WO2018179324A1 - 基板収納容器 - Google Patents

基板収納容器 Download PDF

Info

Publication number
WO2018179324A1
WO2018179324A1 PCT/JP2017/013576 JP2017013576W WO2018179324A1 WO 2018179324 A1 WO2018179324 A1 WO 2018179324A1 JP 2017013576 W JP2017013576 W JP 2017013576W WO 2018179324 A1 WO2018179324 A1 WO 2018179324A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
substrate
lid
substrate support
container
closed
Prior art date
Application number
PCT/JP2017/013576
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
聴子 甲斐
恭兵 佐藤
Original Assignee
ミライアル株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ミライアル株式会社 filed Critical ミライアル株式会社
Priority to PCT/JP2017/013576 priority Critical patent/WO2018179324A1/ja
Publication of WO2018179324A1 publication Critical patent/WO2018179324A1/ja

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage container used when storing, storing, transporting, transporting, and the like, a substrate made of a semiconductor wafer or the like.
  • Patent Document 1 As a substrate storage container for storing and transporting a substrate made of a semiconductor wafer, one having a structure including a container main body and a lid is conventionally known (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2). .
  • the one end part of the container body has an opening peripheral part in which the container body opening is formed.
  • the other end of the container body has a closed cylindrical wall.
  • a substrate storage space is formed in the container body.
  • the substrate storage space is formed by being surrounded by a wall portion, and can store a plurality of substrates.
  • the lid can be attached to and detached from the peripheral edge of the opening, and can close the opening of the container body.
  • the side substrate support portions are provided on the wall portion so as to form a pair in the substrate storage space.
  • the side substrate support portion can support the edges of a plurality of substrates in a state where adjacent substrates are spaced apart and arranged in parallel when the container body opening is not closed by the lid. is there.
  • a front retainer is provided in a portion of the lid that faces the substrate storage space when the container main body opening is closed.
  • the front retainer can support the edges of the plurality of substrates when the container main body opening is closed by the lid.
  • the back substrate support portion is provided on the wall portion so as to be paired with the front retainer.
  • the back side substrate support part can support the edges of a plurality of substrates.
  • JP 2014-192230 A Japanese Patent No. 4255261
  • An object of the present invention is to provide a substrate storage container in which generation of particles and resin adhesion to a substrate can be suppressed and an apparatus error can be suppressed in an apparatus for closing a lid.
  • the present invention has a cylindrical wall portion having an opening peripheral portion formed with a container body opening portion at one end portion and closed at the other end portion, and a plurality of substrates can be accommodated by the inner surface of the wall portion.
  • a container main body in which a substrate storage space communicating with the container main body opening is formed, a lid detachable from the container main body opening and closing the container main body opening, and the substrate storage When the container main body opening is not closed by the lid body, the adjacent substrates of the plurality of substrates are spaced apart and arranged in parallel at a predetermined interval.
  • a back side substrate support part capable of supporting the plurality of substrates in cooperation with the lid side substrate support part when the main body opening is closed, and the side substrate support part and the back side At least one of the substrate support portion and the lid-side substrate support portion is an interior portion that is detachably fixed to the inner surface of the container body and disposed in the substrate storage space, and the substrate storage space
  • the substrate storage container is provided with a roughened surface at a portion where members including the substrate come into contact with each other.
  • the back side substrate support portion is constituted by the interior portion, and the portion subjected to the rough surface processing is a portion of the back side substrate support portion, and the container body opening is formed by the lid. It is preferable that the substrate is in contact with the substrate when it is closed and when the container body opening is closed by the lid.
  • the side substrate support portion is constituted by the interior portion, and the roughened portion is a portion of the side substrate support portion, and the container main body opening is formed by the lid. It is preferable that the substrate is in contact with the substrate when not closed and when the container body opening is closed by the lid.
  • the lid-side substrate support portion is configured by the interior portion, and the roughened portion is a portion of the lid-side substrate support portion, and the container body opening is formed by the lid. It is preferable that the substrate is in contact with the substrate when it is closed and when the container body opening is closed by the lid.
  • At least one of the side substrate support portion and the back side substrate support portion is configured by the interior portion, and the roughened portion is a portion where the interior portion abuts the container body. And / or it is preferable that the said container main body is a part contact
  • the surface roughness Rz of the portion subjected to the rough surface processing is 3 ⁇ m or more.
  • the side substrate support portion and the back side substrate support portion are integrally formed.
  • the present invention it is possible to provide a substrate storage container in which generation of particles and resin adhesion to a substrate can be suppressed, and an apparatus error can be suppressed in an apparatus for closing a lid.
  • FIG. 3 is a cut perspective view showing a substrate support plate-like portion support portion 251 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention. It is an expansion perspective view which shows the board
  • FIG. 1 It is an expanded sectional view which shows the testing machine for measuring the maximum static friction coefficient of the material which comprises the board
  • FIG. 1 is an exploded perspective view showing a state in which a plurality of substrates W are stored in a substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the container body 2 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is a perspective view showing the lid 3 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • a direction from the container body 2 described later to the lid 3 is defined as the front direction D11, and the opposite direction is defined as the rear direction D12. These are collectively defined as the front-rear direction D1.
  • a direction (upward direction in FIG. 1) from the lower wall 24 described later to the upper wall 23 is defined as an upward direction D21, and the opposite direction is defined as a downward direction D22.
  • a direction from the second side wall 26 to be described later to the first side wall 25 (a direction from the lower right to the upper left in FIG. 1) is defined as the left direction D31, and the opposite direction is defined as the right direction D32.
  • arrows indicating these directions are shown.
  • the substrate W (see FIG. 1) stored in the substrate storage container 1 is a disk-shaped silicon wafer, glass wafer, sapphire wafer, etc., and is a thin one used in the industry.
  • the substrate W in the present embodiment is a silicon wafer having a diameter of 300 mm.
  • a substrate storage container 1 stores a substrate W made of a silicon wafer as described above, and transports the substrate W by transport means such as land transportation means, air transportation means, and sea transportation means. And is composed of a container main body 2 and a lid 3.
  • the container body 2 includes a substrate support plate-like portion 5 as a side substrate support portion and a back side substrate support portion 6 (see FIG. 2 and the like), and the lid body 3 serves as a lid side substrate support portion.
  • a front retainer 7 (see FIG. 3 and the like) is provided.
  • the container body 2 has a cylindrical wall portion 20 in which a container body opening 21 is formed at one end and the other end is closed.
  • a substrate storage space 27 is formed in the container body 2.
  • the substrate storage space 27 is formed so as to be surrounded by the wall portion 20.
  • the substrate support plate-shaped portion 5 is disposed in a portion of the wall portion 20 that forms the substrate storage space 27. As shown in FIG. 1, a plurality of substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate-like portion 5 is provided on the wall portion 20 so as to form a pair in the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate-like portion 5 abuts the edges of the plurality of substrates W to separate the adjacent substrates W at a predetermined interval.
  • the edges of the plurality of substrates W can be supported in a state where they are aligned in parallel.
  • a back-side substrate support portion 6 is provided integrally with the substrate support plate-like portion 5.
  • the back substrate support 6 (see FIG. 2 and the like) is provided on the wall 20 so as to form a pair with a front retainer 7 (see FIG. 3 and the like) described later in the substrate storage space 27.
  • the back side substrate support portion 6 can support the rear portions of the edges of the plurality of substrates W by contacting the edges of the plurality of substrates W when the container body opening 21 is closed by the lid 3. It is.
  • the lid 3 can be attached to and detached from the opening peripheral edge 28 (FIG. 1 and the like) forming the container body opening 21 and can close the container body opening 21.
  • the front retainer 7 is provided in a portion of the lid 3 that faces the substrate storage space 27 when the container main body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the front retainer 7 is disposed inside the substrate storage space 27 so as to make a pair with the back substrate support 6.
  • the front retainer 7 can support the front portions of the edges of the plurality of substrates W by contacting the edges of the plurality of substrates W when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the front retainer 7 supports a plurality of substrates W in cooperation with the back substrate support 6, thereby allowing adjacent substrates W to be predetermined. Are held in a state of being spaced in parallel and spaced in parallel.
  • the substrate storage container 1 is made of a resin such as a plastic material.
  • the resin of the material include polycarbonate, cycloolefin polymer, polyetherimide, polyetherketone, and polybutylene.
  • examples thereof include thermoplastic resins such as terephthalate, polyether ether ketone, and liquid crystal polymer, and alloys thereof.
  • conductive substances such as carbon fibers, carbon powder, carbon nanotubes, and conductive polymers are selectively added. It is also possible to add glass fiber, carbon fiber or the like in order to increase the rigidity.
  • the wall portion 20 of the container body 2 includes a back wall 22, an upper wall 23, a lower wall 24, a first side wall 25, and a second side wall 26.
  • the back wall 22, the upper wall 23, the lower wall 24, the first side wall 25, and the second side wall 26 are made of the above-described materials and are integrally formed.
  • the first side wall 25 and the second side wall 26 face each other, and the upper wall 23 and the lower wall 24 face each other.
  • the rear end of the upper wall 23, the rear end of the lower wall 24, the rear end of the first side wall 25, and the rear end of the second side wall 26 are all connected to the back wall 22.
  • the front end of the upper wall 23, the front end of the lower wall 24, the front end of the first side wall 25, and the front end of the second side wall 26 have a positional relationship facing the back wall 22 and have a substantially rectangular shape. Opening peripheral edge portion 28 is formed.
  • the opening peripheral edge 28 is provided at one end of the container main body 2, and the back wall 22 is located at the other end of the container main body 2.
  • the outer shape of the container body 2 formed by the outer surface of the wall portion 20 is box-shaped.
  • the inner surface of the wall portion 20, that is, the inner surface of the back wall 22, the inner surface of the upper wall 23, the inner surface of the lower wall 24, the inner surface of the first side wall 25, and the inner surface of the second side wall 26 are surrounded by these. 27 is formed.
  • the container main body opening 21 formed in the opening peripheral edge portion 28 is surrounded by the wall portion 20 and communicates with the substrate storage space 27 formed in the container main body 2. A maximum of 25 substrates W can be stored in the substrate storage space 27.
  • latch engaging recesses 231 ⁇ / b> A and 231 ⁇ / b> B that are recessed toward the outside of the substrate storage space 27 in the portions of the upper wall 23 and the lower wall 24 and in the vicinity of the opening peripheral edge portion 28.
  • 241A, 241B are formed.
  • a total of four latch engaging recesses 231A, 231B, 241A, 241B are formed near the left and right ends of the upper wall 23 and the lower wall 24, one each.
  • ribs 235 are integrally formed with the upper wall 23 on the outer surface of the upper wall 23.
  • the rib 235 increases the rigidity of the container body 2.
  • a top flange 236 is fixed to the central portion of the upper wall 23.
  • the top flange 236 is a member that is a portion that is hung and suspended in the substrate storage container 1 when the substrate storage container 1 is suspended in an AMHS (automatic wafer conveyance system), a PGV (wafer substrate conveyance cart), or the like.
  • the substrate support plate-like portion support portion 251 is integrally formed with the first side wall 25 so as to be provided on the inner surface of the first side wall 25, protrudes from the inner surface of the first side wall 25 into the substrate storage space 27, and moves backward As the process proceeds to D12, the protrusion amount decreases.
  • FIG. 4 is a cut perspective view showing the substrate support plate-like portion support portion 251 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is an enlarged perspective view showing the substrate support plate-like portion support 251 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 11 is a side sectional view showing the container body 2 according to the first embodiment of the present invention.
  • support convex portions 253 are respectively provided between the substrate support plate-like portion support portions 251 that make a pair.
  • the supporting convex portion 253 is formed on the inner surface of the first side wall 25 by being integrally formed with the first side wall 25, and the supporting convex portion 253 extends from the inner surface of the first side wall 25 to the substrate storage space 27.
  • the substrate support plate 251 extends in the vertical direction D ⁇ b> 2 (the vertical direction in FIG. 5).
  • the end support portion 255 having the same shape as the substrate support plate-like portion support portion 251 is also provided at the upper end portion and the lower end portion of the rear portion of the first side wall 25.
  • the end support portion 255 is provided on the inner surface of the first side wall 25 by being integrally formed with the first side wall 25.
  • a pressing projection 256 is provided at the center of the rear portion of the first side wall 25.
  • the presser protrusion 256 is provided on the inner surface of the first side wall 25 by being integrally formed with the first side wall 25.
  • the presser protrusion 256 protrudes from the inner surface of the first side wall 25 into the substrate storage space 27 and has a wedge shape in which the thickness in the vertical direction D2 decreases as it advances in the front direction D11.
  • the second side wall 26 has a left-right mirror surface symmetrical configuration with the first side wall 25.
  • FIG. 6 is a right side view showing the substrate support plate-like portion 5 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a left side view showing the substrate support plate-like portion 5 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is an enlarged side view showing the back substrate support 6 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is an enlarged perspective view showing the convex portion 511 of the substrate support plate portion 5 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 6 is a right side view showing the substrate support plate-like portion 5 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 is a left side view showing the substrate support plate-like portion 5 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is an enlarged side view showing the back substrate support 6 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 10 is an enlarged perspective view showing the convex portion 512 of the substrate support plate portion 5 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 12 is an enlarged side sectional view showing the container body 2 according to the first embodiment of the present invention.
  • the substrate support plate-like portion 5 is an interior portion that is provided in each of the first side wall 25 and the second side wall 26 and is disposed in the substrate storage space 27 so as to form a pair in the left-right direction D3.
  • the substrate support plate-like portion 5 includes a plate portion 51 and a support wall 52 as a plate portion support portion.
  • the plate portion 51 and the support wall 52 are formed by integrally molding a resin material, and the plate portion 51 is supported by the support wall 52.
  • the plate portion 51 has a plate-like substantially arc shape.
  • a total of 50 plate portions 51 are provided on each of the first side wall 25 and the second side wall 26, 25 in the vertical direction D2.
  • Adjacent plate portions 51 are arranged in parallel with each other in the vertical direction D2 so as to be spaced apart from each other at an interval of 10 mm to 12 mm.
  • a plate-like member 59 (see FIG. 6) is arranged above the uppermost plate portion 51 in parallel with the other plate portion 51, but this is located at the uppermost position. It is a member that serves as a guide for the insertion of the substrate W inserted into the substrate storage space 27.
  • the 25 plate portions 51 provided on the first side wall 25 and the 25 plate portions 51 provided on the second side wall 26 have a positional relationship facing each other in the left-right direction D3.
  • the 50 plate portions 51 and the member 59 serving as a plate-shaped guide parallel to the plate portion 51 have a positional relationship parallel to the inner surface of the lower wall 24.
  • convex portions 511 and 512 are provided on the upper surface of the plate portion 51.
  • the convex portion 511 protrudes in the upward direction D21 and extends in the left-right direction D3.
  • the upper end portion of the convex portion 511 is directed toward the center of the substrate storage space 27 (lower right in FIG. 9). Inclined slightly (downward) in a downward direction D22. Thereby, the contact area between the upper end portion of the convex portion 511 and the substrate W placed on the convex portion 511 is minimized, and generation of particles due to friction between the upper end portion of the convex portion 511 and the substrate W is suppressed.
  • a substrate pop-out preventing portion 513 is provided in the vicinity of the convex portion 511.
  • the board pop-out preventing part 513 has a board part board leading inclined surface 5131 which is an inclined surface whose height in the upward direction D21 increases as it proceeds in the backward direction D12.
  • the portion of the board portion leading-in inclined surface 5131 in the front direction D11 with respect to the convex portion 511 slides the edge of the substrate W when the substrate W is manually placed in the substrate storage space 27, and the substrate W is guided.
  • the portion of the board pop-out preventing portion 513 in the rear direction D12 relative to the convex portion 511 (the portion that is hidden by the upper plate portion 51 in FIG.
  • the convex portion 512 protrudes in the upward direction D21 and extends in the left-right direction D3 and comes into contact with the substrate W, and from that portion to the lower inclined surface 611 of the back edge support portion 60. And a plate-like portion extending to the end.
  • substrate W supported by the board part 51 contacts only the protrusion end of the convex parts 511 and 512, and does not contact the board part 51 by a surface.
  • the support wall 52 has a plate shape extending in the up-down direction D2 and the substantially front-back direction D1.
  • the support wall 52 has a predetermined length in the longitudinal direction of the plate portion 51, and is connected to the side edge of the plate portion 51.
  • the plate-like support wall 52 is curved toward the substrate storage space 27 along the outer edge of the plate portion 51.
  • the 25 plate portions 51 provided on the first side wall 25 are connected to a support wall 52 provided on the first side wall 25 side.
  • the 25 plate portions 51 provided on the second side wall 26 are connected to a support wall 52 provided on the second side wall 26 side.
  • the support wall 52 is fixed to the first side wall 25 and the second side wall 26, respectively.
  • the substrate support plate-like portion 5 has a supported wall 53.
  • the supported wall 53 has a plate shape extending in the up-down direction D2 and the substantially front-rear direction D1.
  • the supported wall 53 extends in the rear direction D12 from the back substrate support 6.
  • two large cutouts 501 opening in the rearward direction D12 and a small cutout 502 positioned between the large cutouts 501 are formed.
  • a plate-like fixed convex portion 531 extends from the central portion of the large cutout 501 toward the rear direction D12 so as to occupy most of the central portion of the large cutout 501. It extends to the rear side of the rear end edge of the supported wall 53.
  • ribs 532 extending in the front-rear direction D ⁇ b> 1 are provided at the edges of the fixed convex portion 531 in the vertical direction D ⁇ b> 2, and the ribs 532 have portions that are interrupted in the middle.
  • the fixed projections 531 are arranged between the pair of substrate support plate-like portion support portions 251, and the supported walls 53 form both ends of the fixed projection portions 531 of the large notches 501.
  • This portion is inserted into and engaged with a U-shaped notch 252 (see FIG. 5 and the like) of the substrate support plate-like portion support portion 251.
  • the support convex portion 253 engages with a discontinuous portion of the rib 532 (see FIG. 7 and the like) to prevent the substrate support plate-like portion 5 from being detached from the first side wall 25.
  • the portion of the supported wall 53 where the large cutout 501 is not formed is also inserted into and engaged with the U-shaped cutout 252 of the end support portion 255. Further, the presser protrusion 256 is engaged with the small notch 502 (see FIG. 6).
  • the substrate support plate-like portion 5 having such a configuration is configured such that the adjacent substrates W among the plurality of substrates W are separated from each other at a predetermined interval and are in a parallel positional relationship with each other. Can be supported.
  • the back side substrate support part 6 has a back side edge support part 60.
  • the back side edge support portion 60 is formed integrally with the plate portion 51 and the support wall 52 at the rear end portion of the plate portion 51 of the substrate support plate-like portion 5. Accordingly, the substrate support plate-like portion 5 as the side substrate support portion and the back substrate support portion 6 are detachably fixed to the inner surface of the container body 2 inside the container body 2, and are coupled 1 It forms a groove plate part as one interior part and is made of polycarbonate.
  • the rear edge support portions 60 are provided in a number corresponding to each of the substrates W that can be stored in the substrate storage space 27, specifically, 25.
  • the back side edge support portions 60 disposed on the first side wall 25 and the second side wall 26 have a positional relationship that makes a pair with a front retainer 7 described later in the front-rear direction D1.
  • the back side edge support part 60 has a lower inclined surface 611 and an upper inclined surface 612, and a substantially V-shaped groove 64 is formed by these.
  • the substrate W slides and rises with respect to the lower inclined surface 611, and when the substrate W reaches the apex position of the V-shaped groove 64, The edge of the substrate W is supported by the rear edge support 60 in the V-shaped groove 64.
  • FIG. 13 is a rear view showing the lid body 30 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 14 is a front view showing the front retainer 7 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 15 is a rear view showing the front retainer 7 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 16 is an enlarged rear view showing the front retainer 7 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 17 is an enlarged side sectional view showing the front retainer 7 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • the lid 3 has a substantially rectangular shape that substantially matches the shape of the opening peripheral edge 28 of the container body 2 as shown in FIG.
  • the lid 3 can be attached to and detached from the opening peripheral edge 28 of the container main body 2, and the lid 3 can close the container main body opening 21 by attaching the lid 3 to the opening peripheral edge 28. .
  • It is the inner surface of the lid 3 (the surface on the back side of the lid 3 shown in FIG. 1), at the position in the rearward direction D12 of the opening peripheral edge 28 when the lid 3 closes the container main body opening 21.
  • An annular seal member 4 is attached to the surface facing the formed stepped portion surface (seal surface 281).
  • the seal member 4 is made of various types of thermoplastic elastomers such as polyester and polyolefin that can be elastically deformed, fluorine rubber, and silicon rubber.
  • the seal member 4 is arranged so as to go around the outer peripheral edge of the lid 3.
  • the seal member 4 When the lid 3 is attached to the opening peripheral edge 28, the seal member 4 is sandwiched between the seal surface 281 and the inner surface of the lid 3 and elastically deformed, and the lid 3 seals the container main body opening 21. Shuts down in a closed state. By removing the lid 3 from the opening peripheral edge 28, the substrate W can be taken into and out of the substrate storage space 27 in the container body 2.
  • the lid 3 has a lid body 30 that forms the outer shape of the lid 3, and the lid body 30 is provided with a latch mechanism.
  • the latch mechanism is provided in the vicinity of the left and right ends of the lid body 30, and as shown in FIG. 1, two upper latch portions 32A that can project in the upward direction D21 from the upper side of the lid body 30, and the lid body And two lower latch portions 32B that can project in the downward direction D22 from the lower side of the main body 30.
  • the two upper latch portions 32 ⁇ / b> A are disposed in the vicinity of the left and right ends of the upper side of the lid body 30, and the two lower latch portions 32 ⁇ / b> B are disposed in the vicinity of the left and right ends of the lower side of the lid body 30.
  • An operation unit 33 is provided on the outer surface side of the lid body 30.
  • the upper latch portion 32A and the lower latch portion 32B can be projected from the upper side and the lower side of the lid body 30, and are not projected from the upper side and the lower side. State.
  • the upper latch portion 32A protrudes in the upward direction D21 from the upper side of the lid body 30 and engages with the latch engagement recesses 231A and 231B of the container body 2, and the lower latch portion 32B extends from the lower side of the lid body 30.
  • the lid 3 is fixed to the opening peripheral edge 28 of the container body 2 by projecting in the downward direction D22 and engaging with the latch engagement recesses 241A and 241B of the container body 2.
  • a recess 34 that is recessed outward from the substrate storage space 27 is formed inside the lid body 30.
  • a front retainer 7 is fixedly provided at a portion of the lid body 30 inside the recess 34.
  • the retainer locking portion 344 on the left direction D31 side that extends along the vertical direction D2 and is divided into a plurality (for example, five), and the vertical direction D2 And a retainer locking portion 344 on the right direction D32 side that is divided into a plurality of pieces (for example, five pieces).
  • the retainer locking portion 344 on the left direction D31 side and the retainer locking portion 344 on the right direction D32 side pass through the center of the lid 3 in the left-right direction D3 and sandwich the center line imaginary along the up-down direction D2. Are located at equal distances from the virtual center line.
  • the retainer locking portion 344 on the left direction D31 side has an L-angle cross-sectional shape that slightly extends in the rear direction D12 from the surface of the recess 34 and extends in the right direction D32 from the tip. Accordingly, the retainer locking portion 344 on the left direction D31 side forms a long groove having an L angle opened in the right direction D32 on the surface of the recess 34. This long groove of the retainer locking portion 344 on the left direction D31 side can accommodate the vertical frame 71 on the left direction D31 side of the front retainer 7.
  • the retainer locking portion 344 on the right direction D32 side has an L-angle cross-sectional shape that extends slightly in the rear direction D12 from the surface of the recess 34 and extends in the left direction D31 from the tip. Therefore, the retainer locking portion 344 on the right direction D32 side has a long groove having an L angle opened in the left direction D31 on the surface of the recess 34. The long groove of the retainer locking portion 344 on the right direction D32 side can accommodate the vertical frame body 71 on the right direction D32 side of the front retainer 7.
  • the retainer locking portion 344 on the left direction D 31 side divided into a plurality (for example, five) and at a position that does not overlap with the retainer locking portion 344.
  • the retainer fixing portion 346 on the left direction D31 side are provided with a plurality (for example, four) of retainer fixing portions 346 on the left direction D31 side.
  • the frame fixing portion 715 of the vertical frame 71 on the left direction D31 side of the front retainer 7 is fixed to the retainer fixing portion 346 on the left direction D31 side.
  • a plurality (for example, five) of the retainer locking portion 344 on the right direction D 32 side divided into a plurality (for example, five) is located at a position that does not overlap with the retainer locking portion 344.
  • four retainer fixing portions 346 on the right direction D32 side are provided.
  • the frame fixing portion 715 of the vertical frame 71 on the right direction D32 side of the front retainer 7 is fixed to the retainer fixing portion 346 on the right direction D32 side.
  • the front retainer 7 has a front retainer substrate receiving portion 73 as shown in FIG.
  • Two front retainer substrate receiving portions 73 are arranged in pairs so as to form a pair spaced apart at a predetermined interval in the left-right direction D3.
  • the front retainer substrate receiving portions 73 arranged in pairs so as to form a pair in this way are provided in a state where 25 pairs are arranged in parallel in the vertical direction D2, and are supported by elastically deformable legs 72, respectively.
  • a vertical frame 71 that extends in parallel along the vertical direction D ⁇ b> 2 is integrally formed with the leg 72 at the end of the leg 72.
  • the vertical frame 71 has a frame fixing portion 715 that protrudes leftward or rightward.
  • the front retainer substrate receiving portion 73 uses the elastic force of the leg portion 72 to change the edge of the edge of the substrate W to the substrate storage space. It is sandwiched and supported while being urged to the center of 27.
  • the front retainer substrate receiving portion 73 has a lower inclined surface 731 and an upper inclined surface 732 as shown in FIG.
  • the lower inclined surface 731 contacts the edge of the back surface of the substrate W when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the upper inclined surface 732 contacts the edge of the surface of the substrate W.
  • the lower inclined surface 731 is configured by an inclined surface that extends so as to be separated from the center of the substrate storage space 27 in the front-rear direction D1 in the forward direction D21.
  • the upper inclined surface 732 is configured by an inclined surface that extends so as to approach the center of the substrate storage space 27 in the front-rear direction D1 as it proceeds in the upward direction D21.
  • the lower inclined surface 731 and the upper inclined surface 732 form a V-shaped groove 703 (see FIG. 17) that is a concave groove that is recessed away from the center of the substrate storage space 27.
  • the lower inclined surface 731 and the upper inclined surface 732 are in contact with the edge of the back surface and the surface of the substrate W when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the front retainer substrate receiving portion 73 has a lower substrate guiding inclined surface 733 and an upper substrate guiding inclined surface 734.
  • the lower substrate leading inclined surface 733 is connected to the lower end portion of the lower inclined surface 731 and extends substantially inclined downward.
  • the lower substrate leading inclined surface 733 is inclined at a smaller angle with the vertical direction D2 than the inclination of the lower inclined surface. That is, as shown in FIG. 17, the lower substrate leading inclined surface 733 is inclined so that the V-shaped groove 703 is widened away from the apex of the V-shaped groove 703.
  • the upper substrate leading inclined surface 734 is connected to the upper end portion of the upper inclined surface 732 and extends substantially inclined upward.
  • the upper substrate leading inclined surface 734 is inclined at a smaller angle with the vertical direction D2 than the inclination of the upper inclined surface. That is, as shown in FIG. 17, the upper substrate leading inclined surface 734 is inclined so that the V-shaped groove 703 is widened away from the apex of the V-shaped groove 703.
  • a texture processing S as a rough surface processing is applied to a portion where the members abut in the substrate storage space 27.
  • the “member” includes not only the members constituting the substrate storage container 1 but also all the members disposed in the substrate storage space 27 of the substrate storage container 1, and therefore includes the substrate W.
  • the surface roughness Rz of the portion that has been subjected to the texture processing S may be 3 ⁇ m or more and 100 ⁇ m or less, and various types of texture processing S can be used.
  • the reason why the surface roughness Rz is set to 3 ⁇ m or more is that if it is less than 3 ⁇ m, the effect of suppressing the generation of particles and the effect of improving the slidability cannot be sufficiently obtained as described later.
  • the “texturing S” in the following description is illustrated with hatching in each drawing.
  • the embossing S includes a side wall portion that forms a U-shaped cutout 252 of the substrate support plate-like portion support portion 251, and a presser protrusion portion.
  • the upper and lower surfaces of 256 are applied.
  • these portions are portions that come into contact with the supported wall 53, and are portions where the container body 2 comes into contact with the substrate support plate-like portion 5 as an interior portion.
  • the embossing S is performed on the supported wall as shown in FIGS.
  • a predetermined width at the rear end edge of 53 specifically, a width from the rear end edge of the supported wall 53 to the vicinity of the end in the front direction D11 of the large notch 501 in the vertical direction D2.
  • the supported wall 53 extends from the upper end to the lower end. This portion is a portion where the supported wall 53 of the substrate support plate-like portion 5 as the interior portion comes into contact with the container body 2.
  • the embossing S is a lower inclined surface 611 that forms a substantially V-shaped groove of the back side edge support portion 60 that constitutes the back side substrate support portion 6. And the upper inclined surface 612. These portions are portions that come into contact with the substrate W when the container body opening 21 is closed by the lid 3 and when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the embossing S is applied to the entire protrusions 511, protrusions 512, and the board portion board leading inclined surface 5131 of the substrate protrusion prevention part 513. These portions are portions that come into contact with the substrate W when the container body opening 21 is not closed by the lid 3 and while the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the embossing S includes a plurality of retainers extending in the vertical direction D ⁇ b> 2 from the upper end portion to the lower end portion of the lid body 3 in the concave portion 34 of the lid body 3 as shown in FIG. 13. It is applied to a band-like region from the upper end to the lower end of the locking portion 344. That is, the outer surface of the retainer locking portion 344 existing in this region, the inner surface of the retainer locking portion 344 forming the aforementioned long groove, the outer surface of the retainer fixing portion 346, and the surface in the region where these are not provided Is subjected to a texture processing S. These portions are portions where the lid body 30 comes into contact with the vertical frame 71 of the front retainer 7 as the interior portion and the frame fixing portion 715.
  • the embossing S is a surface (front surface) of the vertical frame body 71 and the frame body fixing portion 715 that faces and contacts the surface of the concave portion 34 of the lid 3. It is given to. These portions are portions where the vertical frame body 71 of the front retainer 7 as the interior portion and the frame body fixing portion 715 come into contact with the lid body 30.
  • the texture processing S includes a lower inclined surface 731, an upper inclined surface 732, a lower substrate guiding inclined surface 733, and an upper substrate guiding inclined surface as shown in FIG. 734. These portions are portions that come into contact with the substrate W when the container body opening 21 is closed by the lid 3 and when the container body opening 21 is closed by the lid 3.
  • the container main body 2 is arranged so that the front-rear direction D1 and the left-right direction D3 are in a positional relationship parallel to the horizontal plane.
  • the plurality of substrates W are placed on the convex portions 511 and 512 of the plate portion 51 (see FIGS. 9 and 10) of the substrate support plate-like portion 5, respectively.
  • the convex portions 511 and 512 are subjected to the texture processing S, the amount of particles generated when the substrate W comes into contact with them is suppressed, and the amount of resin adhesion to the substrate W is reduced. It can be suppressed.
  • the lid 3 is moved closer to the container body opening 21 and brought into contact with the front retainer substrate receiving portion 73 of the front retainer 7.
  • the edge of the back surface of the edge of the substrate W in contact with the lower inclined surface 611 (see FIG. 8 and the like) It contacts the lower inclined surface 611 of the edge support portion 60 and slides up with respect to the lower inclined surface 611.
  • the lower inclined surface 611 of the inner edge support portion 60 of the inner substrate support portion 6 and the lower inclined surface 731 of the front retainer substrate receiving portion 73 are subjected to the texture processing S.
  • the substrate W has good slidability with respect to these, and the sliding between the edge of the back surface of the edge of the substrate W and the lower inclined surface 611 and the lower inclined surface 731 is smooth. The generation of particles due to is suppressed, and the amount of resin adhesion to the substrate W is suppressed.
  • the edge of the front surface and the edge of the back surface of the substrate W are the upper inclined surface 732 and the lower side, respectively.
  • the substrate W is in contact with the inclined surface 731, the upper inclined surface 612, and the lower inclined surface 611, so that the edge of the substrate W is the V-shaped groove 64 and the V-shaped groove 703. It is supported by the substrate receiving part 73.
  • the lower inclined surface 731 and the upper inclined surface 732 of the front retainer substrate receiving portion 73 and the upper inclined surface 612 and the lower inclined surface 611 of the back substrate supporting portion 6 are subjected to the texture processing S. Therefore, the amount of particles generated when the substrate W comes into contact with these can be suppressed, and the amount of resin adhering to the substrate W can be suppressed.
  • the part slides slightly, and the front retainer 7 slides slightly with respect to the lid body 30.
  • the supported wall 53 and the portion of the container main body 2 that contacts the supported wall 53 are each subjected to the texture S, and the lid 3 is retained by the retainer. Since the part 344, the retainer fixing part 346, and the vertical frame body 71 and the frame body fixing part 715 that are in contact with each other are each subjected to the texture processing S, the amount of particles generated by these sliding is suppressed. Thus, the amount of resin adhering to the substrate W can be suppressed.
  • the substrate W was stored in the substrate storage container 1 in which the groove plate portion and the front retainer 7 were made of a predetermined material, and a predetermined vibration was applied for a predetermined time to compare the generation amount of particles.
  • the groove plate portion and the front retainer 7 are made of polycarbonate (PC), polyester elastomer (PEE), polybutylene terephthalate (PBT), a mixture of PC and PBT (PC + PBT), PC and polytetrafluoroethylene 4 fluorine.
  • the surface roughness Rz of the portion subjected to the above-mentioned embossing S is about 0.5 ⁇ m (mirror surface) and about 5 ⁇ m (coarse) for the substrate storage containers each composed of a mixture with ethylene fluoride (PC + PTFE). , About 50 ⁇ m (medium) and about 100 ⁇ m (coarse), and prepared as a comparative product, a product of the present invention 1, a product of the present invention 2, and a product of the present invention 3, respectively.
  • FIG. 18 is a cross-sectional view showing a portion P in contact with the substrate W in the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 19 is a graph showing the results of a test for testing the effect of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • the portion that contacts the substrate W specifically, the groove plate portion and the front retainer 7 has a surface roughness Rz of the embossing S of 3 ⁇ m or more. It is understood that it is preferable to adopt Furthermore, it can be seen that when the groove plate portion and the front retainer 7 are made of PC, the generation amount of particles is conspicuously suppressed to a lower level than the case of being made of other materials.
  • FIG. 20 is an enlarged cross-sectional view showing a testing machine for measuring the maximum static friction coefficient of the material constituting the substrate support plate-like portion 5 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • the substrate W used here is obtained by partially cutting the substrate W, and sliding is performed on a portion of the outer surface other than the cut surface.
  • a “reciprocating friction resistance measuring machine” for example, a surface property measuring machine Type: 38 manufactured by Shinto Kagaku Co., Ltd.
  • the value of the maximum static friction coefficient is fixed to an arm 1001 of a reciprocating frictional resistance measuring machine, which is obtained by partially cutting the substrate W, and the front retainer 7 or
  • the value of the maximum static friction coefficient is obtained by sliding 5 mm at a speed of 1500 mm / min with a load of 350 gf against T which is partially cut off one of the groove plate portions and fixed on the pedestal 1002.
  • FIG. 21 is a graph showing the results of a test for measuring the maximum static friction coefficient between the front retainer 7 and the substrate support plate-like portion 5 and the substrate W of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention.
  • the maximum static friction coefficient of the comparative product has a larger value of the maximum static friction coefficient than each of the products 1 to 3 of the present invention for each material constituting the groove plate portion and the front retainer 7.
  • requires the value of the maximum static friction coefficient of each of the comparison goods with respect to the container main body comprised by PC, this invention product 1, this invention product 2, and this invention product 3 of the front retainer 7 or a groove plate part was done.
  • the container body used here is obtained by partially cutting the container body 2, and sliding is performed with respect to a portion of the outer surface other than the cut surface.
  • a “reciprocating friction resistance measuring machine” for example, a surface property measuring machine Type: 38 manufactured by Shinto Kagaku Co., Ltd.
  • the value of the maximum static friction coefficient is fixed to the arm 1001 of the reciprocating friction resistance measuring machine shown in FIG. 20 by fixing a part obtained by partially cutting the container body 2 instead of the substrate W.
  • Maximum static friction is achieved by sliding 10 mm at a speed of 1500 mm / min with a load of 500 gf against T fixed on the base 1002 by partially cutting either the retainer 7 or the groove plate portion. The coefficient value was obtained.
  • FIG. 22 is a graph showing the results of a test for measuring the maximum static friction coefficient between the front retainer 7 and the substrate support plate-like portion 5 and the container body 2 of the substrate storage container 1 according to the first embodiment of the present invention. .
  • the substrate storage container 1 includes the cylindrical wall portion 20 having the opening peripheral edge portion 38 in which the container main body opening portion 21 is formed at one end portion and the other end portion being closed.
  • the container main body 2 in which a plurality of substrates W can be stored and a substrate storage space 27 communicating with the container main body opening 21 is formed, and can be attached to and detached from the container main body opening 21.
  • the lid 3 that can close the portion 21 and the substrate housing space 27 are arranged so as to make a pair, and when the container body opening 21 is not closed by the lid 3, the adjacent one of the plurality of substrates W
  • the container body opening 21 is closed by the substrate support plate-like portion 5 capable of supporting the edges of the plurality of substrates W and the lid 3 in a state where the substrates W to be separated are arranged in parallel at a predetermined interval.
  • Portion of the lid 3 facing the substrate storage space 27 when The front retainer 7 serving as a lid-side substrate support that can support the edges of the plurality of substrates W, and the front retainer 7 in the substrate storage space 27 are paired with each other.
  • a back side substrate support 6 capable of supporting a plurality of substrates W in cooperation with the front retainer 7 when the container body opening 21 is closed by the lid 3. It has. At least one of the substrate support plate-shaped portion 5, the back side substrate support portion 6, and the front retainer 7 is detachably fixed to the inner surface of the container body 2 and is disposed in the substrate storage space 27. It is. In the substrate storage space 27, a texture processing S as a rough surface processing is applied to a portion where members including the substrate W come into contact with each other.
  • a textured surface S as a rough surface processing is applied to a portion where members including the substrate W come into contact with each other.
  • the frictional resistance at the sliding portion with the plate-like portion 5 is reduced, and the force for closing the lid 3 can be reduced, and the sliding of the portion that slides with the substrate W in the back side substrate support portion 6 is possible. It is possible to suppress the generation of particles due to the friction and the resin adhesion to the substrate W. In addition, it is possible to visually recognize and identify a portion that has been subjected to the texturing S and a portion that has not been subjected to the texturing S.
  • the back side substrate support part 6 is constituted by an interior part.
  • the portions subjected to the texture processing S are portions of the lower inclined surface 611 and the upper inclined surface 612, which are portions of the back substrate support 6, and the container body opening 21 is formed by the lid 3. This is a portion where the substrate W abuts while the container body opening 21 is closed by the lid 3 during the closing. With this configuration, the sliding friction of the portion that slides with the substrate W in the back substrate support portion 6 is reduced, and it is possible to suppress resin adhesion to the substrate W due to friction.
  • the substrate support plate-like portion 5 as the side substrate support portion is constituted by an interior portion.
  • the portions subjected to the texture processing S are the convex portions 511, the convex portions 512, and the plate portion substrate guiding inclined surface 5131, which are portions of the substrate support plate-like portion 5, and are the lid 3.
  • This is a portion where the substrate W abuts when the container body opening 21 is not closed by the cover 3 and when the container body opening 21 is closed by the lid 3. With this configuration, it is possible to suppress the generation of particles when the substrate W comes into contact with the portion.
  • the front retainer 7 is comprised by the interior part.
  • the portions subjected to the texture processing S are the lower inclined surface 731, the upper inclined surface 732, the lower substrate guiding inclined surface 733, and the upper substrate guiding inclined surface 734, which are parts of the front retainer 7.
  • the substrate W abuts while the container body opening 21 is closed by the lid 3 and when the container body opening 21 is closed by the lid 3. With this configuration, it is possible to suppress the generation of particles when the substrate W comes into contact with the portion.
  • the substrate support plate-like portion 5 and the back substrate support portion 6 are constituted by an interior portion.
  • the portions to which the embossing S is applied are the side wall portions that form the U-shaped cutouts 252 of the substrate support plate-like portion support portion 251, the upper and lower surfaces of the presser projection portion 256, and the supported wall 53 portions. . These are the part where the interior part abuts on the container body 2 and the part where the container body 2 abuts on the interior part.
  • the substrate main body 2 is configured by the substrate support plate-like portion 5 and the back side substrate support portion 6 due to vibration acting on the substrate storage container 1 while the substrate storage container 1 is being transported. It is possible to suppress the generation of particles due to slight sliding of the interior portion to be performed, and the resin adhesion to the substrate W can be suppressed.
  • the surface roughness Rz of the portion subjected to the rough surface processing is 3 ⁇ m or more.
  • the substrate support plate-like portion 5 and the back substrate support portion 6 are integrally formed. With this configuration, by applying a graining process S as a rough surface processing on the part where the interior part formed by integrally molding contacts the container body 2, the generation of particles and the resin adhesion to the substrate W are effectively performed. It becomes possible to suppress.
  • FIG. 23 is a rear view showing the front retainer 7a of the substrate storage container according to the second embodiment of the present invention.
  • the position where the embossing S is performed on the front retainer 7a is different from the position where the embossing S is performed on the front retainer 7 in the substrate storage container 1 of the first embodiment. Since the configuration other than this is the same as that of the first embodiment, the same members are illustrated by the same reference numerals and description thereof is omitted.
  • the embossing S is applied to the surface of the concave portion 34 (see FIG. 13 and the like) of the lid 3 as shown in FIG. 14 in the same manner as the front retainer 7 of the first embodiment.
  • this back surface that is, the front retainer 7a is fixed to the lid body 3 as shown in FIG.
  • the retainer locking portion 344 see FIG. 13 having an L-angle cross-sectional shape.
  • the lower inclined surface 731a, the upper inclined surface 732a, the lower substrate guiding inclined surface 733a, and the upper substrate guiding inclined surface 734a of the front retainer substrate receiving portion 73a are also textured. Processing S is given.
  • the surface of the vertical frame 71a that abuts on the retainer locking portion 344 having an L-angle cross-sectional shape is subjected to a texture S, so that the surface of the vertical frame 71a slides on the retainer locking portion 344. It is possible to reduce the amount of particles generated by the movement.
  • the substrate W in this embodiment is a silicon wafer having a diameter of 300 mm, but is not limited to this value.
  • the rough surface processing is not limited to the embossing S.
  • the portion subjected to roughening is not limited to the portion subjected to roughening in the above-described embodiment. It is only necessary that the rough surface processing is applied to the portion where the members including the substrate come into contact with each other in the substrate storage space. Accordingly, the parts and members that come into contact with the container body and the lid body, and the parts and members that are manufactured and configured separately from the body and the lid body, and the parts abut. What is necessary is just to give a rough surface process to the part of a container main body or a lid body main body, and the part which continues to these. Moreover, in the part which members contact
  • substrate support part 6 are the interiors as one interior part couple
  • the present invention is not limited to this configuration. If at least one of the side substrate support portion, the back side substrate support portion, and the lid side substrate support portion is an interior portion that is detachably fixed to the inner surface of the container body and is disposed in the substrate storage space. Good.
  • substrate support part was comprised by the back side board
  • the rear substrate support portion may be configured by a rear retainer that is integrally formed with the container body.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

基板収納容器の側方基板支持部５、奥側基板支持部６、蓋体側基板支持部のうちの少なくとも１つは、容器本体２の内面に対して着脱可能に固定されて基板収納空間内に配置される内装部である。基板収納空間において基板も含む部材同士が当接し合う部分５３、２５１、２５５、２５６には、粗面加工Ｓが施されている。パーティクルの発生や基板Ｗへの樹脂付着が抑えられ、また、蓋体を閉める装置において装置エラーを起こすことを抑えることが可能な基板収納容器を提供することができる。

Description

基板収納容器
　本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
　半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
　容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。側方基板支持部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。側方基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。
　蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
特開２０１４－１９２２３０号公報 特許第４２５５２６１号公報
　例えば、特許文献１に記載されている基板収納容器では、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されている最中に、基板が摺動する側方基板支持部や奥側基板支持部の部分においてパーティクルが発生することを抑えるためにシボ加工が施されている。しかし、実際には、パーティクルの発生を抑えることは困難であった。また、基板と、側方基板支持部や奥側基板支持部の部分との摩擦による樹脂付着を抑えることは困難であった。また、蓋体を閉める際に、複数の基板を奥側基板支持部に対して摺動させるため、蓋体を閉めるための強い力が必要であり、蓋体を閉める装置において装置エラーを起こす恐れがあった。
　本発明は、パーティクルの発生や基板への樹脂付着が抑えられ、また、蓋体を閉める装置において装置エラーを起こすことを抑えることが可能な基板収納容器を提供することを目的とする。
　本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、前記側方基板支持部、前記奥側基板支持部、前記蓋体側基板支持部のうちの少なくとも１つは、前記容器本体の内面に対して着脱可能に固定されて前記基板収納空間内に配置される内装部であり、前記基板収納空間において基板も含む部材同士が当接し合う部分には、粗面加工が施されている基板収納容器に関する。
　また、前記奥側基板支持部は、前記内装部により構成され、前記粗面加工が施された部分は、前記奥側基板支持部の部分であって、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されている最中、及び、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されたときに前記基板が当接する部分であることが好ましい。
　また、前記側方基板支持部は、前記内装部により構成され、前記粗面加工が施された部分は、前記側方基板支持部の部分であって、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないとき、及び、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されている最中に前記基板が当接する部分であることが好ましい。
　また、前記蓋体側基板支持部は、前記内装部により構成され、前記粗面加工が施された部分は、前記蓋体側基板支持部の部分であって、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されている最中、及び、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されたときに前記基板が当接する部分であることが好ましい。
　また、前記側方基板支持部、前記奥側基板支持部の少なくとも１つは、前記内装部により構成され、前記粗面加工が施された部分は、前記内装部が前記容器本体に当接する部分、及び／又は、前記容器本体が前記内装部に当接する部分であることが好ましい。
　また、前記粗面加工が施された部分の表面粗さＲｚは、３μｍ以上であることが好ましい。
　また、前記側方基板支持部と前記奥側基板支持部とは、一体成形されて構成されていることが好ましい。
　本発明によれば、パーティクルの発生や基板への樹脂付着が抑えられ、また、蓋体を閉める装置において装置エラーを起こすことを抑えることが可能な基板収納容器を提供することができる。
本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部支持部２５１を示す切断斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部支持部２５１を示す拡大斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を示す右側面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を示す左側面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の奥側基板支持部６を示す拡大側面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５の凸部５１１を示す拡大斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５の凸部５１２を示す拡大斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る容器本体２を示す側方断面図である。 本発明の第１実施形態に係る容器本体２を示す拡大側方断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体本体３０を示す背面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す正面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す背面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す拡大背面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す拡大側方断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において基板Ｗと当接する部分Ｐを示す断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の効果を試す試験の結果を示すグラフである。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を構成する材料の最大静摩擦係数を測定するための試験機を示す拡大断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７及び基板支持板状部５と基板Ｗとの間の最大静摩擦係数を測定する試験の結果を示すグラフである。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７及び基板支持板状部５と容器本体２との間の最大静摩擦係数を測定する試験の結果を示すグラフである。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器のフロントリテーナ７ａを示す背面図である。
　以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
　図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に複数の基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体２を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。
　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。主要な図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
　また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
　図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板Ｗを輸送するための出荷容器として用いられたりするものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成される。容器本体２は、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図２等参照）とを備えており、蓋体３は、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７（図３等参照）を備えている。
　容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
　基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が基板支持板状部５と一体成形されて設けられている。
　奥側基板支持部６（図２等参照）は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ７（図３等参照）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。
　フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で保持する。
　基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
　以下、各部について、詳細に説明する。
　図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
　図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
　図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
　図４、図５、図１１に示すように、第１側壁２５の後部であって、上下方向Ｄ２における第１側壁２５の上から４分の１、及び、下から４分の１程度の部分には、それぞれ基板支持板状部支持部２５１が、２対で計４つ設けられている。基板支持板状部支持部２５１は、第１側壁２５と一体成形されることにより、第１側壁２５の内面に設けられており、第１側壁２５の内面から基板収納空間２７に突出し、後方向Ｄ１２へ進むにつれて突出量が小さくなる。突出量が１番大きな基板支持板状部支持部２５１の前端部は、前方向Ｄ１１へ向ってコの字形状に開口するコの字状切り欠き２５２が形成されている。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部支持部２５１を示す切断斜視図である。図５は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部支持部２５１を示す拡大斜視図である。図１１は、本発明の第１実施形態に係る容器本体２を示す側方断面図である。
　それぞれ対をなす基板支持板状部支持部２５１の間には、図５に示すように、支持用凸部２５３がそれぞれ設けられている。支持用凸部２５３は、第１側壁２５と一体成形されることにより、第１側壁２５の内面に設けられており、支持用凸部２５３は、第１側壁２５の内面から基板収納空間２７に突出し、対をなす基板支持板状部支持部２５１の間において、上下方向Ｄ２（図５における上下方向）へ延びている。
　第１側壁２５の後部の上端部、及び、下端部にも、基板支持板状部支持部２５１と同一形状の端部支持部２５５が設けられている。端部支持部２５５は、第１側壁２５と一体成形されることにより、第１側壁２５の内面に設けられている。
　第１側壁２５の後部の中央部には、押え突起部２５６が設けられている。押え突起部２５６は、第１側壁２５と一体成形されることにより、第１側壁２５の内面に設けられている。押え突起部２５６は、第１側壁２５の内面から基板収納空間２７に突出し、前方向Ｄ１１へ進むほど上下方向Ｄ２の厚さが薄くなる楔形状を有している。第２側壁２６は、第１側壁２５と左右鏡面対称の構成を有している。
　次に、基板支持板状部５及び奥側基板支持部６について詳細に説明する。
　図６は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を示す右側面図である。図７は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を示す左側面図である。図８は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の奥側基板支持部６を示す拡大側面図である。図９は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５の凸部５１１を示す拡大斜視図である。図１０は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５の凸部５１２を示す拡大斜視図である。図１２は、本発明の第１実施形態に係る容器本体２を示す拡大側方断面図である。
　基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置された内装部である。具体的には、図２、図６等に示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部としての支持壁５２とを有している。板部５１と支持壁５２は、樹脂材料が一体成形されて構成されており、板部５１は、支持壁５２によって支持されている。
　板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ～１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方には、もう一枚板部５１と平行に板状の部材５９（図６参照）が配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。
　また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と平行な板状のガイドの役割をする部材５９は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図９，図１０等に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。
　凸部５１１は、図９に示すように、上方向Ｄ２１へ突出すると共に左右方向Ｄ３に延びており、凸部５１１の上端部は、基板収納空間２７の中心に向って（図９における右下方向に向って）わずかに下方向Ｄ２２へ下がるように傾斜している。これにより、凸部５１１の上端部と、凸部５１１に載置された基板Ｗとの接触面積が極力小さくなり、凸部５１１の上端部と基板Ｗと摩擦によるパーティクルの発生が抑制される。
　また、図９に示すように、凸部５１１の近傍には、基板飛び出し防止部５１３が設けられている。基板飛び出し防止部５１３は、後方向Ｄ１２に進むにつれて上方向Ｄ２１の高さが高くなる傾斜面である板部基板誘い込み傾斜面５１３１を有している。凸部５１１よりも前方向Ｄ１１の板部基板誘い込み傾斜面５１３１の部分は、基板Ｗを手動で基板収納空間２７に配置させる際に、基板Ｗの縁部が摺動し、基板Ｗがガイドされる。凸部５１１よりも後方向Ｄ１２の基板飛び出し防止部５１３の部分（図９において上の段の板部５１に隠れて見えていない部分）は、凸部５１１よりも上方向Ｄ２１における高さが高く、且つ、凸部５１１上に載置された基板Ｗに、前方向Ｄ１１において対向する。これにより、基板Ｗが前方向Ｄ１１へ移動されて飛び出しそうになった場合に、当該凸部５１１よりも後方向Ｄ１２の基板飛び出し防止部５１３の部分に基板Ｗの縁部が当接して、基板Ｗが前方向Ｄ１１へ移動することを防止する。
　凸部５１２は、図１０に示すように、上方向Ｄ２１へ突出すると共に左右方向Ｄ３に延びて基板Ｗに当接する部分と、その部分から奥側端縁支持部６０の下側傾斜面６１１に至るまで延びる板状の部分とを有している。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。
　図６に示すように、支持壁５２は、上下方向Ｄ２及び略前後方向Ｄ１に延びる板状を有している。支持壁５２は、板部５１の長手方向において所定の長さを有しており、板部５１の側端縁に接続されている。板状の支持壁５２は、板部５１の外側端縁に沿って基板収納空間２７へ湾曲している。
　即ち、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた支持壁５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた支持壁５２に接続されている。支持壁５２は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
　また、基板支持板状部５は、被支持壁５３を有している。被支持壁５３は、図６に示すように、上下方向Ｄ２及び略前後方向Ｄ１に延びる板状を有している。被支持壁５３は、奥側基板支持部６から後方向Ｄ１２に延びている。被支持壁５３の後端縁部には、後方向Ｄ１２へ向けて開口する２つの大きな切り欠き５０１と、これら大きな切り欠き５０１の間に位置する小さな切り欠き５０２と、が形成されている。大きな切り欠き５０１には、それぞれ大きな切り欠き５０１の中央部の大部分を占めるように板状の被固定凸部５３１が、大きな切り欠き５０１の中央部から後方向Ｄ１２へ向って延びており、被支持壁５３の後端縁よりも後側に至っている。図７に示すように、上下方向Ｄ２における被固定凸部５３１の縁部には、それぞれ前後方向Ｄ１に延びるリブ５３２が設けられており、リブ５３２は、途中で途切れている部分を有する。
　図１１に示すように、被固定凸部５３１は、対をなす基板支持板状部支持部２５１の間に配置され、大きな切り欠き５０１の被固定凸部５３１の両端を形成する被支持壁５３の部分は、基板支持板状部支持部２５１のコの字状切り欠き２５２（図５等参照）に挿入されており係合している。この状態で、支持用凸部２５３は、リブ５３２（図７等参照）の途切れている部分に係合し、基板支持板状部５が第１側壁２５から外れることを防止する。大きな切り欠き５０１が形成されていない被支持壁５３の部分も、端部支持部２５５のコの字状切り欠き２５２に挿入されており係合している。また、小さな切り欠き５０２（図６参照）には、押え突起部２５６が係合している。
　このような構成の基板支持板状部５は、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。
　図６～図８等に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１及び支持壁５２と一体成形されて構成されている。従って、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６とは、容器本体２の内部において容器本体２の内面に対して着脱可能に固定される、結合した１つの内装部としての溝板部を構成しポリカーボネートにより構成されている。
　奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。
　奥側端縁支持部６０は、下側傾斜面６１１と上側傾斜面６１２と、を有しており、これらにより、略Ｖ字状溝６４が形成されている。蓋体３により容器本体開口部２１を閉塞したときには、基板Ｗが下側傾斜面６１１に対して摺動してせり上がり、基板ＷがＶ字状溝６４の頂点の位置に至ったときに、基板Ｗの縁部は、Ｖ字状溝６４において奥側端縁支持部６０に支持される。
　次に、蓋体３及びフロントリテーナ７について詳細に説明する。
　図１３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体本体３０を示す背面図である。図１４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す正面図である。図１５は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す背面図である。図１６は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す拡大背面図である。図１７は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７を示す拡大側方断面図である。
　蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
　蓋体３は、蓋体３の外形をなす蓋体本体３０を有しており、蓋体本体３０には、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体本体３０の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体本体３０の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体本体３０の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｂと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体本体３０の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｂは、蓋体本体３０の下辺の左右両端近傍に配置されている。
　蓋体本体３０の外面側には操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体本体３０の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部３２Ｂを蓋体本体３０の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体本体３０の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｂが蓋体本体３０の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
　図３に示すように、蓋体本体３０の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部３４が形成されている。凹部３４の内側の蓋体本体３０の部分には、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。
　図１３に示すように、凹部３４の表面には、上下方向Ｄ２に沿って延びて、且つ複数（例えば５個）に分割された左方向Ｄ３１側のリテーナ係止部３４４、及び、上下方向Ｄ２に沿って延びて、且つ複数（例えば５個）に分割された右方向Ｄ３２側のリテーナ係止部３４４が設けられている。
　左方向Ｄ３１側のリテーナ係止部３４４及び右方向Ｄ３２側のリテーナ係止部３４４は、蓋体３の左右方向Ｄ３の中央を通り上下方向Ｄ２に沿って仮想される中心線を挟んで左右両側において、その仮想される中心線から互いに等距離に位置している。
　図１３に示すように、左方向Ｄ３１側のリテーナ係止部３４４は、凹部３４の表面から後方向Ｄ１２にわずかに延び、その先端から右方向Ｄ３２に延びるＬアングルの断面形状を有する。したがって、左方向Ｄ３１側のリテーナ係止部３４４は、凹部３４の表面上において、Ｌアングルが右方向Ｄ３２に開口した長溝を形成する。
　左方向Ｄ３１側のリテーナ係止部３４４のこの長溝は、フロントリテーナ７の左方向Ｄ３１側の縦枠体７１を収容可能である。
　同様に、右方向Ｄ３２側のリテーナ係止部３４４は、凹部３４の表面から後方向Ｄ１２にわずかに延び、その先端から左方向Ｄ３１に延びるＬアングルの断面形状を有する。したがって、右方向Ｄ３２側のリテーナ係止部３４４は、凹部３４の表面上において、Ｌアングルが左方向Ｄ３１に開口した長溝を有する。
　右方向Ｄ３２側のリテーナ係止部３４４のこの長溝は、フロントリテーナ７の右方向Ｄ３２側の縦枠体７１を収容可能である。
　図１３に示すように、凹部３４の表面において、複数（例えば５個）に分割された左方向Ｄ３１側のリテーナ係止部３４４と同一ライン上で、且つリテーナ係止部３４４と重ならない位置には、複数（例えば４個）の左方向Ｄ３１側のリテーナ固定部３４６が設けられている。左方向Ｄ３１側のリテーナ固定部３４６には、フロントリテーナ７の左方向Ｄ３１側の縦枠体７１の枠体固定部７１５が固定される。
　同様に、凹部３４の表面において、複数（例えば５個）に分割された右方向Ｄ３２側のリテーナ係止部３４４と同一ライン上で、且つリテーナ係止部３４４と重ならない位置には、複数（例えば４個）の右方向Ｄ３２側のリテーナ固定部３４６が設けられている。右方向Ｄ３２側のリテーナ固定部３４６には、フロントリテーナ７の右方向Ｄ３２側の縦枠体７１の枠体固定部７１５が固定される。
　フロントリテーナ７は、図１５等に示すように、フロントリテーナ基板受け部７３を有している。フロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられており、それぞれ弾性変形可能な脚部７２により支持されている。脚部７２の端部には、上下方向Ｄ２に沿って平行に延びている縦枠体７１が脚部７２に一体成形されて設けられている。縦枠体７１は、それぞれ左方向又は右方向へ突出する枠体固定部７１５を有している。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部７３は、脚部７２の弾性力により、基板Ｗの縁部の端縁を、基板収納空間２７の中心へ付勢した状態で挟持して支持する。
　具体的には、フロントリテーナ基板受け部７３は、図１６に示すように、下側傾斜面７３１と上側傾斜面７３２とを有している。
　下側傾斜面７３１は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの裏面の端縁に当接する。上側傾斜面７３２は、基板Ｗの表面の端縁に当接する。具体的には、下側傾斜面７３１は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心から離間するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。上側傾斜面７３２は、上方向Ｄ２１に進むにつれて、前後方向Ｄ１において基板収納空間２７の中心に接近するように傾斜して延びる傾斜面により構成されている。下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２は、基板収納空間２７の中心から離間するように窪んだ凹溝であるＶ字状溝７０３（図１７参照）を形成する。下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２には、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板Ｗの裏面の端縁、表面の端縁がそれぞれ当接する。
　また、フロントリテーナ基板受け部７３は、下側基板誘い込み傾斜面７３３と、上側基板誘い込み傾斜面７３４とを有している。下側基板誘い込み傾斜面７３３は、下側傾斜面７３１の下端部に接続されており、略下方向へ傾斜して延びている。下側基板誘い込み傾斜面７３３は、下側傾斜面の傾斜よりも、上下方向Ｄ２とのなす角が小さく傾斜する。即ち、図１７に示すように、Ｖ字状溝７０３の頂点から離れるにつれて、Ｖ字状溝７０３が広がるように、下側基板誘い込み傾斜面７３３は傾斜している。
　上側基板誘い込み傾斜面７３４は、上側傾斜面７３２の上端部に接続されており、略上方向へ傾斜して延びている。上側基板誘い込み傾斜面７３４は、上側傾斜面の傾斜よりも、上下方向Ｄ２とのなす角が小さく傾斜する。即ち、図１７に示すように、Ｖ字状溝７０３の頂点から離れるにつれて、Ｖ字状溝７０３が広がるように、上側基板誘い込み傾斜面７３４は傾斜している。
　基板収納容器１においては、基板収納空間２７において部材同士が当接し合う部分には、粗面加工としてのシボ加工Ｓが施されている。ここで、「部材」とは、基板収納容器１を構成する部材のみならず、基板収納容器１の基板収納空間２７に配置される全てのものを含み、従って、基板Ｗも含むことを意味する。シボ加工Ｓが施された部分の表面粗さＲｚは、３μｍ以上１００μｍ以下であればよく、様々な種類のシボ加工Ｓを用いることができる。表面粗さＲｚを３μｍ以上としたのは、３μｍ未満では後述のようにパーティクルの発生を押える効果、及び、摺動性を高める効果を、十分に得ることができないためである。以下の説明における「シボ加工Ｓ」については、各図面中において斜線を施して図示する。
　具体的には、容器本体２においては、シボ加工Ｓは、図５に示すように、基板支持板状部支持部２５１のコの字状切り欠き２５２を形成する側壁の部分と、押え突起部２５６の上面及び下面と、に施されている。これらの部分は、図１１、図１２に示すように、被支持壁５３と当接する部分であり、容器本体２が内装部としての基板支持板状部５に当接する部分である。
　また、一体成形された奥側基板支持部６と基板支持板状部５との一体成形物である溝板部においては、シボ加工Ｓは、図６～図７に示すように、被支持壁５３の後端縁部に所定の幅、具体的には、被支持壁５３の後端縁から、大きな切り欠き５０１の前方向Ｄ１１における端部の近傍に至るまでの幅で、上下方向Ｄ２へ被支持壁５３の上端部から下端部に至るまで延びている。この部分は、内装部としての基板支持板状部５の被支持壁５３が容器本体２に当接する部分である。
　また、溝板部においては、シボ加工Ｓは、図８に示すように、奥側基板支持部６を構成する奥側端縁支持部６０の略Ｖ字状溝を形成する下側傾斜面６１１と上側傾斜面６１２とに施されている。これらの部分は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されている最中、及び、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されたときに基板Ｗと当接する部分である。また、シボ加工Ｓは、図９、図１０に示すように、凸部５１１、凸部５１２、及び、基板飛び出し防止部５１３の板部基板誘い込み傾斜面５１３１全体に施されている。これらの部分は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないとき、及び、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されている最中に基板Ｗと当接する部分である。
また、蓋体３においては、シボ加工Ｓは、図１３に示すように、蓋体３の凹部３４において蓋体３の上端部から下端部に至るまで上下方向Ｄ２に沿って延びる、複数のリテーナ係止部３４４の上端から下端に至るまでの帯状の領域に施されている。即ち、この領域内に存在するリテーナ係止部３４４の外面、前述の長溝を形成するリテーナ係止部３４４の内面、リテーナ固定部３４６の外面、及び、これらが設けられていない当該領域内の表面には、シボ加工Ｓが施されている。これらの部分は、内装部としてのフロントリテーナ７の縦枠体７１や、枠体固定部７１５に蓋体本体３０が当接する部分である。
また、フロントリテーナ７においては、シボ加工Ｓは、図１４に示すように、蓋体３の凹部３４の表面に対向し当接する縦枠体７１及び枠体固定部７１５の面（前側の面）に施されている。これらの部分は、内装部としてのフロントリテーナ７の縦枠体７１や、枠体固定部７１５が蓋体本体３０に当接する部分である。また、シボ加工Ｓは、図１５～図１７に示すように、フロントリテーナ基板受け部７３の下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２、下側基板誘い込み傾斜面７３３、及び、上側基板誘い込み傾斜面７３４に施されている。これらの部分は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されている最中、及び、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されたときに基板Ｗと当接する部分である。
　次に、上述した基板収納容器１において、基板Ｗを基板収納空間２７へ収納し、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞する際の動作について説明する。
　先ず、図１に示すように、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３が水平面に平行の位置関係となるように容器本体２を配置させる。次に、複数枚の基板Ｗを基板支持板状部５の板部５１（図９、図１０等参照）の凸部５１１、５１２にそれぞれ載置する。このとき、凸部５１１、５１２には、シボ加工Ｓが施されているため、基板Ｗがこれらに当接することにより発生するパーティクルの量が抑えられ、また、基板Ｗへの樹脂付着の量が抑えられる。
　次に、蓋体３を容器本体開口部２１へ接近させてゆき、フロントリテーナ７のフロントリテーナ基板受け部７３に当接させる。そして、更に蓋体３を容器本体開口部２１へ接近させてゆくと、下側傾斜面６１１（図８等参照）に当接した状態の基板Ｗの縁部の裏面の端縁は、奥側端縁支持部６０の下側傾斜面６１１に当接し、下側傾斜面６１１に対して摺動してせり上がる。
　このとき、奥側基板支持部６の奥側端縁支持部６０の下側傾斜面６１１、及び、フロントリテーナ基板受け部７３の下側傾斜面７３１には、シボ加工Ｓが施されているため、基板Ｗがこれらに対する摺動性は良好であり、基板Ｗの縁部の裏面の端縁と下側傾斜面６１１、下側傾斜面７３１との間の摺動は滑らかであり、当該摺動によるパーティクルの発生が抑えられ、基板Ｗへの樹脂付着の量が抑えられる。
　そして、基板ＷがＶ字状溝６４、Ｖ字状溝７０３の頂点の位置に至ったときに、基板Ｗの表面の端縁と裏面の端縁とが、それぞれ、上側傾斜面７３２、下側傾斜面７３１、及び、上側傾斜面６１２、下側傾斜面６１１にそれぞれ当接して、基板Ｗの縁部がＶ字状溝６４、Ｖ字状溝７０３において、奥側基板支持部６、フロントリテーナ基板受け部７３に支持される。このとき、フロントリテーナ基板受け部７３の下側傾斜面７３１及び上側傾斜面７３２、及び、奥側基板支持部６の上側傾斜面６１２、下側傾斜面６１１には、シボ加工Ｓが施されているため、基板Ｗがこれらに当接することにより発生するパーティクルの量が抑えられ、また、基板Ｗへの樹脂付着の量が抑えられる。
　基板収納容器１が搬送されている最中には、基板収納容器１に作用する振動により、容器本体２に対して、基板支持板状部５及びと奥側基板支持部６により構成される内装部がわずかに摺動すると共に、蓋体本体３０に対してフロントリテーナ７がわずかに摺動する。このとき、前述のように、被支持壁５３、及び、被支持壁５３に当接する容器本体２の部分とには、それぞれシボ加工Ｓが施されており、また、蓋体３のリテーナ係止部３４４やリテーナ固定部３４６、及び、これらに当接する縦枠体７１や枠体固定部７１５には、それぞれシボ加工Ｓが施されているため、これらの摺動により発生するパーティクルの量が抑えられ、基板Ｗへの樹脂付着の量が抑えられる。
　次に、本実施形態による効果を確認する試験を行った。試験では、溝板部及びフロントリテーナ７を所定の材料により構成した基板収納容器１に基板Ｗを収納し、所定時間に所定の振動を与えて、パーティクルの発生量を比較することにより行った。
　具体的には、溝板部及びフロントリテーナ７を、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリエステルエラストマー（ＰＥＥ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ＰＣとＰＢＴとの混合物（ＰＣ＋ＰＢＴ）、ＰＣとポリテトラフルオロエチレン４フッ化エチレンとの混合物（ＰＣ＋ＰＴＦＥ）、によってそれぞれ構成した基板収納容器について、それぞれ、前述のシボ加工Ｓを施した部分の表面粗さＲｚを、０．５μｍ程度（鏡面）、５μｍ程度（粗小）、５０μｍ程度（粗中）、１００μｍ程度（粗大）の４種類とし、それぞれを比較品、本発明品１、本発明品２、本発明品３として用意した。
　そして、これらに基板Ｗを収納し、基板収納容器に対して０．３５Ｇの加速度で、５分間、上下方向Ｄ２に振動を与えた。これにより、図１８においてＰで示す基板Ｗと奥側端縁支持部６０との接触点、及び、基板Ｗとフロントリテーナ７との接触点において発生するパーティクルの量について、パーティクルによる色の濃さのレベルを０～３の間の範囲の値で得た。試験結果は、表１及び図１９に示すとおりである。
　図１８は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において基板Ｗと当接する部分Ｐを示す断面図である。図１９は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の効果を試す試験の結果を示すグラフである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１及び図１９に示すように、シボ加工Ｓの表面粗さＲｚが３μｍ以上の値を採る本発明品の場合には、樹脂材料がいずれの場合であっても、パーティクルの発生量は低いレベルに抑えられていることが分かる。これに対して、シボ加工Ｓの表面粗さＲｚが３μｍ未満の場合には、パーティクルの発生量は高いレベルであることが分かる。
　この結果より、基板収納容器１を搬送しているときに、基板Ｗに当接する部分、具体的には、溝板部及びフロントリテーナ７は、シボ加工Ｓの表面粗さＲｚが３μｍ以上の値を採ることが好ましいことが分かる。更に、溝板部及びフロントリテーナ７をＰＣにより構成した場合には、他の材料により構成した場合と比較して、傑出してパーティクルの発生量は低いレベルに抑えられることが分かる。
　また、基板Ｗに対する比較品、本発明品１、本発明品２、本発明品３のそれぞれの、フロントリテーナ７又は溝板部の最大静摩擦係数の値を求める試験を行った。試験では、比較品、本発明品１、本発明品２、本発明品３のそれぞれのフロントリテーナ７又は溝板部を部分的に切断して得られたものＴ（図２０参照）について、切断面以外の外表面の部分を、基板Ｗに対して摺動させた。図２０は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５を構成する材料の最大静摩擦係数を測定するための試験機を示す拡大断面図である。
　ここで用いられる基板Ｗとは、基板Ｗを部分的に切断して得られたものであり、この切断面以外の外表面の部分に対して、摺動が行われる。試験では、「往復摩擦抵抗測定機」（例えば、新東科学株式会社製の表面性測定機Ｔｙｐｅ：３８）を用いた。
　具体的には、最大静摩擦係数の値は、図２０に示すように、往復摩擦抵抗測定機のアーム１００１に、基板Ｗを部分的に切断して得られたものを固定し、フロントリテーナ７又は溝板部のうちのいずれかを部分的に切断して台座１００２上に固定されたものＴに対して、３５０ｇｆの荷重で１５００ｍｍ／分の速度で５ｍｍ摺動させることにより、最大静摩擦係数の値を得た。試験結果は、表２及び図２１に示すとおりである。図２１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７及び基板支持板状部５と基板Ｗとの間の最大静摩擦係数を測定する試験の結果を示すグラフである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
　表２及び図２１に示すように、シボ加工Ｓの表面粗さＲｚが３μｍ以上の値を採る本発明品の場合には、表面粗さＲｚの値が大きくなるほど最大静摩擦係数の値は小さくなることが分かる。比較品の最大静摩擦係数は、溝板部及びフロントリテーナ７を構成する各材料ごとに、本発明品１～本発明品３のいずれよりも最大静摩擦係数の値が大きいことが分かる。
　また、ＰＣにより構成される容器本体に対する比較品、本発明品１、本発明品２、本発明品３のそれぞれの、フロントリテーナ７又は溝板部の最大静摩擦係数の値を求める試験を行った。試験では、比較品、本発明品１、本発明品２、本発明品３のそれぞれのフロントリテーナ７又は溝板部を部分的に切断して得られたものＴ（図２０参照）について、切断面以外の外表面の部分を、容器本体に対して摺動させた。
　ここで用いられる容器本体とは、容器本体２を部分的に切断して得られたものであり、この切断面以外の外表面の部分に対して、摺動が行われる。試験では、「往復摩擦抵抗測定機」（例えば、新東科学株式会社製の表面性測定機Ｔｙｐｅ：３８）を用いた。
　具体的には、最大静摩擦係数の値は、図２０に示す往復摩擦抵抗測定機のアーム１００１に、基板Ｗに換えて容器本体２を部分的に切断して得られたものを固定し、フロントリテーナ７又は溝板部のうちのいずれかを部分的に切断して台座１００２上に固定されたものＴに対して、５００ｇｆの荷重で１５００ｍｍ／分の速度で１０ｍｍ摺動させることにより、最大静摩擦係数の値を得た。試験結果は、表３及び図２２に示すとおりである。図２２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１のフロントリテーナ７及び基板支持板状部５と容器本体２との間の最大静摩擦係数を測定する試験の結果を示すグラフである。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
　表３及び図２２に示すように、シボ加工Ｓの表面粗さＲｚが３μｍ以上の値を採る本発明品の場合には、基板Ｗに対する試験結果と同様に、表面粗さＲｚの値が大きくなるほど最大静摩擦係数の値は小さくなることが分かる。比較品の最大静摩擦係数は、溝板部及びフロントリテーナ７を構成する各材料ごとに、本発明品１～本発明品３のいずれよりも最大静摩擦係数の値は大きいことが分かる。
　上記構成の第１実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
　前述のように、基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部３８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、基板収納空間２７内において対をなすように配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な基板支持板状部５と、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納空間２７に対向する蓋体３の部分に配置されて、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７と、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ７と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときにフロントリテーナ７と協働して、複数の基板Ｗを支持可能な奥側基板支持部６と、を備えている。
　基板支持板状部５、奥側基板支持部６、フロントリテーナ７のうちの少なくとも１つは、容器本体２の内面に対して着脱可能に固定されて基板収納空間２７内に配置される内装部である。
　基板収納空間２７において基板Ｗも含む部材同士が当接し合う部分には、粗面加工としてのシボ加工Ｓが施されている。
　上記構成により、基板Ｗも含む部材同士が当接し合う部分には粗面加工としてのシボ加工Ｓが施されているため、基板Ｗに当接、摺動する部分や、容器本体２と基板支持板状部５との摺動部分における摩擦抵抗が減り、蓋体３を閉じるための力を少なくすることが可能となり、また、奥側基板支持部６において基板Ｗと摺動する部分の摺動の摩擦によるパーティクルの発生及び基板Ｗへの樹脂付着を抑制することが可能となる。
　また、シボ加工Ｓが施されている部分とシボ加工Ｓが施されていない部分とを、視認して識別することが可能である。この結果、例えば、被支持壁５３が基板支持板状部支持部２５１のコの字状切り欠き２５２にどの程度挿入されている（嵌合されている）かについて、シボ加工Ｓされている部分に対するコの字状切り欠き２５２の位置を視認することにより、容易に把握することが可能となる。また、容器本体２や、基板Ｗや、基板支持板状部５の破損や変形を抑制することが可能となる。
　また、奥側基板支持部６は、内装部により構成されている。シボ加工Ｓが施された部分は、下側傾斜面６１１、上側傾斜面６１２の部分であり、これらは、奥側基板支持部６の部分であって、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されている最中、及び、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されたときに基板Ｗが当接する部分である。この構成により、奥側基板支持部６において基板Ｗと摺動する部分の摺動の摩擦が小さくなり、摩擦による基板Ｗへの樹脂付着を抑制することが可能となる。
　また、側方基板支持部としての基板支持板状部５は、内装部により構成されている。シボ加工Ｓが施された部分は、凸部５１１、凸部５１２、及び、板部基板誘い込み傾斜面５１３１の部分であり、これらは、基板支持板状部５の部分であって、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないとき、及び、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されている最中に基板Ｗが当接する部分である。この構成により、基板Ｗが当該部分に当接することにより、パーティクルが発生することを抑制することが可能となる。
　また、フロントリテーナ７は、内装部により構成されている。シボ加工Ｓが施された部分は、下側傾斜面７３１、上側傾斜面７３２、下側基板誘い込み傾斜面７３３、及び、上側基板誘い込み傾斜面７３４の部分であり、これらは、フロントリテーナ７の部分であって、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されている最中、及び、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されたときに基板Ｗが当接する部分である。この構成により、基板Ｗが当該部分に当接することにより、パーティクルが発生することを抑制することが可能となる。
　また、基板支持板状部５、奥側基板支持部６は、内装部により構成されている。シボ加工Ｓが施された部分は、基板支持板状部支持部２５１のコの字状切り欠き２５２を形成する側壁の部分、押え突起部２５６の上面及び下面、被支持壁５３の部分である。これらは、内装部が容器本体２に当接する部分、及び、容器本体２が内装部に当接する部分である。この構成により、基板収納容器１が搬送されている最中に、基板収納容器１に作用する振動により、容器本体２に対して、基板支持板状部５及びと奥側基板支持部６により構成される内装部がわずかに摺動することによりパーティクルが発生することを、抑制することが可能となり、基板Ｗへの樹脂付着が抑えられる。
　また、粗面加工が施された部分の表面粗さＲｚは、３μｍ以上である。この構成により、基板Ｗ及びＰＣにより構成される容器本体２に対する最大静摩擦係数が小さくなる。この結果、基板ＷやＰＣに対して内装部が摺動する際に、摩擦による基板Ｗへの樹脂付着の量を抑えることが可能となる。
　また、基板支持板状部５と奥側基板支持部６とは、一体成形されて構成されている。この構成により、一体成形されて構成された内装部が容器本体２に当接する部分について粗面加工としてのシボ加工Ｓを施すことで、効果的にパーティクルの発生や、基板Ｗへの樹脂付着を抑制することが可能となる。
　次に、本発明の第２実施形態に係る、基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図２３は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器のフロントリテーナ７ａを示す背面図である。
　第２実施形態では、フロントリテーナ７ａにおけるシボ加工Ｓが施された位置が、第１実施形態の基板収納容器１におけるフロントリテーナ７におけるシボ加工Ｓが施された位置とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態と同一であるため、同一の部材については、同一の符号で図示し、説明を省略する。
　また、フロントリテーナ７ａにおいては、シボ加工Ｓは、第１実施形態のフロントリテーナ７と同様に、図１４に示すように、蓋体３の凹部３４（図１３等参照）の表面に対向し当接する縦枠体７１ａ及び枠体固定部７１５ａの面（前側の面）に施されることに加えて、この裏側の面、即ち、図２３に示すように、フロントリテーナ７ａが蓋体３に固定されたときに、Ｌアングルの断面形状を有するリテーナ係止部３４４（図１３参照）に当接する縦枠体７１ａの面に施されている。フロントリテーナ基板受け部７３ａの下側傾斜面７３１ａ、上側傾斜面７３２ａ、下側基板誘い込み傾斜面７３３ａ、及び、上側基板誘い込み傾斜面７３４ａについても、第１実施形態のフロントリテーナ７と同様に、シボ加工Ｓが施されている。
　この構成により、Ｌアングルの断面形状を有するリテーナ係止部３４４に当接する縦枠体７１ａの面にシボ加工Ｓが施されているため、リテーナ係止部３４４に対する縦枠体７１ａの面の摺動により発生するパーティクルの量を抑えることが可能となる。
　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
　例えば、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法に限定されない。即ち、側方基板支持部や、蓋体側基板支持部や、奥側基板支持部の構成は、基板支持板状部５と、フロントリテーナ７、奥側基板支持部６の構成に限定されない。また、本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハであったが、この値に限定されない。
　また、粗面加工は、シボ加工Ｓに限定されない。また、粗面加工が施される部分は、上述の実施形態において粗面加工が施されている部分に限定されない。基板収納空間において基板も含む部材同士が当接し合う部分に、粗面加工が施されていればよい。従って、容器本体や蓋体本体に対して当接する部品や部材の部分であって、本体や蓋体本体とは別個独立して製造され構成された部品や部材の部分や、当該部分が当接する容器本体や蓋体本体の部分や、これらに連続して続く部分に、粗面加工を施せばよい。また、部材同士が当接し合う部分においては、粗面加工された部分と、粗面加工されていない部分とが当接してもよいし、粗面加工された部分同士が当接してもよい。
　また、上述の実施形態においては、基板支持板状部５と、奥側基板支持部６とは、容器本体２の内部において容器本体２に対して固定される結合した１つの内装部としての内装部を構成していたが、この構成に限定さない。側方基板支持部、奥側基板支持部、蓋体側基板支持部のうちの少なくとも１つが、容器本体の内面に対して着脱可能に固定されて基板収納空間内に配置される内装部であればよい。
　また、奥側基板支持部は、本実施形態では奥側基板支持部６により構成されたが、この構成に限定されない。例えば、容器本体に一体成形されて構成されたリアリテーナによって、奥側基板支持部が構成されてもよい。
１　基板収納容器
２　容器本体
３　蓋体
５　基板支持板状部（側方基板支持部）
６　奥側基板支持部
７　フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
２０　壁部
２１　容器本体開口部
２７　基板収納空間
２８　開口周縁部
５３　被支持壁
２５１　基板支持板状部支持部
２５２　コの字状切り欠き
２５６　押え突起部
５１１　凸部
５１２　凸部
６１１　下側傾斜面
６１２　上側傾斜面
７３１　下側傾斜面
７３２　上側傾斜面
７３３　下側基板誘い込み傾斜面
７３４　上側基板誘い込み傾斜面
５１３１　板部基板誘い込み傾斜面
Ｓ　シボ加工
Ｗ　基板

Claims (7)

  1. 　一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
    　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
    　前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
    　前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記基板収納空間に対向する前記蓋体の部分に配置されて、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
    　前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持可能な奥側基板支持部と、を備え、
    　前記側方基板支持部、前記奥側基板支持部、前記蓋体側基板支持部のうちの少なくとも１つは、前記容器本体の内面に対して着脱可能に固定されて前記基板収納空間内に配置される内装部であり、
    　前記基板収納空間において基板も含む部材同士が当接し合う部分には、粗面加工が施されている基板収納容器。
  2. 　前記奥側基板支持部は、前記内装部により構成され、
    　前記粗面加工が施された部分は、前記奥側基板支持部の部分であって、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されている最中、及び、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されたときに前記基板が当接する部分である請求項１に記載の基板収納容器。
  3. 　前記側方基板支持部は、前記内装部により構成され、
    　前記粗面加工が施された部分は、前記側方基板支持部の部分であって、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないとき、及び、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されている最中に前記基板が当接する部分である請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
  4. 　前記蓋体側基板支持部は、前記内装部により構成され、
    　前記粗面加工が施された部分は、前記蓋体側基板支持部の部分であって、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されている最中、及び、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されたときに前記基板が当接する部分である請求項１～請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
  5. 　前記側方基板支持部、前記奥側基板支持部の少なくとも１つは、前記内装部により構成され、
    　前記粗面加工が施された部分は、前記内装部が前記容器本体に当接する部分、及び／又は、前記容器本体が前記内装部に当接する部分である請求項１～請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
  6. 　前記粗面加工が施された部分の表面粗さＲｚは、３μｍ以上である請求項１～請求項５のいずれかに記載の基板収納容器。
  7. 　前記側方基板支持部と前記奥側基板支持部とは、一体成形されて構成されている請求項１～請求項６のいずれかに記載の基板収納容器。
PCT/JP2017/013576 2017-03-31 2017-03-31 基板収納容器 WO2018179324A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2017/013576 WO2018179324A1 (ja) 2017-03-31 2017-03-31 基板収納容器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2017/013576 WO2018179324A1 (ja) 2017-03-31 2017-03-31 基板収納容器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018179324A1 true WO2018179324A1 (ja) 2018-10-04

Family

ID=63674405

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2017/013576 WO2018179324A1 (ja) 2017-03-31 2017-03-31 基板収納容器

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2018179324A1 (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020089986A1 (ja) * 2018-10-29 2020-05-07 ミライアル株式会社 基板収納容器の成形方法、金型、及び、基板収納容器
US11309200B2 (en) * 2017-02-27 2022-04-19 Miraial Co., Ltd. Substrate storage container

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014192230A (ja) * 2013-03-26 2014-10-06 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP2015012222A (ja) * 2013-07-01 2015-01-19 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP2016119408A (ja) * 2014-12-22 2016-06-30 ミライアル株式会社 基板収納容器
JP2016189373A (ja) * 2015-03-30 2016-11-04 信越ポリマー株式会社 基板収納容器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014192230A (ja) * 2013-03-26 2014-10-06 Shin Etsu Polymer Co Ltd 基板収納容器
JP2015012222A (ja) * 2013-07-01 2015-01-19 信越ポリマー株式会社 基板収納容器
JP2016119408A (ja) * 2014-12-22 2016-06-30 ミライアル株式会社 基板収納容器
JP2016189373A (ja) * 2015-03-30 2016-11-04 信越ポリマー株式会社 基板収納容器

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11309200B2 (en) * 2017-02-27 2022-04-19 Miraial Co., Ltd. Substrate storage container
WO2020089986A1 (ja) * 2018-10-29 2020-05-07 ミライアル株式会社 基板収納容器の成形方法、金型、及び、基板収納容器
JPWO2020089986A1 (ja) * 2018-10-29 2021-09-24 ミライアル株式会社 基板収納容器の成形方法、金型、及び、基板収納容器
US11335576B2 (en) 2018-10-29 2022-05-17 Miraial Co., Ltd. Method for molding substrate storing container, mold, and substrate storing container
JP7113031B2 (ja) 2018-10-29 2022-08-04 ミライアル株式会社 基板収納容器の成形方法、金型、及び、基板収納容器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6915037B2 (ja) 基板収納容器
KR102062672B1 (ko) 기판 수납 용기
JP6177248B2 (ja) 基板収納容器
JP6854341B2 (ja) 基板収納容器
WO2013183138A1 (ja) 衝撃吸収機能を備えた基板収納容器
WO2018179324A1 (ja) 基板収納容器
WO2017006406A1 (ja) 基板収納容器
JP7414982B2 (ja) 基板収納容器
JP2016149492A (ja) 基板収納容器
WO2020136741A1 (ja) 基板収納容器
JP2011138863A (ja) 基板収納容器
WO2015107674A1 (ja) 基板収納容器
WO2021234809A1 (ja) 基板収納容器
JP2016058629A (ja) 基板収納容器
TWI781205B (zh) 基板收納容器
WO2018154778A1 (ja) 基板収納容器

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 17903982

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 17903982

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP