CN110622292B - 基板收纳容器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供基板收纳容器，其具备容器主体、盖体、侧方基板支承部、盖体侧基板支承部、后侧基板支承部(6)，所述基板收纳容器还包括拆取部(83)，在从盖体封闭容器主体开口部的状态、将盖体从容器主体开口部打开时，所述拆取部把被后侧基板支承部(6)和盖体侧基板支承部支承的状态的基板(W)、从后侧基板支承部(6)和盖体侧基板支承部中的至少一方拆下。

Description

基板收纳容器
技术领域
本发明涉及将由半导体晶片等构成的基板收纳、保管、搬运、输送等时使用的基板收纳容器。
背景技术
作为用于收纳并搬运由半导体晶片构成的基板的基板收纳容器，以往具备容器主体和盖体的结构已被公众所知。
容器主体的一端部具有形成有容器主体开口部的开口周缘部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部。容器主体内形成基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围形成，能收纳多个基板。盖体能相对于开口周缘部装卸(例如参照专利文献1)。
盖体的部分且在封闭容器主体开口部时与基板收纳空间相对的部分，设有前部保持构件。在由盖体封闭容器主体开口部时，前部保持构件能支承多个基板的边缘部。此外，壁部上设有后侧基板支承部，与前部保持构件成对。后侧基板支承部能支承多个基板的边缘部。在由盖体封闭容器主体开口部时，后侧基板支承部通过和前部保持构件协同动作而支承多个基板，以邻接的基板之间分开规定间隔且并列的状态，保持多个基板。
现有技术文献
专利文献1：日本专利公开公报特开2014-116492号
在基板收纳容器中，容器主体开口部被盖体封闭而将基板收容于基板收纳空间时(基板保管时)，如上所述，基板通过后侧基板支承部和前部保持构件的协同动作而被夹持，从而被基板收纳容器支承并固定。这样，基板的破损和转动受到抑制。
可是，当后侧基板支承部和前部保持构件的静摩擦系数较低时，即便将基板强力夹持而固定，但因基板收纳容器的输送中的振动等，干净的基板上也容易附着由颗粒等的产生带来的污迹。另一方面，后侧基板支承部和前部保持构件的静摩擦系数较高时，由于能牢固支承基板，所以污迹的附着较少。可是，这样后侧基板支承部和前部保持构件的静摩擦系数较高的情况下，在取出基板时基板相对于后侧基板支承部和前部保持构件滑动移动时，基板相对于后侧基板支承部和前部保持构件不能平滑地滑动，因此难以使全部基板移动到规定位置，所述规定位置是将其从容器主体取出的规定装置能支承的位置。其结果，由于移动的基板的位置不定，所以难以用规定装置从基板收纳容器取出基板。
发明内容
本发明的目的是提供基板收纳容器，在从基板收纳容器取出基板时，使基板相对于后侧基板支承部和前部保持构件平滑滑动并移动到规定位置，从而能从基板收纳容器取出基板。
本发明的基板收纳容器包括：容器主体，具备筒状的壁部，所述筒状的壁部在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部，而另一端部封闭，由所述壁部的内表面形成能收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，能相对于所述容器主体开口部装卸，并能封闭所述容器主体开口部；侧方基板支承部，在所述基板收纳空间内成对配置，当所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，以所述多个基板中邻接的基板之间分开规定间隔且并列的状态，支承所述多个基板的边缘部；盖体侧基板支承部，配置于当所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间相对的所述盖体的部分，能支承所述多个基板的边缘部；后侧基板支承部，在所述基板收纳空间内与所述盖体侧基板支承部成对配置，从而能支承所述多个基板的边缘部，通过当所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述盖体侧基板支承部协同动作，能支承所述多个基板；以及拆取部，当从所述盖体封闭所述容器主体开口部的状态、将所述盖体从所述容器主体开口部打开时，把被所述后侧基板支承部和所述盖体侧基板支承部支承的状态的所述基板，从所述后侧基板支承部和所述盖体侧基板支承部中的至少一方拆下，所述拆取部在所述盖体从封闭所述容器主体开口部的状态被打开时把被所述后侧基板支承部支承的状态的所述基板从所述后侧基板支承部拆下，并覆盖所述后侧基板支承部中的在所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板抵接的部分的周围，由所述盖体封闭或开放所述容器主体开口部时与所述基板抵接的所述拆取部的部分的最大静摩擦系数小于与所述基板抵接的所述后侧基板支承部的部分的最大静摩擦系数，所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述基板与未被所述拆取部覆盖的所述后侧基板支承部的部分抵接，当从所述盖体封闭所述容器主体开口部的状态打开所述盖体时，所述基板相对于与所述基板抵接的所述拆取部的部分滑动。
此外，优选所述拆取部把被所述后侧基板支承部支承的状态的所述基板从所述后侧基板支承部拆下，由所述盖体封闭或开放所述容器主体开口部时与所述基板抵接的所述拆取部的部分的最大静摩擦系数小于与所述基板抵接的所述后侧基板支承部的部分的最大静摩擦系数。
此外，优选所述拆取部把被所述盖体侧基板支承部支承的状态的所述基板从所述盖体侧基板支承部拆下，由所述盖体封闭或开放所述容器主体开口部时与所述基板抵接的所述拆取部的部分的最大静摩擦系数小于与所述基板抵接的所述盖体侧基板支承部的部分的最大静摩擦系数。
此外，优选所述拆取部具备弹性变形的弹性构件，利用所述弹性构件的弹力进行所述基板的拆取。
按照本发明，能够提供一种基板收纳容器，在从基板收纳容器取出基板时，使基板相对于后侧基板支承部和前部保持构件平滑滑动并移动到规定位置，从而能够从基板收纳容器取出基板。
附图说明
图1是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1中收纳多个基板W的状态的分解立体图。
图2是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的立体图。
图3是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2中拆取部83不和基板W抵接而分开的状态的断面放大图。
图4是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2中拆取部83开始抵接基板W时的状态的断面放大图。
图5是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1中由盖体3封闭容器主体开口部21时容器主体2中的拆取部83的状态的断面放大图。
图6是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于后按压部80和拆取部83的位置关系的示意图。
图7是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的盖体3的立体图。
图8是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7和拆取部75的立体图。
图9是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的立体图。
图10是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的盖体3的拆取部75的立体图。
图11是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7和拆取部75的放大立体图。
图12是沿图11的A-A线的断面放大图。
图13是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1的盖体3中拆取部75不和基板W抵接而分开状态的断面放大图。
图14是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1的盖体3中拆取部75开始抵接基板W时的状态的断面放大图。
图15是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1中由盖体3封闭容器主体开口部21时盖体3中的拆取部75的状态的断面放大图。
图16A是表示在本发明第二实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于后侧端部边缘支承部60A的位置关系的示意图。
图16B是表示在本发明第二实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于拆取部83A的位置关系的示意图。
图17A是表示在本发明第三实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于拆取部83B的位置关系的示意图。
图17B是表示在本发明第三实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于后侧端部边缘支承部60B的位置关系的示意图。
图18是表示在本发明第四实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于后侧端部边缘支承部60和拆取部83C的位置关系的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图说明第一实施方式的基板收纳容器1。
图1是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1中收纳多个基板W的状态的分解立体图。图2是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的立体图。
这里，为便于说明，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(图1中的从右上朝向左下的方向)定义为前方向D11，将其相反的方向定义为后方向D12，并将其合并定义为前后方向D1。此外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的上方向)定义为上方向D21，将其相反的方向定义为下方向D22，并将其合并定义为上下方向D2。此外，将从后述第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(图1中的从右下朝向左上的方向)定义为左方向D31，将其相反的方向定义为右方向D32，并将其合并定义为左右方向D3。主要的附图中图示了代表上述方向的箭头。
此外，基板收纳容器1中收纳的基板W(参照图1)为圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝石晶片等，是工业上使用的薄基板。本实施方式中的基板W是直径300mm的硅晶片。
如图1所示，基板收纳容器1是作为用于收纳上述由硅晶片构成的基板W并通过陆运方式、空运方式、海运方式等输送方式输送基板W的发货容器使用的装置，由容器主体2和盖体3构成。容器主体2具备作为侧方基板支承部的基板支承板状部5(参照图2等)以及后侧基板支承部6，盖体3具备作为盖体侧基板支承部的前部保持构件7(参照图7等)。
如图1等所示，容器主体2具有筒状的壁部20，所述筒状的壁部20的一端部形成容器主体开口部21，另一端部封闭。容器主体2内形成基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围形成。壁部20的部分且形成基板收纳空间27的部分如图2所示，配置有基板支承板状部5。基板收纳空间27如图1所示，能收纳多个基板W。
基板支承板状部5以在基板收纳空间27内成对的方式设置于壁部20。当盖体3未封闭容器主体开口部21时，基板支承板状部5通过与多个基板W的边缘部抵接，以邻接的基板W之间分开规定间隔且并列的状态，对多个基板W的边缘部进行支承。基板支承板状部5的后侧，设有后侧基板支承部6。
后侧基板支承部6(参照图2等)以在基板收纳空间27内与后述前部保持构件7(参照图7等)成对的方式设置于壁部20。当盖体3封闭容器主体开口部21时，后侧基板支承部6通过与多个基板W的边缘部抵接，能支承多个基板W的边缘部的后部。
盖体3能相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28(图1等)装卸，能封闭容器主体开口部21。前部保持构件7设置于盖体3的部分且由盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27相对的部分。前部保持构件7以在基板收纳空间27的内部和后侧基板支承部6成对的方式配置。
在盖体3封闭容器主体开口部21时，前部保持构件7通过与多个基板W的边缘部抵接，能支承多个基板W的边缘部的前部。在盖体3封闭容器主体开口部21时，前部保持构件7通过与后侧基板支承部6协同动作而支承多个基板W，在邻接的基板W之间分开规定间隔且并列的状态下对其进行保持。
基板收纳容器1由塑料材质等树脂构成，没有特别说明时，作为所述材料的树脂，例如可以列举聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物等热塑性树脂及其合金等。向上述的成形材料的树脂赋予导电性时，选择性添加碳纤维、碳粉末、碳纳米管、导电性聚合物等导电性物质。此外，为提高刚性还可以添加玻璃纤维和碳纤维等。
以下，具体说明各部分。如图1所示，容器主体2的壁部20具有后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25及第二侧壁26。后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25和第二侧壁26由上述的材料构成，并一体成形。
第一侧壁25与第二侧壁26相对，上壁23与下壁24相对。上壁23的后端、下壁24的后端、第一侧壁25的后端和第二侧壁26的后端，全部与后壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一侧壁25的前端和第二侧壁26的前端，具有与后壁22相对的位置关系并构成开口周缘部28，所述开口周缘部28形成大致长方形状的容器主体开口部21。
开口周缘部28设置在容器主体2的一端部，后壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形为箱状。壁部20的内表面，即后壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第一侧壁25的内表面和第二侧壁26的内表面，形成被这些包围的基板收纳空间27。形成在开口周缘部28的容器主体开口部21，与由壁部20包围而形成在容器主体2的内部的基板收纳空间27连通。基板收纳空间27中最多能收纳25枚基板W。
如图1所示，上壁23和下壁24的部分且开口周缘部28附近的部分，形成有朝向基板收纳空间27的外侧凹陷的插销卡合凹部231A、231B、241A、241B。插销卡合凹部231A、231B、241A、241B，在上壁23和下壁24的左右两端部附近各形成1个，合计形成4个。
如图1所示，上壁23的中央部，固定有顶端凸缘236。在AMHS(自动晶片搬运系统)、PGV(晶片基板输送台车)等中悬吊基板收纳容器1时，顶端凸缘236成为基板收纳容器1中被挂住而悬吊的部分。
基板支承板状部5分别设置于第一侧壁25和第二侧壁26，是在左右方向D3成对配置在基板收纳空间27内的内置件。具体如图2等所示，基板支承板状部5具有板部51和支承壁52。板部51被支承壁52支承。
板部51具有板状的大致弧形状。板部51分别在第一侧壁25、第二侧壁26中，在上下方向D2各设置25枚，合计设置50枚。邻接的板部51配置成在上下方向D2以10mm～12mm间隔彼此分开并具有平行的位置关系。另外，在位于最上方的板部51的上方，配置有另一枚与板部51平行的板状的构件，这个构件位于最上方，对于向基板收纳空间27内插入的基板W，起到其插入时的引导作用。
此外，第一侧壁25上设置的25枚板部51与第二侧壁26上设置的25枚板部51，彼此在左右方向D3具有相对的位置关系。此外，50枚板部51以及和板部51平行的起到板状的引导作用的构件，具有与下壁24的内表面平行的位置关系。如图2等所示，板部51的上表面设有凸出部511、512。被板部51支承的基板W，仅接触凸出部511、512的突出端，而不和板部51面接触。
支承壁52具有在上下方向D2和大致前后方向D1延伸的板状。支承壁52在板部51的长边方向具有规定的长度，与板部51的侧端部边缘连接。板状的支承壁52沿板部51的外侧端部边缘向基板收纳空间27弯曲。
即，设置于第一侧壁25的25枚板部51与设置于第一侧壁25侧的支承壁52连接。同样，设置于第二侧壁26的25枚板部51与设置于第二侧壁26侧的支承壁52连接。支承壁52分别固定于第一侧壁25、第二侧壁26。
这种结构的基板支承板状部5，使多个基板W中邻接的基板W之间以规定间隔分开的状态且以彼此平行的位置关系的状态，支承多个基板W的边缘部。
如图2等所示，后侧基板支承部6具有后按压部80。后按压部80形成并设置于肋状部221(参照图3等)，肋状部221设置于后壁22。肋状部221在后壁22的内表面，向基板收纳空间27的内侧突出。后按压部80形成在向基板收纳空间27的内侧突出的肋状部221的内表面，如图6所示，具有在上下方向D2以规定间隔形成凹部82的凹部形成部81。基板W的边缘部能卡合在凹部82中。
图6是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于后按压部80和拆取部83的位置关系的示意图。
如图3等所示，肋状部221的内表面(容器主体2的内侧的面)的侧面上，形成有一对弹性部被卡合凹部222。弹性部被卡合凹部222以随着向前方向D11而变深(左右方向D3中的幅度加大)的方式形成，弹性部被卡合凹部222的前端部在从肋状部221的前端部向后方向D12的规定位置截止。
图3是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2中拆取部83不和基板W抵接而分开的状态的断面放大图。图4是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1的容器主体2中拆取部83开始抵接基板W时的状态的断面放大图。图5是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1中盖体3封闭容器主体开口部21时容器主体2中的拆取部83的状态的断面放大图。
此外，以覆盖肋状部221的方式设有拆取部83。拆取部83如图3～图5所示，具有拆取部主体831，所述拆取部主体831在与前后方向D1和左右方向D3平行的断面呈大致匚字形状。具有大致匚字形状的拆取部主体831的左右的侧部，设有一对板簧部832，所述板簧部832是向大致匚字的内侧延伸的可弹性变形的弹性构件。一对板簧部832从拆取部主体831的左右侧部的、前后方向D1的中间部分，以彼此接近的方式向斜前方向D11延伸。一对板簧部832分别与弹性部被卡合凹部222卡合，并且在弹性部被卡合凹部222中，相对于肋状部221在前后方向D1滑动。如上所述，由于弹性部被卡合凹部222以随着向前方向D11而变深的方式形成，所以通过板簧部832想要更深地进入弹性部被卡合凹部222的弹力，拆取部主体831以向前方向D11移动的方式被加力。
此外，如图6所示，拆取部83的与上下方向D2平行的断面，包括：位于肋状部221的前侧、具有下侧抵接面841和下侧倾斜面842的支承部下侧部84；以及具有上侧倾斜面851的支承部上部85。
具体在盖体3未封闭容器主体开口部21时，下侧抵接面841与基板W的背面的端部边缘抵接而支承基板W。
下侧倾斜面842由倾斜面构成，所述倾斜面以随着向上方向D21前进、远离基板收纳空间27的中心(图6中的左侧)的方式从下侧抵接面841的端部倾斜延伸，基板W的背面的端部可在此滑动。前述的凹部形成部81构成连接下侧抵接面841与上侧倾斜面851的倾斜面之间的连接部。即，下侧抵接面841与上侧倾斜面851之间，形成凹部形成部81的凹部82与基板收纳空间27连通的开口(图6中的支承部下侧部84和支承部上部85之间的部分)，通过所述开口，基板W的边缘部从基板收纳空间27一侧卡合于凹部82。
上侧倾斜面851由倾斜面构成，所述倾斜面以随着向上方向D21前进、接近基板收纳空间27的中心(图6中的左侧)的方式从凹部形成部81倾斜延伸。
下侧倾斜面842、凹部82、上侧倾斜面851相比下侧抵接面841配置于上侧，如图6所示，形成作为凹槽的V状槽，所述凹槽能卡合基板W的端部并以远离基板收纳空间27中心的方式凹陷，凹部82构成V状槽的顶点的部分。由盖体3封闭容器主体开口部21时，基板W相对下侧倾斜面842滑动而上升，当基板W到达V状槽的顶点的位置时，基板W的表面的端部边缘与背面的端部边缘分别与凹部形成部81抵接，凹部形成部81将基板W的边缘部支承在凹部82中。
对下侧倾斜面842、下侧抵接面841、凹部形成部81和上侧倾斜面851适当实施粗糙面加工等表面处理，使下侧抵接面841、下侧倾斜面842、上侧倾斜面851相对于基板W滑动时的任意一个最大静摩擦系数，成为相对低于使凹部形成部81相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数的值。具体基板W在下侧抵接面841、下侧倾斜面842、上侧倾斜面851滑动时的最大静摩擦系数在0.25以下。将最大静摩擦系数的值设为0.25以下，是因为当超过0.25时，基板W相对于下侧抵接面841、下侧倾斜面842、上侧倾斜面851不能充分滑动。此外，基板W在凹部形成部81滑动时的最大静摩擦系数在0.3以上。将最大静摩擦系数的值设为0.3以上，是因为当不足0.3时，因基板收纳容器1的输送中的振动等，干净的基板W上容易附着由颗粒等的产生带来的污迹。
接下来，具体说明盖体3和前部保持构件7。
图7是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的盖体3的立体图。图8是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7和拆取部83的立体图。图9是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7的立体图。图10是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的盖体3的拆取部75的立体图。图11是表示本发明第一实施方式的基板收纳容器1的前部保持构件7和拆取部75的放大立体图。图12是沿图11的A-A线的断面放大图。
如图1等所示，盖体3具有和容器主体2的开口周缘部28的形状大体一致的大致长方形状。盖体3能相对于容器主体2的开口周缘部28装卸，通过将盖体3安装在开口周缘部28，盖体3能封闭容器主体开口部21。盖体3的内表面(图1所示的盖体3的里侧的面)且盖体3封闭容器主体开口部21时与形成在开口周缘部28的后方向D12的很近的位置上的台阶部分的面(密封面281)相对的面上，安装有环状的密封构件4。密封构件4由能弹性变形的聚酯系、聚烯烃系等各种热塑性弹性体，氟橡胶制品、硅橡胶制品等构成。密封构件4绕盖体3的外周缘部一周配置。
盖体3安装到开口周缘部28上时，密封构件4被密封面281和盖体3的内表面夹持而弹性变形，盖体3将容器主体开口部21以密闭的状态封闭。通过从开口周缘部28取下盖体3，可以相对于容器主体2内的基板收纳空间27取放基板W。
盖体3具有形成盖体3的外形的盖体主体30，盖体主体30上设有插销机构。如图1所示，插销机构设置在盖体主体30的左右两端部附近，具备：能从盖体主体30的上边向上方向D21突出的两个上侧插销部32A；以及能从盖体主体30的下边向下方向D22突出的两个下侧插销部32B。两个上侧插销部32A配置在盖体主体30的上边的左右两端附近，两个下侧插销部32B配置在盖体主体30的下边的左右两端附近。
盖体主体30的外表面侧设有操作部33。通过从盖体主体30的前侧对操作部33进行操作，能够使上侧插销部32A、下侧插销部32B成为从盖体主体30的上边、下边突出或者不从上边、下边突出的状态。
通过使上侧插销部32A从盖体主体30的上边向上方向D21突出并与容器主体2的插销卡合凹部231A、231B卡合，且使下侧插销部32B从盖体主体30的下边向下方向D22突出并与容器主体2的插销卡合凹部241A、241B卡合，盖体3被固定在容器主体2的开口周缘部28上。
如图7所示，在构成盖体3的盖体主体30的内侧，形成有向基板收纳空间27的外侧凹陷的凹部34。凹部34的内侧的盖体主体30的部分，固定设有前部保持构件7。
如图8等所示，前部保持构件7具有前部保持构件基板承接部73。前部保持构件基板承接部73在左右方向D3以规定间隔分开，并且两个两个成对设置。这样两个两个成对设置的前部保持构件基板承接部73，在上下方向D2以并列的状态设有25对，并且分别被能弹性变形的脚部72支承。脚部72以从两个两个配置的前部保持构件基板承接部73分别彼此分开的方式、向左右方向D3延伸，并分别向前方向D11折曲。而后如图9所示，脚部72的端部上，以和脚部72一体成形的方式设有沿上下方向D2平行延伸的纵框体71。通过在基板收纳空间27内收纳基板W并关闭盖体3，前部保持构件基板承接部73利用脚部72的弹力，将基板W的边缘部的端部边缘以向基板收纳空间27的中心(图8中纸面的眼前侧)加力的状态夹持并支承。
具体前部保持构件基板承接部73如图12所示，具有下侧倾斜面731和上侧倾斜面732。
下侧倾斜面731在盖体3封闭容器主体开口部21时，与基板W的背面(下表面)的端部边缘抵接。上侧倾斜面732与基板W的表面(上表面)的端部边缘抵接。具体下侧倾斜面731由以随着向上方向D21前进、在前后方向D1远离基板收纳空间27的中心(图12中的左侧)的方式倾斜延伸的倾斜面构成。上侧倾斜面732由以随着向上方向D21前进、在前后方向D1接近基板收纳空间27的中心的方式倾斜延伸的倾斜面构成。下侧倾斜面731、上侧倾斜面732形成作为凹槽的V状槽，所述凹槽以从基板收纳空间27的中心远离的方式凹陷。盖体3封闭容器主体开口部21时，下侧倾斜面731、上侧倾斜面732分别与基板W的背面的端部边缘、表面的端部边缘抵接。
此外，前部保持构件7上设有拆取部75。拆取部75如图10等所示，具有板簧状部751和拆取部纵框体753。板簧状部751如图8所示，在左右方向D3以规定间隔分开、两个两个成对设置，在前后方向D1与脚部72隔开规定距离，如图11等所示，具有与脚部72重叠的位置关系。这样两个两个成对设置的板簧状部751，在上下方向D2以并列的状态设有25对。在左右方向D3相对的端部上，形成有三角形状的三角切口754，这样，所述端部能分别大幅弹性变形。板簧状部751如图8所示，分别以彼此分开的方式向左右方向D3延伸，并分别向前方向D11折曲。而且在板簧状部751的端部，如图10所示，沿上下方向D2平行延伸的拆取部纵框体753和板簧状部751一体成形。拆取部纵框体753和纵框体71一起固定在盖体主体30的形成凹部34的部分，这样，前部保持构件7被固定于盖体主体30。
对板簧状部751、下侧倾斜面731、上侧倾斜面732适当实施粗糙面加工等表面处理，使构成拆取部75的板簧状部751相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数，成为相对低于前部保持构件基板承接部73的下侧倾斜面731、上侧倾斜面732相对于基板W滑动时的任意一个最大静摩擦系数的值。具体板簧状部751相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数在0.25以下。将最大静摩擦系数的值设为0.25以下，是由于超过0.25时，基板W相对于板簧状部751不能充分滑动。此外，下侧倾斜面731、上侧倾斜面732相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数在0.3以上。将最大静摩擦系数的值设为0.3以上，是因为不足0.3时，因基板收纳容器1的输送中的振动等，干净的基板W上容易附着由颗粒等的产生带来的污迹。
接下来，说明在上述的基板收纳容器1中，向基板收纳空间27收纳基板W、由盖体3封闭容器主体开口部21后，取下盖体3时的动作。图13是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1的盖体3中拆取部75不和基板W抵接而分开状态的断面放大图。图14是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1的盖体3中拆取部75开始抵接基板W时的状态的断面放大图。图15是表示在本发明第一实施方式的基板收纳容器1中由盖体3封闭容器主体开口部21时盖体3中拆取部75的状态的断面放大图。
首先，基板W被收纳在基板收纳空间27中时，基板W以通过后侧基板支承部6和前部保持构件7协同动作而被夹持的方式被支承。因此，基板W的边缘部通过形成在下侧抵接面841和上侧倾斜面851之间的开口、而与凹部形成部81的凹部82卡合，并与后按压部80中形成所述开口的左右方向D3的拆取部83的未图示的边缘部抵接。
此外，通过基板W并通过前部保持构件7的脚部72的弹力，拆取部83被推向后方向D12，压靠在肋状部221上。由于前部保持构件7的脚部72的弹力大于板簧部832的弹力，所以这样如图5所示，拆取部83压靠在肋状部221上。
此外，如图15所示，在前部保持构件7中，前部保持构件基板承接部73与基板W的边缘部抵接，对基板W以向后方向加力的状态支承，并且板簧状部751与基板W的边缘部抵接，对基板W向后方向加力。
接下来，对盖体3的操作部33(参照图1等)进行操作，将上侧插销部32A、下侧插销部32B与容器主体2的插销卡合凹部241A、241B的卡合解除，则如图4所示，在后按压部80中，拆取部83通过板簧部832的弹力，相对于肋状部221向前方向D11移动，在与肋状部221之间产生间隙G。与此相伴，基板W由拆取部83向前方向D11拆取，基板W的边缘部与肋状部221的凹部82的卡合被解除。这样，基板W的边缘部如图6所示，相对于下侧倾斜面842滑动而滑落，基板W的下表面与下侧抵接面841抵接，基板W配置在如此抵接的一定位置(由规定装置拆取基板W的规定位置)上。而后，如图3所示，基板W被未图示的规定装置支承并从基板收纳空间27取出。
此外，如图14所示，在前部保持构件7中，基板W被脚部72的弹力推向后方向D12，此外，基板W另外还被板簧状部751的弹力推向后方向D12。而后利用板簧状部751的弹力，基板W从前部保持构件基板承接部73被拆下，基板W被配置在一定位置(基板W被规定装置拆取的规定位置)上。而后，如图13所示，基板W被未图示的规定装置支承并从基板收纳空间27取出。
按照上述结构的第一实施方式的基板收纳容器1，可以得到以下的效果。
如上所述，基板收纳容器1包括：容器主体2，具备筒状的壁部20，所述筒状的壁部20在一端部具有形成容器主体开口部21的开口周缘部28，而另一端部封闭，由壁部20的内表面形成能收纳多个基板W且与容器主体开口部21连通的基板收纳空间27；盖体3，能相对于容器主体开口部21装卸，并能封闭容器主体开口部21；作为侧方基板支承部的基板支承板状部5，在基板收纳空间27内成对配置，当盖体3未封闭容器主体开口部21时，以多个基板W中邻接的基板W之间分开规定间隔且并列的状态，支承多个基板W的边缘部；作为盖体侧基板支承部的前部保持构件7，配置于当盖体3封闭容器主体开口部21时与基板收纳空间27相对的盖体3的部分，能支承多个基板W的边缘部；后侧基板支承部6，在基板收纳空间27内与前部保持构件7成对配置而支承多个基板W的边缘部，通过当盖体3封闭容器主体开口部21时与前部保持构件7协同动作，能支承多个基板W；拆取部75、83，当从盖体3封闭容器主体开口部21的状态、将盖体3从容器主体开口部21打开时，把被后侧基板支承部6和前部保持构件7支承的状态的基板W，分别从后侧基板支承部6和前部保持构件7拆下。
利用上述结构，盖体3将容器主体开口部21开放时，将基板W向后侧基板支承部6和前部保持构件7压靠的物理性的压力变弱时，通过拆取部75、83拆下基板W，由此可以使基板W移动到能由规定装置支承并从容器主体取出的规定位置。其结果，能利用规定装置将基板W从容器主体2可靠地取出。
而且，由盖体3封闭或开放容器主体开口部21时与基板W抵接的拆取部83的部分，相比与基板W抵接的后侧基板支承部6的部分，最大静摩擦系数小。
此外，由盖体3封闭或开放容器主体开口部21时与基板W抵接的拆取部75的部分，相比与基板W抵接的前部保持构件7的部分，最大静摩擦系数小。
根据上述结构，由于与基板W抵接的拆取部83的部分相比与基板W抵接的后侧基板支承部6的部分最大静摩擦系数小，此外，由于与基板W抵接的拆取部75的部分相比与基板W抵接的前部保持构件7的部分最大静摩擦系数小，所以基板W能相对于拆取部75、83的部分平滑滑动。其结果，能使基板W可靠地移动到规定位置。
另一方面，由于盖体3封闭容器主体开口部21时与基板W抵接的后侧基板支承部6的部分、与基板W抵接的前部保持构件7相比与基板W抵接的拆取部83、75的部分最大静摩擦系数大，所以能抑制由颗粒的产生等导致的污迹，能使基板收纳空间27成为干净的状态，能在干净的状态下保管基板W。即，能实现在干净状态下的基板W的保管的同时，能实现从容器主体2取出基板W时的基板W向规定位置的移动。
此外，拆取部75具备作为弹性变形的弹性构件的板簧状部751，利用板簧状部751的弹力进行基板W的拆取。此外，拆取部83具备作为弹性变形的弹性构件的板簧部832，利用板簧部832的弹力进行基板W的拆取。根据上述结构，能更可靠地进行通过拆取部75、83拆取基板W。
接下来，参照附图说明本发明第二实施方式的基板收纳容器。图16A是表示在本发明第二实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于后侧端部边缘支承部60A的位置关系的示意图。图16B是表示在本发明第二实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于拆取部83A的位置关系的示意图。
第二实施方式与第一实施方式的不同点在于：后侧基板支承部6A和基板支承板状部5(参照图2等)一体成形设置：以及具有拆取部83A，由此代替具有拆取部83和支承基板W的边缘部的肋状部221的结构。此外的其他结构，由于和第一实施方式相同，所以对相同的构件用相同的附图标记图示，并省略说明。
在基板支承板状部5的后侧，后侧基板支承部6A(参照图16A)与基板支承板状部5(参照图2等)一体成形设置。后侧基板支承部6A在基板收纳空间27内，和后述的前部保持构件7(参照图7等)成对设置于壁部20(参照图2等)。当盖体3封闭容器主体开口部21时，后侧基板支承部6A通过与多个基板W的边缘部抵接，能支承多个基板W的边缘部的后部。即，当盖体3封闭容器主体开口部21时，后侧基板支承部6A通过和前部保持构件7协同动作来支承多个基板W，以邻接的基板W之间分开规定间隔且并列的状态保持基板W。
如图16A所示，后侧基板支承部6A具有后侧端部边缘支承部60A。后侧端部边缘支承部60A在基板支承板状部5(参照图2等)的板部51的后端部，与板部51和支承壁52一体成形。
后侧端部边缘支承部60A设有与基板收纳空间27中能收纳的每个基板W对应的个数，具体设有25个。配置在第一侧壁25和第二侧壁26的后侧端部边缘支承部60A，在前后方向D1具有与后述前部保持构件7成对的位置关系。
后侧端部边缘支承部60A具有下侧侧面611A和上侧侧面612A，它们之间形成有基板卡合槽64A。盖体3封闭容器主体开口部21时，基板W相对于下侧侧面611A滑动并上升，当基板W到达基板卡合槽64A的位置时，基板W的边缘部在基板卡合槽64A中被后侧端部边缘支承部60A支承。
如图16B所示，拆取部83A具有下侧抵接面841A、下侧倾斜面842A和上侧倾斜面851A。
具体当盖体3未封闭容器主体开口部21时，下侧抵接面841A与基板W的背面(下表面)的端部边缘抵接并支承基板W。
下侧倾斜面842A由以随着向上方向D21前进、远离基板收纳空间27的中心(图16B中的左侧)的方式从下侧抵接面841A的端部倾斜延伸的倾斜面构成，基板W的背面的端部可在此滑动。上侧倾斜面851A由以随着向上方向D21、接近基板收纳空间27的中心(图16B中的左侧)的方式从下侧倾斜面842A的上端部倾斜延伸的倾斜面构成。
下侧倾斜面842A和上侧倾斜面851A相比下侧抵接面841A配置于上侧，形成作为凹槽的V状槽，所述凹槽能卡合基板W的端部并以远离基板收纳空间27的中心的方式凹陷。盖体3封闭容器主体开口部21时，基板W相对下侧倾斜面842A滑动并上升，当基板W到达V状槽的顶点的位置时，基板W的边缘部被支承在V状槽中。
对下侧倾斜面842A、下侧抵接面841A、后侧端部边缘支承部60A和上侧倾斜面851A适当实施粗糙面加工等表面处理，使下侧抵接面841A、下侧倾斜面842A、上侧倾斜面851A相对于基板W滑动时的任意一个最大静摩擦系数，成为相对低于使后侧端部边缘支承部60A相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数的值。拆取部83A和第一实施方式同样，由未图示的板簧部向前方向D11加力。具体使下侧抵接面841A、下侧倾斜面842A、上侧倾斜面851A相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数在0.25以下。将最大静摩擦系数的值设为0.25以下，是因为当超过0.25时，基板W相对于下侧抵接面841A、下侧倾斜面842A、上侧倾斜面851A不能充分滑动。此外，使后侧端部边缘支承部60A相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数设为0.3以上。将最大静摩擦系数的值设为0.3以上，是因为当不足0.3时，因基板收纳容器1的输送中的振动等，干净的基板W上容易附着由颗粒等的产生带来的污迹。
接下来，说明将基板W收纳到基板收纳空间27中、由盖体3封闭容器主体开口部21后，取下盖体3时的动作。
盖体3封闭容器主体开口部21、基板W被收纳在基板收纳空间27中时，基板W以通过后侧基板支承部6A和前部保持构件7协同动作而被夹持的方式被支承，这和第一实施方式相同。因此，如图16A所示，基板W的边缘部与后侧端部边缘支承部60A的基板卡合槽64A卡合，由此基板W的边缘部被后侧端部边缘支承部60A支承。此外，此时如图16B所示，在拆取部83A中，下侧倾斜面842A与基板W的下表面的边缘部抵接，上侧倾斜面851A与基板W的上表面的边缘部抵接。
接下来，对盖体3的操作部33进行操作，将上侧插销部32A、下侧插销部32B与容器主体2的插销卡合凹部241A、241B的卡合解除，通过未图示的板簧部的弹力，拆取部83A相对于容器主体2向前方向D11移动，与此相伴，基板W被拆取部83A向前方向D11拆取，从而解除与后侧端部边缘支承部60A的基板卡合槽64A的卡合。这样，基板W的边缘部如图16B所示，相对于下侧倾斜面842A滑动而滑落，基板W的下表面与下侧抵接面841A抵接，基板W配置在如此抵接的规定位置上。而后，基板W被规定装置支承并从基板收纳空间27取出。
接下来，参照附图说明本发明第三实施方式的基板收纳容器。图17A是表示在本发明第三实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于拆取部83B的位置关系的示意图。图17B是表示在本发明第三实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于后侧端部边缘支承部60B的位置关系的示意图。
第三实施方式与第二实施方式的不同点在于：和第二实施方式相同结构的拆取部83A设置在基板支承板状部5的后部；以及和第二实施方式相同结构的后侧基板支承部6A设置在肋状部221上。对于相当于第二实施方式中的拆取部83A的各结构的、第三实施方式中的拆取部83B的各结构，将第二实施方式中的符号A用B代替进行图示并省略说明。同样，对于相当于第二实施方式中的后侧基板支承部6A的各结构的、第三实施方式中的后侧基板支承部6B的各结构，将第二实施方式中的符号A用B代替进行图示并省略说明。除此以外的结构，由于和第一实施方式相同，所以对相同的构件用相同的附图标记进行图示并省略说明。
对下侧倾斜面842B、下侧抵接面841B、后侧端部边缘支承部60B和上侧倾斜面851B适当实施粗糙面加工等表面处理，使下侧抵接面841B、下侧倾斜面842B、上侧倾斜面851B相对于基板W滑动时的任意一个最大静摩擦系数，成为相对低于使后侧端部边缘支承部60B相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数的值。具体使下侧抵接面841B、下侧倾斜面842B、上侧倾斜面851B相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数在0.25以下。将最大静摩擦系数的值设为0.25以下，是因为当超过0.25时，基板W相对于下侧抵接面841B、下侧倾斜面842B、上侧倾斜面851B不能充分滑动。此外，使后侧端部边缘支承部60B相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数设为0.3以上。将最大静摩擦系数的值设为0.3以上，是因为当不足0.3时，因基板收纳容器1的输送中的振动等，干净的基板W上容易附着由颗粒等的产生带来的污迹。
接下来，说明将基板W收纳在基板收纳空间27、由盖体3封闭容器主体开口部21后，取下盖体3时的动作。
盖体3封闭容器主体开口部21、基板W被收纳在基板收纳空间27中时，基板W以通过后侧基板支承部6和前部保持构件7协同动作而被夹持的方式被支承，这与第一实施方式、第二实施方式相同。
因此，如图17B所示，基板W的边缘部与后侧端部边缘支承部60B的基板卡合槽64B卡合，由此基板W的边缘部被后侧端部边缘支承部60B支承。此外，此时在设置于基板支承板状部5的后部的拆取部83B中，下侧倾斜面842B与基板W的下表面的边缘部抵接，上侧倾斜面851B与基板W的上表面的边缘部抵接。
接下来，对盖体3的操作部33进行操作，将上侧插销部32A、下侧插销部32B与容器主体2的插销卡合凹部241A、241B的卡合解除，通过未图示的板簧部的弹力，拆取部83B相对于容器主体2向前方向D11移动，与此相伴，基板W被拆取部83B向前方向D11拆取，从而解除与后侧端部边缘支承部60B的基板卡合槽64B的卡合。这样，如图17A所示，基板W的边缘部在拆取部83B中，相对于下侧倾斜面842B滑动而滑落，基板W的下表面与下侧抵接面841B抵接，基板W配置在如此抵接的规定位置。而后，基板W被规定装置支承并从基板收纳空间27取出。
接下来，参照附图说明本发明第四实施方式的基板收纳容器。图18是表示在本发明第四实施方式的基板收纳容器中由盖体3开闭容器主体开口部21时基板W相对于后侧端部边缘支承部60和拆取部83C的位置关系的示意图。
第四实施方式和第一实施方式的不同点在于：后侧基板支承部6C与基板支承板状部5一体成形设置；和第一实施方式结构相同的拆取部83C设置在基板支承板状部5的后部；以及具备后部保持构件，所述后部保持构件仅在容器主体2受到强烈冲击时与基板W抵接，而在容器主体2未受到强烈冲击时不与基板W接触。对于相当于第一实施方式中的拆取部83的各结构的、第四实施方式中的拆取部83C的各结构，在第一实施方式中的附图标记上附加C进行图示并省略说明。同样，对于相当于第一实施方式中的后侧基板支承部6的各结构的、第四实施方式中的后侧基板支承部6C的各结构，在第一实施方式中的附图标记上附加C进行图示并省略说明。
基板支承板状部5的后部设有后侧端部边缘支承部60C，所述后侧端部边缘支承部60C是与第一实施方式的肋状部221相同的形状，即，是在上下方向D2以规定间隔具有形成凹部82C的凹部形成部81C的形状。此外，后侧端部边缘支承部60C的前侧，设有和第一实施方式的拆取部83相同的拆取部83C。
对下侧倾斜面842C、下侧抵接面841C、后侧端部边缘支承部60C和上侧倾斜面851C适当实施粗糙面加工等表面处理，使下侧抵接面841C、下侧倾斜面842C、上侧倾斜面851C相对于基板W滑动时的任意一个最大静摩擦系数，成为相对低于使后侧端部边缘支承部60C相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数的值。具体使下侧抵接面841C、下侧倾斜面842C、上侧倾斜面851C相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数在0.25以下。将最大静摩擦系数的值设为0.25以下，是因为当超过0.25时，基板W相对于下侧抵接面841C、下侧倾斜面842C、上侧倾斜面851C不能充分滑动。此外，使后侧端部边缘支承部60C相对于基板W滑动时的最大静摩擦系数在0.3以上。将最大静摩擦系数的值设为0.3以上，是因为当不足0.3时，因基板收纳容器1的输送中的振动等，干净的基板W上容易附着由颗粒等的产生带来的污迹。
后部保持构件(未图示)设置于肋状部221，肋状部221上形成有25枚基板W的边缘部能插入的V状槽。在基板W收纳在基板收纳空间27并由盖体3封闭容器主体开口部21时，形成有V状槽的肋状部221的部分和基板W的边缘部分开规定的距离。所述肋状部221的部分在容器主体2受到强烈冲击时与基板W抵接，从而抑制基板W弯曲规定量以上。
接下来，说明将基板W收纳在基板收纳空间27、由盖体3封闭容器主体开口部21后，取下盖体3时的动作。
盖体3封闭容器主体开口部21、基板W收纳在基板收纳空间27中时，基板W以通过后侧基板支承部6和前部保持构件7协同动作而被夹持的方式被支承，这与第一实施方式～第三实施方式相同。因此，如图18所示，基板W的边缘部与凹部形成部81C的凹部82C卡合，由此基板W的边缘部被后侧端部边缘支承部60C支承。此外，此时在设置于基板支承板状部5的后部的拆取部83C中，下侧倾斜面842C与基板W的下表面的边缘部抵接，上侧倾斜面851C与基板W的上表面的边缘部抵接。
接下来，对盖体3的操作部33进行操作，将上侧插销部32A、下侧插销部32B与容器主体2的插销卡合凹部241A、241B的卡合解除，通过板簧部832的弹力，拆取部83C相对于容器主体2向前方向D11移动，与此相伴，基板W被拆取部83C向前方向D11拆取，从而解除与凹部形成部81C的凹部82C的卡合。这样，如图18所示，基板W的边缘部相对于下侧倾斜面842C滑动而滑落，基板W的下表面与下侧抵接面841C抵接，基板W配置在如此抵接的规定位置上。而后，基板W被规定装置支承并从基板收纳空间27取出。
本发明不限于上述的实施方式，在不脱离权利要求的范围内能实施各种变形。
例如，本实施方式中的拆取部83、75设置在容器主体一侧及盖体一侧双方，但是不限于上述结构。拆取部只要具备能从后侧基板支承部和盖体侧基板支承部中的至少一方拆取基板W的结构即可。因此，例如在本实施方式中，基板收纳容器1具备拆取部83和拆取部75，但是也可以具备拆取部83而不具备拆取部75。
此外，作为弹性构件，采用了拆取部83的板簧部832，此外，采用了拆取部75的板簧状部751，但是不限于此。
此外，容器主体和盖体的形状、容器主体中能收纳的基板W的枚数和尺寸，不限于本实施方式中的容器主体2和盖体3的形状、容器主体2中能收纳的基板W的枚数和尺寸。即，侧方基板支承部、盖体侧基板支承部和后侧基板支承部的结构，不限于基板支承板状部5、前部保持构件7和后侧基板支承部6的结构。此外，本实施方式中的基板W为直径300mm的硅晶片，但是不限于所述值。
附图标记说明
1基板收纳容器
2容器主体
3盖体
5基板支承板状部(侧方基板支承部)
6后侧基板支承部
7前部保持构件(盖体侧基板支承部)
20壁部
21容器主体开口部
27基板收纳空间
28开口周缘部
75拆取部
83拆取部
751 板簧状部
832 板簧部
W基板

Claims (3)

1.一种基板收纳容器，其特征在于包括：
容器主体，具备筒状的壁部，所述筒状的壁部在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部，而另一端部封闭，由所述壁部的内表面形成能收纳多个基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；
盖体，能相对于所述容器主体开口部装卸，并能封闭所述容器主体开口部；
侧方基板支承部，在所述基板收纳空间内成对配置，当所述盖体未封闭所述容器主体开口部时，以所述多个基板中邻接的基板之间分开规定间隔且并列的状态，支承所述多个基板的边缘部；
盖体侧基板支承部，配置于当所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板收纳空间相对的所述盖体的部分，能支承所述多个基板的边缘部；
后侧基板支承部，在所述基板收纳空间内与所述盖体侧基板支承部成对配置，从而能支承所述多个基板的边缘部，通过当所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述盖体侧基板支承部协同动作，能支承所述多个基板；以及
拆取部，当从所述盖体封闭所述容器主体开口部的状态、将所述盖体从所述容器主体开口部打开时，把被所述后侧基板支承部和所述盖体侧基板支承部支承的状态的所述基板，从所述后侧基板支承部和所述盖体侧基板支承部中的至少一方拆下，
所述拆取部在所述盖体从封闭所述容器主体开口部的状态被打开时把被所述后侧基板支承部支承的状态的所述基板从所述后侧基板支承部拆下，并覆盖所述后侧基板支承部中的在所述盖体封闭所述容器主体开口部时与所述基板抵接的部分的周围，
由所述盖体封闭或开放所述容器主体开口部时与所述基板抵接的所述拆取部的部分的最大静摩擦系数小于与所述基板抵接的所述后侧基板支承部的部分的最大静摩擦系数，
所述盖体封闭所述容器主体开口部时，所述基板与未被所述拆取部覆盖的所述后侧基板支承部的部分抵接，当从所述盖体封闭所述容器主体开口部的状态打开所述盖体时，所述基板相对于与所述基板抵接的所述拆取部的部分滑动。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述拆取部把被所述盖体侧基板支承部支承的状态的所述基板从所述盖体侧基板支承部拆下，
由所述盖体封闭或开放所述容器主体开口部时与所述基板抵接的所述拆取部的部分的最大静摩擦系数小于与所述基板抵接的所述盖体侧基板支承部的部分的最大静摩擦系数。
3.根据权利要求1或2所述的基板收纳容器，其特征在于，所述拆取部具备弹性变形的弹性构件，利用所述弹性构件的弹力进行所述基板的拆取。
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