KR102062672B1 - 기판 수납 용기 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 기판 수납 용기(1)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 때에, 복수의 기판(W)의 연부를 지지 가능한 덮개체측 기판 지지부(73)와, 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 때에 덮개체측 기판 지지부(73)와 협동하여 기판 수납 공간(27) 내에 복수의 기판(W)을 지지하는 안쪽 기판 지지부(6)를 구비한다. 덮개체측 기판 지지부(73)는 유연성을 발현시켜 기판(W)을 지지하고, 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 상태의 용기본체(2)에 대해서 기판 수납 공간(27)에 수납되어 있는 기판(W)을 폐색상태기판(W1)이라 하며, 폐색상태기판(W1)의 중심을 폐색 시 중심(C1)이라 하는 경우에, 폐색상태기판(W1)을 두께방향(D2)으로 볼 때에 안쪽 기판 지지부(6)는 안쪽방향 기준선(CL1)을 사이에 두고 쌍을 이루고 마련되어 기판(W)을 지지하고, 폐색상태기판(W1)을 두께방향(D2)으로 볼 때에 안쪽 기판 지지부(6)가 좌우방향 기준선(CL2)에 대하여 안쪽방향(D12)을 향해 이루는 중심각(α)은 20°이상 55°이하이다.

Description

기판 수납 용기{WAFER STORAGE CONTAINER}
본 발명은 기판 수납 용기에 관한 것으로, 특히 반도체 웨이퍼 등의 기판을 병렬시킨 상태로 복수 수납하는 기판 수납 용기에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 기판을 수납하는 용기로서는 용기본체와, 덮개체(蓋體)와, 측방 기판 지지부와, 덮개체측 기판 지지부와, 안쪽(奧側) 기판 지지부를 구비한 구성의 것이 종래부터 알려져 있다.
용기본체는 일단부에 용기본체 개구부가 형성되고, 타단부가 폐색(閉塞)된 통(筒)형의 벽부(壁部)를 갖는다. 용기본체 내에는 기판 수납 공간이 형성되어 있다. 기판 수납 공간은 벽부에 의해 둘러싸여 형성되어 있으며 복수의 기판을 수납할 수 있다. 덮개체는 용기본체 개구부에 대하여 착탈 가능하며, 용기본체 개구부를 폐색 가능하다. 측방 기판 지지부는 기판 수납 공간 내에 쌍을 이루도록 벽부에 마련되어 있다. 측방 기판 지지부는 덮개체에 의해 용기본체 개구부가 폐색되지 않은 때에, 인접하는 기판들을 소정의 간격으로 이간(離間)시켜 병렬시킨 상태로 복수의 기판의 연부(緣部)를 지지할 수 있다.
덮개체측 기판 지지부는 덮개체의 부분이며 용기본체 개구부를 폐색하고 있는 때에 기판 수납 공간에 대향하는 부분에 마련되어 있다. 덮개체측 기판 지지부는 덮개체에 의해 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에 복수의 기판의 연부를 지지할 수 있다.
안쪽 기판 지지부는 덮개체측 기판 지지부와 쌍을 이루도록 벽부에 마련되어 있다. 안쪽 기판 지지부는 복수의 기판의 연부를 지지할 수 있다. 안쪽 기판 지지부는 덮개체에 의해 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에 덮개체측 기판 지지부와 협동하여 복수의 기판을 지지함으로써, 인접하는 기판들을 소정의 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로 복수의 기판을 보존유지(保持)한다(특허문헌 1 참조).
또한, 안쪽 기판 지지부는 측방 기판 지지부와 일체로 형성되어 있어도 좋고, 또는 측방 기판 지지부와는 별체(別體)로 구성되어 있어도 좋다.
일본 특개2011-108715호공보
기판이 수납된 기판 수납 용기를 운반할 때에는 기판 수납 용기의 외부로부터 가해지는 충격이 안쪽 기판 지지부 및 덮개체측 기판 지지부를 통해 기판에 전달되어, 기판이 파손되는 일이 있다. 이 때문에, 기판에 충격이 전달되는 것을 극력(極力) 억제하는 것이 요구된다.
본 발명은 기판 수납 용기의 운반 시에, 기판 수납 용기에 수납된 복수의 기판에 충격이 전달되는 것을 극력 억제할 수 있는 기판 수납 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 복수의 기판을 수납 가능한 기판 수납 공간이 내부에 형성되고, 일단부에 상기 기판 수납 공간에 연통하는 용기본체 개구부가 형성된 용기본체와, 상기 용기본체 개구부에 대하여 착탈 가능하며, 상기 용기본체 개구부를 폐색 가능한 덮개체와, 상기 덮개체의 부분이며 상기 덮개체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에 상기 기판 수납 공간에 대향하는 부분에 배치되며, 상기 덮개체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에 상기 복수의 기판의 연부를 지지가능한 덮개체측 기판 지지부와, 상기 기판 수납 공간 내에 상기 덮개체측 기판 지지부와 쌍을 이루도록 배치되고, 상기 복수의 기판의 연부를 지지 가능하며, 상기 덮개체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에 상기 덮개체측 기판 지지부와 협동하여 상기 복수의 기판을 지지하는 안쪽 기판 지지부를 구비하고, 상기 덮개체측 기판 지지부는 유연성을 발현시켜 기판을 지지하며, 상기 용기본체의 일단부에서 당해 일단부에 대한 타단부로 향하는 방향을 안쪽방향(奧行方向)이라 하고, 상기 덮개체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 상태의 상기 용기본체에 대하여 상기 기판 수납 공간에 수납되어 있는 기판을 폐색상태기판이라 하며, 상기 폐색상태기판의 중심을 폐색 시 중심이라 하고, 상기 폐색 시 중심을 통과하는 동시에 상기 안쪽방향에 평행한 가상 직선을 안쪽방향 기준선이라 하고, 상기 폐색 시 중심을 통과하는 동시에 상기 안쪽방향에 직교하는 가상 직선을 좌우방향 기준선이라 하는 경우에, 상기 폐색상태기판을 두께방향으로 볼 때에 상기 안쪽 기판 지지부는 상기 안쪽방향 기준선을 사이에 두고 쌍을 이루고 마련되어 기판을 지지하고, 상기 폐색상태기판을 두께방향으로 볼 때에 상기 안쪽 기판 지지부가 상기 좌우방향 기준선에 대하여 상기 안쪽방향을 향해 이루는 중심각은 20°이상 55°이하인 기판 수납 용기에 관한 것이다.
또한, 상기 중심각은 35°이상 50°이하인 것이 바람직하다.
또한, 기판의 직경은 450mm 이상인 것이 바람직하다.
본 발명에 의하면, 기판 수납 용기의 운반 시에. 기판 수납 용기에 수납된 복수의 기판에 충격이 전달되는 것을 극력 억제할 수 있는 기판 수납 용기를 제공할 수 있다.
도 1은 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기를 나타내는 사시도이다.
도 2a는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기를 나타내는 종단면도이다.
도 2b는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기의 안쪽 기판 지지부를 나타내는 측방 확대 단면도이다.
도 3a는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기에 대하여 덮개체를 개방한 상태를 나타내는 분해 사시도이다.
도 3b는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기의 용기본체의 기판 수용 공간에 기판을 수납한 상태를 나타내는 분해 사시도이다.
도 4a는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기를 나타내는 평면에서 본 단면도이다.
도 4b는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기에 기판을 보존유지한 모양을 나타내는 평면에서 본 단면도이다.
도 5는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기의 덮개체를 나타내는 후방 사시도이다.
이하, 본 발명의 본 실시형태에 의한 기판 수납 용기에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다. 도 1은 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기를 나타내는 사시도이다. 도 2a는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기를 나타내는 종단면도이다. 도 2b는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기의 안쪽 기판 지지부를 나타내는 측방 확대 단면도이다. 도 3a는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기에 대하여 덮개체를 개방한 상태를 나타내는 분해 사시도이다. 도 3b는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기의 용기본체의 기판 수용 공간에 기판을 수납한 상태를 나타내는 분해 사시도이다. 도 4a는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기를 나타내는 평면에서 본 단면도이다. 도 4b는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기에 기판을 보존유지한 모양을 나타내는 평면에서 본 단면도이다. 도 5는 본 실시형태에 따른 기판 수납 용기의 덮개체를 나타내는 후방 사시도이다.
여기서, 설명의 편의상 후술하는 용기본체(2)에서 덮개체(3)로 향하는 방향(도 2a에서의 좌(左)방향)을 전(前)방향(D11)으로 정의하고, 그 반대방향을 후(後)방향(안쪽방향)(D12)으로 정의하며, 이들을 전후방향(D1)으로 정의한다. 후방향(안쪽방향)(D12)은 용기본체(2)의 일단부에서 당해 일단부에 대한 타단부로 향하는 방향이기도 하다. 또한, 후술하는 하벽(24)에서 상벽(23)으로 향하는 방향(도 2a에서의 상(上)방향)을 상방향(D21)으로 정의하고, 그 반대방향을 하(下)방향(D22)으로 정의하며, 이들을 상하방향(D2)으로 정의한다. 상하방향(D2)은 기판 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)의 두께방향이기도 하다. 또한, 후술하는 제 2 측벽(26)에서 제 1 측벽(25)으로 향하는 방향(도 2a에서의 지면의 표면에서 이면으로 향하는 방향)을 좌방향(D31)으로 정의하고, 그 반대방향을 우방향(D32)으로 정의하며, 이들을 좌우방향(D3)으로 정의한다.
또한, 기판 수납 용기(1)에 수납되는 기판(W)(도 4b 등 참조)은 원반형의 실리콘 웨이퍼, 글래스 웨이퍼, 사파이어 웨이퍼 등이며, 산업에 이용되는 얇은 것이다. 기판(W)은 예를 들어, 직경 450mm 이상의 실리콘 웨이퍼이며, 본 실시형태에서의 기판(W)은 직경 450mm의 실리콘 웨이퍼이다.
도 1~도 3b에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 용기(1)는 용기본체(2)와, 덮개체(3)와, 시일부재(4)와, 기판 지지 판형부(5)와, 프론트 리테이너(front retainer)(7)를 가지고 있다.
용기본체(2)는 일단부에 용기본체 개구부(21)가 형성되고, 타단부가 폐색된 통형의 벽부(20)를 갖는다. 용기본체(2) 내에는 기판 수납 공간(27)이 형성되어 있다. 기판 수납 공간(27)은 벽부(20)에 의해 둘러싸여 형성되어 있다. 벽부(20)의 부분이며 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있는 부분에는 기판 지지 판형부(5)가 배치되어 있다. 기판 수납 공간(27)에는 복수의 기판(W)(도 3b, 도 4b 참조)을 수납할 수 있다.
기판 지지 판형부(5)는 기판 수납 공간(27) 내에서 쌍을 이루도록 벽부(20)에 마련되어 있다. 기판 지지 판형부(5)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되지 않는 때에, 인접하는 기판(W)들을 소정의 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로 복수의 기판(W)의 연부를 지지할 수 있다. 안쪽 기판 지지부(6)는 기판 지지 판형부(5)의 안쪽(후방향(D12)쪽)에 일체적으로 마련되어 있다. 안쪽 기판 지지부(6)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 때에 복수의 기판(W)의 연부의 후부(後部)를 지지할 수 있다.
또한, 안쪽 기판 지지부(6)는 기판 지지 판형부(5)와 별체로 구성되어 있어도 좋다.
덮개체(3)는 용기본체 개구부(21)에 대해 착탈 가능하며, 용기본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 프론트 리테이너(7)는, 덮개체(3)의 부분이며 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 때에 기판 수납 공간(27)에 대향하는 부분에 마련되어 있다. 프론트 리테이너(7)는 안쪽 기판 지지부(6)와 쌍을 이루도록 배치되어 있다.
프론트 리테이너(7)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 때에, 복수의 기판(W)의 연부의 전부(前部)를 지지할 수 있다. 프론트 리테이너(7)는 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 때에, 안쪽 기판 지지부(6)와 협동하여 복수의 기판(W)을 지지함으로써, 인접하는 기판(W)들을 소정의 간격으로 이간시켜 병렬시킨 상태로 복수의 기판(W)을 보존유지한다. 이하, 각 부에 대하여 상세하게 설명한다.
도 3a 등에 나타낸 바와 같이, 용기본체(2)의 벽부(20)는 안벽(22)과 상벽(23)과 하벽(24)과 제 1 측벽(25)과 제 2 측벽(26)을 갖는다. 안벽(22), 상벽(23), 하벽(24), 제 1 측벽(25) 및 제 2 측벽(26)은 플라스틱 재(材) 등에 의해 구성되어 있으며, 제 1 실시형태에서는 폴리카보네이트(polycarbonate)에 의해 일체 성형되어 구성되어 있다.
제 1 측벽(25)과 제 2 측벽(26)은 대향하고 있으며, 상벽(23)과 하벽(24)은 대향하고 있다. 상벽(23)의 후단, 하벽(24)의 후단, 제 1 측벽(25)의 후단 및 제 2 측벽(26)의 후단은 모두 안벽(22)에 접속되어 있다. 상벽(23)의 전단, 하벽(24)의 전단, 제 1 측벽(25)의 전단 및 제 2 측벽(26)의 전단은 안벽(22)에 대향하는 위치관계를 가지며, 대략 장방형상을 한 용기본체 개구부(21)를 형성하는 개구 주연부(周緣部)(28)를 구성한다.
개구 주연부(28)는 용기본체(2)의 일단부에 마련되어 있으며, 안벽(22)은 용기본체(2)의 타단부에 위치하고 있다. 벽부(20)의 외면에 의해 형성되는 용기본체(2)의 외형은 상자형이다. 벽부(20)의 내면, 즉 안벽(22)의 내면, 상벽(23)의 내면, 하벽(24)의 내면, 제 1 측벽(25)의 내면 및 제 2 측벽(26)의 내면은 이들에 의해 둘러싸인 기판 수납 공간(27)을 형성하고 있다. 개구 주연부(28)에 형성된 용기본체 개구부(21)는 벽부(20)에 의해 둘러싸여 용기본체(2)의 내부에 형성된 기판 수납 공간(27)에 연통되어 있다. 기판 수납 공간(27)에는 후술하는 바와 같이, 최대 25매의 기판(W)을 수납할 수 있다.
도 3a에 나타낸 바와 같이, 상벽(23) 및 하벽(24)의 부분이며, 개구 주연부(28)의 근방의 부분에는 기판 수납 공간(27)의 바깥쪽을 향해 움푹 패인 래치 계합 요부(latch 係合 凹部)(231A, 231B, 241A, 241B)가 형성되어 있다. 래치 계합 요부(231A, 231B, 241A, 241B)는 상벽(23) 및 하벽(24)의 좌우 양단부 근방에 1개씩 총 4개 형성되어 있다.
도 1, 도 2a, 도 3a에 나타낸 바와 같이, 상벽(23)의 외면에는 리브(233) 및 플랜지 고정부(234)가 상벽(23)과 일체 성형되어 마련되어 있다. 리브(233)는 상벽(23)의 외면에서 상방향(D21)으로 돌출되며 복수개 마련되어 있다. 리브(233)는 대략 전후방향(D1)으로 연장되는 것과, 대략 좌우방향(D3)으로 연장되는 것을 가지고 있다. 플랜지 고정부(234)에는 톱 플랜지(235)가 고정된다. 톱 플랜지(235)는 상벽(23)에 고정되며, AMHS(자동 웨이퍼 반송(搬送)시스템), PGV(웨이퍼 기판 반송대차) 등에서 기판 수납 용기(1)를 매달 때에, 기판 수납 용기(1)에서 걸려 매달리는 부분이 되는 부재이다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 하벽(24)의 외면에는 용기본체 다리부(243)가 마련되어 있다. 도 3a 등에 나타낸 바와 같이, 용기본체 다리부(243)는 하벽(24)의 좌우 양 단연(端緣)에 하벽(24)과는 별체로 마련되어 있으며, 하벽(24)의 좌우 양 단연을 따라 전후방향(D1)으로 연장되어 있다. 용기본체 다리부(243)는 하벽(24)을 하측(하방향(D22)측)으로 하여 용기본체(2)를 수평한 평탄면 상에 재치(載置)한 때에, 당해 평탄면에 당접하여 용기본체(2)를 안정하게 지지한다.
도 2a, 도 3a, 도 4a에 나타낸 바와 같이, 기판 지지 판형부(5)는 제 1 측벽(25) 및 제 2 측벽(26)에 각각 마련되며, 좌우방향(D3)에서 쌍을 이루도록 하여 기판 수납 공간(27) 내에 배치되어 있다. 구체적으로는, 도 2a에 나타낸 바와 같이, 기판 지지 판형부(5)는 판부(51)와 판부 지지부(52)와 안쪽 기판 지지부(6)를 가지고 있다. 판부(51)와 판부 지지부(52)와 안쪽 기판 지지부(6)는 수지가 일체 성형되어 구성되어 있다. 판부(51)는 판형의 호(弧) 형상을 가지고 있다. 판부(51)는 제 1 측벽(25), 제 2 측벽(26)에 각각 25매씩 총 50매 마련되어 있다. 인접하는 판부(51)는 상하방향(D2)에 대하여 10mm~12mm 간격으로 서로 이간되어 평행한 위치관계로 배치되어 있다. 또한, 가장 위에 위치하는 판부(51)의 상방에도 판부(51)와 대략 동일한 형상의 것이 배치되어 있지만, 이것은 가장 위에 위치하여 기판 수납 공간(27) 내에 삽입되는 기판(W)에 대하여, 당해 삽입 시의 가이드 역할을 하는 부재이다.
또한, 도 4a에 나타낸 바와 같이, 제 1 측벽(25)에 마련된 25매의 판부(51)와, 제 2 측벽(26)에 마련된 25매의 판부(51)는 서로 좌우방향(D3)에 대하여 대향하는 위치관계를 가지고 있다. 또한, 50매의 판부(51), 및 판부(51)와 대략 동일한 형상의 2매의 가이드 역할을 하는 부재는 하벽(24)의 내면에 평행한 위치관계를 가지고 있다. 도 2a에 나타낸 바와 같이, 판부(51)의 상면에는 철부(凸部)(511)가 마련되어 있다. 판부(51)에 지지된 기판(W)은 철부(511)의 돌출단에만 접촉하고, 면에서 판부(51)에 접촉하지 않는다.
판부 지지부(52)는 도 2a에 나타낸 바와 같이, 상하방향(D2)으로 연장되는 부재에 의해 구성되어 있다. 제 1 측벽(25)에 마련된 25매의 판부(51)는 제 1 측벽(25) 쪽에 마련된 판부 지지부(52)에 접속되어 있다. 마찬가지로, 제 2 측벽(26)에 마련된 25매의 판부(51)는 제 2 측벽(26) 쪽에 마련된 판부 지지부(52)에 접속되어 있다.
판부 지지부(52)는 제 1 측벽 걸림부(係止部)(53)를 가지고 있다. 제 1 측벽 걸림부(53, 53)는 제 1 측벽(25), 제 2 측벽(26)에 각각 마련된 측방 판 걸림부(251, 261)에 걸릴 수 있다. 이와 같은 구성의 기판 지지 판형부(5)에 의해 복수의 기판(W) 중 인접하는 기판(W)들을 소정의 간격으로 이간된 상태임과 동시에 서로 평행한 위치관계로 한 상태에서 복수의 기판(W)의 연부를 지지할 수 있다.
여기서, 설명의 편의상, 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되어 있는 상태의 용기본체(2)에 있어서 기판 수납 공간(27)에 수납되어 있는 기판(W)을 「폐색상태기판(W1)」이라 한다(도 4b 참조). 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)가 폐색되지 않은 상태의 용기본체(2)에 있어서 기판 수납 공간(27)에 수납되어 있는 기판(W)을 「비폐색상태기판(W2)」이라 한다(도 3b 참조).
또한, 도 4b에 나타낸 바와 같이, 폐색상태기판(W1)의 중심을 「폐색 시 중심(C1)」이라 한다. 또한, 기판(W)을 두께방향(D2)으로 보았을 때에 폐색 시 중심(C1)과 비폐색상태기판(W2)의 중심(미도시)은 통상 어긋나있다(특히 전후방향(D12)으로 어긋나 있다). 폐색 시 중심(C1)을 통과하는 동시에 후방향(안쪽방향)(D12)에 평행한 가상 직선을 「안쪽방향 기준선(CL1)」이라 한다. 폐색 시 중심(C1)을 통과하는 동시에 후방향(안쪽방향)(D12)에 직교하는 가상 직선을 「좌우방향 기준선(CL2)」이라 한다.
도 4b에 나타낸 바와 같이, 폐색상태기판(W1)을 두께방향(D2)으로 볼 때, 안쪽 기판 지지부(6)는 안쪽방향 기준선(CL1)을 사이에 두고 쌍을 이루어 마련되어 있다. 도 2a에 나타낸 바와 같이, 안쪽 기판 지지부(6)는 벽부 기판 지지부(60)와, 측벽 후부 걸림부(67)를 가지고 있다. 측벽 후부 걸림부(67, 67)는 제 1 측벽(25), 제 2 측벽(26)에 각각 마련된 안쪽 기판 지지부 걸림부(252, 262)에 걸릴 수 있다.
제 1 측벽 걸림부(53, 53)가 측방 판 걸림부(251, 261)에 걸리는 동시에, 측벽 후부 걸림부(67, 67)가 안쪽 기판 지지부 걸림부(252, 262)에 걸리게 됨으로써 기판 지지 판형부(5)는 제 1 측벽(25), 제 2 측벽(26)에 각각 고정된다.
안쪽 기판 지지부(6)의 벽부 기판 지지부(60)는 실질적으로 유연성을 발현시키지 않고 기판(W)을 지지한다. 「실질적으로 유연성을 발현시키지 않고」란, 벽부 기판 지지부(60)의 재질이나 구조에 궁리를 하여 의도적으로 유연성을 발현시킨 사항이 없다는 의미이다.
또한, 안쪽 기판 지지부(6)는 유연성을 발현시킨 상태로 기판(W)을 지지하는 구성으로 할 수도 있다.
벽부 기판 지지부(60)는 기판 수납 공간(27)에 수납 가능한 기판(W)의 1매마다 대응된 개수, 구체적으로는 25개 마련되어 있다. 제 1 측벽(25) 및 제 2 측벽(26)에 마련된 벽부 기판 지지부(60)는 전후방향(D1)에서 후술하는 프론트 리테이너(7)와 쌍을 이루도록 위치관계를 가지고 있다.
벽부 기판 지지부(60)는 도 2b에 나타낸 바와 같이, 제 1 당접면(621)을 갖는 지지부 상부(62)와, 제2 당접면(631)을 갖는 지지부 상부(63)를 가지고 있다.
도 4b에 나타낸 바와 같이, 기판 수납 공간(27) 내에 기판(W)이 수납되고, 덮개체(3)가 닫힘(폐색되는 것)으로써, 기판(W)(폐색상태기판(W1))이 안쪽 기판 지지부(6)와 프론트 리테이너(7)에 의해 지지된 때에, 제 1 당접면(621)에는 기판(W) 상면의 연부의 단연이 당접 가능하고, 또한 제 2 당접면(631)에는 기판(W) 하면의 연부의 단연이 당접 가능하다.
도 3a에 나타낸 바와 같이, 덮개체(3)는 용기본체(2)의 개구 주연부(28)의 형상과 대략 일치하는 대략 장방형상을 가지고 있다. 덮개체(3)는 용기본체(2)의 개구 주연부(28)에 대하여 착탈 가능하며, 개구 주연부(28)에 덮개체(3)가 장착됨으로써 덮개체(3)는 용기본체 개구부(21)를 폐색 가능하다. 도 4a에 나타낸 바와 같이, 덮개체(3)의 외주연부(外周緣部)에는 시일부재 감합홈(嵌合溝)(31)이 덮개체(3)의 외주연부를 따라 형성되어 있다. 시일부재 감합홈(31)에는 탄성 변형 가능한 POE(폴리옥시에틸렌)제(製), PEE를 비롯한 폴리에스테르계, 폴리올레핀계 등 각종 열가소성 엘라스토머제, 불소 고무제, 실리콘 고무제 등의 환형의 시일부재(4)가 끼워 넣어져 있다. 시일부재(4)는 덮개체(3)의 외주연부를 일주(一周)하도록 배치되어 있다.
시일부재(4)는 용기본체 개구부(21)를 형성하고 있는 용기본체(2)의 부분인 개구 주연부(28)에 당접할 수 있다. 시일부재(4)는 개구 주연부(28)와 덮개체(3) 사이에 개재되어 개구 주연부(28)에 밀착하여 당접함으로써, 덮개체(3)에 의해 용기본체 개구부(21)를 기밀의 상태로 폐색할 수 있다.
또한, 개구 주연부(28)로부터 덮개체(3)가 분리됨으로써, 용기본체(2) 내의 기판 수납 공간(27)에 대하여 기판(W)을 출입시킬 수 있다.
덮개체(3)에는 래치기구가 마련되어 있다. 래치기구는 덮개체(3)의 좌우 양 단부 근방에 마련되어 있으며, 도 3a, 도 3b에 나타낸 바와 같이, 덮개체(3)의 상변(上邊)에서 상방향(D21)으로 돌출 가능한 2개의 상측 래치부(32A, 32B)와, 덮개체(3)의 하변(下邊)에서 하방향(D22)으로 돌출 가능한 2개의 하측 래치부(미도시)를 구비하고 있다. 2개의 상측 래치부(32A, 32B)는 덮개체(3)의 상변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있으며, 2개의 하측 래치부는 덮개체(3)의 하변의 좌우 양단 근방에 배치되어 있다.
도 3a에 나타낸 바와 같이, 덮개체(3)의 외면에는 조작부(操作部)(33)가 마련되어 있다. 조작부(33)를 덮개체(3)의 전측(前側)에서 조작함으로써, 상측 래치부(32A, 32B), 하측 래치부를 덮개체(3)의 상변, 하변으로부터 돌출시킬 수 있으며, 또한 상변, 하변으로부터 돌출되지 않는 상태로 할 수 있다. 상측 래치부(32A, 32B)가 덮개체(3)의 상변에서 상방향(D21)으로 돌출되어 용기본체(2)의 래치 계합 요부(231A, 231B)에 계합되고, 동시에 하측 래치부가 덮개체(3)의 하변에서 하방향(D22)으로 돌출되어 용기본체(2)의 래치 계합 요부(241A, 241B)에 계합됨으로써, 덮개체(3)는 용기본체(2)의 개구 주연부(28)에 고정된다.
도 4a 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 덮개체(3)의 내면의 일부이며 용기본체 개구부(21)를 폐색하는 부분에는, 용기본체(2)의 전방향(D11)으로 움푹 패인 덮개체 다리부 고정용 요부(341)가 형성되어 있다. 덮개체 다리부 고정용 요부(341)는 덮개체(3)의 좌우방향(D3)의 중앙 위치에서, 덮개체(3)의 좌우방향(D3)에 대한 폭의 3분의 1 정도의 폭을 가지며, 상하방향(D2)에 대해서 덮개체(3)의 상단부 근방에서 하단부 근방에 이르기까지 형성되어 있다. 덮개체 다리부 고정용 요부(341)의 상단 및 하단은 덮개체(3)의 연부에 의해 형성되어 있다. 덮개체(3)의 내면의 부분이며 좌우방향(D3)에 대해서 덮개체 다리부 고정용 요부(341)의 양협(兩脇) 부분은 내면 좌우단부 평탄면(342)에 의해 구성되어 있다.
덮개체(3)는 좌우방향(D3)에 대해서 덮개체(3)의 중앙에서 상하로 연장되는 가상선을 중심으로 한 대칭 구성을 가지고 있다. 이 때문에, 이하, 주로 우측(도 5에 나타낸 좌측) 부분의 구성에 대하여 상술하고, 좌측(도 5에 나타낸 우측) 부분에 대하여는 상세한 설명을 생략한다.
이와 같이, 덮개체(3)는 대칭 구성을 가지고 있기 때문에, 덮개체(3)에 고정되어 있는 프론트 리테이너(7)도 가상선을 중심으로 하여 대조적으로 2개 마련되어 있다. 즉, 후술하는 타방의 덮개체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너 기판 수용부(73)는 좌우방향(D3)에서 쌍을 이루어 배치되어 있다. 쌍을 이루고 있는 프론트 리테이너 기판 수용부(73) 중 일방의 프론트 리테이너 기판 수용부(73)에 접속된 프론트 리테이너 다리부(72)와, 쌍을 이루고 있는 프론트 리테이너 기판 수용부(73) 중 타방의 프론트 리테이너 기판 수용부(73)에 접속된 프론트 리테이너 다리부(72)는 별체로 구성되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 좌우방향(D3)에 대해서 덮개체 다리부 고정용 요부(341)의 양 단부 근방에는 프론트 리테이너 걸림판(係止板)(343)이 한 쌍 마련되어 있다. 한 쌍의 프론트 리테이너 걸림판(343)은 상하방향(D2)으로 연장되어 있다. 또한, 좌우방향(D3)에 대해서 각 내면 좌우단부 평탄면(342)의 중앙 부분에는 프론트 리테이너 걸림부(344)가 각각 1개씩 마련되어 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 덮개체(3)의 내면에 대향하는 위치이며, 좌측(좌방향(D31)측)의 프론트 리테이너 걸림판(343)에서 좌측의 프론트 리테이너 걸림부(344)에 이르기까지의 위치에는 프론트 리테이너(7)가 마련되어 있다. 프론트 리테이너(7)는 상하방향(D2)으로 평행하게 연장되는 한 쌍의 세로 테두리체(71)와, 한 쌍의 프론트 리테이너 다리부(72)와, 프론트 리테이너 기판 수용부(73)를 가지고 있다. 한 쌍의 세로 테두리체(71), 프론트 리테이너 다리부(72) 및 프론트 리테이너 기판 수용부(73)는 수지에 의해 일체 성형되며, 서로 접속되어 있다. 프론트 리테이너(7)의 프론트 리테이너 기판 수용부(73)는 유연성을 발현시켜 기판(W)을 지지할 수 있다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 프론트 리테이너 기판 수용부(73)는 덮개체 다리부 고정용 요부(341) 내에 배치되어 있지 않고, 안쪽방향(후방향(D12))에서 덮개체 다리부 고정용 요부(341)보다 안쪽(후방향(D12)쪽)에 배치되어 있다.
프론트 리테이너 기판 수용부(73)의 일단부인 좌단부는 한 쌍의 프론트 리테이너 다리부(72) 중 일방의 프론트 리테이너 다리부(721)의 우단부에 접속되어 있다. 프론트 리테이너 기판 수용부(73)의 타단부인 우단부는 한 쌍의 프론트 리테이너 다리부(72) 중 타방의 프론트 리테이너 다리부(722)의 좌단부에 접속되어 있다.
프론트 리테이너 기판 수용부(73) 및 쌍을 이루고 있는 프론트 리테이너 다리부(72)는 상하방향(D2)으로 25개 병렬된 상태로 마련되어 있다.
일방의 세로 테두리체(71)(711)는 프론트 리테이너 걸림부(344)에 걸리게 된다. 일방의 세로 테두리체(711)가 프론트 리테이너 걸림부(344)에 걸리게 되고, 타방의 세로 테두리체(71)(712)가 프론트 리테이너 걸림판(343)에 걸리게 됨으로써, 프론트 리테이너(7)는 덮개체(3)에 고정된다.
도 4a 및 도 4b에 나타낸 바와 같이, 폐색상태기판(W1)을 두께방향(상하방향(D2))으로 볼 때에, 덮개체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너 기판 수용부(73)는 안쪽방향 기준선(CL1)을 사이에 두고 쌍을 이루어 마련되어 있다. 폐색상태기판(W1)을 두께방향(상하방향(D2))으로 볼 때에, 안쪽 기판 지지부(6)의 벽부 기판 지지부(60)가 좌우방향 기준선(CL2)에 대하여 후방향(안쪽방향)(D12)을 향해 이루는 중심각(α)은 20°이상 55°이하이다. 중심각(α)은 바람직하게는 35°이상 50°이하이다.
폐색상태기판(W1)을 두께방향(상하방향(D2))으로 볼 때에, 덮개체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너 기판 수용부(73)가 좌우방향 기준선(CL2)에 대하여 전방향(D11)을 향해 이루는 중심각(β)은 60°이상 85°이하이다.
중심각(α)을 규정하는 경우에, 안쪽 기판 지지부(6)(벽부 기판 지지부(60))의 기준위치는 다음과 같이 한다. 폐색상태기판(W1)을 두께방향(D2)으로 볼 때에, 안쪽 기판 지지부(6)(벽부 기판 지지부(60))의 기준위치는 안쪽 기판 지지부(6)(벽부 기판 지지부(60))에 대해서 폐색상태기판(W1)의 지지에 실질적으로 기여하고 있는 부분(「지지 기여 부분」이라고도 함)으로 한다. 지지 기여 부분이 폐색상태기판(W1)의 주방향(周方向)을 따라 길이를 가지고 있는 경우에는 그 길이의 중심위치를 기준위치로 한다. 1매의 폐색상태기판(W1)에 대하여 안쪽방향 기준선(CL1)에 대하여 일방 측에 안쪽 기판 지지부(6)(벽부 기판 지지부(60))가 복수 마련되어 있는 경우에는, 안쪽 기판 지지부(6)(벽부 기판 지지부(60))마다의 기준위치의 평균위치를 기준위치로 한다.
덮개체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너 기판 수용부(73)에 대해서 중심각(β)의 기준위치도 전술한 안쪽 기판 지지부(6)(벽부 기판 지지부(60))에 대한 중심각(α)과 마찬가지로 규정된다.
상기 구성의 본 실시형태에 의한 기판 수납 용기(1)에 의하면, 이하와 같은 효과를 얻을 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 덮개체측 기판 지지부로서의 프론트 리테이너 기판 수용부(73)는 유연성을 발현시켜 기판(W)을 지지하고, 폐색상태기판(W1)을 두께방향(상하방향(D2))으로 볼 때에, 안쪽 기판 지지부(6)의 벽부 기판 지지부(60)는 안쪽방향 기준선(CL1)을 사이에 두고 쌍을 이루어 마련되어 기판(W)을 지지하고, 폐색상태기판(W1)을 두께방향으로 볼 때에 안쪽 기판 지지부(6)의 벽부 기판 지지부(60)가 좌우방향 기준선(CL2)에 대하여 안쪽방향(후방향)(D12)을 향해 이루는 중심각(α)은 20°이상 55°이하이다.
그 때문에, 반도체 웨이퍼 등의 기판(W)을 병렬시킨 상태로 복수 수납하는 기판 수납 용기(1)를 낙하시키거나, 기판 수납 용기(1)를 진동시키거나, 충격을 부여한 때에, 유연성을 발현시켜 기판을 지지하는 프론트 리테이너 기판 수용부(73), 및 소정의 주방향 위치에 배치되는 벽부 기판 지지부(60)에 의해 충격을 흡수하여 기판(W)을 적절히 지지할 수 있다. 그 때문에, 기판 수납 용기(1)의 운반 시에 기판 수납 용기(1)에 수납된 복수의 기판(W)에 충격이 전달되는 것을 극력 억제할 수 있다. 따라서, 기판 수납 용기(1)에 수납된 기판(W)이 파손되는 것을 억제할 수 있다.
특히, 수납된 기판(W)이 직경 300mm의 반도체 웨이퍼에 비해 직경(면적)에 대한 두께의 비율이 작아지게 되어 내충격성(耐衝擊性)(충격에 대한 파손의 어려움)이 저하된 직경 450mm 이상의 반도체 웨이퍼의 경우에, 본 발명에 의한 기판(W)의 지지 구조는 효과적이다.
본 발명은 상술한 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 기술적 범위에서 변형이 가능하다.
예를 들면, 용기본체 및 덮개체의 형상이나 용기본체에 수납 가능한 기판의 매수, 치수는, 본 실시형태의 용기본체(2) 및 덮개체(3)의 형상이나 용기본체(2)에 수납 가능한 기판(W)의 매수, 치수에 한정되지 않는다.
[실시예]
이하, 실시예에 의해 본 발명을 더욱 상세하게 설명한다. 또한, 본 발명은 이들에 한정되는 것은 아니다.
폐색상태기판(W1)을 두께방향(D2)으로 볼 때에 안쪽 기판 지지부(6)가 좌우방향 기준선(CL2)에 대하여 안쪽방향(D12)을 향해 이루는 중심각(α)을 달리한 경우에, 기판 수납 용기(1)에 수납된 기판(W)의 내충격성(충격에 대한 파손의 어려움)에 대하여, 후술하는 각 실시예 및 비교예를 이용하여 평가하였다.
각 실시예 및 비교예에서 공통되는 조건은 이하와 같다.
기판(W): 실리콘 웨이퍼
기판(W)의 직경: 450mm
기판(W)의 두께: 925μm
기판(W)의 수납 매수:25매
폐색상태기판(W1)을 두께방향(D2)으로 볼 때에 덮개체측 기판 지지부(73)가 좌우방향 기준선(CL2)에 대하여 전방향(D11)을 향해 이루는 중심각(β): 65°
각 실시예 및 비교예에서, 폐색상태기판(W1)을 두께방향(D2)으로 볼 때에 안쪽 기판 지지부(6)가 좌우방향 기준선(CL2)에 대하여 안쪽방향(D12)을 향해 이루는 중심각(α)은 하기 [표 1]과 같다.
안쪽 기판 지지부(6)
가 이루는 중심각(α)		 균열의
발생
비교예 1 30° 유
실시예 1 35° 무
실시예 2 40° 무
실시예 3 45° 무
실시예 4 50° 무
실시예 5 55° 무
비교예 2 60° 유
〔평가방향〕
기판(W)의 면방향을 수평방향으로 배치한 상태에서 상기 조건의 기판 수납 용기(1)를 기판 수납 용기(1)의 하면(하벽(24)의 외면)이 바닥면(床面)에서 90cm 상방에 위치시킨 상태로부터 바닥면에 낙하시킨다. 바닥면은 콘크리트제이다. 낙하 후, 기판 수납 용기(1)에 수납되어 있는 기판(W)에 1매 이상 균열이 발생하고 있다면 균열이 「유」로 평가되고, 기판 수납 용기(1)에 수납되어 있는 기판(W)에 1매라도 균열이 발생하지 않으면 균열이 「무」로 평가되었다.
평가결과를 상기 [표 1]에 나타낸다.
[표 1]에 나타낸 평가결과에 의하면, 안쪽 기판 지지부(6)가 이루는 중심각(α)이 소정 범위 내에 있으면 내충격성(균열이 어려움)이 높은 것을 알 수 있다.
1: 기판 수납 용기
2: 용기본체
3: 덮개체
4: 시일부재
5: 기판 지지 판형부
6: 안쪽 기판 지지부
7: 프론트 리테이너
20: 벽부
21: 용기본체 개구부
27: 기판 수납 공간
28: 개구 주연부
60: 벽부 기판 지지부
73: 프론트 리테이너 기판 수용부(덮개체측 기판 지지부)
C1: 폐색 시 중심
CL1: 안쪽방향 기준선
CL2: 좌우방향 기준선
D12: 후방향(안쪽방향)
D2: 상하방향(두께방향)
W: 기판
W1: 폐색상태기판
α: 중심각
β: 중심각

Claims (3)

  1. 복수의 기판을 수납 가능한 기판 수납 공간이 내부에 형성되고, 일단부에 상기 기판 수납 공간에 연통하는 용기본체 개구부가 형성된 용기본체와,
    상기 용기본체 개구부에 대하여 착탈 가능하며, 상기 용기본체 개구부를 폐색(閉塞) 가능한 덮개체(蓋體)와,
    상기 덮개체의 부분이며 상기 덮개체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에 상기 기판 수납 공간에 대향하는 부분에 배치되며, 상기 덮개체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에 상기 복수의 기판의 연부(緣部)를 지지가능한 덮개체측 기판 지지부와,
    상기 기판 수납 공간 내에서 상기 덮개체측 기판 지지부와 쌍을 이루도록 배치되고, 상기 복수의 기판의 연부를 지지 가능하며, 상기 덮개체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 때에 상기 덮개체측 기판 지지부와 협동하여 상기 복수의 기판을 지지하는 안쪽(奧側) 기판 지지부를 구비하고,
    상기 덮개체측 기판 지지부는 유연성을 발현시켜 기판을 지지하며,
    상기 용기본체의 일단부에서 당해 일단부에 대한 타단부로 향하는 방향을 안쪽방향(奧行方向)이라 하고, 상기 용기본체의 타단부에서 일단부로 향하는 방향을 전방향이라고 하고, 상기 덮개체에 의해 상기 용기본체 개구부가 폐색되어 있는 상태의 상기 용기본체에 대하여 상기 기판 수납 공간에 수납되어 있는 기판을 폐색상태기판이라 하며, 상기 폐색상태기판의 중심을 폐색 시 중심이라 하고, 상기 폐색 시 중심을 통과하는 동시에 상기 안쪽방향에 평행한 가상 직선을 안쪽방향 기준선이라 하고, 상기 폐색 시 중심을 통과하는 동시에 상기 안쪽방향에 직교하는 가상 직선을 좌우방향 기준선이라 하는 경우에, 상기 폐색상태기판을 두께방향으로 볼 때에 상기 안쪽 기판 지지부는 상기 안쪽방향 기준선을 사이에 두고 쌍을 이루고 마련되어 기판을 지지하고,
    상기 폐색상태기판을 두께방향으로 볼 때에 상기 안쪽 기판 지지부가 상기 좌우방향 기준선에 대하여 상기 안쪽방향을 향해 이루는 중심각은 20°이상 55°이하이고,
    상기 폐색상태기판을 두께방향으로 볼 때에 상기 덮개체측 기판 지지부가 상기 좌우방향 기준선에 대하여 상기 전방향을 향해 이루는 중심각은 60°이상 85° 이하이며,
    기판의 직경은 450mm 이상인 기판 수납 용기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 안쪽방향을 향해 이루는 중심각은 35°이상 50°이하인 기판 수납 용기.
  3. 삭제
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