JP6539355B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 138
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 56
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 32
- 229920001973 fluoroelastomer Polymers 0.000 claims description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 18
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 5
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 2
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012778 molding material Substances 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920001643 poly(ether ketone) Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L terephthalate(2-) Chemical compound [O-]C(=O)C1=CC=C(C([O-])=O)C=C1 KKEYFWRCBNTPAC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 1
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Description
本発明は、半導体ウェーハ等からなる基板を収納、保管、搬送、輸送等する際に使用される基板収納容器に関する。
半導体ウェーハからなる基板を収納して搬送するための基板収納容器としては、容器本体と蓋体とを備える構成のものが、従来より知られている。
容器本体の一端部は、容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する。容器本体の他端部は、閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。蓋体は、開口周縁部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、容器本体開口部を閉塞可能である。シール部材は、蓋体のシール部材取付部に取り付けられ、開口周縁部に当接可能であり、開口周縁部と蓋体との間に介在して開口周縁部に密着して当接することにより、蓋体と共に容器本体開口部を気密状態で閉塞する（例えば、特許文献１参照）。
蓋体の部分であって容器本体開口部を閉塞しているときに基板収納空間に対向する部分には、フロントリテーナが設けられている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。また、フロントリテーナと対をなすようにして、奥側基板支持部が壁部に設けられている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する。
基板収納容器においては、基板収納容器の容器本体に基板が収納され、容器本体の容器本体開口部が蓋体によって閉塞されているときに、シール部材におけるガス透過量が少ないことが好ましい。例えば、容器本体の外部から基板収納空間へ、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）が流入され、基板収納容器内が加圧されて、ガスパージが行われる。基板収納容器内におけるこのような加圧状態は、極力長い時間維持されることが好ましく、また、基板収納容器内における湿度の上昇が極力長い時間抑えられることが好ましい。このため、より長い時間、加圧状態を維持できることや、より長い時間、基板収納容器内における湿度の上昇を抑えることができることが要求されている。
本発明は、基板収納容器内において、より長い時間、加圧状態を維持でき、基板収納容器内における湿度の上昇を抑えることができる基板収納容器を提供することを目的とする。
本発明は、一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材と、を備え、前記シール部材は、前記シール部材取付部に固定される基部と、前記開口周縁部に当接する本体当接部を有する容器当接先端部と、前記基部と前記容器当接先端部とを連結し、前記基部に対して前記容器当接先端部を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部と、前記基部側変形部に接続されている前記容器当接先端部の部分に存在し、前記容器当接先端部の外面から突出する突起部と、を有し、前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部の厚さは、前記基部側変形部の厚さよりも厚く構成されている基板収納容器に関する。
また、前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部の厚さは、少なくとも前記基部側変形部の一部の厚さよりも厚く構成されていることが好ましい。また、前記容器当接先端部は、前記突起部から前記本体当接部へ向った所定の部分において、前記本体当接部が当接する前記開口周縁部の部分へ向って屈曲する屈曲部を有することが好ましい。また、前記シール部材は、フッ素ゴムにより構成されていることが好ましい。
本発明によれば、基板収納容器内において、より長い時間、加圧状態を維持でき、基板収納容器内における湿度の上昇を抑えることができる基板収納容器を提供することができる。
以下、第１実施形態による基板収納容器１について、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体開口部２１が閉塞される前のシール部材４と、蓋体３と、開口周縁部２８とを示す拡大断面図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体開口部２１が閉塞されたときのシール部材４と、蓋体３と、開口周縁部２８とを示す拡大断面図である。
図１は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１に基板Ｗが収納された様子を示す分解斜視図である。図２は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体開口部２１が閉塞される前のシール部材４と、蓋体３と、開口周縁部２８とを示す拡大断面図である。図３は、本発明の第１実施形態に係る基板収納容器１の容器本体開口部２１が閉塞されたときのシール部材４と、蓋体３と、開口周縁部２８とを示す拡大断面図である。
ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらをあわせて前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらをあわせて上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらをあわせて左右方向Ｄ３と定義する。図面には、これらの方向を示す矢印を図示している。
また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図１参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径３００ｍｍのシリコンウェーハである。
図１に示すように、基板収納容器１は、上述のようなシリコンウェーハからなる基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器として用いられるものであり、容器本体２と、蓋体３とから構成され、容器本体２は基板支持板状部５と奥側基板支持部（図示せず）とを、蓋体３はフロントリテーナ（図示せず）を備えている。
容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図１に示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。
基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部（図示せず）が設けられている。
奥側基板支持部（図示せず）は、基板収納空間２７内において後述するフロントリテーナ（図示せず）と対をなすように壁部２０に設けられている。奥側基板支持部（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。
蓋体３は、容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８（図１等）に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ（図示せず）は、基板収納空間２７の内部において奥側基板支持部（図示せず）と対をなすように配置されている。
フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部に当接することにより複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ（図示せず）は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部（図示せず）と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。
基板収納容器１は、プラスチック材等の樹脂で構成されており、特に説明が無い場合には、その材料の樹脂としては、たとえば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチルテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂やこれらのアロイ等が上げられる。これらの成形材料の樹脂には、導電性を付与する場合には、カーボン繊維、カーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマー等の導電性物質が選択的に添加される。また、剛性を上げるためにガラス繊維や炭素繊維等を添加することも可能である。
以下、各部について、詳細に説明する。
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
図１に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、上述した材料により構成されており、一体成形されて構成されている。
第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。
開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。
図１に示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂ、４１Ａ、４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。
図１に示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３５が、上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３５は、容器本体２の剛性を高める。
また、上壁２３の中央部には、トップフランジ２３６が固定される。トップフランジ２３６は、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。
下壁２４の四隅には、通気路として、２種類の貫通孔である給気孔（図示せず）と排気孔４６が形成されている。本実施形態においては、下壁２４の前方向Ｄ１１の端部の２箇所、即ち、下壁２４における容器本体開口部２１寄りの部分の２箇所の貫通孔は、容器本体２内部の気体を排出するための排気孔４６であり、後方向Ｄ１２の端部の２箇所、即ち、下壁２４における奥壁２２寄りの部分の２箇所の貫通孔は、容器内部に気体を給気するための給気孔（図示せず）である。給気孔（図示せず）と排気孔４６との貫通孔には、それぞれ給気用フィルタ部（図示せず）と排気用フィルタ部８１とが配置されている。
給気用フィルタ部（図示せず）及び排気用フィルタ部８１の内部の気体の流路は、基板収納空間２７と容器本体２の外部の空間とを連通可能な通気路の一部を構成する。また、給気用フィルタ部（図示せず）と排気用フィルタ部８１とは、下壁２４を有する壁部２０に配置されており、給気用フィルタ部（図示せず）と排気用フィルタ部８１とにおいては、フィルタ（図示せず）を通して容器本体２の外部の空間と基板収納空間２７との間で気体が通過可能である。給気用フィルタ部（図示せず）は、容器本体２の外部の空間から基板収納空間２７へ、毎分２０Ｌ（リットル）以上の、窒素等の不活性ガスあるいは水分を除去（１％以下）したドライエア（以下、パージガスという）を通過可能である。同様に、排気用フィルタ部８１は、基板収納空間２７から容器本体２の外部の空間へ、エアやパージガスを通過可能である。
蓋体３は、図１等に示すように、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。蓋体３の内面３０１（図１に示す蓋体３の裏側の面。図２等参照）であって、蓋体３が容器本体開口部２１を閉塞しているときの開口周縁部２８のすぐ後方向Ｄ１２の位置に形成された段差の部分の面（シール面２８１）に対向する面には、蓋体３の内面３０１において蓋体３の周囲を一周するように形成された環状溝３０４（図２等参照）が形成されており、環状溝３０４を形成する蓋体３の部分は、シール部材取付部３０３を構成する。シール部材取付部３０３には、環状のシール部材４が取り付けられている。シール部材４は、弾性変形可能なポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等により構成されることが好ましく、本実施形態では、シール部材４は、フッ素ゴム製である。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。
蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、シール部材４は、開口周縁部２８に当接可能であり、開口周縁部２８に密着して当接し、シール面２８１と蓋体３の内面３０１とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、シール部材４と共に、容器本体開口部２１を密閉した状態（気密状態）で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。
シール部材４は、基部４１と、基部側変形部４２と、容器当接先端部４３と、突起部４４と、を有している。基部４１、基部側変形部４２、容器当接先端部４３、及び、突起部４４は、フッ素ゴムにより一体成形されて構成されている。基部４１は、図２に示すように、蓋体３の周方向に直交する断面では、略長方形状を有しており、後方向Ｄ１２における端部は、蓋体３の中心から周縁３０２へ向う方向（図２における左方向）に切り欠いた形状を有しており、左右方向Ｄ３における基部４１の厚さが薄く構成された薄肉部を有している。薄肉部よりも上側の基部４１の部分は、シール部材取付部３０３の環状溝３０４に嵌め込まれて固定されている。
基部側変形部４２は、図２に示すように、蓋体３の周方向に直交する断面では、蓋体３の内面３０１に沿って蓋体３の中心から周縁３０２へ向う方向へ、基部４１の下端部から延びている。基部側変形部４２の延出端部は、容器当接先端部４３に接続されている。即ち、基部側変形部４２は、基部４１と容器当接先端部４３とを連結し、弾性変形することにより、図２、図３に示すように、蓋体３の周方向に直交する断面において、突起部４４の先端部を支点として、基部４１に対して容器当接先端部４３を揺動可能である。
図２等に示すように、基部側変形部４２の延出方向に直交する方向且つ蓋体３の内面３０１に直交する方向、即ち、後述する容器当接先端部４３の揺動方向における、容器当接先端部４３の厚さａは、同方向おける基部側変形部４２の厚さｂよりも厚く構成されている。具体的には、同方向おける基部側変形部４２の厚さｂは、０．８ｍｍであるのに対して、同方向おける容器当接先端部４３の厚さａは、０．９５ｍｍである。基部側変形部４２のこの厚さｂは、基部４１に接続されている基部側変形部４２の基端部から容器当接先端部４３に接続されている先端側の端部に至るまで、一定である。また、容器当接先端部４３のこの厚さａは、基部側変形部４２に接続されている容器当接先端部４３の基端部から容器当接先端部４３の自由端部である先端部に至るまで、一定である。従って、容器当接先端部４３の揺動方向における、開口周縁部２８に当接する容器当接先端部４３の本体当接部４３１の厚さａは、同方向おける基部側変形部４２ｂの厚さよりも厚く構成されている。
容器当接先端部４３は、基部側変形部４２に接続され突起部４４が存在する基端部側から、蓋体３の内面３０１に沿って蓋体３の中心から周縁３０２へ向う方向へ所定位置まで延び、その位置において折れ曲がることにより屈曲し、開口周縁部２８の方向、より具体的には、蓋体３の中心から周縁３０２へ向う方向で且つ斜め後方向Ｄ１２へ向って直線状に延びている。当該屈曲する部分は、屈曲部４３２を構成し、容器当接先端部４３の延出端部は、図３に示すように、開口周縁部２８に当接する本体当接部４３１を構成する。
突起部４４は、基部側変形部４２に接続されている容器当接先端部４３の部分に存在する。突起部４４は、蓋体３の内面３０１に対向する容器当接先端部４３の外面から、蓋体３の内面３０１へ向って前方向Ｄ１１へ突出している。突起部４４の突出方向における容器当接先端部４３の外面からの突起部４４の高さは、０．６ｍｍである。突起部４４の突出方向に直交する方向における突起部４４の厚さは０．６ｍｍである。突起部４４の先端部は、半球形状を有しており、先端部の半径は、０．３ｍｍである。
蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図１に示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。
蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂ、下側ラッチ部（図示せず）を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出させない状態とすることができる。上側ラッチ部３２Ａ、３２Ｂが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４０Ａ、４０Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部（図示せず）が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部４１Ａ、４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。
蓋体３の内側（図１に表れている蓋体３の外面に対する反対側）においては、基板収納空間２７の外方へ窪んだ凹部（図示せず）が形成されている。凹部（図示せず）及び凹部の外側の蓋体３の部分には、フロントリテーナ（図示せず）が固定されて設けられている。
フロントリテーナ（図示せず）は、フロントリテーナ基板受け部（図示せず）を有している。フロントリテーナ基板受け部（図示せず）は、左右方向Ｄ３に所定の間隔で離間して対をなすようにして２つずつ配置されている。このように対をなすようにして２つずつ配置されたフロントリテーナ基板受け部は、上下方向Ｄ２に２５対並列した状態で設けられている。基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、フロントリテーナ基板受け部は、基板Ｗの縁部の端縁を挟持して支持する。
次に、蓋体３及びシール部材４による容器本体開口部２１の閉塞について説明する。
先ず、蓋体３の内面３０１を基板収納空間２７に対向させ、前後方向Ｄ１で見て蓋体３を容器本体開口部２１に一致する位置関係とさせる。そして、図２に示すように、蓋体３を後方向Ｄ１２へ移動させて容器本体開口部２１へ近づけてゆき、シール部材４の容器当接先端部４３の本体当接部４３１を開口周縁部２８に当接させる。
先ず、蓋体３の内面３０１を基板収納空間２７に対向させ、前後方向Ｄ１で見て蓋体３を容器本体開口部２１に一致する位置関係とさせる。そして、図２に示すように、蓋体３を後方向Ｄ１２へ移動させて容器本体開口部２１へ近づけてゆき、シール部材４の容器当接先端部４３の本体当接部４３１を開口周縁部２８に当接させる。
そして更に、蓋体３を後方向Ｄ１２へ移動させることにより、容器当接先端部４３の本体当接部４３１が開口周縁部２８に押しつけられる。このとき、前述のように容器当接先端部４３は、基部側変形部４２よりも厚く構成されているため、弾性変形しにくく、基部側変形部４２が弾性変形する。この弾性変形により容器当接先端部４３は、図２、図３に示すように、突起部４４を支点（中心）として略前後方向Ｄ１（揺動方向）に揺動する。この状態で、蓋体３によって容器本体開口部２１は閉塞される。
このように蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときには、基板収納空間２７と基板収納容器１の外部との連通を遮断するシール部材４の厚さは、図３における矢印Ａに沿った、容器当接先端部４３の厚さそのものであるか、又は、図３における矢印Ｂに沿った、突起部４４の厚さと基部側変形部４２の厚さとの和となる。
上記構成の実施形態に係る基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
上述のように基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、シール部材取付部３０３を有し、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、蓋体３のシール部材取付部３０３に取り付けられ、開口周縁部２８に当接可能であり、開口周縁部２８と蓋体３との間に介在して開口周縁部２８に密着して当接することにより、蓋体３と共に容器本体開口部２１を気密状態で閉塞するシール部材４と、を備える。
シール部材４は、シール部材取付部３０３に固定される基部４１と、開口周縁部２８に当接する本体当接部４３１を有する容器当接先端部４３と、基部４１と容器当接先端部４３とを連結し、基部４１に対して容器当接先端部４３を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部４２と、基部側変形部４２に接続されている容器当接先端部４３の部分に存在し、容器当接先端部４３の外面から突出する突起部４４と、を有する。容器当接先端部４３の揺動方向において、容器当接先端部４３の厚さは、基部側変形部４２の厚さよりも厚く構成されている。
上述のように基板収納容器１は、一端部に容器本体開口部２１が形成された開口周縁部２８を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を備え、壁部２０の内面によって、複数の基板Ｗを収納可能であり容器本体開口部２１に連通する基板収納空間２７が形成された容器本体２と、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、シール部材取付部３０３を有し、容器本体開口部２１を閉塞可能な蓋体３と、蓋体３のシール部材取付部３０３に取り付けられ、開口周縁部２８に当接可能であり、開口周縁部２８と蓋体３との間に介在して開口周縁部２８に密着して当接することにより、蓋体３と共に容器本体開口部２１を気密状態で閉塞するシール部材４と、を備える。
シール部材４は、シール部材取付部３０３に固定される基部４１と、開口周縁部２８に当接する本体当接部４３１を有する容器当接先端部４３と、基部４１と容器当接先端部４３とを連結し、基部４１に対して容器当接先端部４３を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部４２と、基部側変形部４２に接続されている容器当接先端部４３の部分に存在し、容器当接先端部４３の外面から突出する突起部４４と、を有する。容器当接先端部４３の揺動方向において、容器当接先端部４３の厚さは、基部側変形部４２の厚さよりも厚く構成されている。
この構成により、シール部材４の容器当接先端部４３を変形しにくくすることができるとともに、基部側変形部４２を変形しやすくすることができ、シール部材４の弾性力を小さくすることができる。この結果、シール部材４の開口周縁部２８への当接の当たり（面圧）を強くすることができ、且つ、蓋体３で容器本体開口部２１を閉塞する際に必要な力を所定の範囲に抑えて、シール部材４の開口周縁部２８への当接の当たり（面圧）を所定の範囲とすることができる。
更に、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときには、基板収納空間２７と基板収納容器１の外部との連通を遮断するシール部材４の容器当接先端部４３の厚さを十分に確保することができる。そして、基部側変形部４２が容器当接先端部４３よりも薄く構成されるため、十分に厚さが確保された容器当接先端部４３を基部４１に対して揺動可能とすることができる。
これらの結果、基板収納容器１の容器本体２に基板Ｗが収納され、容器本体２の容器本体開口部２１が蓋体３によって閉塞されているときの、シール部材４におけるガス透過量を少なくすることができる。これにより、基板収納容器１内が加圧されてガスパージが行われる際の、基板収納容器１内における加圧状態を長い時間維持することができ、基板収納容器１内における湿度の上昇を、長い時間抑えられることができる。
また、容器当接先端部４３の揺動方向において、容器当接先端部４３の厚さは、少なくとも基部側変形部４２の一部の厚さよりも厚く構成されている。この構成により、基部側変形部４２において確実に弾性変形できるようにすることができるため、容器当接先端部４３を基部４１に対して揺動可能とすることができ、容器当接先端部４３の本体当接部４３１を確実に開口周縁部２８に当接した状態とすることができる。
また、容器当接先端部４３は、突起部４４から本体当接部４３１へ向った所定の部分において、本体当接部４３１が当接する開口周縁部２８の部分へ向って屈曲する屈曲部４３２を有する。この構成により、基部側変形部４２よりも変形しにくい容器当接先端部４３の部分に屈曲部４３２を有する構成とすることができ、容器当接先端部４３の本体当接部４３１を開口周縁部２８に当接しやすい構成とすることができる。
また、シール部材４は、フッ素ゴムにより構成されている。この構成により、シール部材４における水分の透過量を抑えることができる。
次に、本発明の第２実施形態による基板収納容器について図４を参照しながら説明する。図４は、本発明の第２実施形態に係る基板収納容器のシール部材４Ａを示す拡大断面図である。
第２実施形態による基板収納容器においては、シール部材４Ａの構成が第１実施形態による基板収納容器１におけるシール部材４の構成とは異なる。これ以外の構成については、第１実施形態による基板収納容器１の構成と同様であるため、第１実施形態における各構成と同様の構成については、同様の符号を付して説明を省略する。
容器当接先端部４３Ａは、開口周縁部２８（図３等参照）に当接可能な本体当接部４３１Ａを有している。本体当接部４３１Ａよりも容器当接先端部４３Ａの先端部寄りの部分は、本体当接部４３１Ａが当接する開口周縁部２８の表面から離間する方向へ湾曲して、容器当接先端部４３Ａの先端４３３Ａは、基部４１の方向に指向し、容器当接先端部４３Ａの先端部分４３２Ａは、蓋体３の周方向に直交する断面では半円形状を有している。この構成においても、第１実施形態におけるシール部材４と同様の効果を得ることができる。
次に、本実施形態による効果を試す試験を行なった。試験では、第１実施形態による基板収納容器１を本発明品とした。また、従来の特許文献１の実施形態のシール部材と同一の形状を有するシール部材であって、フッ素ゴムにより構成されたシール部材を有する基板収納容器を比較品１とした。また、従来の特許文献１の実施形態のシール部材４と同一の形状を有するシール部材であって、ポリエステルエラストマー（ＰＥＥ）により構成されたシール部材を有する基板収納容器を比較品２とした。試験においては、蓋体３によって容器本体開口部２１を閉塞した状態とし、給気用フィルタ部（図示せず）を通して不活性であるＮ２ガスを１０Ｌ（リットル）／ｍｉｎ〜３０Ｌ／ｍｉｎ程度の範囲内の所定量で所定時間注入して、相対湿度を０％とした後に、Ｎ２ガスの注入を停止する。そして、Ｎ２ガスの注入を停止してから４時間後の相対湿度の値を求めた。試験結果は以下の表１に示すとおりである。
表１に示すように、本発明品では、相対湿度の値は低い値になっており、シール部材４におけるガス透過量（水分の透過量）が低いことが分かる。これに対して、本発明品とシール部材を構成する材質は同一であっても、シール部材の形状が異なる比較品１では、相対湿度の値は、本発明品の値の２倍以上の高い値になっており、シール部材におけるガス透過量（水分の透過量）が高いことが分かる。更に、比較品１と形状は同一であってもシール部材を構成する材質が異なる比較品２では、相対湿度の値は、比較品１の値よりも３０％以上高い値になっており、また、本発明品の値の２．７倍以上の高い値になっている。以上より、同一形状を有するシール部材であれば、ポリエステルエラストマー（ＰＥＥ）により構成されるシール部材よりもフッ素ゴムにより構成されるシール部材の方が、ガス透過量（水分の透過量）が低いことが分かる。そして、第１実施形態の形状を有するシール部材４は、極めてガス透過量（水分の透過量）が低いことが分かる。
本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、基部側変形部４２の厚さは、基部４１に接続されている基部側変形部４２の基端部から容器当接先端部４３に接続されている先端側の端部に至るまで、一定であったが、これに限定されない。容器当接先端部の揺動方向において、容器当接先端部の厚さは、少なくとも基部側変形部の一部の厚さよりも厚く構成されていてもよい。従って、例えば、基部側変形部は、蓋体の周方向に直交する断面において、部分的に厚い部分や薄い部分を有していてもよい。
例えば、基部側変形部４２の厚さは、基部４１に接続されている基部側変形部４２の基端部から容器当接先端部４３に接続されている先端側の端部に至るまで、一定であったが、これに限定されない。容器当接先端部の揺動方向において、容器当接先端部の厚さは、少なくとも基部側変形部の一部の厚さよりも厚く構成されていてもよい。従って、例えば、基部側変形部は、蓋体の周方向に直交する断面において、部分的に厚い部分や薄い部分を有していてもよい。
また、シール部材を構成する基部、容器当接先端部、基部側変形部、突起部等の構成は、本実施形態のシール部材４、４Ａを構成する基部４１、容器当接先端部４３、４３Ａ、基部側変形部４２、突起部４４等の構成に限定されない。
また、容器本体及び蓋体の形状、容器本体に収納可能な基板Ｗの枚数や寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚や寸法に限定されない。また、基板収納容器１は、基板Ｗを収納して、工場内の工程において搬送する工程内容器であったが、これに限定されない。例えば、基板収納容器は、基板Ｗを収納して、陸運手段・空運手段・海運手段等の輸送手段により基板Ｗを輸送するための出荷容器であってもよい。
１ 基板収納容器
２ 容器本体
３ 蓋体
４、４Ａ シール部材
７ 溝部材（当接部）
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
４１ 基部
４２ 基部側変形部
４３、４３Ａ 容器当接先端部
４４ 突起部
３０３ シール部材取付部
４３１、４３１Ａ 本体当接部
４３２ 屈曲部
Ｗ 基板
ａ 容器当接先端部の厚さ
ｂ 基部側変形部の厚さ
２ 容器本体
３ 蓋体
４、４Ａ シール部材
７ 溝部材（当接部）
２０ 壁部
２１ 容器本体開口部
２７ 基板収納空間
２８ 開口周縁部
４１ 基部
４２ 基部側変形部
４３、４３Ａ 容器当接先端部
４４ 突起部
３０３ シール部材取付部
４３１、４３１Ａ 本体当接部
４３２ 屈曲部
Ｗ 基板
ａ 容器当接先端部の厚さ
ｂ 基部側変形部の厚さ
Claims (4)
- 一端部に容器本体開口部が形成された開口周縁部を有し、他端部が閉塞された筒状の壁部を備え、前記壁部の内面によって、複数の基板を収納可能であり前記容器本体開口部に連通する基板収納空間が形成された容器本体と、
前記容器本体開口部に対して着脱可能であり、シール部材取付部を有し、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記蓋体の前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部に密着して当接することにより、前記蓋体と共に前記容器本体開口部を気密状態で閉塞するシール部材と、を備え、
前記シール部材は、
前記シール部材取付部に固定される基部と、
前記開口周縁部に当接する本体当接部を有する容器当接先端部と、
前記基部と前記容器当接先端部とを連結し、前記基部に対して前記容器当接先端部を揺動可能に弾性変形可能な基部側変形部と、
前記基部側変形部には存在しておらず、前記基部側変形部に接続されている前記容器当接先端部の部分に存在し、前記容器当接先端部の外面から突出する突起部と、を有し、
前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部及び前記基部の厚さは、前記基部側変形部の厚さよりも厚く構成され、前記基部側変形部は、前記基部と前記容器当接先端部との間の、前記基部及び前記容器当接先端部よりも薄い部分により構成されている基板収納容器。 - 前記容器当接先端部の揺動方向において、前記容器当接先端部の厚さは、少なくとも前記基部側変形部の一部の厚さよりも厚く構成されている請求項１に記載の基板収納容器。
- 前記容器当接先端部は、前記突起部から前記本体当接部へ向った所定の部分において、前記本体当接部が当接する前記開口周縁部の部分へ向って屈曲する屈曲部を有する、請求項１又は請求項２に記載の基板収納容器。
- 前記シール部材は、フッ素ゴムにより構成されている、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の基板収納容器。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| PCT/JP2015/083188 WO2017090143A1 (ja) | 2015-11-26 | 2015-11-26 | 基板収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2017090143A1 JPWO2017090143A1 (ja) | 2018-09-27 |
| JP6539355B2 true JP6539355B2 (ja) | 2019-07-03 |
Family
ID=58764135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017552602A Active JP6539355B2 (ja) | 2015-11-26 | 2015-11-26 | 基板収納容器 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10985043B2 (ja) |
| JP (1) | JP6539355B2 (ja) |
| KR (1) | KR102430081B1 (ja) |
| CN (1) | CN108292618B (ja) |
| TW (1) | TWI760317B (ja) |
| WO (1) | WO2017090143A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102229694B1 (ko) * | 2017-02-06 | 2021-03-18 | 아키레스 가부시키가이샤 | 기판 수납 용기 |
| KR102523865B1 (ko) * | 2017-08-10 | 2023-04-21 | 신에츠 폴리머 가부시키가이샤 | 기판 수납 용기 및 그의 제조 방법 |
| WO2022081629A1 (en) * | 2020-10-13 | 2022-04-21 | Entegris, Inc. | Integral seal for container |
| US11820575B2 (en) | 2020-10-23 | 2023-11-21 | Miraial Co., Ltd. | Substrate storing container, method for manufacturing the same, and filter unit |
| EP4356420A1 (en) * | 2021-06-14 | 2024-04-24 | Entegris, Inc. | Substrate container with door gasket |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5112065A (en) * | 1991-03-14 | 1992-05-12 | Westinghouse Electric Corp. | Double directional gasket |
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| JP3556185B2 (ja) | 2000-06-13 | 2004-08-18 | 信越ポリマー株式会社 | シール部材、密封容器及びそのシール方法 |
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| JP5888492B2 (ja) | 2011-12-02 | 2016-03-22 | 信越ポリマー株式会社 | 基板収納容器 |
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| KR101183027B1 (ko) | 2012-06-18 | 2012-09-14 | (주)상아프론테크 | 밀봉 수납용기 |
| JP6134056B2 (ja) | 2014-03-26 | 2017-05-24 | ミライアル株式会社 | 基板収納容器 |
-
2015
- 2015-11-26 CN CN201580084744.9A patent/CN108292618B/zh active Active
- 2015-11-26 KR KR1020187015499A patent/KR102430081B1/ko active IP Right Grant
- 2015-11-26 WO PCT/JP2015/083188 patent/WO2017090143A1/ja active Application Filing
- 2015-11-26 US US15/778,531 patent/US10985043B2/en active Active
- 2015-11-26 JP JP2017552602A patent/JP6539355B2/ja active Active
-
2016
- 2016-11-23 TW TW105138355A patent/TWI760317B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPWO2017090143A1 (ja) | 2018-09-27 |
| CN108292618B (zh) | 2022-11-25 |
| TWI760317B (zh) | 2022-04-11 |
| KR20180087277A (ko) | 2018-08-01 |
| CN108292618A (zh) | 2018-07-17 |
| KR102430081B1 (ko) | 2022-08-05 |
| US20180358251A1 (en) | 2018-12-13 |
| TW201724327A (zh) | 2017-07-01 |
| WO2017090143A1 (ja) | 2017-06-01 |
| US10985043B2 (en) | 2021-04-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
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