JP2017147365A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】弾性変形したリテーナが基板を容器本体側へ押圧する力を低減でき、且つ、弾性変形したリテーナが各基板を容器本体側へ押圧する力の均一化を図ることができる基板収納容器を提供すること。【解決手段】基板収納容器においては、一のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０と、他のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０とは、一のリテーナ基板受け部７２０と、他のリテーナ基板受け部７３０とを結ぶ方向において、非対称の支持態様によりリテーナ基板受け部７２０、７３０を支持する。【選択図】図４

Description

本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。

半導体ウェーハからなる基板を収納して、ウェーハメーカーからデバイスメーカーへウェーハの搬送（出荷）を行うための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。

容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。

蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、リテーナが設けられている。リテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の前側の周縁部を支持可能である。また、リテーナと対をなすようにして、基板を支持するための基板支持板状部が容器本体に配置されている。リテーナは、弾性変形可能であり、基板収納空間内に基板が収納され、蓋体が閉じられることにより、リテーナは、弾性変形して基板を容器本体側へ押圧する（特許文献１、特許文献２参照）。

特許第４２３３３９２号公報 特許第３２９２８００号公報

基板としては、厚みの薄い薄型ウェーハやガラスウェーハが用いられ、基板収納容器に収納されることがある。このような場合には、蓋体が閉じられたときに、弾性変形したリテーナが基板を強く容器本体側へ押圧することにより、基板が破損することが考えられる。

本発明は、弾性変形したリテーナが基板を容器本体側へ押圧する力を低減でき、且つ、弾性変形したリテーナが各基板を容器本体側へ押圧する力の均一化を図ることができる基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部を有する容器本体と、前記容器本体に配置され、前記複数の基板の外縁部を位置決め保持する一対の基板支持板状部を有する容器側基板支持体と、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の部分であって、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対応する側に、前記基板支持板状部と対をなすように配置され、前記複数の基板の端部を支持可能なリテーナと、を備え、前記リテーナは、それぞれ前記複数の基板の端部に当接して前記複数の基板の端部を支持する少なくとも２つのリテーナ基板受け部と、前記リテーナ基板受け部にそれぞれ少なくとも２つずつ設けられ、前記リテーナ基板受け部をそれぞれ支持するリテーナ支持部と、を有し、一の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部と、他の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部とは、一の前記リテーナ基板受け部と、他の前記リテーナ基板受け部とを結ぶ方向において、非対称の支持態様により前記リテーナ基板受け部を支持する基板収納容器であることを特徴とする。

また、一の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部と、他の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部とは、一の前記リテーナ基板受け部と、他の前記リテーナ基板受け部と、を結ぶ方向において、非対称の位置関係を有することが好ましい。

また、一の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部の個数と、他の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部の個数とは異なることが好ましい。また、一の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部と、他の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部とは、太さの異なる柱状部材により構成されていることが好ましい。

また、前記リテーナ基板受け部は、前記複数の基板の端部に１つずつ当接して前記複数の基板の端部を支持する複数の基板当接部を有し、前記リテーナ支持部は、隣り合う前記基板当接部の中間の位置に配置されていることが好ましい。

本発明によれば、弾性変形したリテーナが基板を容器本体側へ押圧する力を低減でき、且つ、弾性変形したリテーナが各基板を容器本体側へ押圧する力の均一化を図ることができる基板収納容器を提供することができる。

本発明の第１実施形態による基板収納容器１を示す分解斜視図である。 本発明の第１実施形態による基板収納容器のリテーナ７を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態による基板収納容器１を示す断面図である。 本発明の第１実施形態による基板収納容器のリテーナ７を示す背面図である。 本発明の第１実施形態による基板収納容器の効果を示すグラフである。 本発明の第２実施形態による基板収納容器のリテーナ７Ａを示す背面図である。 本発明の第３実施形態による基板収納容器のリテーナ７Ｂを示す背面図である。 本発明の第４実施形態による基板収納容器のリテーナ７Ｃを示す背面図である。

以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態による基板収納容器１を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態による基板収納容器のリテーナ７を示す斜視図である。図３は、本発明の第１実施形態による基板収納容器１を示す断面図である。図４は、本発明の第１実施形態による基板収納容器のリテーナ７を示す背面図である。

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における下から上へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを併せて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の第２横壁２４から第１横壁２３へと向かう方向（図１における左下から右上へ向う方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを併せて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述の第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを併せて左右方向Ｄ３と定義する。

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ等であり、産業に用いられる非常に薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径１５０ｍｍのシリコンウェーハである。

図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハ等からなる基板Ｗを収納して、ウェーハメーカーからデバイスメーカーへのウェーハの搬送（出荷）の際に、陸運手段、空運手段、海運手段等の輸送手段により基板Ｗを輸送するための出荷容器として用いられるものであり、容器本体２と、蓋体３とを備えており、容器本体２は容器側基板支持体５を、蓋体３はリテーナ７を備えている。

容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、支持体基板支持板状部５５０、５６０を有する容器側基板支持体５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

支持体基板支持板状部５５０、５６０は、基板収納空間２７内で左右方向Ｄ３において対をなすように壁部２０に配置されている。支持体基板支持板状部５５０、５６０は、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。支持体基板支持板状部５５０、５６０の奥側（後方向Ｄ１２の側）には、支持体基板後部当接壁５５３、５６３が設けられている。支持体基板後部当接壁５５３、５６３には、基板Ｗが基板収納空間２７に収容されているときに、基板Ｗの後部の縁部が当接する。

基板Ｗは、基板Ｗの表面及び裏面が前後方向Ｄ１及び左右方向Ｄ３に平行な位置関係で、基板収納空間２７内に支持される。
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。リテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。リテーナ７は、基板収納空間２７の内部において支持体基板支持板状部５５０、５６０や支持体基板後部当接壁５５３、５６３と対をなすように配置されている。

リテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。リテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、容器側基板支持体５の支持体基板後部当接壁５５３、５６３と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。

基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチルテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。以下、本実施形態における主要な構成について、詳細に説明する。

以下、各部について、詳細に説明する。
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と第１横壁２３と第２横壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、第１横壁２３、第２横壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、第１横壁２３と第２横壁２４とは対向している。第１横壁２３の後端、第２横壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。第１横壁２３の前端、第２横壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、第１横壁２３の内面、第２横壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

図１に示すように、第１側壁２５、第２側壁２６の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、凹部２５１、２６１（図１、図３参照）がそれぞれ形成されており、凹部２５１、２６１には、基板収納空間２７の外方へ向かって突出する係合凸部２５３、２６３が、それぞれ一対設けられている。一対の係合凸部２５３、２６３は、開口周縁部２８の周方向へ所定の間隔で配置されている。

容器側基板支持体５は、支持体第１横壁５２３と、支持体第２横壁５２４と、支持体第１側壁５２５と、支持体第２側壁５２６とを有しており、これらは、プラスチック材等により構成され、本実施形態では、ＰＢＴ樹脂により一体成形されて構成されている。

支持体第１側壁５２５と支持体第２側壁５２６とは対向しており、支持体第１横壁５２３と支持体第２横壁５２４とは対向している。上方向Ｄ２１における、支持体第１側壁５２５の端部及び支持体第２側壁５２６の端部は、支持体第１横壁５２３に接続されており、下方向Ｄ２２における、支持体第１側壁５２５の端部及び支持体第２側壁５２６の端部は、支持体第２横壁５２４に接続されている。

前方向Ｄ１１における、支持体第１横壁５２３の端部、支持体第１側壁５２５の端部、及び支持体第２側壁５２６の端部は、容器側基板支持体５の前端に支持体開口部５２１（図３参照）を形成する支持体開口周縁部５２８を構成する。前方向Ｄ１１における支持体第１側壁５２５の端部は、左方へ延びる左開口フランジ部５５１を有している。また、前方向Ｄ１１における支持体第２側壁５２６の端部は、右方へ延びる右開口フランジ部５６１を有している。基板収納空間２７は、支持体第１側壁５２５と支持体第２側壁５２６との間に形成されている。

また、支持体第１側壁５２５、及び支持体第２側壁５２６は、後方向Ｄ１２に向って左右方向Ｄ３における幅が小さくなる支持体基板後部当接壁５５３、５６３を有している。支持体基板後部当接壁５５３、５６３には、基板収納空間２７内に収容された基板Ｗの後部の縁部が当接することにより、基板Ｗが後方への移動を規制する。また、支持体第１側壁５２５、支持体第２側壁５２６は、それぞれ、支持体基板後部当接壁５５３、支持体基板後部当接壁５６３から後方向Ｄ１２へ延びる延出壁５５５、５６５を有している。延出壁５５５、５６５は、平行の位置関係を有して延びている。延出壁５５５の後端と延出壁５６５の後端は、奥壁２２向って開口する奥側開口部５２２（図３参照）を形成する。

支持体基板支持板状部５５０、５６０は、支持体第１側壁５２５及び支持体第２側壁５２６にそれぞれ設けられて、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７に配置されている。
具体的には、図１、図３に示すように、支持体基板支持板状部５５０は、支持体第１側壁５２５の内面において２４枚設けられている。図３に示すように、支持体基板支持板状部５５０は、支持体第１側壁５２５と一体成形されており、支持体第１側壁５２５の前端から支持体基板後部当接壁５５３に至るまで延びるとともに、基板収納空間２７の内方へ平行に延出している。支持体基板支持板状部５５０間に形成された溝５５６には、基板Ｗの縁部をそれぞれ１枚ずつ挿入可能である。

支持体基板支持板状部５６０は、支持体第２側壁５２６の内面において２４枚設けられている。図３に示すように、支持体基板支持板状部５６０は、支持体第２側壁５２６と一体成形されており、支持体第２側壁５２６の前端から支持体基板後部当接壁５６３に至るまで延びるとともに、基板収納空間２７の内方へ平行に延出している。支持体基板支持板状部５６０間に形成された溝５６６には、基板Ｗの縁部をそれぞれ１枚ずつ挿入可能である。支持体基板支持板状部５５０、５６０は、基板の外縁部を位置決め保持する。

支持体第１側壁５２５の支持体基板支持板状部５５０の間に形成された溝５５６の開口部と、支持体第２側壁５２６の支持体基板支持板状部５６０の間に形成された溝５６６の開口部とは対向している。この構成により、支持体第１側壁５２５の支持体基板支持板状部５５０の間に形成された溝５５６と、支持体第２側壁５２６の支持体基板支持板状部５６０の間に形成された溝５６６とに、基板Ｗの縁部が挿入されることにより、基板Ｗの縁部が側方基板支持部としての支持体基板支持板状部５５０、５６０に支持される。

蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状の開口を有する略直方体形状を有している。蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。開口周縁部２８の縁部２８１に対向する蓋体３の面には、蓋体３の周囲を一周するように形成された環状溝（図示せず）が形成されており、環状溝を形成する蓋体３の部分は、シール部材取付部３０３を構成する。シール部材取付部３０３には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されることが好ましく、本実施形態では、シール部材４は、フッ素ゴム製である。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、開口周縁部２８の縁部２８１に当接可能であり、開口周縁部２８の縁部２８１に密着して当接し、縁部２８１と蓋体３のシール部材取付部とにより挟まれて弾性変形する。蓋体３は、シール部材４と共に、容器本体開口部２１を密閉した状態（気密状態）で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

蓋体３は、蓋体被係合部３０１を有している。蓋体被係合部３０１は、蓋体３の左右両端縁におけるシール部材取付部３０３の部分から容器本体２の方向へ延びており、図１に示すように、略Ｈ形状を有している。蓋体被係合部には、蓋体３から容器本体２へ向う方向へ延びる貫通孔３０２が形成されている。蓋体３が開口周縁部２８に装着され容器本体開口部２１を閉塞しているときには、貫通孔３０２には、開口周縁部２８の近傍の部分に設けられた係合凸部２６３が係合する。この係合により、蓋体３は、容器本体２に固定される。

蓋体３の中央部には、リテーナ７が固定されて設けられている。図２、図４等に示すように、リテーナ７は、リテーナ枠部７１０と、リテーナ基板受け部７２０、７３０と、リテーナ支持部７４０、７５０と、を有しており、これらは、例えば、ＰＢＴ樹脂等により構成される同一の樹脂材料により一体成形されて接続されている。従って、リテーナ７の各部に、強い力が作用することにより、当該リテーナ７の各部は弾性変形する。

リテーナ枠部７１０は、図４等に示すように、外形が長方形状を有しており、リテーナ枠部７１０には、リテーナ枠部７１０の長手方向における一端部近傍から他端部近傍へ至るまで延びる貫通孔７１１が、一対形成されている。一対の貫通孔７１１のリテーナ枠部７１０の長手方向に対する幅方向におけるそれぞれの端部には、突出壁部７１３が設けられている。突出壁部７１３は、貫通孔７１１の幅方向における貫通孔７１１の端部に沿って、リテーナ枠部７１０の長手方向における貫通孔７１１の一端部から他端部に至るまで延びており、基板収納空間２７の内方へ向って突出している。

また、リテーナ枠部７１０は、一対の貫通孔７１１の間には、中央部７１５を有しており、中央部７１５には、長方形状を有する貫通孔７１６が等間隔で３つ形成されている。リテーナ枠部７１０の長手方向おける一端部及び他端部近傍の中央部７１５の部分には、リテーナ枠部７１０の長手方向に直交する方向へ延びる長孔により構成された固定用貫通孔７１７が、それぞれ形成されている。固定用貫通孔７１７には、蓋体３の内面に設けられた固定凸部（図示せず）が係合可能であり、この係合により、リテーナ枠部７１０は、蓋体３に固定される。

リテーナ基板受け部７２０、７３０は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２列配置されている。より具体的には、リテーナ基板受け部７２０、７３０は、リテーナ枠部７１０の中央部７１５の近傍において、中央部７１５に沿って中央部７１５に平行に配置されている。リテーナ基板受け部７２０は、図４に示すように、長方形状を有しており、上下方向Ｄ２に２５対で対向して傾斜した基板当接上面７２２と基板当接下面７２３とを有する基板当接部７２１を有している。同様にリテーナ基板受け部７３０は、長方形状を有しており、上下方向Ｄ２に２５対で対向して傾斜した基板当接上面７３２と基板当接下面７３３とを有する基板当接部７３１を有している。

それぞれ対をなしている基板当接上面７２２と基板当接下面７２３との間、基板当接上面７３２と基板当接下面７３３との間に、１枚の基板Ｗの端部が挟まるように配置されて、基板Ｗの端部が基板当接上面７２２と基板当接下面７２３とに当接し、また、基板Ｗの端部が基板当接上面７３２と基板当接下面７３３とに当接し、基板Ｗは、リテーナ基板受け部７２０、７３０に支持される。
なお、図４におけるリテーナ基板受け部７２０、７３０の上端には基板当接下面７２３、７３３と同様の面が存在し、図４におけるリテーナ基板受け部７２０、７３０の下端には基板当接上面７２２、７３２と同様の面が存在するが、これらは、対をなしておらず、基板当接部７２１、７３１を構成せず、基板Ｗには当接しない。従って、後述の説明においては、これらを基板当接上面７２２、７３２、基板当接下面７２３、７３３として数えないこととする。

リテーナ支持部７４０、７５０は、１つのリテーナ基板受け部７２０、７３０にそれぞれ３つずつ設けられており、リテーナ支持部７４０、７５０をそれぞれ支持する。具体的には、リテーナ支持部７４０、７５０は、図３に示すように、リテーナ枠部７１０の突出壁部７１３の突出端縁（後方向Ｄ１２の端縁）からリテーナ基板受け部７２０、７３０へ、図４に示すように、リテーナ枠部７１０の長手方向に対する幅方向へ直線状に延びている。リテーナ支持部７４０、７５０の一端部は、突出壁部７１３の突出端縁に一体成形されて接続されており、リテーナ支持部７４０、７５０の他端部は、リテーナ基板受け部７２０、７３０にそれぞれ一体成形されて接続されている。蓋体３により容器本体開口部２１を閉塞して、リテーナ基板受け部７２０、７３０が基板Ｗの端部に当接して基板Ｗを支持する際には、リテーナ支持部７４０、７５０は、蓋体３が容器本体２に接近することにより、基板Ｗからリテーナ基板受け部７２０、７３０が蓋体３に近づく方向へ押圧されて変位するように弾性変形する。これにより、基板Ｗは、リテーナ基板受け部７２０、７３０から容器本体２へ向かって押圧される力を受ける。

一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０と、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０とは、一方のリテーナ基板受け部７２０と、他方のリテーナ基板受け部７３０とを結ぶ方向であるリテーナ枠部７１０の長手方向に対する幅方向（図４における左右方向）において、非対称の支持態様によりリテーナ基板受け部７２０を支持する。

具体的には、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０と、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０とは、一方のリテーナ基板受け部７２０と、他方のリテーナ基板受け部７３０と、を結ぶ方向（左右方向Ｄ３）において、非対称の位置関係を有する。即ち、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０は、一方のリテーナ基板受け部７２０における下から３枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１の位置、換言すれば、一方のリテーナ基板受け部７２０における下から３番目の基板当接上面７２２と、下から３番目の基板当接下面７２３との中間の位置に配置されて、リテーナ基板受け部７２０に接続されている。

また、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０は、一方のリテーナ基板受け部７２０における下から１５枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１の位置に配置されて、リテーナ基板受け部７２０に接続されている。また、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０は、一方のリテーナ基板受け部７２０における下から２５枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１の位置に配置されて、リテーナ基板受け部７２０に接続されている。

これに対して、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０は、他方のリテーナ基板受け部７３０における下から１枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７３１の位置、換言すれば、他方のリテーナ基板受け部７３０における下から１番目の基板当接上面７３２と、下から１番目の基板当接下面７３３との中間の位置に配置されて、リテーナ基板受け部７３０に接続されている。

また、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０は、他方のリテーナ基板受け部７３０における下から１１枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７３１の位置に配置されて、リテーナ基板受け部７３０に接続されている。また、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０は、他方のリテーナ基板受け部７３０における下から２３枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７３１の位置に配置されて、リテーナ基板受け部７３０に接続されている。

このように、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０と、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０とは、一方のリテーナ基板受け部７２０と他方のリテーナ基板受け部７３０とを結ぶ方向における、一方のリテーナ基板受け部７２０と他方のリテーナ基板受け部７３０との中央位置を中心として非対称の位置関係を有する。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、リテーナ基板受け部７２０、７３０は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。

次に、上述のような本実施形態による基板収納容器１の効果を試す試験を行った。試験では、本実施形態による基板収納容器１を本発明品とした。また、リテーナ基板受け部７２０、７３０を支持するリテーナ支持部７４０、７５０の支持態様が、本実施形態による基板収納容器１とは異なるものを比較品とした。

比較品においては、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０と、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０とは、一方のリテーナ基板受け部７２０と、他方のリテーナ基板受け部７３０と、を結ぶ方向において、対称の位置関係を有している。具体的には、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０と、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０とは、それぞれのリテーナ基板受け部７２０、７３０における下から２枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１、７３１の位置、下から１３枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１、７３１の位置、下から２４枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１、７３１の位置、に配置されて、リテーナ基板受け部７２０、７３０に接続されている。

そして、本発明品、比較品に、それぞれ２５枚の基板Ｗを収納して、蓋体３で容器本体開口部２１を閉塞した。そして、容器本体２の奥壁２２を切除し、奥側開口部５２２から基板収納空間２７の内方へ向って、基板収納空間２７に収納されている基板Ｗをプッシュプルゲージで押圧して、基板Ｗが容器側基板支持体５の支持体基板後部当接壁５５３、５６３から持ち上げられたときの、力を測定した。試験結果は、図５のグラフに示すとおりである。図５は、本発明の第１実施形態による基板収納容器の効果を示すグラフである。

本発明品においては、図５に示すように、下から１枚目〜２５枚目のいずれの基板Ｗについても、リテーナ基板受け部７２０、７３０によって蓋体３から容器本体２へ向って基板Ｗを押圧する力が小さく、また、押圧する力の偏りが少なく比較的均一であることが分かる。より具体的には、リテーナ基板受け部７２０、７３０によって蓋体３から容器本体２へ向って基板Ｗが押圧される当該力の最大値は０．３８ｋｇｆであり、最小値は０．１６ｋｇｆであり、１枚目〜２５枚目のそれぞれについての力の和は、１．０２ｋｇｆである。

これに対して比較品では、リテーナ支持部によって支持されているリテーナ基板受け部７２０、７３０の基板当接部７２１、７３１、及び、その近傍に支持されている基板Ｗについては、リテーナ基板受け部７２０、７３０によって蓋体３から容器本体２へ向って基板Ｗが押圧される力が大きいことが分かる。より具体的には、下から３枚目、１１〜１８枚目、及び、２３、２４枚目等については、当該力は、本発明品の場合よりも大きいことが分かる。また、リテーナ基板受け部７２０、７３０によって蓋体３から容器本体２へ向って基板Ｗが押圧される力の最大値は０．５３ｋｇｆであり、また、最小値は０．１９ｋｇｆであり、いずれも本発明品の場合よりも大きい。また、１枚目〜２５枚目の基板Ｗのそれぞれについての力の和は、１．７１ｋｇｆであり、本発明品の場合よりも大きい。

以上より、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０と、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０とが、一方のリテーナ基板受け部７２０と、他方のリテーナ基板受け部７３０と、を結ぶ方向において、非対称の位置関係を有することにより、１枚目〜２５枚目の基板Ｗをリテーナ基板受け部７２０、７３０が押圧する力の均一化を図ることができ、リテーナ基板受け部７２０、７３０が１枚目〜２５枚目の基板Ｗの全体に対して押圧する力を低減させることができることが分かる。

上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
上述のように基板収納容器１は、複数の基板Ｗを収納可能な基板収納空間２７が内部に形成され、一端部に基板収納空間２７に連通する容器本体開口部２１を有する容器本体２と、容器本体２に配置され、複数の基板Ｗの外縁部を位置決め保持する一対の支持体基板支持板状部５５０、５６０を有する容器側基板支持体５と、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、蓋体３の部分であって、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対応する側に、支持体基板支持板状部５５０、５６０と対をなすように配置され、複数の基板Ｗの端部を支持可能なリテーナ７と、を備えている。
リテーナ７は、それぞれ複数の基板Ｗの端部に当接して複数の基板Ｗの端部を支持する２つのリテーナ基板受け部７２０、７３０と、リテーナ基板受け部７２０、７３０にそれぞれ設けられ、リテーナ基板受け部７２０、７３０をそれぞれ支持するリテーナ支持部７４０、７５０と、を有する。
一のリテーナ基板受け部としての一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０と、他のリテーナ基板受け部としての他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０とは、一方のリテーナ基板受け部７２０と、他方のリテーナ基板受け部７３０とを結ぶ方向において、非対称の支持態様によりリテーナ基板受け部７２０、７３０を支持する。

より具体的には、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０と、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０とは、一方のリテーナ基板受け部７２０と、他方のリテーナ基板受け部７３０と、を結ぶ方向において、非対称の位置関係を有する。

この構成により、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０の位置と、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０の位置とが異なることにより、リテーナ基板受け部７２０、７３０に支持されている複数の基板Ｗのうちの所定の１枚の基板Ｗに、リテーナ支持部７４０、７５０の弾性変形による弾性力が集中することが抑えられ、弾性変形したリテーナ７のリテーナ支持部７４０、７５０の弾性力により、基板Ｗが強くリテーナ基板受け部７２０、７３０によって容器本体２側へ押圧する力を低減できる。このため、弾性変形したリテーナ７のリテーナ支持部７４０、７５０の弾性力により、各基板Ｗを容器本体２側へ押圧する力の均一化を図ることができる。この結果、基板収納容器１に収納されている基板Ｗ全体としても、リテーナ基板受け部７２０、７３０によって容器本体２側へ押圧される力の低減を図ることができる。これにより、基板Ｗとして、厚みの薄い薄型ウェーハやガラスウェーハが用いられ、基板収納容器１に収納された場合であっても、基板Ｗの破損を抑えることができる。

次に、本発明の第２実施形態による基板収納容器について図６を参照しながら説明する。図６は、本発明の第２実施形態による基板収納容器のリテーナ７Ａを示す背面図である。

第２実施形態による基板収納容器においては、リテーナ支持部７４０Ａ、７５０Ａの構成が、第１実施形態による基板収納容器１におけるリテーナ支持部７４０、７５０の構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０Ａの個数は、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０Ａの個数とは異なる。具体的には、図６に示すように、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０Ａの個数は、３であるの対して、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０Ａの個数は、４である。

また、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０Ａは、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０Ａとは異なる位置に配置されている。
具体的には、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０Ａは、一方のリテーナ基板受け部７２０における下から４枚目、１３枚目、２２枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１（図４等参照）の位置に配置されて、リテーナ基板受け部７２０に接続されている。これに対して、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０Ａは、他方のリテーナ基板受け部７３０における下から２枚目、９枚目、１６枚目、２４枚目、の基板Ｗを支持する基板当接部７３１（図４等参照）の位置に配置されて、リテーナ基板受け部７３０に接続されている。

この構成により、リテーナ基板受け部７２０、７３０に対するリテーナ支持部７４０Ａ、７５０Ａの位置が異なり、且つ、リテーナ支持部７４０Ａの個数と、リテーナ支持部７５０Ａの個数とが異なるため、リテーナ基板受け部７２０、７３０に支持されている複数の基板Ｗのうちの所定の１枚の基板Ｗに、リテーナ支持部７４０Ａ、７５０Ａの弾性変形による弾性力が集中することをより効果的に抑えることができる。

次に、本発明の第３実施形態による基板収納容器について図７を参照しながら説明する。図７は、本発明の第３実施形態による基板収納容器のリテーナ７Ｂを示す背面図である。

第３実施形態による基板収納容器においては、リテーナ支持部７４０Ｂ、７５０Ｂの構成が、第２実施形態による基板収納容器におけるリテーナ支持部７４０Ａ、７５０Ａの構成とは異なる。これ以外の構成については、第２実施形態による基板収納容器の構成と同様であるため、第２実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０Ｂと、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０Ｂとは、太さの異なる柱状部材により構成されている。具体的には、図７に示すように、一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部７４０Ｂは、第２実施形態によるリテーナ支持部７４０Ａよりも太い柱状部材により構成されている。これに対して、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部７５０Ｂは、いずれも第２実施形態によるリテーナ支持部７５０Ａと同一の太さを有している。

この構成により、リテーナ基板受け部７２０、７３０に対するリテーナ支持部７４０Ｂ、７５０Ｂの位置が異なり、リテーナ支持部７４０Ｂの個数と、リテーナ支持部７５０Ｂの個数とが異なる一方で、リテーナ支持部７４０Ｂ、７５０Ｂの太さが異なり、個数の少ないリテーナ支持部７４０Ｂが太く構成されているため、リテーナ基板受け部７２０、７３０に対する支持のバランスを良くすることができ、各基板Ｗを容器本体２側へ押圧する力の均一化を図ることができる。

次に、本発明の第４実施形態による基板収納容器について図８を参照しながら説明する。図８は、本発明の第４実施形態による基板収納容器のリテーナ７Ｃを示す背面図である。

第４実施形態による基板収納容器においては、リテーナ支持部７４０Ｃ、７５０Ｃの構成が、第１実施形態による基板収納容器１におけるリテーナ支持部７４０、７５０の構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。

リテーナ支持部７４０Ｃ、７５０Ｃは、隣り合う基板当接部７２１、７３１の中間の位置に配置されている。具体的には、リテーナ支持部７４０Ｃは、一方のリテーナ基板受け部７２０における下から３枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１の位置と、４枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１の位置と、の中間の位置、換言すれば、一方のリテーナ基板受け部７２０における下から３番目の基板当接上面７２２と、下から４番目の基板当接下面７２３との中間の位置に配置されて、リテーナ基板受け部７２０に接続されている。

また、リテーナ支持部７４０Ｃは、一方のリテーナ基板受け部７２０における下から１３枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１の位置と、１４枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１の位置と、の中間の位置に接続されている。また、リテーナ支持部７４０Ｃは、一方のリテーナ基板受け部７２０における下から２４枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１の位置と、２５枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７２１の位置と、の中間の位置に接続されている。

同様に、リテーナ支持部７５０Ｃは、他方のリテーナ基板受け部７３０における下から１枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７３１の位置と、２枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７３１の位置と、の中間の位置に接続されている。また、リテーナ支持部７５０Ｃは、他方のリテーナ基板受け部７３０における下から１０枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７３１の位置と、１１枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７３１の位置と、の中間の位置に接続されている。また、リテーナ支持部７５０Ｃは、他方のリテーナ基板受け部７３０における下から２２枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７３１の位置と、２３枚目の基板Ｗを支持する基板当接部７３１の位置と、の中間の位置に接続されている。

この構成により、リテーナ基板受け部７２０、７３０から受ける弾性力が、一の基板当接部７２１と他の基板当接部７３１とにそれぞれ支持されている基板Ｗに作用するため、リテーナ基板受け部７２０、７３０に支持されている複数の基板Ｗのうちの所定の１枚の基板Ｗに、リテーナ支持部７４０Ｃ、７５０Ｃの弾性変形による弾性力が集中することが抑えられる。このため前述の実施形態において得られる効果と相まって、弾性変形したリテーナ７のリテーナ支持部７４０Ｃ、７５０Ｃの弾性力により各基板Ｗを容器本体２側へ押圧する力の均一化を図ることができる。この結果、基板Ｗとして、厚みの薄い薄型ウェーハやガラスウェーハが用いられ、基板収納容器１に収納された場合であっても、基板Ｗの破損を抑えることができる。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、リテーナ支持部の構成は、上述した実施形態におけるリテーナ支持部７４０、７５０等の構成に限定されない。一方のリテーナ基板受け部７２０を支持するリテーナ支持部と、他方のリテーナ基板受け部７３０を支持するリテーナ支持部とは、一方のリテーナ基板受け部７２０と、他方のリテーナ基板受け部７３０とを結ぶ方向において、非対称の支持態様によりリテーナ基板受け部７２０、７３０を支持すればよい。
また、リテーナ支持部の個数は、本実施形態のリテーナ支持部７４０、７５０の個数に限定されない。リテーナ支持部は、リテーナ基板受け部７２０、７３０にそれぞれ少なくとも２つずつ設けられていればよい。

また、上述した実施形態では、リテーナ基板受け部７２０、７３０は２つ設けられていたが、２つに限定されない。例えば、リテーナ基板受け部は、５つ設けられていてもよい。この場合には、５つのリテーナ基板受け部のうちのいずれか２つを選択した場合に、これら２つのリテーナ基板受け部を支持するリテーナ支持部の支持態様が非対称であればよい。

また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚や寸法に限定されない。

１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
５ 容器側基板支持体
７、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ リテーナ
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
５５０、５６０ 支持体基板支持板状部（基板支持板状部）
７２０、７３０ リテーナ基板受け部
７２１、７３１ 基板当接部
７４０、７４０Ａ、７４０Ｂ、７４０Ｃ リテーナ支持部
７５０、７５０Ａ、７５０Ｂ、７５０Ｃ リテーナ支持部
Ｗ 基板

Claims (5)

1. 複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部を有する容器本体と、
   前記容器本体に配置され、前記複数の基板の外縁部を位置決め保持する一対の基板支持板状部を有する容器側基板支持体と、
   前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
   前記蓋体の部分であって、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対応する側に、前記基板支持板状部と対をなすように配置され、前記複数の基板の端部を支持可能なリテーナと、を備え、
   前記リテーナは、それぞれ前記複数の基板の端部に当接して前記複数の基板の端部を支持する少なくとも２つのリテーナ基板受け部と、前記リテーナ基板受け部にそれぞれ少なくとも２つずつ設けられ、前記リテーナ基板受け部をそれぞれ支持するリテーナ支持部と、を有し、
   一の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部と、他の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部とは、一の前記リテーナ基板受け部と、他の前記リテーナ基板受け部とを結ぶ方向において、非対称の支持態様により前記リテーナ基板受け部を支持する基板収納容器。
2. 一の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部と、他の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部とは、一の前記リテーナ基板受け部と、他の前記リテーナ基板受け部と、を結ぶ方向において、非対称の位置関係を有する請求項１に記載の基板収納容器。
3. 一の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部の個数と、他の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部の個数とは異なる、請求項１に記載の基板収納容器。
4. 一の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部と、他の前記リテーナ基板受け部を支持する前記リテーナ支持部とは、太さの異なる柱状部材により構成されている請求項１に記載の基板収納容器。
5. 前記リテーナ基板受け部は、前記複数の基板の端部に１つずつ当接して前記複数の基板の端部を支持する複数の基板当接部を有し、
   前記リテーナ支持部は、隣り合う前記基板当接部の中間の位置に配置されている請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。

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