JP2016048757A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】基板と、基板が撓むことを抑制する部材との接触面積を極力小さく抑えて、基板に撓みが生ずることを抑えることができる基板収納容器を提供すること。【解決手段】基板収納容器の蓋体側基板支持部は、基板Ｗの周縁部の一部が挿入される側方凹部７３０であって、側方凹部７３０に基板Ｗの周縁部の一部が挿入されることにより蓋体側基板支持部によって基板Ｗの縁部が支持される側方凹部７３０を有する。側方凹部７３０は、側方凹部７３０に挿入されて撓んでいない非撓み状態の基板Ｗの表面Ｗ１１に沿って延びる上壁面７３１と、上壁面７３１に対向し、非撓み状態の基板Ｗの裏面Ｗ２１に沿って延びる下壁面７３３と、非撓み状態の基板Ｗの側面Ｗ３１に沿って延びて上壁面７３１及び下壁面７３３に接続された側壁面７３２と、により囲まれて形成されている。【選択図】図３

Description

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。

半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。

容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。

蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。

基板が薄い場合には、フロントリテーナと奥側基板支持部とで基板を支持しているときに、基板に撓みが生ずることがある。基板に撓みが生ずると、基板自体が傷み、ダメージを受ける。また、容器本体への基板の収納や、容器本体に収納された基板の搬送に支障を来たし、これらの作業の効率の低下を生ずる。そこで、基板が撓むことを抑制する部材を有する基板収納容器が提案されている（特許文献１、２参照）。

特許第５１４４４７８号公報 特開２０１３−１２０８９６号公報

しかし、基板が撓むことを抑制する部材に接触する基板の部分には、回路を形成することはできないので、基板と当該部材との接触面積は、極力小さいことが好ましい。

本発明は、基板と、基板が撓むことを抑制する部材との接触面積を極力小さく抑えて、基板に撓みが生ずることを抑えることができる基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、を備え、前記蓋体側基板支持部は、前記基板の周縁部の一部が挿入される側方凹部であって、側方凹部に前記基板の周縁部の一部が挿入されることにより前記蓋体側基板支持部によって前記基板の縁部が支持される側方凹部を有し、前記側方凹部は、前記側方凹部に挿入されて撓んでいない非撓み状態の前記基板の表面に沿って延びる上壁面と、前記上壁面に対向し、前記非撓み状態の前記基板の裏面に沿って延びる下壁面と、前記非撓み状態の前記基板の側面に沿って延びて前記上壁面及び前記下壁面に接続された側壁面と、により囲まれて形成されている基板収納容器に関する。

また、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすよう複数配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持する複数の奥側基板支持部を備えることが好ましい。

また、前記蓋体側基板支持部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記非撓み状態の前記基板の表面に沿った方向における前記容器本体開口部の中央部分に位置し、前記複数の奥側基板支持部は、前記容器本体の一端部に対する他端部寄りの前記基板収納空間の位置において、前記非撓み状態の前記基板の表面に沿った方向において互いに離間する位置関係を有し、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記蓋体側基板支持部が前記基板を支持する位置と、前記複数の奥側基板支持部が前記基板を支持する位置とで、３角形状が形成されることが好ましい。

また、本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、前記奥側基板支持部は、前記基板の周縁部の一部が挿入される側方凹部であって、側方凹部に前記基板の周縁部の一部が挿入されることにより前記奥側基板支持部によって前記基板の縁部が支持される側方凹部を有し、前記側方凹部は、前記側方凹部に挿入されて撓んでいない非撓み状態の前記基板の表面に沿って延びる上壁面と、前記上壁面に対向し、前記非撓み状態の前記基板の裏面に沿って延びる下壁面と、前記非撓み状態の前記基板の側面に沿って延びて前記上壁面及び前記下壁面に接続された側壁面と、により囲まれて形成されている基板収納容器に関する。

また、前記下壁面の端部には、前記側壁面から離間するにつれて、前記非撓み状態の前記基板の裏面から離間するように延びる離間傾斜面が接続されていることが好ましい。

また、前記下壁面は、非撓み状態の前記基板の裏面に沿って前記側壁面に近づくにつれて段階的に前記上壁面に近づく位置関係を有する複数の段階下壁面を有し、前記側壁面は、非撓み状態の前記基板の側面に沿って前記上壁面に近づくにつれて非撓み状態の前記基板の中心から段階的に離間する位置関係を有する複数の段階側壁面を有し、各前記段階側壁面は、隣接する２つの前記段階下壁面にそれぞれ接続され、前記段階下壁面と前記段階側壁面とは、階段状部を構成することが好ましい。

本発明によれば、基板と、基板が撓むことを抑制する部材との接触面積を極力小さく抑えて、基板に撓みが生ずることを抑えることができる基板収納容器を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のフロントリテーナ７のフロントリテーナ基板受け部７３及び奥側基板支持部６の壁部基板支持部６０を示す概略拡大断面図である。 本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において基板Ｗが蓋体３のフロントリテーナ７及び奥側基板支持部６に支持されている様子を示す概略平面図である。 本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の蓋体のフロントリテーナのフロントリテーナ基板受け部７３Ａを示す概略拡大断面図である。 本発明の第３実施形態に係る基板収納容器のフロントリテーナのフロントリテーナ基板受け部７３Ｂ及び奥側基板支持部の壁部基板支持部６０Ｂを示す概略拡大断面図である。

以下、本発明の第１実施形態による基板収納容器について、図１〜図４を参照しながら説明する。図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の蓋体３のフロントリテーナ７のフロントリテーナ基板受け部７３及び奥側基板支持部６の壁部基板支持部６０を示す概略拡大断面図である。図４は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１において基板Ｗが蓋体３のフロントリテーナ７及び奥側基板支持部６に支持されている様子を示す概略平面図である。

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。各図面において、これらの方向を示す矢印を付して説明する。

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１、図３等参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍ〜４５０ｍｍ、表面Ｗ１１と裏面Ｗ２１とを結ぶ方向における厚さ５０μｍ〜２００μｍのシリコンウェーハである。

図１に示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、シール部材４と、側方基板支持部としての基板支持板状部５と、奥側基板支持部６（図４等参照）と、フロントリテーナ７（図２等参照）とを有している。

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が設けられている。

奥側基板支持部６は、基板収納空間２７内においてフロントリテーナ７と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。

フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。

基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が用いられている。これらの成形材料の樹脂に導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が、これらの成形材料の樹脂に選択的に添加される。また、剛性を上げるために、これらの成形材料の樹脂に、ガラス繊維や炭素繊維等が添加されてもよい。

図１等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述の材料により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５Ａ、２３５Ｂが、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５Ａ、２３５Ｂは、容器本体２の剛性を高める。また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられて、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置されている。具体的には、図４に示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部５２とを有している。板部５１と板部支持部５２とは、樹脂が一体成形されて構成されている。板部５１は、板状の弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６に、それぞれ２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方にも、板部５１と略同一形状のものが配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、挿入する際のガイドの役割をする部材である。

また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と略同形状の２枚のガイドの役割をする部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図３に示すように、板部５１の上面には、凸部（図示せず）が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部（図示せず）の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。

板部支持部５２は、上下方向Ｄ２に延びる部材により構成されている。第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた板部支持部５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた板部支持部５２に接続されている。板部支持部５２が第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定されることにより、基板支持板状部５は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。

このような構成の基板支持板状部５により、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。

図４等に示すように、奥側基板支持部６は、壁部基板支持部６０を有している。壁部基板支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１と一体で成形されている。なお、奥側基板支持部６は、基板支持板状部５とは別体、即ち、壁部基板支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１とは別体で構成されていてもよい。

壁部基板支持部６０は、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に設けられた壁部基板支持部６０は、対をなす位置関係を有している。具体的には、容器本体２の一端部に対する他端部寄りの基板収納空間２７の位置において、即ち、後方向Ｄ１２寄りの基板収納空間２７の位置において、対をなす位置関係を有しており、より詳細には、後述の非撓み状態の基板Ｗの表面Ｗ１１に沿った方向、即ち、左右方向Ｄ３において違いに離間する位置関係を有していることで、このように左右方向Ｄ３において、対をなす位置関係を有している。また、第１側壁２５及び第２側壁２６に設けられた壁部基板支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。後述のように基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、壁部基板支持部６０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持する。

２５個の各壁部基板支持部６０は、図３に示すように、上側傾斜面６０１と下側傾斜面６０２とを有している。上側傾斜面６０１の端縁と下側傾斜面６０２の端縁とは、直接接続されて一体の構成を有している。上側傾斜面６０１は、下側傾斜面６０２に接続された端縁から上方へ向けて傾斜して延びる平坦面により構成されている。下側傾斜面６０２は、上側傾斜面６０１に接続された端縁から下方へ向けて傾斜して延びる平坦面により構成されている。従って、上側傾斜面６０１と下側傾斜面６０２とで、図３に示すように、断面視で「く」の字形状を構成している。上側傾斜面６０１は、基板Ｗの表面Ｗ１１の端縁に当接可能である。また、下側傾斜面６０２は、基板Ｗの裏面Ｗ２１の端縁に当接可能である。

図１、図２に示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面（図１に示す蓋体３の裏側の面）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム、シリコンゴム等により構成されている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、シール面２８１と蓋体３の内面とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄと、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄは、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

蓋体３の外面には操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄを蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部３２Ｃ、３２Ｄが蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

図２に示すように、蓋体３の内側においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部３４が形成されている。凹部３４には、フロントリテーナ７が固定されて設けられている。

即ち、フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって容器本体２の容器本体開口部２１を閉塞しているときに基板収納空間２７を形成している部分、即ち、基板収納空間２７に対向する部分に配置されている。フロントリテーナ７は、上下方向Ｄ２に平行に延びる一対の縦枠体７１と、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ基板受け部７３とを有している。一対の縦枠体７１及びフロントリテーナ基板受け部７３は、樹脂により一体成形されている。一対の縦枠体７１は、蓋体３に固定される。フロントリテーナ基板受け部７３は、蓋体側基板支持部を構成する。

フロントリテーナ基板受け部７３は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部７３は、図４に示すように、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞され、後述する側方凹部７３０に基板Ｗが挿入されて、基板の撓みが抑えられ、ほとんど撓んでいない状態又は全く撓んでいない状態の基板Ｗ（以下「非撓み状態の基板Ｗ」と言う）の表面Ｗ１１に沿った方向、即ち、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な面に沿った方向における容器本体開口部２１の中央部分に位置する。

図３に示すように、フロントリテーナ基板受け部７３は、基板Ｗの周縁部の一部が挿入される側方凹部７３０を有している。側方凹部７３０は、上壁面７３１と、側壁面７３２と、下壁面７３３と、により囲まれて略コの字形状に形成されている。

上壁面７３１は、図３に示すように、非撓み状態の基板Ｗの表面Ｗ１１に沿って、即ち、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な平面に沿って延びている。また、下壁面７３３は、上壁面７３１に平行な位置関係を有して上壁面７３１に対向している。下壁面７３３は、非撓み状態の基板Ｗの裏面Ｗ２１に沿って、即ち、前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な平面に沿って延びている。側壁面７３２は、非撓み状態の基板Ｗの側面Ｗ３１に沿って、即ち、左右方向Ｄ３及び上下方向Ｄ２に平行な平面に沿って延びている。上下方向Ｄ２における上壁面７３１と下壁面７３３との間の距離ｈは基板Ｗの厚さｔよりも大きいが、その差は、０．１ｍｍ以内であることが好ましい。０．１ｍｍを超えると、基板Ｗの撓みを十分に抑制することが困難になるからであり、この範囲の値を採ることにより、効果的に基板Ｗの撓みを抑制することができるからである。

非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃ（図４参照）から離間する方向（前方向Ｄ１１）における上壁面７３１の端縁には、側壁面７３２の上端縁が一体的に接続されている。非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃから離間する方向（前方向Ｄ１１）における下壁面７３３の端縁には、側壁面７３２の下端縁が一体的に接続されている。また、非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃに近づく方向（後方向Ｄ１２）における下壁面７３３の端縁には、離間傾斜面７３４の上端縁が接続されている。

離間傾斜面７３４は、側壁面７３２から後方向Ｄ１２へ離間するにつれて、即ち、非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃに近づくにつれて、非撓み状態の基板Ｗの裏面Ｗ２１から徐々に離間するように下方向Ｄ２２へ延びている。離間傾斜面７３４に接続されている下壁面７３３の端縁から、側壁面７３２に接続されている下壁面７３３の端縁までの長さ、即ち側方凹部７３０の深さｄは、５ｍｍ以下であることが好ましい。５ｍｍ以下であることにより、回路を形成することができない基板Ｗの部分を極力小さくすることができる。

次に、フロントリテーナ７と、奥側基板支持部６とで基板Ｗを支持する動作について説明する。先ず、蓋体３によって、容器本体開口部２１が閉塞されていない状態の容器本体２の基板収納空間２７へ基板Ｗを挿入してゆき、基板支持板状部５に基板Ｗの左右の端縁部を載置する。次に、蓋体３で容器本体開口部２１を閉塞する。これにより、図３の二点鎖線で示すように、基板Ｗの前端縁部は、離間傾斜面７３４によって案内されて、離間傾斜面７３４に沿って上方向Ｄ２１へ移動する。これと同時に、基板Ｗの後端縁部は、下側傾斜面６０２によって案内されて、下側傾斜面６０２に沿って上方向Ｄ２１へ移動してゆく。これにより、基板Ｗは、基板支持板状部５から持ち上げられ離間する。

そして、図３において実線で示すように、基板Ｗの前部の周縁部の一部は、側方凹部７３０に挿入されることにより蓋体側基板支持部としてフロントリテーナ７によって基板Ｗの縁部が支持される。このとき、基板Ｗの前部の周縁部の一部としての側面Ｗ３１は、基板Ｗの側面Ｗ３１を側壁面７３２で基板Ｗの中央方向に押すような状態で、側壁面７３２に当接する。また、このとき、基板Ｗ自体の重量により、フロントリテーナ７と奥側基板支持部６との間に位置する基板Ｗの中心Ｃが、下方向Ｄ２２へ突出するように、基板Ｗが僅かに撓んで僅かに変形する。これにより、基板Ｗの前部の周縁部の一部としての裏面Ｗ２１は、基板Ｗの周縁部の裏面Ｗ２１を下壁面７３３の端部７３５で押上げるような状態で、離間傾斜面７３４に接続されている下壁面７３３の端部７３５に当接している。また、基板Ｗのこの僅かな撓みにより、基板Ｗの前部の周縁部の一部としての表面Ｗ１１は、基板Ｗの周縁部の表面Ｗ１１を上壁面７３１で押下げるような状態で、上壁面７３１に当接している。また、基板Ｗの後部且つ側部の周縁部の一部は、上側傾斜面６０１と下側傾斜面６０２とに挟まれて、奥側基板支持部６の壁部基板支持部６０によって支持されている。これにより、基板Ｗは、基板支持板状部５から離間した状態で、フロントリテーナ７及び奥側基板支持部６によって支持される。なお、図３においては、説明の便宜上、撓んでいない状態の基板Ｗを図示しており、基板Ｗと上壁面７３１、側壁面７３２、及び下壁面７３３との間には、隙間があるように図示している。

このときの、基板Ｗを支持するフロントリテーナ７及び奥側基板支持部６の位置関係は、図４に示すとおりである。具体的には、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７が基板Ｗを支持する位置と、左側の奥側基板支持部６が基板Ｗを支持する位置と、右側の奥側基板支持部６が基板Ｗを支持する位置とで、２点鎖線で示すような３角形状が形成される。即ち、フロントリテーナ７は、左右方向Ｄ３における基板Ｗの前部の中央を支持する。左側の奥側基板支持部６は、基板Ｗの後側且つ左側の部分を支持する。右側の奥側基板支持部６は、基板Ｗの後側且つ右側の部分を支持する。

上記構成の第１実施形態による基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。上述のように、複数の基板Ｗを収納可能な基板収納空間２７が内部に形成され、一端部に基板収納空間２７に連通する容器本体開口部２１が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７と、を備える。フロントリテーナ７は、基板Ｗの周縁部の一部が挿入される側方凹部７３０であって、側方凹部７３０に基板Ｗの周縁部の一部が挿入されることによりフロントリテーナ７によって基板Ｗの縁部が支持される側方凹部７３０を有する。側方凹部７３０は、非撓み状態の基板Ｗの表面Ｗ１１に沿って延びる上壁面７３１と、上壁面７３１に対向し、非撓み状態の基板Ｗの裏面Ｗ２１に沿って延びる下壁面７３３と、非撓み状態の基板Ｗの側面Ｗ３１に沿って延びて上壁面７３１及び下壁面７３３に接続された側壁面７３２と、により囲まれて形成されている。

この構成により、基板Ｗの周縁部の一部が側方凹部７３０に挿入されることにより、基板Ｗの側面Ｗ３１を側壁面７３２で基板Ｗの中央方向に押し、基板Ｗの周縁部の裏面Ｗ２１を下壁面７３３で押上げ、且つ、基板Ｗの周縁部の表面Ｗ１１を上壁面７３１で押下げているような状態で、基板Ｗをフロントリテーナ７で支持することができる。このため、基板Ｗがフロントリテーナ７及び奥側基板支持部６により支持されているときに、フロントリテーナ７と奥側基板支持部６との間に位置する基板Ｗの中央部分が、下方向Ｄ２２へ突出するように基板Ｗが撓むことを抑制することができる。この結果、基板Ｗ同士が接触することを抑制でき、基板Ｗに与える負荷を軽減することができ、基板Ｗ自体が傷み、ダメージを受けることを抑えることができる。また、フロントリテーナ７や奥側基板支持部６に対して基板Ｗがガタつくことを抑制でき、フロントリテーナ７や奥側基板支持部６を構成する樹脂の磨耗によるゴミの発生を抑えることができる。また、容器本体２への基板Ｗの収納や、容器本体２に収納された基板Ｗの搬送を容易とすることができ、これらの作業の効率の低下を抑えることができる。

また、フロントリテーナ７や奥側基板支持部６等に接触する基板Ｗの部分には、回路を形成することはできないが、この部分を側方凹部７３０に挿入する部分とすることができるため、この部分を極力小さく構成することができる。

また、基板収納空間２７内において蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７と対をなすよう複数配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときにフロントリテーナ７と協働して、複数の基板Ｗを支持する複数の奥側基板支持部６を備える。

この構成により、フロントリテーナ７と奥側基板支持部６とが協働して基板Ｗの撓みが抑えられた状態で、基板Ｗを支持することができる。

また、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、非撓み状態の基板Ｗの表面Ｗ１１に沿った方向における容器本体開口部２１の中央部分に位置する。複数の奥側基板支持部６は、容器本体２の一端部に対する他端部寄りの基板収納空間２７の位置（後方向Ｄ１２の奥側基板支持部６の部分の位置）において、非撓み状態の基板Ｗの表面Ｗ１１に沿った方向において互いに離間する位置関係を有する。蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、フロントリテーナ７が基板Ｗを支持する位置と、複数の奥側基板支持部６が基板Ｗを支持する位置とで、３角形状が形成される。

この構成により、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナ７が基板Ｗを支持する位置と、複数の奥側基板支持部６が基板Ｗを支持する位置とで、３角形状が形成されるため、基板Ｗの前端部と後端部とを支持する場合と比較して、基板Ｗの撓みの発生をより抑えることができる。

また、下壁面７３３の端部７３５には、側壁面７３２から離間するにつれて、非撓み状態の基板Ｗの裏面Ｗ２１から離間するように延びる離間傾斜面７３４が接続されている。この構成により、離間傾斜面７３４によって基板Ｗを側方凹部７３０へ案内することができ、蓋体３により容器本体開口部２１を閉塞する際に、容易且つ確実に基板Ｗの端縁部を側方凹部７３０に挿入することができる。

以下、本発明の第２実施形態による基板収納容器について図５を参照しながら説明する。図５は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器の蓋体のフロントリテーナのフロントリテーナ基板受け部７３Ａを示す概略拡大断面図である。

第２実施形態による基板収納容器のフロントリテーナ基板受け部７３Ａは、段階側壁面７４１Ａ、７４２Ａ、７４３Ａと段階下壁面７５１Ａ、７５２Ａ、７５３Ａとを有する点で、第１実施形態による基板収納容器１とは異なる。第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

図５に示すように、下壁面７３３Ａは、側方凹部７３０Ａに挿入されている非撓み状態の基板Ｗの裏面Ｗ２１に沿って側壁面７３２Ａを構成する段階側壁面７４３Ａに近づくにつれて（前方向Ｄ１１に進むにつれて）段階的に上壁面７３１に近づく位置関係を有する複数の段階下壁面７５１Ａ、７５２Ａ、７５３Ａを有している。

具体的には、下壁面７３３Ａは、３つの段階下壁面７５１Ａ、７５２Ａ、７５３Ａを有している。３つの段階下壁面７５１Ａ、７５２Ａ、７５３Ａのうちの、図５において最も右に位置する段階下壁面７５１Ａは、上下方向Ｄ２において上壁面７３１から最も離れた位置にある。図５において左から２番目に位置する段階下壁面７５２Ａは、上下方向Ｄ２において上壁面７３１に２番目に近い位置にある。図５において最も左に位置する段階下壁面７５３Ａは、上下方向Ｄ２において上壁面７３１に最も近い位置にある。

また、側壁面７３２Ａは、非撓み状態の基板Ｗの側面Ｗ３１に沿って上壁面７３１に近づくにつれて非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃ（図４参照）から段階的に前方向Ｄ１１へ離間する位置関係を有する複数の段階側壁面７４１Ａ、７４２Ａ、７４３Ａを有している。

具体的には、側壁面７３２Ａは、３つの段階側壁面７４１Ａ、７４２Ａ、７４３Ａを有している。３つの段階側壁面７４１Ａ、７４２Ａ、７４３Ａのうちの、図５において最も下に位置する段階側壁面７４１Ａは、非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃに最も近い位置にある。図５において下から２番目に位置する段階側壁面７４２Ａは、非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃから２番目に近い位置にある。図５において最も上に位置する段階側壁面７４３Ａは、非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃから最も離れた前方向Ｄ１１の位置にある。

非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃに向かう方向（後方向Ｄ１２）における段階下壁面７５３Ａの端部は、段階側壁面７４２Ａの上端部に接続されている。非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃから離間する方向（前方向Ｄ１１）における段階下壁面７５３Ａの端部は、段階側壁面７４３Ａの下端部に接続されている。非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃに向かう方向（後方向Ｄ１２）における段階下壁面７５２Ａの端部は、段階側壁面７４１Ａの上端部に接続されている。非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃから離間する方向（前方向Ｄ１１）における段階下壁面７５２Ａの端部は、段階側壁面７４２Ａの下端部に接続されている。この構成により、段階側壁面７４１Ａ、７４２Ａ、７４３Ａと段階下壁面７５１Ａ、７５２Ａ、７５３Ａとは、階段状部７６０Ａを構成する。

上記構成の第２実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。上述のように、下壁面７３３Ａは、非撓み状態の基板Ｗの裏面Ｗ２１に沿って側壁面７３２Ａの段階側壁面７４３Ａに近づくにつれて段階的に上壁面７３１に近づく位置関係を有する複数の段階下壁面７５１Ａ、７５２Ａ、７５３Ａを有する。側壁面７３２Ａは、非撓み状態の基板Ｗの側面Ｗ３１に沿って上壁面７３１に近づくにつれて非撓み状態の基板Ｗの中心Ｃから段階的に離間する位置関係を有する複数の段階側壁面７４１Ａ、７４２Ａ、７４３Ａを有する。各段階側壁面は、隣接する２つの段階下壁面にそれぞれ接続され、段階側壁面７４１Ａ、７４２Ａ、７４３Ａと段階下壁面７５１Ａ、７５２Ａ、７５３Ａとは、階段状部７６０Ａを構成する。

この構成により、厚い基板Ｗの場合には、基板Ｗの側面Ｗ３１が段階側壁面７４１Ａに当接した状態で、厚い基板Ｗの周縁部の裏面Ｗ２１を段階下壁面７５１Ａで押上げ、且つ、基板Ｗの周縁部の表面Ｗ１１を上壁面７３１で押下げているような状態で、基板Ｗをフロントリテーナ７で支持することができる。また、薄い基板Ｗ２００の場合には、基板Ｗ２００の側面Ｗ３１が段階側壁面７４３Ａに当接した状態で、薄い基板Ｗ２００の周縁部の裏面Ｗ２１を段階下壁面７５３Ａで押上げ、且つ、基板Ｗ２００の周縁部の表面Ｗ１１を上壁面７３１で押下げているような状態で、基板Ｗ２００をフロントリテーナ７で支持することができる。また、中程度の厚さの基板Ｗ１００の場合には、基板Ｗ１００の側面Ｗ３１が段階側壁面７４２Ａに当接した状態で、薄い基板Ｗ１００の周縁部の裏面Ｗ２１を段階下壁面７５２Ａで押上げ、且つ、基板Ｗ１００の周縁部の表面Ｗ１１を上壁面７３１で押下げているような状態で、基板Ｗ１００をフロントリテーナ７で支持することができる。このように、厚さの異なる基板Ｗ、Ｗ１００、Ｗ２００を、撓みが抑えられた状態で、フロントリテーナ７で支持することができる。なお、基板Ｗ１００、Ｗ２００についても、基板Ｗと同様に、表面Ｗ１１、裏面Ｗ２１、側面Ｗ３１を有しているが、図５においては、図の見易さの便宜上、図示を省略している。

更に、基板Ｗ、Ｗ１００、Ｗ２００の直径が同一の場合には、薄い基板Ｗ２００は、側方凹部７３０Ａの深い位置（前方向Ｄ１１寄りの位置）に挿入されることから、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞したときに、フロントリテーナ７の撓み量（変形量）は小さく、フロントリテーナ７から受ける力は小さく、奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とで基板Ｗを挟む力は小さい。これに対して、厚い基板Ｗは、側方凹部７３０Ａの浅い位置（後方向Ｄ１２寄りの位置）に挿入されることから、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞したときに、フロントリテーナ７の撓み量（変形量）は大きく、フロントリテーナ７から受ける力は大きく、奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とで基板Ｗを挟む力は大きい。このように、基板Ｗ、Ｗ１００、Ｗ２００の厚さに応じて、弾性変形可能なフロントリテーナ７の弾性強度（撓みの強度）を調整せずに、自動的に、奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とで基板Ｗ、Ｗ１００、Ｗ２００を挟む力を変えることができる。

以下、本発明の第３実施形態による基板収納容器について図６を参照しながら説明する。図６は、本発明の第３実施形態に係る基板収納容器のフロントリテーナのフロントリテーナ基板受け部７３Ｂ及び奥側基板支持部の壁部基板支持部６０Ｂを示す概略拡大断面図である。

第３実施形態による基板収納容器は、奥側基板支持部の壁部基板支持部６０Ｂに第１実施形態のフロントリテーナ７と同様に側方凹部６３０Ｂが形成され、フロントリテーナ７が第１実施形態の奥側基板支持部６と同様の構成を有する点で、第１実施形態による基板収納容器１とは異なる。第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

フロントリテーナのフロントリテーナ基板受け部７３Ｂは、上側傾斜面７３１Ｂ及び下側傾斜面７３３Ｂを有している。奥側基板支持部の壁部基板支持部６０Ｂは、上壁面６０１Ｂ、側壁面６０２Ｂ、及び、下壁面６０３Ｂを有しており、下壁面６０３Ｂには、離間傾斜面６０４Ｂが接続されている。上壁面６０１Ｂ、側壁面６０２Ｂ、及び、下壁面６０３Ｂによって、側方凹部６３０Ｂが形成されている。側方凹部６３０Ｂは、離間傾斜面６０４Ｂに接続されている。

上記構成の第３実施形態による基板収納容器によれば、以下のような効果を得ることができる。上述のように、基板収納容器は、複数の基板Ｗを収納可能な基板収納空間２７が内部に形成され、一端部に基板収納空間２７に連通する容器本体開口部２１が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に配置され、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部を支持可能な蓋体側基板支持部としてのフロントリテーナと、基板収納空間２７内においてフロントリテーナと対をなすように配置され、複数の基板Ｗの縁部を支持可能であり、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときにフロントリテーナと協働して、複数の基板Ｗを支持する奥側基板支持部と、を備えている。

奥側基板支持部の壁部基板支持部６０Ｂは、基板Ｗの周縁部の一部が挿入される側方凹部６３０Ｂであって、側方凹部６３０Ｂに基板Ｗの周縁部の一部が挿入されることにより奥側基板支持部の壁部基板支持部６０Ｂによって基板Ｗの縁部が支持される側方凹部６３０Ｂを有している。側方凹部６３０Ｂは、側方凹部６３０Ｂに挿入されて撓んでいない非撓み状態の基板Ｗの表面Ｗ１１に沿って延びる上壁面６０１Ｂと、上壁面７３１に対向し、非撓み状態の基板Ｗの裏面Ｗ２１に沿って延びる下壁面６０３Ｂと、非撓み状態の基板Ｗの側面Ｗ３１に沿って延びて上壁面６０１Ｂ及び下壁面６０３Ｂに接続された側壁面６０２Ｂと、により囲まれて形成されている。

この構成により、第１実施形態による基板収納容器１と同様に、基板Ｗの撓みを抑制した状態で、基板Ｗを基板収納空間２７に収納することができる。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。例えば、第１実施形態では、下壁面７３３は、離間傾斜面７３４に接続されていたが、この構成に限定されない。例えば、基板収納容器は、離間傾斜面７３４を有していなくてもよい。また、基板収納容器は、奥側基板支持部６を有していなくてもよい。

また、容器本体及び蓋体の形状や、容器本体に収納可能な基板の枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
６ 奥側基板支持部
７ フロントリテーナ（蓋体側基板支持部）
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
６３０Ｂ、７３０ 側方凹部
６０１Ｂ、７３１ 上壁面
６０２Ｂ、７３２、７３２Ａ 側壁面
６０３Ｂ、７３３、７３３Ａ 下壁面
６０４Ｂ、７３４ 離間傾斜面
７４１Ａ、７４２Ａ、７４３Ａ 段階側壁面
７５１Ａ、７５２Ａ、７５３Ａ 段階下壁面
Ｃ 中心
Ｗ、Ｗ１００、Ｗ２００ 基板
Ｗ１１ 表面
Ｗ２１ 裏面
Ｗ３１ 側面

Claims (6)

1. 複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、
   前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
   前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、を備え、
   前記蓋体側基板支持部は、前記基板の周縁部の一部が挿入される側方凹部であって、側方凹部に前記基板の周縁部の一部が挿入されることにより前記蓋体側基板支持部によって前記基板の縁部が支持される側方凹部を有し、
   前記側方凹部は、前記側方凹部に挿入されて撓んでいない非撓み状態の前記基板の表面に沿って延びる上壁面と、前記上壁面に対向し、前記非撓み状態の前記基板の裏面に沿って延びる下壁面と、前記非撓み状態の前記基板の側面に沿って延びて前記上壁面及び前記下壁面に接続された側壁面と、により囲まれて形成されている基板収納容器。
2. 前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすよう複数配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持する複数の奥側基板支持部を備える請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記蓋体側基板支持部は、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記非撓み状態の前記基板の表面に沿った方向における前記容器本体開口部の中央部分に位置し、
   前記複数の奥側基板支持部は、前記容器本体の一端部に対する他端部寄りの前記基板収納空間の位置において、前記非撓み状態の前記基板の表面に沿った方向において互いに離間する位置関係を有し、
   前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記蓋体側基板支持部が前記基板を支持する位置と、前記複数の奥側基板支持部が前記基板を支持する位置とで、３角形状が形成される請求項２に記載の基板収納容器。
4. 複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された容器本体と、
   前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
   前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
   前記基板収納空間内において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記蓋体側基板支持部と協働して、前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、
   前記奥側基板支持部は、前記基板の周縁部の一部が挿入される側方凹部であって、側方凹部に前記基板の周縁部の一部が挿入されることにより前記奥側基板支持部によって前記基板の縁部が支持される側方凹部を有し、
   前記側方凹部は、前記側方凹部に挿入されて撓んでいない非撓み状態の前記基板の表面に沿って延びる上壁面と、前記上壁面に対向し、前記非撓み状態の前記基板の裏面に沿って延びる下壁面と、前記非撓み状態の前記基板の側面に沿って延びて前記上壁面及び前記下壁面に接続された側壁面と、により囲まれて形成されている基板収納容器。
5. 前記下壁面の端部には、前記側壁面から離間するにつれて、前記非撓み状態の前記基板の裏面から離間するように延びる離間傾斜面が接続されている請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。
6. 前記下壁面は、非撓み状態の前記基板の裏面に沿って前記側壁面に近づくにつれて段階的に前記上壁面に近づく位置関係を有する複数の段階下壁面を有し、
   前記側壁面は、非撓み状態の前記基板の側面に沿って前記上壁面に近づくにつれて非撓み状態の前記基板の中心から段階的に離間する位置関係を有する複数の段階側壁面を有し、
   各前記段階側壁面は、隣接する２つの前記段階下壁面にそれぞれ接続され、前記段階下壁面と前記段階側壁面とは、階段状部を構成する請求項１〜請求項５のいずれかに記載の基板収納容器。
   

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