WO2015107674A1

WO2015107674A1 - 基板収納容器

Info

Publication number: WO2015107674A1
Application number: PCT/JP2014/050792
Authority: WO
Inventors: 和則男澤; 和彦荒牧
Original assignee: ミライアル株式会社
Priority date: 2014-01-17
Filing date: 2014-01-17
Publication date: 2015-07-23
Also published as: TW201529455A

Abstract

　半導体ウェーハからなる基板Ｗを収納して、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により輸送するための出荷容器として用いられる基板収納容器１の奥側基板支持部６の部分であって、基板Ｗに当接する奥側基板支持部６の部分は、樹脂材料により構成されている。樹脂材料は、表面粗さをＲａとしたときに、０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍであり、また、奥側基板支持部６は、基板Ｗに当接する奥側基板支持部６の部分を基板Ｗに対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で摺動させたときの最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、０．０５≦μｓ－μｋ≦０．０９である。

Description

基板収納容器

　本発明は、半導体ウェーハからなる基板を収納して、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により基板を輸送するための出荷容器として用いられる基板収納容器に関する。

　半導体ウェーハからなる基板を収納して、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により輸送するための基板収納容器としては、容器本体と、蓋体と、側方基板支持部とを備える構成のものが、従来より知られている。

　容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。基板支持板状部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。基板支持板状部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。

　蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。

国際公開第９９／３９９９４号パンフレット

　前述のように基板収納容器の奥側基板支持部には、基板としての半導体ウェーハの縁部に直接当接する。これにより、基板は、奥側基板支持部によって支持される。この状態で、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により輸送される。このため、輸送中に基板としての半導体ウェーハ等によって奥側基板支持部が削られて、奥側基板支持部を構成する樹脂が基板に付着することが発生しにくいことが、奥側基板支持部には要求される。

　本発明は、基板に奥側基板支持部を構成する樹脂が付着しにくい奥側基板支持部を有する基板収納容器を提供することを目的とする。

　本発明は、半導体ウェーハからなる基板を収納して、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により輸送するための出荷容器として用いられる基板収納容器であって、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより、前記蓋体側基板支持部と協働して前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、基板に当接する前記奥側基板支持部の部分の表面粗さをＲａとしたときに、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
であり、前記奥側基板支持部は、基板に当接する前記奥側基板支持部の部分を基板に対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で摺動させたときの最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、
０．０５≦μｓ－μｋ≦０．０９
である樹脂材料により構成されている基板収納容器に関する。

　また、本発明は、半導体ウェーハからなる基板を収納して、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により輸送するための出荷容器として用いられる基板収納容器であって、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより、前記蓋体側基板支持部と協働して前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、基板に当接する前記奥側基板支持部の部分の表面粗さをＲａとしたときに、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
であり、前記奥側基板支持部は、基板に当接する前記奥側基板支持部の部分を基板に対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で摺動させたときの最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、
１．２≦μｓ／μｋ≦１．５
である樹脂材料により構成されている基板収納容器に関する。

　また、前記樹脂材料は、ナチュラルＰＥＥＫ材であることが好ましい。また、前記側方基板支持部と前記奥側基板支持部とは、前記容器本体の内部において前記容器本体に対して固定される結合した１つの内装部品を構成し、前記容器本体開口部が閉塞されているときに基板の縁部に当接する奥側基板支持部の部分は、ナチュラルＰＥＥＫ材により構成され、基板の縁部に当接しない前記側方基板支持部の部分は、ナチュラルＰＥＥＫ材とは異なる樹脂により構成されることが好ましい。

　また、前記樹脂材料は、カーボンパウダー、カーボンファイバー、カーボンナノチューブのうちの少なくとも１つが添加されたＰＥＥＫ材であることが好ましい。

　また、前記側方基板支持部と前記奥側基板支持部とは、前記容器本体の内部において前記容器本体に対して固定される結合した１つの内装部品を構成し、前記容器本体開口部が閉塞されているときに基板の縁部に当接する奥側基板支持部の部分は、カーボンパウダー、カーボンファイバー、カーボンナノチューブのうちの少なくとも１つが添加されたＰＥＥＫ材により構成され、基板の縁部に当接しない前記側方基板支持部の部分は、前記カーボンパウダー、カーボンファイバー、カーボンナノチューブのうちの少なくとも１つが添加されたＰＥＥＫ材とは異なる樹脂により構成されることが好ましい。

　本発明によれば、基板に奥側基板支持部を構成する樹脂が付着しにくい奥側基板支持部を有する基板収納容器を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す断面図である。本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５及び奥側基板支持部６を示す斜視図である。本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の奥側基板支持部６を示す拡大側面図である。本発明の効果を確かめる試験で用いられた試験機を示す拡大断面図である。本発明の効果を確かめる試験で用いられた発明材及び比較材の表面粗さＲａと、最大静摩擦係数μｓと平均動摩擦係数とμｋの差μｓ－μｋと、の関係を示すグラフである。本発明の効果を確かめる試験で用いられた発明材及び比較材の表面粗さＲａと、最大静摩擦係数μｓと平均動摩擦係数とμｋの比μｓ／μｋと、の関係を示すグラフである。本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５Ａ及び奥側基板支持部６Ａを示す平面図である。

　以下、本発明の第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１を示す断面図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５及び奥側基板支持部６を示す斜視図である。図５は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の奥側基板支持部６を示す拡大側面図である。

　ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。

　また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図２参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ～４５０ｍｍのシリコンウェーハである。

　図１～図３に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により基板Ｗを輸送するための出荷容器として用いられるものであり、容器本体２と、蓋体３と、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６と、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７（図３参照）とを有している。

　容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図２に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

　基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６（図３参照）が設けられている。

　奥側基板支持部６は、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ７と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

　蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７（図３参照）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。

　フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。

　図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。

　第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

　開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

　図１、図２に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

　図１～図３に示すように、上壁２３の外面においては、フランジ固定部２３４及びリブ２３５Ａ、２３５Ｂが、上壁２３と一体成形されて設けられている。フランジ固定部２３４は、上壁２３の中央部に配置されている。フランジ固定部２３４には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、上壁２３の中央部に配置されている。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

　リブ２３５Ａは、トップフランジ２３６から左前方向、右前方向にそれぞれ複数本延びている。また、リブ２３５Ｂは、トップフランジ２３６から前方向Ｄ１１に複数本延びており、また、トップフランジ２３６から後方向Ｄ１２に複数本延びている。

　基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられており、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置された内装部品である。具体的には、図３～図５に示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部としての支持壁５２とを有している。

　板部５１と支持壁５２は、ナチュラルＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）材により構成された樹脂材料が一体成形されて構成されており、板部５１は、支持壁５２によって支持されている。板部５１及び支持壁５２は、板部５１と支持壁５２とを一体成形する際に用いられる金型のキャビティを形成している部分の表面が加工されることにより、板部５１及び支持壁５２の表面粗さＲａは、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
とされている。

　そして、このような表面粗さＲａを有しナチュラルＰＥＥＫ材により構成された板部５１及び支持壁５２は、基板Ｗに当接する基板支持板状部５の部分を基板Ｗに対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で１５ｍｍ摺動させたときの最大静摩擦係数μｓ、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、
０．０５≦μｓ－μｋ≦０．０９
及び
１．２≦μｓ／μｋ≦１．５
の値を採る。

　板部５１は、板状の略弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６それぞれに、上下方向Ｄ２に２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ～１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方には、もう一枚板部５１と平行に板状の部材５９が配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。

　また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と平行な板状のガイドの役割をする部材５９は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図４等に示すように、板部５１の上面には、凸部５１１、５１２が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１、５１２の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。

　支持壁５２は、図４に示すように、上下方向Ｄ２及び略前後方向Ｄ１に延びる板状の支持壁５２により構成されている。支持壁５２は、図４に示すように、板部５１の長手方向における一端部から他端部にわたって、板部５１の側端縁に接続されている。板状の支持壁５２は、板部５１の外側端縁に沿って基板収納空間２７へ湾曲している。支持壁５２の前方向Ｄ１１の部分、支持壁５２の最も後方向Ｄ１２の部分は、それぞれ支持壁５２を第１側壁２５又は第２側壁２６に固定するための固定部５２１、５２７を有している。

　即ち、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた支持壁５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた支持壁５２に接続されている。支持壁５２は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。

　このような構成の基板支持板状部５により、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。

　図３～図５に示すように、奥側基板支持部６は、奥側端縁支持部６０を有している。奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１及び支持壁５２と一体成形されて構成されている。従って、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６とは、容器本体２の内部において容器本体２に対して固定される結合した１つの内装部品を構成する。なお、奥側基板支持部６は、基板支持板状部５とは別体、即ち、奥側端縁支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１とは別体で構成されていてもよい。

　奥側端縁支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に配置された奥側端縁支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。

　奥側端縁支持部６０は、図５に示すように、第１当接面６２１を有する支持部上部６２と第２当接面６３１を有する支持部下部６３とを有している。第１当接面６２１には、後述のように基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、基板Ｗが奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とによって支持されたときに、基板Ｗの上面の縁部の端縁が当接可能である。第２当接面６３１には、基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され蓋体３が閉じられることにより、基板Ｗが奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とによって支持されたときに、基板Ｗの下面の縁部の端縁が当接可能である。従って、第１当接面６２１を有する支持部上部６２、第２当接面６３１を有する支持部下部６３は、基板Ｗに当接する奥側基板支持部６の部分を構成する。

　奥側端縁支持部６０は、板部５１及び支持壁５２と同一の材料であるナチュラルＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）材により構成されている。奥側端縁支持部６０の表面粗さＲａの値も、板部５１及び支持壁５２の表面粗さの値Ｒａと同一の値となるように、金型のキャビティを形成している部分の表面が加工されることにより、成形されている。即ち、奥側端縁支持部６０の表面粗さの値Ｒａは、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
とされている。Ｒａの値がこの値の範囲内でないと、μｓ－μｋが後述のような値の範囲を取り得る場合であっても、奥側基板支持部６を基板Ｗに対して付着しにくくすることができないからである。また、Ｒａの値がこの値の範囲内でないと、μｓ／μｋが後述のような値の範囲を取り得る場合であっても、奥側基板支持部６を基板Ｗに対して付着しにくくすることができないからである。

　そして、このような表面粗さＲａを有してナチュラルＰＥＥＫ材により構成された、支持部上部６２及び支持部下部６３を有する奥側端縁支持部６０は、基板Ｗに当接する支持部上部６２、支持部下部６３の部分を基板Ｗに対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で１５ｍｍ摺動させたときの最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、
０．０５≦μｓ－μｋ≦０．０９
及び
１．２≦μｓ／μｋ≦１．５
の値を採る。μｓ－μｋの値がこの値の範囲内でないと、Ｒａが前述のような値の範囲を取り得る場合であっても、奥側基板支持部６を基板Ｗに対して付着しにくくすることができないからである。また、μｓ／μｋの値がこの値の範囲内でないと、Ｒａが前述のような値の範囲を取り得る場合であっても、奥側基板支持部６を基板Ｗに対して付着しにくくすることができないからである。

　上述したような、板部５１、支持壁５２、支持部上部６２、支持部下部６３それぞれの最大静摩擦係数μｓ、平均動摩擦係数μｋの値は、板部５１、支持壁５２、支持部上部６２、支持部下部６３のうちのいずれかを部分的に切断して得られたものＴ（図６参照）について、切断面以外の外表面の部分を、基板Ｗに対して摺動させる試験により得られた。ここで用いられる基板Ｗとは、基板Ｗを部分的に切断して得られたものであり、この切断面以外の外表面の部分に対して、摺動が行われる。試験では、「往復摩擦抵抗測定機」（例えば、新東科学株式会社製の表面性測定機Ｔｙｐｅ：３８）を用いて、最大静摩擦係数μｓ、平均動摩擦係数μｋの値をそれぞれ得た。

　具体的には、最大静摩擦係数μｓ、平均動摩擦係数μｋの値は、図６に示すように、往復摩擦抵抗測定機のアーム１００１に、基板Ｗを部分的に切断して得られたものを固定し、板部５１、支持壁５２、支持部上部６２、支持部下部６３のうちのいずれかを部分的に切断して得られ台座１００２上に固定されたものＴに対して、５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で１５ｍｍ摺動させて得た値である。後述する比較品１～比較品３、比較品１１～比較品１９、比較品２１～比較品２９についても同様にして、最大静摩擦係数μｓ、平均動摩擦係数μｋの値をそれぞれ得た。図６は、本発明の効果を確かめる試験で用いられた試験機を示す拡大断面図である。

　図１等に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

　蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

　蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

　蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部（図示せず）が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

　蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、図３に示すように、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。

　フロントリテーナ７は、フロントリテーナ基板受け部７１を有している。フロントリテーナ基板受け部７１は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７１は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部７１は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。

　次に、上述の奥側基板支持部６の基板Ｗへの付着の比較を行う試験を行った。試験は、ナチュラルＰＥＥＫ材により構成された本実施形態における奥側基板支持部６を製造して本発明品１～本発明品６とし、本発明品１～本発明品６を部分的に切断して得られたものを本発明材１～本発明材６とした。従って、本発明材の切断面以外の外表面の部分であって、後述のように基板Ｗに対して摺動させられる部分の表面粗さは、奥側基板支持部６の表面粗さと同一の値を採る。

　また、奥側基板支持部６と同一形状であるが、表面粗さの値が、上述の実施形態の範囲よりも大きい値である
３．１１１μｍ≦Ｒａ≦３．６７６μｍ
の値を採る奥側基板支持部を製造して比較品１～比較品３とし、比較品１～比較品３を部分的に切断して得られたものを、表１、図７、図８に示すように、比較材１～比較材３とした。図７は、本発明の効果を確かめる試験で用いられた発明材及び比較材の表面粗さＲａと、最大静摩擦係数μｓと平均動摩擦係数とμｋの差μｓ－μｋと、の関係を示すグラフである。図８は、本発明の効果を確かめる試験で用いられた発明材及び比較材の表面粗さＲａと、最大静摩擦係数μｓと平均動摩擦係数とμｋの比μｓ／μｋと、の関係を示すグラフである。比較材１～比較材３の切断面以外の外表面の部分を基板Ｗに対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で１５ｍｍ摺動させたときの最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、比較材１～比較材３においてμｓ－μｋ、μｓ／μｋは、それぞれ、
０．０４０≦μｓ－μｋ≦０．０６６
１．２０７≦μｓ／μｋ≦１．３０２
の値を採る。

　また、奥側基板支持部６と同一形状であるが、ナチュラルＰＥＥＫ材に代えてＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）材により構成され、表面粗さＲａが
０．１６６μｍ≦Ｒａ≦３．６３２μｍ
の値を採る奥側基板支持部を製造して比較品１１～比較品１９とし、比較品１１～比較品１９を部分的に切断して得られたものを、比較材１１～比較材１９とした。比較材１１～比較材１９の切断面以外の外表面の部分を基板Ｗに対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で１５ｍｍ摺動させたときの最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、比較材１１～比較材１９においてμｓ－μｋ、μｓ／μｋは、それぞれ、
０．０５４≦μｓ－μｋ≦０．１６５
１．２６９≦μｓ／μｋ≦１．９５４
の値を採る。

　また、奥側基板支持部６と同一形状であるが、ナチュラルＰＥＥＫ材に代えてＰＣ（ポリカーボネート）材により構成され、表面粗さＲａが、
０．１７１μｍ≦Ｒａ≦３．７２９μｍ
の値を採る奥側基板支持部６を製造して比較品２１～比較品２９とし、比較品２１～比較品２９を部分的に切断して得られたものを、比較材２１～比較材２９とした。比較材２１～比較品２９の切断面以外の外表面の部分を基板Ｗに対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で１５ｍｍ摺動させたときの最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、比較材２１～比較材２９においてμｓ－μｋ、μｓ／μｋは、それぞれ、
０．００６≦μｓ－μｋ≦０．０４８
１．０１４≦μｓ／μｋ≦１．１４８
の値を採る。

　そして、これらの本発明材、比較材について、半導体ウェーハにより構成された基板Ｗへの奥側基板支持部の付着しにくさの度合いを測定する試験を行った。より具体的には、先ず、本発明材１～６、比較材１～３、１１～１９、２１～２９のいずれかを有する基板収納容器に、基板Ｗを２５枚収納した。次に、この基板収納容器を基板収納容器収容袋で２重梱包し、それを、緩衝材を介してダンボール箱で梱包した。そして、これに対して振動試験（ＪＩＳ　Ｚ０２３２）を行った。試験方法としては正弦波掃引振動試験を行い、通常行われているよりも厳しい条件で試験を行った。具体的には、掃引振動数範囲５～５０Ｈｚ（片側掃引時間２０秒）、振動振幅２ｍｍｐ－ｐ、試験時間１時間とした。

　そして、試験後に開包して、基板Ｗの部分であって奥側基板支持部に当接していた部分に、奥側基板支持部を構成する樹脂が付着していた場合には、判定を×とし、付着していなかった場合には、判定を○とした。試験結果は、表１に示すとおりである。

　表１に示すように、ＰＢＴ、ＰＣにより構成された比較材１１～１９、２１～２９のいずれも、判定は×であった。また、ＰＥＥＫ材により構成されたものであっても、表面粗さＲａの値が大きな比較材１～３については、μｓ－μｋの値、μｓ／μｋの値について、本発明品１～６と同一の範囲にあるものであっても、判定は×であった。

　これに対して本発明材１～６は、いずれも判定は○であり、結果は良好であった。これらの結果から、奥側端縁支持部６０の表面粗さの値Ｒａが、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
であり、且つ前述のような摺動の条件下において、最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、
０．０５≦μｓ－μｋ≦０．０９
である場合、即ち、図７に示すグラフ中の一点鎖線で示す範囲内にある場合に、基板Ｗに奥側端縁支持部６０を構成する樹脂が付着しにくいことが分かった。

　また、奥側端縁支持部６０の表面粗さの値Ｒａが、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
であり、且つ前述のような摺動の条件下において、最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、
１．２≦μｓ／μｋ≦１．５
である場合、即ち、図８に示すグラフ中の一点鎖線で示す範囲内にある場合に、基板Ｗに奥側端縁支持部６０を構成する樹脂が付着しにくいことが分かった。

　上記構成の第１実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。前述のように、基板Ｗに当接する奥側基板支持部６の部分の表面粗さをＲａとしたときに、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
であり、基板収納容器１の奥側基板支持部６は、基板Ｗに当接する奥側基板支持部６の部分を基板Ｗに対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で摺動させたときの最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、
０．０５≦μｓ－μｋ≦０．０９
である樹脂材料により構成されている。このため、奥側基板支持部６を基板Ｗに対して付着しにくくすることができる。

　また、基板Ｗに当接する奥側基板支持部６の部分の表面粗さをＲａとしたときに、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
であり、基板収納容器１の奥側基板支持部６は、基板Ｗに当接する奥側基板支持部６の部分を基板Ｗに対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で摺動させたときの最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、
１．２≦μｓ／μｋ≦１．５
である樹脂材料により構成されている。このため、奥側基板支持部６を基板Ｗに対して付着しにくくすることができる。

　即ち、本発明者は、表面粗さＲａの値と、最大静摩擦係数μｓの値と、平均動摩擦係数μｋの値との関係から、奥側基板支持部６が基板Ｗに対して付着しにくくなることを見出した。このことから、上述のように、Ｒａの値の範囲とμｓ－μｋの値の範囲との関係、Ｒａの値の範囲とμｓ／μｋの値の範囲との関係を適切なものとすることで、奥側基板支持部６が基板Ｗに対して付着しにくくすることができる。

　また、樹脂材料は、ナチュラルＰＥＥＫ材である。このため、容易に奥側基板支持部６の表面粗さＲａを、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
とし、且つ、μｓ－μｋを
０．０５≦μｓ－μｋ≦０．０９
とすることができる。または、容易に奥側基板支持部６の表面粗さＲａを、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
とし、且つ、μｓ／μｋを
０．０５≦μｓ／μｋ≦０．０９
とすることができる。

　次に、本発明の第２実施形態による基板収納容器について図９を参照しながら説明する。図９は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器１の基板支持板状部５Ａ及び奥側基板支持部６Ａを示す平面図である。

　第２実施形態による基板収納容器においては、基板支持板状部５Ａと奥側基板支持部６Ａとが、容器本体２の内部において容器本体２に対して固定される結合した１つの内装部品を構成するが、基板支持板状部５Ａと奥側基板支持部６Ａとが二色成形により成形されている点において、第１実施形態による基板収納容器１とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

　容器本体開口部２１が蓋体３によって閉塞されているときに、基板Ｗの縁部に当接する奥側基板支持部６Ａは、ナチュラルＰＥＥＫ材により構成されている。これに対して容器本体開口部２１が蓋体３によって閉塞されているときに、基板Ｗの縁部に当接しない基板支持板状部５Ａは、ナチュラルＰＥＥＫ材とは異なる樹脂（例えば、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）材等）により構成されている。

　上記構成の第２実施形態に係る基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。前述のように、容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板Ｗの縁部に当接する奥側基板支持部６Ａの部分は、ナチュラルＰＥＥＫ材により構成され、基板Ｗの縁部に当接しない基板支持板状部５の部分は、ナチュラルＰＥＥＫ材とは異なる樹脂により構成される。

　この構成により、基板収納容器で基板Ｗを搬送しているときに、基板Ｗに直接当接する部分をナチュラルＰＥＥＫ材とすることで、基板Ｗへの当該基板Ｗに直接当接する部分の付着を抑えることができる。また、基板Ｗに直接当接しない部分である基板支持板状部５ＡをナチュラルＰＥＥＫ材とは異なる樹脂により構成したため、基板支持板状部５Ａに係るコストの低減を図ることができる。

　本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。

　例えば、本実施形態では、奥側基板支持部６を構成する樹脂材料は、ナチュラルＰＥＥＫ材により構成されたが、ナチュラルＰＥＥＫ材に限定されない。例えば、樹脂材料は、カーボンパウダー、カーボンファイバー、カーボンナノチューブのうちの少なくとも１つが添加されたＰＥＥＫ材であってもよい。

　また、側方基板支持部と奥側基板支持部とは、容器本体の内部において容器本体に対して固定される結合した１つの内装部品を構成し、容器本体開口部が閉塞されているときに基板Ｗの縁部に当接する奥側基板支持部の部分は、カーボンパウダー、カーボンファイバー、カーボンナノチューブのうちの少なくとも１つが添加されたＰＥＥＫ材により構成され、基板Ｗの縁部に当接しない側方基板支持部の部分は、カーボンパウダー、カーボンファイバー、カーボンナノチューブのうちの少なくとも１つが添加されたＰＥＥＫ材とは異なる樹脂により構成されてもよい。

　また、容器本体及び蓋体の形状や、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。

１　　基板収納容器
２　　容器本体
３　　蓋体
５　　基板支持板状部（側方基板支持部）
６　　奥側基板支持部
７　　フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
２１　　容器本体開口部
２７　　基板収納空間
Ｗ　　基板

Claims

　半導体ウェーハからなる基板を収納して、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により輸送するための出荷容器として用いられる基板収納容器であって、
　複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、
　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
　前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
　前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
　前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより、前記蓋体側基板支持部と協働して前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、
　基板に当接する前記奥側基板支持部の部分の表面粗さをＲａとしたときに、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
であり、
　前記奥側基板支持部は、基板に当接する前記奥側基板支持部の部分を基板に対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で摺動させたときの最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、
０．０５≦μｓ－μｋ≦０．０９
である樹脂材料により構成されている基板収納容器。
　半導体ウェーハからなる基板を収納して、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により輸送するための出荷容器として用いられる基板収納容器であって、
　複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、
　前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
　前記基板収納空間内において対をなすように配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されていないときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより、前記複数の基板のうちの隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、前記複数の基板の縁部を支持可能な側方基板支持部と、
　前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
　前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部に当接することにより、前記蓋体側基板支持部と協働して前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、
　基板に当接する前記奥側基板支持部の部分の表面粗さをＲａとしたときに、
０．１μｍ≦Ｒａ≦２μｍ
であり、
　前記奥側基板支持部は、基板に当接する前記奥側基板支持部の部分を基板に対して５００ｇの荷重で１５０ｍｍ／分の速度で摺動させたときの最大静摩擦係数、平均動摩擦係数をそれぞれμｓ、μｋとしたときに、
１．２≦μｓ／μｋ≦１．５
である樹脂材料により構成されている基板収納容器。
　前記樹脂材料は、ナチュラルＰＥＥＫ材である請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
　前記側方基板支持部と前記奥側基板支持部とは、前記容器本体の内部において前記容器本体に対して固定される結合した１つの内装部品を構成し、
　前記容器本体開口部が閉塞されているときに基板の縁部に当接する奥側基板支持部の部分は、ナチュラルＰＥＥＫ材により構成され、基板の縁部に当接しない前記側方基板支持部の部分は、ナチュラルＰＥＥＫ材とは異なる樹脂により構成される請求項３に記載の基板収納容器。
　前記樹脂材料は、カーボンパウダー、カーボンファイバー、カーボンナノチューブのうちの少なくとも１つが添加されたＰＥＥＫ材である請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
　前記側方基板支持部と前記奥側基板支持部とは、前記容器本体の内部において前記容器本体に対して固定される結合した１つの内装部品を構成し、
　前記容器本体開口部が閉塞されているときに基板の縁部に当接する奥側基板支持部の部分は、カーボンパウダー、カーボンファイバー、カーボンナノチューブのうちの少なくとも１つが添加されたＰＥＥＫ材により構成され、基板の縁部に当接しない前記側方基板支持部の部分は、前記カーボンパウダー、カーボンファイバー、カーボンナノチューブのうちの少なくとも１つが添加されたＰＥＥＫ材とは異なる樹脂により構成される請求項５に記載の基板収納容器。