JP6067129B2 - 基板収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納する基板収納容器に関する。

半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と、蓋体と、被係止部とを備える構成のものが、従来より知られている。

容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。壁部は、奥壁と、上壁と、下壁と、第１側壁と、第２側壁とを有している。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。被係止部は、硬い樹脂から形成される剛体であって、上壁の中央部に設けられている。被係止部は、ウェーハ搬送装置等において基板収納容器を吊り上げる際に、ウェーハ搬送装置の吊り上げ部材に掛けられる。これにより基板収納容器は、吊り上げ部材に吊り上げられる。

基板収納容器は、このようにウェーハ搬送装置の吊り上げ部材によって吊り上げられて搬送されるため、ウェーハ搬送装置で発生する振動が、吊り上げ部材から被係止部を介して容器本体へ直接伝わる。容器本体へ伝わった振動は、基板収納容器に収納されるウェーハに伝わり、収納されているウェーハが振動する。ウェーハの振動は、ウェーハとウェーハを保持する溝板とを互いに擦れさせ、ウェーハの損傷、パーティクルの発生、静電気の発生の原因になる。また、発生した静電気は、基板収納容器に収納されたウェーハにパーティクル等を付着させる。

国際公開第９９／３９９９４号パンフレット

基板収納容器の搬送時において、基板収納容器内で発生するウェーハに起因したパーティクルや静電気、又はウェーハ損傷等を抑えるために、ウェーハ搬送装置から基板収納容器に収納されたウェーハに伝わる振動を抑える必要があった。

本発明は、基板収納容器に収納されたウェーハへの振動の伝達を、簡単な構造によって抑えることができる基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明は、半導体ウェーハからなる基板を収納する基板収納容器であって、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記上壁の中央部に配置され、前記容器本体を吊り上げ可能な吊り上げ部材に係止される被係止部とを有し、前記被係止部は、前記上壁に下面が対向する板状のフランジ部と、前記フランジ部の下面、及び／又は、前記フランジ部の周縁部に設けられた弾性変形可能な弾性部材とを有し、前記被係止部は、前記フランジ部と前記吊上げ部材との間に前記弾性部材を挟んだ状態で前記吊り上げ部材に係止される基板収納容器に関する。

また、前記弾性部材の上面は、前記フランジ部に形成された貫通孔に係合可能な係合部を有し、前記弾性部材の下面は、平坦面により構成され、前記平坦面には、前記吊り上げ部材が当接可能であることが好ましい。

また、前記弾性部材の上面は、前記フランジ部に形成された貫通孔に係合可能な係合部を有し、前記弾性部材の下面は、複数の凸部を有し、前記凸部には、前記吊り上げ部材が当接可能であることが好ましい。

また、前記係合部は、成形された前記フランジ部に対して流動性を有する前記弾性部材をインサート成形することにより前記貫通孔内に流入した前記弾性部材により構成されることが好ましい。

また、前記フランジ部は周縁に凸部を有し、前記弾性部材の周縁部は、前記フランジ部の周縁の凸部に係合可能な凹部を有することが好ましい。

また、上面と下面とを有する剛性体を備え、前記剛性体の上面は、前記弾性部材の下面に対して固定され、前記剛性体の下面には、前記吊上げ部材が当接可能であり、前記被係止部は、前記弾性部材に前記吊上げ部材が当接せずに前記剛性体の下面に前記吊上げ部材が当接し、且つ前記フランジ部と前記吊上げ部材との間に前記弾性部材と前記剛性体とを挟んだ状態で前記吊り上げ部材に係止されることが好ましい。

本発明によれば、本発明は、基板収納容器に収納されたウェーハへの振動の伝達を、簡単な構造によって抑えることができる基板収納容器を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器の被係止部が吊り上げ部材に挟持された状態を示す背面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材とを示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材とが係合した状態を示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材とを示す斜視図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材とが係合した状態を示す斜視図である。 本発明の第３実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材とが係合した状態を示す斜視図である。 本発明の第４実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材とが係合した状態を示す斜視図である。 本発明の第１〜４実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材との係合を示した断面図である。 本発明の第５実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材との係合を示した断面図である。 本発明の第６実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材との係合を示した断面図である。 本発明の第７実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材との係合を示した断面図である。 本発明の第８実施形態に係る基板収納容器の被係止部の、フランジ部４１Ｇと弾性部材４２Ｇとの係合を示した平面の断面略図である。 図１１ＡのＡ−Ａ線に沿った断面図である。 図１１ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図である。 図１１ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図である。 本発明の第９実施形態に係る基板収納容器の被係止部の、フランジ部４１Ｈと弾性部材４２Ｈと剛性体４５Ｈとを示した断面図である。

以下、本発明の第１実施形態に係る、基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１Ａは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。図１Ｂは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器の被係止部が吊り上げ部材に挟持された状態を示す背面図である。図３Ａは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材とを示す斜視図である。図３Ｂは、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器の被係止部のフランジ部と弾性部材とが係合した状態を示す斜視図である。

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１Ｂにおける左下方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１Ｂにおける上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１Ｂにおける左上方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。

また、基板収納容器１に収納される基板（図示せず）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板は、直径４５０ｍｍのシリコンウェーハである。

図１Ａ、１Ｂに示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、被係止部としてのトップフランジ４とを有している。

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、複数の基板を収納可能である。

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において左右方向Ｄ３に対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部（図示せず）が設けられている。奥側基板支持部（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板の縁部の後部を支持可能である。

蓋体３は、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分（図１に示す蓋体３の裏側の面）には、フロントリテーナ（図示せず）が設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、奥側基板支持部（図示せず）と対をなすように配置されている。

フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板の縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部（図示せず）と協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。以下、各部について、詳細に説明する。

図１Ａ、図１Ｂに示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板を、基板の上面及び下面が略水平となる位置関係で収納可能である。

図１Ｂに示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ｂ、ラッチ係合凹部（図示せず）が形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ｂ、ラッチ係合凹部（図示せず）は、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

図２に示すように、上壁２３の外面においては、複数のフランジ固定部７が上壁２３と一体成形されて設けられている。複数のフランジ固定部７は、上壁２３の中央部に配置されている。

被係止部としてのトップフランジ４は、図３Ａに示すように、フランジ部４１と、弾性部材４２と、トップフランジ基部４３とを有し、図１Ａ、図１Ｂに示すように、フランジ固定部７に螺子８で固定される。

トップフランジ基部４３は、ポリカーボネート等の熱可塑性プラスチック材から形成され、上方向Ｄ２１から見て略四角形状を有している。トップフランジ基部４３には、図３Ａ、図３Ｂに示すように、固定孔４３１が複数設けられている。固定孔４３１は、円柱形状を有し、上下方向においてトップフランジ基部４３を貫通する。また、固定孔４３１は、トップフランジ基部４３の下方向Ｄ２２において、上壁２３の複数のフランジ固定部７と対向する位置関係を有している。

フランジ部４１は、ポリカーボネート等の熱可塑性プラスチック材から構成されており、トップフランジ基部４３と一体成形され、上壁２３に下面が対向する厚さ４ｍｍの板状を有している。フランジ部４１は、トップフランジ基部４３の上面に対して上方向に一定の段差を有する位置にあり、所定の幅を有してトップフランジ基部４３の周縁を取り囲むように形成されている。フランジ部４１には、図３Ａに示すように、係合孔４１１が複数形成されている。係合孔４１１は、円柱形状を有し、上下方向においてフランジ部４１を貫通する貫通孔により構成されている。

弾性部材４２は、厚さ３．５ｍｍのエラストマーにより構成され、弾性変形可能である。弾性部材４２は、図３Ａに示すように、輪郭がフランジ部４１と一致する形状を有している。弾性部材４２は、フランジ部４１の下面を覆うように設けられている。弾性部材４２の上面は、図７に示すように、係合孔４１１に一致する形状を有する凸状の係合部４２１を複数有している。係合部４２１は、弾性部材４２の上方向において、フランジ部４１の係合孔４１１と対向する位置関係を有している。係合部４２１は、フランジ部４１の下面側から係合孔４１１に係合可能である。

弾性部材４２の上面に設けられた複数の係合部４２１は、フランジ部４１の下面側から、フランジ部４１に設けられた複数の係合孔４１１に係合する。これにより、フランジ部４１と弾性部材４２とが係合してトップフランジ４が組まれる。トップフランジ４は、図１Ａ、図１Ｂに示すように、トップフランジ基部４３の固定孔４３１（図示せず）に挿入される螺子８によって、トップフランジ基部４３の下方向Ｄ２２に位置するフランジ固定部７に螺子止めされて固定される。これにより、トップフランジ４は、容器本体２の上壁２３の外面に固定される。弾性部材４２の下面は、平坦面により構成されている。

被係止部としてのトップフランジ４は、容器本体２を吊り上げ可能な吊り上げ部材としてのアーム６に係止される。また、弾性部材４２の下面を構成する平坦面は、吊り上げ部材としてのアーム６に当接可能である。具体的には、図２に示すように、トップフランジ４は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り上げる際に、吊り上げ部材としてのこれらの機械のアーム６に左右方向Ｄ３から掛けられ、これにより基板収納容器１は、アーム６に吊り上げられる。このとき、トップフランジ４の弾性部材４２は、アーム６に当接しており、トップフランジ４は、フランジ部４１と吊上げ部材としてのウェーハ搬送装置のアーム６の間に弾性部材４２を挟んだ状態で、吊り上げ部材としてのウェーハ搬送装置のアーム６に係止される。尚、トップフランジ４は、吊り上げ部材としてのこれらの機械のアーム６に前後方向Ｄ１から掛けられてもよい。

図１Ｂに示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１Ｂに示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材３１が取り付けられている。シール部材３１は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等である。シール部材３１は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、蓋体３の外周縁部は、シール部材３１を介して容器本体２の開口周縁部２８の内周縁部に当接する。これにより、シール部材３１は蓋体３の外周縁部と開口周縁部２８の内周縁部とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板を出し入れ可能となる。

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１Ｂに示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出しない状態とさせることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部（図示せず）、ラッチ係合凹部２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部は、蓋体３の左右方向Ｄ３の中央位置に形成されている。凹部を形成している蓋体３の内面においては、フロントリテーナ係止部（図示せず）が左右方向Ｄ３において対をなして設けられている。

上記構成の本実施形態１に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。

基板収納容器１は、半導体ウェーハからなる基板を収納するためのものであって、一端部に容器本体開口部２１が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部２０であって、奥壁２２、上壁２３、下壁２４、及び一対の側壁としての第１側壁２５と第２側壁２６とを有し上壁２３の一端部、下壁２４の一端部、及び側壁としての第１側壁２５と第２側壁２６との一端部によって容器本体開口部２１が形成された壁部２０を備え、上壁２３の内面、下壁２４の内面、側壁としての第１側壁２５と第２側壁２６の内面、及び奥壁２２の内面によって、複数の基板を収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、上壁２３の中央部に配置され、容器本体２を吊り上げ可能な吊り上げ部材としてのアーム６に係止される被係止部としてのトップフランジ４とを有し、被係止部としてのトップフランジ４は、上壁２３に下面が対向する板状のフランジ部４１と、フランジ部４１の下面を覆うように設けられた弾性変形可能な弾性部材４２とを有し、被係止部としてのトップフランジ４は、フランジ部４１と吊上げ部材としてのウェーハ搬送装置のアーム６の間に弾性部材４２を挟んだ状態で吊り上げ部材としてのウェーハ搬送装置のアーム６に係止される。

この構成により、基板収納容器１は、ウェーハ搬送装置のアーム６がトップフランジ４の下面の周縁部に設けられた弾性部材４２に当接した状態で、吊り上げられて搬送される。このとき、ウェーハ搬送装置で発生した振動が、アーム６を介してトップフランジ４へ伝わるが、トップフランジ４へ伝わった振動は、トップフランジ４の下面の周縁部に設けられる弾性部材４２によって吸収される。従って、ウェーハ搬送装置で発生した振動が、基板収納容器１に伝わることを抑え、基板収納容器１に収納される基板の振動も抑えることができる。この結果、基板収納容器１内においては、ウェーハとウェーハを保持する溝板とが互いに擦れることを軽減でき、基板収納容器１内で発生するウェーハに起因したパーティクルや静電気、又はウェーハ損傷等を抑えることができる。フランジ部４１の下面に設けられた弾性部材４２は、トップフランジ４と容器本体２との接合部に集中して発生する振動による応力を低減させる。

また、弾性部材４２の上面は、フランジ部４１に形成された貫通孔としての係合孔４１１に係合可能な係合部４２１を有し、弾性部材４２の下面は、平坦面により構成され、平坦面には、吊り上げ部材としてのアーム６が当接可能である。

この構成により、弾性部材４２をフランジ部４１に簡単に取り付けることができ、基板収納容器１に収納されたウェーハへの振動の伝達を、簡単な構造によって抑えることができる。

以下、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図４Ａは、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１のフランジ部４１と弾性部材４２Ａとを示す斜視図である。図４Ｂは、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１のフランジ部４１と弾性部材４２Ａとが係合した状態を示す斜視図である。

第２実施形態では、図４Ａ、図４Ｂに示すように、弾性部材４２Ａの下面が、弾性部材４２Ａの下面の中心から放射状に形成される直線形状の複数の凸部４２３Ａを有する点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第２実施形態において、弾性部材４２Ａの下面は、図４Ａ、図４Ｂに示すように、弾性部材４２Ａの下面の中心から放射状に形成される直線形状の複数の凸部４２３Ａを有し、凸部４２３Ａには、吊り上げ部材としてのウェーハ搬送装置のアーム６が当接可能である。

ウェーハ搬送装置のアーム６は、基板収納容器１を搬送する際に、トップフランジ４の弾性部材４２Ａの下面に設けられた直線形状の複数の凸部４２３Ａに当接する。アーム６に当接した複数の凸部４２３Ａは、ウェーハ搬送装置のアーム６に対して滑り止めの効果を有する。これにより、ウェーハ搬送装置のアーム６は、基板収納容器１を搬送する際に、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に滑りにくい状態で基板収納容器１を挟持することができる。また、弾性部材４２Ａは、下面に設けられた直線形状の複数の凸部４２３Ａにより、ウェーハ搬送装置のアーム６から基板収納容器１へ伝わる振動を吸収する。

以下、本発明の第３実施形態に係る、基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図５は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器１のフランジ部４１と弾性部材４２Ｂとが係合した状態を示す斜視図である。

第３実施形態では、図５に示すように、弾性部材４２Ｂの下面が、前後方向Ｄ１に平行に延びる直線形状の複数の凸部４２３Ｂを有する点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第３実施形態において、弾性部材４２Ｂの下面は、図５に示すように、前後方向Ｄ１に平行に延びる直線形状の複数の凸部４２３Ｂを有し、凸部４２３Ｂには、吊り上げ部材としてのウェーハ搬送装置のアーム６が当接可能である。

この構成により、ウェーハ搬送装置のアーム６は、基板収納容器１を搬送する際に、トップフランジ４の弾性部材４２Ｂの下面に設けられた前後方向Ｄ１に平行に延びる直線形状の複数の凸部４２３Ｂに当接する。アーム６に当接した複数の凸部４２３Ｂは、ウェーハ搬送装置のアーム６に対して滑り止めの効果を有する。これにより、ウェーハ搬送装置のアーム６は、基板収納容器１を搬送する際に、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に滑りにくい状態で基板収納容器１を挟持することができる。また、弾性部材４２Ｂは、下面に設けられた直線形状の複数の凸部４２３Ｂにより、ウェーハ搬送装置のアーム６から基板収納容器１へ伝わる振動を吸収する。

以下、本発明の第４実施形態に係る、基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図６は、本発明の第４実施形態に係る基板収納容器１のフランジ部４１と弾性部材４２Ｃとが係合した状態を示す斜視図である。

第４実施形態では、図６に示すように、弾性部材４２Ｃの下面が、下方向Ｄ２２方向に突出した半球形状の複数の凸部４２３Ｃを有する点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第４実施形態において、弾性部材４２Ｃの下面は、図６に示すように、下方向Ｄ２２方向に突出した半球形状の複数の凸部４２３Ｃを有し、凸部４２３Ｃには、吊り上げ部材としてのウェーハ搬送装置のアーム６が当接可能である。

この構成により、ウェーハ搬送装置のアーム６は、基板収納容器１を搬送する際に、トップフランジ４の弾性部材４２Ｃの下面に設けられた下方向Ｄ２２方向に突出した半球形状の複数の凸部４２３Ｃに当接する。アーム６に当接した複数の凸部４２３Ｃは、ウェーハ搬送装置のアーム６に対して滑り止めの効果を有する。これにより、ウェーハ搬送装置のアーム６は、基板収納容器１を搬送する際に、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に滑りにくい状態で基板収納容器１を挟持することができる。また、弾性部材４２Ｃは、下面に設けられた半球形状の複数の凸部４２３Ｃにより、ウェーハ搬送装置のアーム６から基板収納容器１へ伝わる振動を吸収する。

以下、本発明の第５実施形態に係る、基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図８は、本発明の第５実施形態に係る基板収納容器１のフランジ部４１Ｄと弾性部材４２Ｄとの係合を示した断面図である。

第５実施形態では、図８に示すように、弾性部材４２Ｄの係合部４２１Ｄはフック形状を有し、フランジ部４１Ｄの係合孔４１１Ｄは階段構造を有する点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第５実施形態において、図８に示すように、弾性部材４２Ｄの上面は、上部にフック形状部４２５Ｄが設けられた複数の係合部４２１Ｄを有する。フランジ部４１Ｄには、貫通孔としての係合孔４１１Ｄが複数設けられている。係合孔４１１Ｄを形成する側壁は、段差部４１５Ｄを備える階段構造を有している。弾性部材４２Ｄのフック形状部４２５Ｄは、フランジ部４１Ｄの段差部４１５Ｄに係止される。これにより、弾性部材４２Ｄは、フランジ部４１Ｄと係合する。

この構成により、弾性部材４２Ｄはフランジ部４１Ｄに簡単に取り付けられ、基板収納容器１に収納されたウェーハへの振動の伝達を、フック形状部４２５Ｄと段差部４１５Ｄによる簡単な構造を有するトップフランジ４によって抑えることができる。

以下、本発明の第６実施形態に係る、基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図９は、本発明の第６実施形態に係る基板収納容器１のフランジ部４１Ｅと弾性部材４２Ｅとの係合を示した断面図である。

第６実施形態では、図９に示すように、被係止部としてのトップフランジ４は、フランジ部４１Ｅの下面、及びフランジ部４１Ｅの周縁部を覆うように設けられた弾性変形可能な弾性部材４２Ｅとを有する点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第６実施形態において、図９に示すように、弾性部材４２Ｅの周縁は、コの字形状に形成される凹部としての係合凹部４２２Ｅを有し、フランジ部４１Ｅは、周縁に凸部としての係合凸部４１２Ｅを有する。弾性部材４２Ｅの係合凹部４２２Ｅは、フランジ部４１Ｅの係合凸部４１２Ｅに係合する。

この構成により、弾性部材４２Ｅはフランジ部４１Ｅに簡単に取り付けられ、基板収納容器１に収納されたウェーハへの振動の伝達を、係合凹部４２２Ｅと係合凸部４１２Ｅによる簡単な構造を有するトップフランジ４によって抑えることができる。

以下、本発明の第７実施形態に係る、基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１０は、本発明の第７実施形態に係る基板収納容器１のフランジ部４１Ｆと弾性部材４２Ｆとの係合を示した断面図である。

第７実施形態では、図１０に示すように、弾性部材４２Ｆの係合部４２１Ｆは、成形されたフランジ部４１Ｆに対して流動性を有する弾性部材４２Ｆをインサート成形することにより、フランジ部４１Ｆの係合孔４１１Ｆに流入した弾性部材４２Ｆにより構成される点において、第１、第２、第４実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１、第２、第４実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第７実施形態において、図１０に示すように、フランジ部４１Ｆは、左右方向Ｄ３の左端付近に、左右方向Ｄ３に所定の間隔を有して並ぶように位置する、２つの貫通孔としての係合孔４１１Ｆを有する。また、フランジ部４１Ｆは、左右方向Ｄ３の左端付近に、フランジ部４１Ｆの上面に対して下方向Ｄ２２に一定の段差を有し、２つの係合孔４１１Ｆを取り囲む位置に設けられた段差部４１５Ｆを有する。２つの係合孔４１１Ｆは、段差部４１５Ｆと連通している。このように成形されたフランジ部４１Ｆの係合孔４１１Ｆ及び段差部４１５Ｆは、フランジ部４１Ｆの前端付近、後端付近、左端付近、右端付近にそれぞれ複数設けられている。係合孔４１１Ｆ及び段差部４１５Ｆに対して流動性を有する弾性部材４２Ｆがインサート成形されることにより、弾性部材４２Ｆの係合部４２１Ｆは、フランジ部４１Ｆの係合孔４１１Ｆに流入した弾性部材４２Ｆにより構成される。これによって、弾性部材４２Ｆは、フランジ部４１Ｆに係合する。段差部４１５Ｆに流入した弾性部材４２Ｆの上面は、フランジ部４１上面に面一となる。

このようなインサート成形により、弾性部材４２Ｆはフランジ部４１Ｆから外れ難くなり、これによって、弾性部材４２Ｆの脱離に起因するウェーハ搬送装置の基板収納容器１の搬送トラブルを減少させることができる。

以下、本発明の第８実施形態に係る、基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１１Ａは、本発明の第８実施形態に係る基板収納容器１の、フランジ部４１Ｇと弾性部材４２Ｇとの係合を示した平面の断面略図である。図１１Ｂは、図１１ＡのＡ−Ａ線に沿った断面図である。図１１Ｃは、図１１ＡのＢ−Ｂ線に沿った断面図である。図１１Ｄは、図１１ＡのＣ−Ｃ線に沿った断面図である。なお、図１１Ｂにおいては、便宜上中央部分の詳細について図示を省略している。

第８実施形態では、図１１Ｄに示すように、弾性部材４２Ｇの係合部４２１Ｇは、成形されたフランジ部４１Ｇに対して流動性を有する弾性部材４２Ｇをインサート成形することにより、フランジ部４１Ｇの係合孔４１１Ｇに流入した弾性部材４２Ｇにより構成される点において、第１、第２、第４実施形態とは異なる。また、係合孔４１１Ｇ、係合部４２１Ｇの形状は、第７実施形態における係合孔４１１Ｆ、係合部４２１Ｆの形状とは異なる。

第８実施形態において、図１１Ｄに示すように、フランジ部４１Ｇは、周縁端部付近に、周縁から一定の距離を有する位置に周縁に沿って延びるように配置され、上下方向Ｄ２にフランジ部４１Ｇを貫通する係合孔４１１Ｇを複数有する。係合孔４１１Ｇよりもフランジ部４１Ｇの周縁寄りのフランジ部４１Ｇの前側端部、後側端部、右側端部及び左側端部は、上下方向における厚さがフランジ部４１Ｇの他の部分よりも薄い。弾性部材４２Ｇの係合部４２１Ｇは、このように成形されたフランジ部４１Ｇの係合孔４１１Ｇに対して流動性を有する弾性部材４２Ｇをインサート成形することにより、フランジ部４１Ｇの係合孔４１１Ｇに流入した弾性部材４２Ｇにより構成される。これによって、弾性部材４２Ｇは、フランジ部４１Ｇに係合する。即ち、弾性部材４２Ｇは、フランジ部４１Ｇの上面、下面及びフランジ部４１Ｇの周縁部を覆うように設けられている。トップフランジ４の上面において、弾性部材４２Ｇは、フランジ部４１Ｇと面一になるように成形される。また、図１１Ｂに示すように、トップフランジ４の下面において、弾性部材４２Ｇは、フランジ部４１Ｇの下面よりも下方向Ｄ２２に突出して成形される。

このようなインサート成形により、弾性部材４２Ｇはフランジ部４１Ｇに対してより強固に係合して、弾性部材４２Ｇはフランジ部４１Ｇから外れ難くなり、これによって、弾性部材４２Ｇの脱離に起因するウェーハ搬送装置の基板収納容器１の搬送トラブルを減少させることができる。

以下、本発明の第９実施形態に係る、基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１２は、本発明の第９実施形態に係る基板収納容器１のフランジ部４１Ｈ、弾性部材４２Ｈ、剛性体４５Ｈを示した断面図である。

第９実施形態では、図１２に示すように、被係止部としてのトップフランジ４は、上面と下面とを有する剛性体４５Ｈを備える点において、第１実施形態とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。

第９実施形態において、図１２に示すように、剛性体４５Ｈの上面には、係合部４５１Ｈが複数設けられている。剛性体４５Ｈの係合部４５１Ｈと対向する弾性部材４２Ｈの部分、フランジ部４１Ｈの部分には、弾性部材４２Ｈ、フランジ部４１Ｈをそれぞれ貫通する係合孔４２２Ｈ、係合孔４１１Ｈが複数設けられている。剛性体４５Ｈは、係合部４５１Ｈが、係合孔４２２Ｈ及び係合孔４１１Ｈに、弾性部材４２Ｈ及びフランジ部４１Ｈの下面側から係合することで、被係止部としてのトップフランジ４に取り付けられ、剛性体４５Ｈの上面は、弾性部材４２Ｈの下面に対して固定される。

この構成により、基板収納容器１は、ウェーハ搬送装置のアーム６が弾性部材４２Ｈに当接せずに弾性部材４２Ｈの下面に固定された剛性体４５Ｈに当接した状態で、且つフランジ部４１Ｈとウェーハ搬送装置のアーム６との間に弾性部材４２Ｈと剛性体４５Ｈとを挟んだ状態で、ウェーハ搬送装置のアーム６に吊り上げられて搬送されるため、ウェーハ搬送装置のアーム６と弾性部材４２Ｈとが擦れることによって出るパーティクルを防ぐことが出来る。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、実施形態１〜４において、弾性部材は、弾性部材の上面に設けられた係合部が、フランジ部の下面からフランジ部の係合孔に係合することで、フランジ部に装着されていたが、弾性部材の係合部は、フランジ部の係合孔に対してインサート成形により構成されてもよい。このようなインサート成形により、弾性部材はフランジ部から外れ難くなり、これによって弾性部材の脱離に起因するウェーハ搬送装置の基板収納容器の搬送トラブルを減少させることができる。また、基板収納容器１収納される基板は、本実施形態では直径４５０ｍｍのシリコンウェーハとしていたが、これに限定されない。例えば、基板は、直径３００ｍｍであったり、材質がガラスウェーハ、サファイアウェーハ等でもよい。

また、基板収納容器は、本実施形態の形状、寸法及び材質のものに限定されない。

また、弾性部材は、本実施形態の厚さ及び材質のものに限定されない。

また、剛性体は、剛性体４５Ｈの係合部４５１Ｈが弾性部材４２Ｈの係合孔４２２Ｈ及びフランジ部４１Ｈの係合孔４１１Ｈに、弾性部材４２Ｈ及びフランジ部４１Ｈの下面側から係合することで、被係止部としてのトップフランジ４に取り付けられていたが、この構成に限定されない。例えば、剛性体の係合部は、弾性部材の係合孔及びフランジ部の係合孔に対して流動性を有する剛性体をインサート成形することにより、弾性部材の係合孔及びフランジ部の係合孔に流入した剛性体により構成されることで、剛性体は、被係止部としてのトップフランジに取り付けられ、剛性体の上面は、弾性部材４２Ｈの下面に対して固定されてもよい。

また、剛性体は、剛性体の上面が弾性部材の下面と熱溶着により固定され、弾性部材の上面がフランジ部の下面と熱溶着により固定されることで、被係止部としてのトップフランジに取り付けられ、剛性体の上面は、弾性部材４２Ｈの下面に対して固定されてもよい。

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
４ トップフランジ（被係止部）
６ アーム（吊り上げ部材）
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２２ 奥壁
２３ 上壁
２４ 下壁
２５ 第１側壁（側壁）
２６ 第２側壁（側壁）
２７ 基板収納空間
４１、４１Ｄ、４１Ｅ、４１Ｆ、４１Ｇ、４１Ｈ フランジ部
４１１、４１１Ｄ、４１１Ｆ、４１１Ｇ、４１１Ｈ 係合孔（貫通孔）
４２、４２Ａ、４２Ｂ、４２Ｃ、４２Ｄ、４２Ｅ、４２Ｆ、４２Ｇ、４２Ｈ 弾性部材
４２１、４２１Ｄ、４２１Ｆ、４２１Ｇ 係合部

Claims (6)

1. 半導体ウェーハからなる基板を収納する基板収納容器であって、
   一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
   前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
   前記上壁の中央部に配置され、前記容器本体を吊り上げ可能な吊り上げ部材に係止される被係止部とを有し、
   前記被係止部は、前記上壁に下面が対向する板状のフランジ部と、前記フランジ部の下面、及び／又は、前記フランジ部の周縁部に設けられた弾性変形可能な弾性部材と、を有し、
   前記弾性部材の上面は、前記フランジ部に形成された貫通孔に係合可能な係合部を有し、前記被係止部は、前記フランジ部と前記吊り上げ部材との間に前記弾性部材を挟んだ状態で前記吊り上げ部材に係止される基板収納容器。
2. 前記弾性部材の下面は、平坦面により構成され、前記平坦面には、前記吊り上げ部材が当接可能である請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記弾性部材の下面は、複数の凸部を有し、前記凸部には、前記吊り上げ部材が当接可能である、請求項１に記載の基板収納容器。
4. 前記係合部は、成形された前記フランジ部に対して流動性を有する前記弾性部材をインサート成形することにより前記貫通孔内に流入した前記弾性部材により構成される、請求項２〜３のいずれかに記載の基板収納容器。
5. 半導体ウェーハからなる基板を収納する基板収納容器であって、
   一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部であって、奥壁、上壁、下壁、及び一対の側壁を有し前記上壁の一端部、前記下壁の一端部、及び前記側壁の一端部によって前記容器本体開口部が形成された壁部を備え、前記上壁の内面、前記下壁の内面、前記側壁の内面、及び前記奥壁の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
   前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
   前記上壁の中央部に配置され、前記容器本体を吊り上げ可能な吊り上げ部材に係止される被係止部とを有し、
   前記被係止部は、前記上壁に下面が対向する板状のフランジ部と、前記フランジ部の下面、及び／又は、前記フランジ部の周縁部に設けられた弾性変形可能な弾性部材と、を有し、
   前記フランジ部は周縁に凸部を有し、前記弾性部材の周縁部は、前記フランジ部の周縁の凸部に係合可能な凹部を有し、
   前記被係止部は、前記フランジ部と前記吊り上げ部材との間に前記弾性部材を挟んだ状態で前記吊り上げ部材に係止される基板収納容器。
6. 上面と下面とを有する剛性体を備え、前記剛性体の上面は、前記弾性部材の下面に対して固定され、前記剛性体の下面には、前記吊り上げ部材が当接可能であり、
   前記被係止部は、前記弾性部材に前記吊り上げ部材が当接せずに前記剛性体の下面に前記吊り上げ部材が当接し、且つ前記フランジ部と前記吊り上げ部材との間に前記弾性部材と前記剛性体とを挟んだ状態で前記吊り上げ部材に係止される請求項１〜請求項５のいずれかに記載の基板収納容器。

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