合わせるとともに、機能部材収納治具の弾性部材と蓋体とを接触させることを特徴とする基板収納容器の取扱い方法。
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JP2017150337A JP6916685B2 (ja) | 2017-08-03 | 2017-08-03 | 基板収納容器及びその取扱い方法 |
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JP2017150337A JP6916685B2 (ja) | 2017-08-03 | 2017-08-03 | 基板収納容器及びその取扱い方法 |
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- 2017-08-03 JP JP2017150337A patent/JP6916685B2/ja active Active
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